半導(dǎo)體器件 微電子機(jī)械器件 第38部分：MEMS互連中金屬粉末膏體粘附強(qiáng)度測試方法 征求意見稿_第1頁
半導(dǎo)體器件 微電子機(jī)械器件 第38部分：MEMS互連中金屬粉末膏體粘附強(qiáng)度測試方法 征求意見稿_第2頁
半導(dǎo)體器件 微電子機(jī)械器件 第38部分：MEMS互連中金屬粉末膏體粘附強(qiáng)度測試方法 征求意見稿_第3頁
半導(dǎo)體器件 微電子機(jī)械器件 第38部分：MEMS互連中金屬粉末膏體粘附強(qiáng)度測試方法 征求意見稿_第4頁
半導(dǎo)體器件 微電子機(jī)械器件 第38部分：MEMS互連中金屬粉末膏體粘附強(qiáng)度測試方法 征求意見稿_第5頁
已閱讀5頁，還剩10頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

GB/T42709.38—XXXX/IEC62047-38:1半導(dǎo)體器件微電子機(jī)械器件第38部分：MEMS互聯(lián)中金屬粉末糊吸附離子強(qiáng)度的試驗方法IEC62047-2:2006半導(dǎo)體器件微電子機(jī)械器件第2部分：薄膜材料拉（Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part2:TensiletestingmIEC62047-3:2006半導(dǎo)體設(shè)備微電子機(jī)驗片（Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part3:Thinpiecefortensiletesting）PLGB/T42709.38—XXXX/IEC62047-38:2PCAMPAMPPSCVSEPa曲率半徑RCurvature該測試是通過使用具有幾毫米曲率的清潔玻璃鏡片在金屬粉末糊金屬粉GB/T42709.38—XXXX/IEC62047-38:3末糊金屬粉末漿與基板的界面，以及金屬粉末糊金屬粉末GB/T42709.38—XXXX/IEC62047-38:41.基材材質(zhì)2.圓形圖案金屬粉末漿3.直徑圓形圖案金屬粉末漿4.金屬），GB/T42709.38—XXXX/IEC62047-38:5b)形成的試件厚度應(yīng)至少大于單個金屬顆粒直徑的2倍；S=PC/AMPPSC=PC/AMPPAMPP——玻璃鏡片與金屬粉末糊金屬粉末漿的接觸區(qū)域m2AMP——玻璃鏡片與金屬粉末的接觸區(qū)域m2。GB/T42709.38—XXXX/IEC62047-38:6b）加載過程：通過移動z軸平臺對試件施GB/T42709.38—XXXX/IEC62047-38:7的粘合強(qiáng)度起著至關(guān)重要的作用。這一粘合強(qiáng)度會根據(jù)MEMS與金屬接觸區(qū)域和與樹脂接觸區(qū)域。粘合強(qiáng)度受到MEMS器件域的比例變化影響。為了實現(xiàn)成功互連，金屬接觸區(qū)域面積應(yīng)當(dāng)高于樹脂接觸區(qū)域面（a）測試期間測得的力（b）接觸1.接近過程2.加載過程3.持有過程4.卸載流GB/T42709.38—XXXX/IEC62047

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評論

0/150

提交評論