2023年12023年產(chǎn)品選型手冊(cè)

20XX121年產(chǎn)品選型手冊(cè)

產(chǎn)品名目

PRODUCTSCTLOG

應(yīng)用行業(yè)

應(yīng)用圖片

應(yīng)用行業(yè)

解決方案

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體技術(shù)，納米壓印刷光盤測(cè)試，掩模與晶圓對(duì)準(zhǔn)物鏡

周密定位，光刻

納米定位XX壓電致動(dòng)器

顯微成像

1

高區(qū)分率顯微鏡壓電Z向樣品XX

壓電物鏡掃描器

生物工程流式細(xì)胞儀細(xì)胞分選

電生理/膜片鉗/小區(qū)內(nèi)計(jì)量微平移XX直線促動(dòng)器微操

作器快速壓電促動(dòng)器

航天圖像處理低溫與真空環(huán)境

壓電偏擺鏡壓電掃描XX主動(dòng)光學(xué)

納米技術(shù)納米制造納米自動(dòng)化

管型促動(dòng)器盤型促動(dòng)器彎片促動(dòng)器壓電元件

通信調(diào)整通信對(duì)接測(cè)量多通道波導(dǎo)壓電偏擺鏡壓電促

動(dòng)器

晶圓檢查納米計(jì)量周密加工

1

微型定位XX旋轉(zhuǎn)定位XX

光電子通信集成光學(xué)

壓電彎片定位用壓電

促

動(dòng)器

微型

PZT

促動(dòng)

器

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù)讀/寫頭測(cè)試高動(dòng)態(tài)納米定位XX超快操縱

器

公司簡(jiǎn)介

INTRODUCTION

哈爾濱溶智納芯科技專從事微動(dòng)與宏動(dòng)類產(chǎn)品的研發(fā)和制

造，產(chǎn)品掩蓋科研，教學(xué)、工業(yè)等眾多領(lǐng)域。公司技術(shù)力氣雄

厚，專業(yè)技術(shù)人員占人員總數(shù)的比例超過百分之九十，且擁有豐

富的相關(guān)工作閱歷。

1

公司制造工藝先進(jìn),專業(yè)技師加數(shù)控設(shè)備保證每一個(gè)零件的

精度，互換性強(qiáng)，特別外表外理工藝使你的產(chǎn)品美觀耐用，賞心悅

目。

公司質(zhì)量治理嚴(yán)格，全部產(chǎn)品從研發(fā)到裝調(diào)，每一個(gè)環(huán)節(jié)都納

入系統(tǒng)的治理，專業(yè)檢測(cè)手段保證每一個(gè)產(chǎn)品完全做到質(zhì)量要求。

公司售后效勞完善，敏捷機(jī)動(dòng)的處理方式，使您的問題在第

一時(shí)間得到解決，無后顧之憂。

雄厚技術(shù)，先進(jìn)工藝，嚴(yán)格質(zhì)檢，準(zhǔn)時(shí)售后,表達(dá)在您得到

的任何一種產(chǎn)品上，把更多的時(shí)間還給您個(gè)人。

歷史客戶

清華大學(xué)大學(xué)ZG科學(xué)院技術(shù)物理爭(zhēng)論所

航空航天大學(xué)理工大學(xué)ZG科學(xué)技術(shù)大學(xué)物理試驗(yàn)教學(xué)中

心

清華大學(xué)深圳爭(zhēng)論生院天律大學(xué)中科院物理與數(shù)學(xué)爭(zhēng)論

所CPT組

哈爾濱工業(yè)大學(xué)哈爾濱工程大學(xué)ZG科學(xué)院微電子爭(zhēng)論所

XX大學(xué)哈爾濱理工大學(xué)ZG科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)周密機(jī)械與

物理爭(zhēng)論所哈爾濱商業(yè)大學(xué)XX大學(xué)天律核工業(yè)理化工程爭(zhēng)

論院

長(zhǎng)春理工大學(xué)XX大學(xué)物理所

沈陽理工大學(xué)沈陽建筑大學(xué)重慶綠色智能技術(shù)爭(zhēng)論院

1

沈陽電子大學(xué)南XX航空航天大學(xué)XX洛陽XXX部隊(duì)

合肥工業(yè)大學(xué)XX科技大學(xué)北斗導(dǎo)航科技重慶大學(xué)

合肥工業(yè)大電子所

XX大學(xué)燕山大學(xué)XX材料與工藝爭(zhēng)論所

XX大學(xué)XX州大學(xué)ZG電科第44所

XX師范大學(xué)職業(yè)技術(shù)學(xué)院大學(xué)力學(xué)系長(zhǎng)春亮麗光電

XX大學(xué)電力大學(xué)XX省機(jī)械科學(xué)爭(zhēng)論院

武漢理工大學(xué)電子科技大學(xué)XX量子通信技術(shù)長(zhǎng)沙國(guó)防科

技大學(xué)西安交通大學(xué)XX微遠(yuǎn)儀器設(shè)備有限公

司

西安工業(yè)大學(xué)國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué)XXXX航空儀表有限公

司

國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué)光電科學(xué)與工程學(xué)院香XX理工大學(xué)

XX林思越光電技術(shù)

XX科技學(xué)院中南大學(xué)XX易創(chuàng)電子

ZG計(jì)量科學(xué)爭(zhēng)論院郵電大學(xué)天律必利優(yōu)科技首都師范

大學(xué)ZG礦業(yè)大學(xué)江油先進(jìn)機(jī)電設(shè)備交通大學(xué)同濟(jì)大

學(xué)XX州瀚XX機(jī)電

南XX師范大學(xué)南XX信息工程大學(xué)麥田富潤(rùn)科技有限公

司

南XX大學(xué)嘉興學(xué)院無錫恩譯科技廈門大學(xué)

XX理工大學(xué)南XX安正軟件公司

1

五邑大學(xué)XX科技大學(xué)XX州翰XX機(jī)電

廣XXXX科學(xué)院重慶大學(xué)高怡逢科技〔深圳〕工業(yè)大學(xué)

ZG計(jì)量科學(xué)爭(zhēng)論院深圳市百納影像科技有限公

司

ZG礦業(yè)大學(xué)交通大學(xué)光電所XX福地視野光電技術(shù)有

限公司

物理所交能大學(xué)美時(shí)醫(yī)療

南XX信息工程大學(xué)XX工業(yè)大學(xué)志邦科技

XX大學(xué)XX理工大學(xué)南昌興鑫電子

天律南開大學(xué)清華大學(xué)精儀系賽凡光電儀器香XX理工

大學(xué)XX師范大學(xué)XX鑫源儀測(cè)科技XX大學(xué)機(jī)械學(xué)院

XX工業(yè)大學(xué)福州順時(shí)代電子ZG電科54爭(zhēng)論所深圳大

學(xué)寶瑞光電科技

哈爾濱工業(yè)大學(xué)機(jī)械設(shè)計(jì)系哈工大機(jī)電院深圳大學(xué)反光

材料廠

哈爾濱工程大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院理工大學(xué)信息學(xué)院ZG船舶

工業(yè)工程爭(zhēng)論院

哈爾濱工程大學(xué)核科學(xué)與技術(shù)學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)中科院

沈陽自動(dòng)化所

名目

ContentsP系列----壓電陶瓷

系列——封裝壓電陶瓷

1

B系列——納米級(jí)定位平XX

C系列——納米級(jí)擺角XX

H系列——壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源E

系列——壓電陶瓷閉環(huán)操縱器M系列一一高精度LVD

T測(cè)位儀D系列——壓電陶瓷步進(jìn)位移XX

L系列——電機(jī)操縱器

R系列——高精度轉(zhuǎn)XX

Z系列——電動(dòng)位移XXK系列——電動(dòng)組合XX

壓電陶瓷制動(dòng)器的構(gòu)造

壓電陶瓷，一種能夠?qū)C(jī)械能和電能相互轉(zhuǎn)換的功能陶瓷材料,

屬于無楣E金屬材料。壓電陶瓷利用其材米誼棚戒應(yīng)力作用下，引

起內(nèi)部正負(fù)電荷中心相對(duì)位移而發(fā)生極化,導(dǎo)致材料兩端外表消滅

符號(hào)相反的束縛電荷即壓電效應(yīng)而制作，具有敏感的特性，常用的

壓電陶瓷有鈦酸鋼系、錯(cuò)鈦酸鉛二元系及在二元系中添加第三種

B03(表示二價(jià)金屬離子，B表示四價(jià)金屬離子或幾種離子總和為

正四價(jià)〕型化合物，如：Pb(Mnl/3Nb2/3]03和

Pb(Col/3Nb2/3)03等組成的三元系。假設(shè)在三元系統(tǒng)上再參

加第四種或更多的化合物,可組成四元系或多元系壓電陶瓷。此外，

還有一種偏鋸酸鹽系壓電陶瓷，如偏泥酸鉀鈉

[N0.5-K0.5-NbO3]和偏鋸酸錮鋼[Bx-Srl-x-Nb2O5)等；

z壓電陶瓷正壓電效應(yīng)：

某些電介質(zhì)在沿肯定方向上受到外力的作用而變形時(shí)，其內(nèi)

1

部會(huì)產(chǎn)生極見象,同時(shí)在它的兩個(gè)相對(duì)夕陵上消滅正負(fù)相反的

電荷。當(dāng)外力去掉后，它又會(huì)恢復(fù)到不帶電的狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱為

正壓電效應(yīng)。

Z壓電陶瓷逆壓電效應(yīng):

當(dāng)作用力的方向轉(zhuǎn)變時(shí)，電荷的極性也隨之轉(zhuǎn)變。相反，當(dāng)

在電介質(zhì)的極化方向上施加電場(chǎng)，這些電介質(zhì)也會(huì)發(fā)生變形，電

場(chǎng)去掉后，電介質(zhì)的變形隨之消逝，這種現(xiàn)象稱為逆壓電效應(yīng),或

稱為電致伸縮現(xiàn)

象。

z疊堆型壓電陶瓷：

將壓電陶瓷片共燒到一起，機(jī)械構(gòu)造串連，電路構(gòu)造并連，

從而得到大位移輸出的壓電陶瓷疊；疊堆型壓電陶瓷見以下圖

疊堆型壓電陶瓷由正電極層，負(fù)電極層，正負(fù)電極絕緣層，

電壓正

極供給總線和電壓負(fù)極供給總線，上絕緣層（工作面），下絕緣

層（工作面，

電壓正負(fù)引出線，夕陵絕緣層等幾局部組成;電壓正負(fù)極由銀

鍍?cè)谔沾?/p>

的內(nèi)部和兩側(cè)夕俵,將壓電陶瓷各片的電極用金屬銅等其它軟

質(zhì)導(dǎo)電體

連接在一起，并引出外線，外線用于連接電壓驅(qū)動(dòng)器；

1

Z環(huán)形疊堆型壓電陶瓷：環(huán)形疊堆型壓電陶瓷與疊堆型壓電

陶瓷構(gòu)造一樣，只是陶瓷中間開有圓孔，用于特別應(yīng)用見以下圖

疊層型壓電陶瓷輸出位移如下：

△L=d33nU

d33:單片陶瓷片的應(yīng)變系數(shù)(m/V)

n:壓電陶瓷片個(gè)數(shù)U:

驅(qū)動(dòng)電壓(V)

Piezomechnik(PZ)PhysikInstrumente(PI)z壓電陶瓷雙

晶片：壓電陶瓷雙晶片是由兩片一樣的沿厚度方向極化的壓電陶瓷

片粘接而成，1鏈攵動(dòng)器一端固定，構(gòu)成是臂梁構(gòu)造，沿Z方向施加

電場(chǎng)，壓電陶瓷雙晶片一片收縮，另一片伸長(zhǎng)，變形方向可以通過

轉(zhuǎn)變正負(fù)極連線來操縱，壓電陶瓷雙晶片自由端便可以發(fā)生彎曲變

形；

右圖是壓電陶雙晶片并聯(lián)操縱方式和串聯(lián)操縱方式

△L=l/2d31U(L/d)2

d31:應(yīng)變耦合系數(shù)(m/V)

L:陶瓷管長(zhǎng)度(m)

壓電陶瓷特性

壓電陶瓷的遲滯特性

1

同一壓電陶瓷的升壓和降壓位移曲線之間不同，并存在位移

差稱為遲滯特性,如以下圖所

示

壓電陶瓷的非線性

壓電陶瓷的輸入電壓與輸出位移不是正比關(guān)系，疊層型壓電陶

瓷一樣遞增電壓，在壓電陶瓷不同的驅(qū)動(dòng)段內(nèi)輸出的位移也不一樣,

在壓電陶上安裝反響信號(hào)進(jìn)展電壓調(diào)整，可以減小壓電陶瓷的遲滯

和非線性，如以下圖

壓電陶瓷的開環(huán)曲線

壓電陶瓷的閉環(huán)曲線

壓電陶瓷的蠕變特性

壓電陶瓷在肯定的驅(qū)動(dòng)電壓下，壓電

陶瓷的位移到達(dá)肯定位移量后，隨時(shí)間變化在一段時(shí)間后才能

到達(dá)穩(wěn)定值，如右圖所示

壓電陶瓷選型和使用方法及應(yīng)用

壓電陶瓷材料剛度：

1

壓電陶瓷由于料材和燒制構(gòu)造不同，使壓電陶瓷的對(duì)外拉力

和壓力不同，以多層共燒疊堆壓電陶瓷為例，陶瓷受到中心軸向拉

力和側(cè)向力都很小，而中心軸所受壓力很大，壓電陶瓷的拉伸強(qiáng)度

和剪切應(yīng)力都很低，在5到10MP的范圍內(nèi)。在使用壓電陶瓷

時(shí)如有較大拉力和側(cè)向力，要對(duì)壓電陶瓷實(shí)行保護(hù)措施，否則會(huì)損

壞壓電陶瓷，

拉力損壞壓電陶瓷側(cè)向力損壞壓電陶瓷壓力的正確使用壓

電陶瓷壓電陶瓷的剛度是一個(gè)重要的參數(shù)，計(jì)算力的產(chǎn)生，諧振

頻率。壓電陶瓷疊堆執(zhí)行器的特點(diǎn)是的高達(dá)幾百牛頓的剛度值，壓

電陶瓷的材料剛度算計(jì)如下：

kStck=E*/L

E=a/s

KStck:壓電陶瓷材料剛度;

E弓單性模量

A:壓電陶瓷的橫截面〔mm〕

L:壓電陶瓷的長(zhǎng)度〔m〕

。:在彈性變形范圍內(nèi)的應(yīng)力〔MP〕

仁在應(yīng)力作用下產(chǎn)生的應(yīng)變，即相對(duì)變形量〔AI/IJ,無量

綱。

壓電陶瓷的材料剛度表征壓電陶瓷在受外力的作用下，產(chǎn)生壓

縮量，在應(yīng)用中使壓電陶瓷的零點(diǎn)位置發(fā)生變化；在壓電陶瓷

1

的選型手冊(cè)中都以給出壓電陶瓷的材料剛度.

壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下的剛度：

壓電陶瓷在電場(chǎng)力的作用下產(chǎn)生位移輸出，壓電陶瓷的輸出力

和位移成反比關(guān)系，

右圖是壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下的輸出力和輸出位移關(guān)系

圖，橫軸為壓

壓電陶瓷的輸出力，縱軸為壓電陶瓷輸出的位移,壓電陶瓷在

不同驅(qū)電壓

時(shí)都有力與位移的對(duì)應(yīng)關(guān)系，

k=Fmx/?LO

k:壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下的剛度

Fmx:壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下輸出的最大力

?L0:壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下輸出的最大位移

在選用壓電陶瓷先確定壓電陶瓷要驅(qū)動(dòng)的負(fù)載然后按上圖

確定壓電陶瓷的

輸出力，和輸出位移，以免造成驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷的輸出力和位移

不夠。

壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下驅(qū)動(dòng)負(fù)載力不變的應(yīng)用：

壓電陶瓷在無變化負(fù)載力（F）的作用下，產(chǎn)生了壓電陶瓷的

材料變形量

,所以壓電陶瓷的零點(diǎn)位置發(fā)生變化，壓電陶瓷的電壓，

1

壓電陶瓷的位移量輸

不變，輸出力和負(fù)載的關(guān)系如右圖，公式如下：

?Ln?Fv/k

F=m-g

?Ln:壓電陶瓷在受重力的作用下零點(diǎn)偏移量

k:壓電陶瓷的材料剛度

F:壓電陶瓷所受的重力(N)

m:負(fù)載質(zhì)量(Kg)

g：重力加速度(m/s)

壓電陶瓷在受重力(或不變負(fù)載)時(shí)，壓電陶瓷產(chǎn)生零點(diǎn)偏移

量,

這由壓電陶瓷的材料剛度和壓電陶瓷所受的不變負(fù)載有關(guān)，

壓電陶

瓷在驅(qū)動(dòng)定負(fù)載時(shí)，定負(fù)載不能超過壓電陶瓷所承受的最大力，

假設(shè)超過會(huì)將壓電陶瓷損壞，

壓電陶瓷的零點(diǎn)偏移量和負(fù)載力平衡，壓電陶瓷輸出位移沒

有變化，只是零點(diǎn)向下，壓電陶瓷的位移輸出量不變壓電陶瓷

在電場(chǎng)力作用下無預(yù)緊力，低剛度負(fù)載的應(yīng)用：

壓電陶瓷在無預(yù)緊力和低剛度負(fù)載時(shí)壓電陶瓷的壓電材料

變形量

無變化，所以壓電陶瓷的零點(diǎn)位置沒有發(fā)生變化,壓電陶瓷的

電壓，

1

輸出位移,輸出力和負(fù)載的關(guān)系如右圖，公式如下：

?L??LO（k/k+kL）

?LR~?LO（1-k/k+kL）

Feff~k（k/k+kL）

Fmx-eff~k（1-k/k+kL）{}

?L0:空載壓電陶瓷在V0（電場(chǎng)力）驅(qū)動(dòng)下輸出最大位移（F

mx=0）

Fmx:空載壓電陶瓷在V0（電場(chǎng)力）驅(qū)動(dòng)下輸出最大力（?L0

=0）

Fmx-eff:空載壓電陶瓷在V0（電場(chǎng)力）驅(qū)動(dòng)負(fù)載所損耗的

輸出力

?L:壓電陶瓷在V0（電場(chǎng)力）驅(qū)動(dòng)下加負(fù)載kL后的輸出位

移量

Feff:壓電陶瓷在V0（電場(chǎng)力）驅(qū)動(dòng)下加負(fù)載kL作用下輸

出的力

?LR空載壓電陶瓷在V0（電場(chǎng)力）驅(qū)動(dòng)負(fù)載所損耗的輸位

移

k:壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下的剛度

kL:低負(fù)載剛度（彈簧鋼度）

?1：位移量坐標(biāo)

F:力坐標(biāo)

V0:電壓陶瓷的最大驅(qū)動(dòng)電壓（產(chǎn)生最大的電場(chǎng)力）

1

:空載壓電陶瓷升壓和降壓的位移輸出曲線

B:加載kL后壓電陶瓷升壓和降壓的位移輸出曲線

壓電陶瓷在電場(chǎng)力作用下有預(yù)緊力并加剛度

負(fù)載的應(yīng)用：

壓電陶瓷在有預(yù)緊力和剛度負(fù)載時(shí)壓電陶瓷的壓電材料發(fā)

生零點(diǎn)位移變，輸出力和負(fù)載的關(guān)系如右圖，公式如下

?Ln

-FV/k

FV:壓電陶瓷的預(yù)緊力,

?Ln:壓電陶瓷在受重力的作用下零點(diǎn)偏移量

在有預(yù)緊力和剛度負(fù)載時(shí)壓電陶瓷所輸出的位稱量和輸出

力發(fā)生了零點(diǎn)位移變低，輸出位移變小，其它計(jì)算不變

2

壓電陶瓷動(dòng)態(tài)應(yīng)用

快速響應(yīng)是一個(gè)壓電致動(dòng)器的特征，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源快

速的驅(qū)動(dòng)電壓變化驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷的快速位置變化，這個(gè)特點(diǎn)在掃

描顯微鏡，圖像穩(wěn)定，閥操縱，產(chǎn)生中擊波，或主動(dòng)阻尼應(yīng)用；

上面壓電陶瓷在保證公稱位移輸出量的最大響應(yīng)速度是在

1

大約三分之一壓電陶瓷諧振頻率時(shí)，些時(shí)壓電陶瓷產(chǎn)生阻尼振動(dòng)

可以通過智能操縱技術(shù)或位置伺服操縱加以減小；例如：一個(gè)

10kHz諧振頻率的壓電陶瓷在約30微秒之內(nèi)到達(dá)其標(biāo)稱位移

（需要輸出足夠電流和驅(qū)動(dòng)電壓）

壓電陶瓷在動(dòng)態(tài)應(yīng)用中，壓電陶瓷質(zhì)量與負(fù)載質(zhì)量的關(guān)系：壓

電陶瓷軸向振動(dòng)頻率輸出時(shí)，壓電陶瓷需要具有預(yù)緊力，

壓電瓷底部固定，頂部承載預(yù)緊力或負(fù)載，在振動(dòng)時(shí)給壓電陶瓷的

附加載荷可以用以下公式估算：

在定位應(yīng)用，壓電陶瓷輸出頻率大大低于諧振頻率，保持操

縱信號(hào)和位移之間的相移是必要的，一個(gè)壓電系統(tǒng)的相位響應(yīng)可以

由如下公式計(jì)算：

壓電陶瓷的動(dòng)態(tài)輸出力：

壓電陶瓷匹配的驅(qū)動(dòng)電路，壓電致動(dòng)器可以生成幾個(gè)1萬米

/秒的高加速度。由于可能的耦合質(zhì)量以及執(zhí)行器本身的慣性，動(dòng)

態(tài)拉力發(fā)生必需得到補(bǔ)償?shù)臋C(jī)械預(yù)緊力

例如：1kHz的輸出動(dòng)力,2pm位移〔峰值〕和1公斤的

1

質(zhì)量大約是±40N。

壓電陶瓷的電容量

電氣性能在工作頻率低于諧振頻率時(shí)，壓電陶瓷的電氣性能像

一個(gè)電容器。壓電陶瓷的位移輸出和電荷成比例。壓電陶瓷的

電容量的大小取決于壓電陶瓷的體積及材料特性。疊堆壓電陶瓷是

由很多陶瓷層電級(jí)并聯(lián)，電容也取決于層的數(shù)目。壓電陶瓷有

漏電流損失在U以下的范圍內(nèi)壓電陶瓷是呈現(xiàn)高內(nèi)阻：

Tmin:壓電陶瓷的響應(yīng)速度[s]f0:壓電陶瓷的諧振頻率

[Hz]

m:的壓電致動(dòng)器的質(zhì)量[kg]f0:壓電陶瓷的諧振頻率[Hz]

f0"：壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)負(fù)載輸出諧振頻率負(fù)載[Hz]

meff:壓電陶瓷的三分之一質(zhì)量[kg]

meff”壓電陶瓷的三分之一質(zhì)量加上負(fù)載質(zhì)量

[kg]f:操縱頻率[Hz]

(P：相位角[度]

f0:壓電陶瓷的諧振頻率[Hz]

Fdyn:壓電陶瓷的動(dòng)態(tài)輸出力[N]meff:壓電陶瓷的三分

之一質(zhì)量[kg]F:操縱頻率[Hz]:位移量〔峰峰值〕[m]

上圖是疊堆壓電陶瓷在1kHz的單極性正弦信號(hào)測(cè)量電容

1

量相對(duì)變化。電容量隨工作電壓和溫度上升而增大。小信號(hào)的電

容C的堆棧致動(dòng)器可以被估量為一個(gè)電容器：

假設(shè)疊堆壓電陶瓷去除上下絕緣片，陶瓷的總長(zhǎng)度：N?

L/HL:公式可變?yōu)槿缦拢?/p>

定位操作，低靜態(tài)和動(dòng)態(tài)

當(dāng)通電時(shí)，存儲(chǔ)在一個(gè)壓電致動(dòng)器的能量四周，在電荷每

變化與電荷傳輸，需要以下電流I：

緩慢的位置的變化,只需要一個(gè)較低電流。保持這個(gè)較低電流,

即使在格外高的負(fù)載的狀況下。能耗相對(duì)較低。即使突然斷開

電源，壓電陶瓷位置回零不斷漸漸的發(fā)生。

位置操縱操作

在閉環(huán)操作下，最大安全操作的頻率由相位和振幅響應(yīng)以及

較高的機(jī)械系統(tǒng)的諧振頻率所打算，同時(shí)反響傳感器的帶寬和性

能〔數(shù)字或模擬，過濾器和操縱器類型，帶寬〕也限制了定位系統(tǒng)

的工作帶寬。

1

C:疊堆型壓電陶瓷電容量舊

n:疊堆型壓電陶瓷疊層的數(shù)目

ET33:介電常數(shù)=63/sO[s/Vm]

:壓電陶瓷橫截面積[m]l:壓電陶瓷的長(zhǎng)度[m]

hL:疊堆型壓電陶瓷每層的厚度[m]I:壓電陶瓷的電流口

Q：電荷[C,s]V:壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電壓[V]t:時(shí)間⑸

2

壓電陶瓷動(dòng)態(tài)功率消耗：

在動(dòng)態(tài)應(yīng)用中，壓電陶瓷的功率消耗的增加取決于壓電陶瓷的

工作頻率，幅值和電容量。而靜態(tài)應(yīng)用壓電陶瓷功率消耗幾乎很

小，由于壓電陶瓷的動(dòng)態(tài)運(yùn)行時(shí)像電容充電和放電，壓電陶瓷產(chǎn)生

功率損耗使壓電陶瓷產(chǎn)生熱量，壓電陶瓷在正常動(dòng)態(tài)應(yīng)用中的

峰值功率和壓電陶瓷的損耗功率可以估算如下：

壓電陶瓷執(zhí)行器的小信號(hào)條件下，損耗因子在0.01到0.02。這

意味著高達(dá)2%的電功率流過壓電陶瓷轉(zhuǎn)化為熱。在大信號(hào)狀況

下的條件下，這可以提高到相當(dāng)高的值。因此，最大工作頻率也

取決于同意的工作溫度。在高頻率和電壓幅值，在高功料區(qū)動(dòng)壓

電陶瓷時(shí)，損耗因子可在0.25到0.3,冷卻措施是必要的。對(duì)于

這些應(yīng)用，還要供給壓電致動(dòng)器集成溫度傳感器監(jiān)測(cè)溫度的陶

1

瓷。

脈沖模式操作的壓電陶瓷的輸出位移可以最快在微秒范圍

內(nèi)的響應(yīng)和加速，所以放大器的小信號(hào)帶寬是至關(guān)重要的。放大器

的上升時(shí)間必需短于壓電響應(yīng)時(shí)間，放大器的帶寬應(yīng)當(dāng)是兩到三倍

大于壓電陶瓷諧振頻率。

壓電陶瓷位移反響器件應(yīng)變儀的粘貼實(shí)物圖和原理圖如下：

以下圖為粘貼后的實(shí)物圖，以下圖為應(yīng)變儀的橋接原理

圖

P:壓電陶瓷的峰值有效功率［W］（壓電陶

瓷脈沖輸出所需功率）

P：平均值功率［W］（壓電陶瓷連續(xù)輸出所需功率）

P1：壓電陶瓷的損耗功率［W］

tn8:介質(zhì)損耗因數(shù)

f:操縱頻率［Hz］C:

電容量舊

VPP:驅(qū)動(dòng)電壓〔峰峰值〕［V］

I：平均電流口（壓電陶瓷連續(xù)動(dòng)態(tài)驅(qū)動(dòng)輸出所需電流）Imx:

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)最大峰值有效電流口（壓電陶瓷脈沖輸出

1

所需電流）

f:操作頻率[HZ]Fmx:

最大工作頻率[HZ]C:負(fù)載電容量舊t:沖

電時(shí)間[s]VPP:驅(qū)動(dòng)

電壓〔峰峰值〕[V]

名稱：疊堆型壓電陶瓷

壓電陶瓷的特點(diǎn)：

容性負(fù)載,驅(qū)動(dòng)電壓在。到150V工作溫度在-20℃

~120℃,

如有特別溫度要求請(qǐng)與我們聯(lián)系輸出位移小，輸出力大響

應(yīng)速度右在微秒級(jí)驅(qū)動(dòng)要求直流穩(wěn)壓電源

依據(jù)驅(qū)動(dòng)的方式不同可輸出直線位移，也可以作為震蕩源

使用主要應(yīng)用：

微型機(jī)械制造、超周密加工集成電路制造、生物工程醫(yī)療

科學(xué)

光學(xué)微處理系統(tǒng)，光纖對(duì)接航空航天領(lǐng)域掃描探針顯微鏡

疊堆型壓電陶瓷選型表

1

德國(guó)Piezomechn汰(PZ)疊堆型壓電陶瓷選型表

■pst150系列0V?+150V的電壓與位移曲線Pst-HD

200系歹I」0V~+150V的電壓與位移曲線■

pst150系列-30V~+150V的電壓與位移曲線Pst-

HD200系歹I」-30V-+150的電壓與位移曲線

名稱：?jiǎn)纹瑝弘娞沾晌⑽灰浦聞?dòng)器

單片壓電陶瓷的特點(diǎn)多層共燒一體軸向響應(yīng)頻率大d31

和d33牢靠運(yùn)行

在力傳感器/發(fā)電機(jī)中的廣泛應(yīng)用

小的驅(qū)動(dòng)電壓到50V可以驅(qū)動(dòng)格外高負(fù)荷溫度范圍：-

273℃~+130℃外表絕緣：鍍銀電極,外表無涂層PZT陶

1

瓷材料常數(shù)

d31:-240picometer（皮米）/Volt（伏）d33:+580

picometer■（皮米）/Volt（伏）電介質(zhì)常數(shù)g：1900居里溫度:250。

C密度:7.5g/cm3

彈由1頁度s33:20x10-12m2/N

單片壓電陶瓷微位移致動(dòng)器選型表

產(chǎn)

工施加可以硬盤

1

產(chǎn)品特點(diǎn)體積小響應(yīng)速度精度高：壽命長(zhǎng)：牢靠性高

1

工作電壓用橡膠夾工作原理該產(chǎn)品是加電場(chǎng)，壓電以發(fā)生彎曲

變具體用途低負(fù)載（盤的磁頭操縱度快：T殳響〔微米級(jí)〕1000

萬次以高壓較低：40V夾具固定到振是由兩片一樣電陶瓷雙晶

片變形。（一般從幾抑制、激光陀螺備注響應(yīng)時(shí)間在小以上

-200V振動(dòng)XX上，經(jīng)同的沿厚度方片一片收縮,到幾十克）、

螺等。

:除上述規(guī)名稱：小于10ms經(jīng)10-55-10H方向極化的壓

另一片伸長(zhǎng)大位移〔可壓電規(guī)格外，我壓電陶瓷z掃頻振動(dòng)，

壓電陶瓷片粘長(zhǎng)，變形方向可達(dá)幾mm〕如陶瓷雙晶公司也可以

瓷雙晶片

持續(xù)Iminu粘接而成，將可以通過轉(zhuǎn)變?nèi)纾哼x針器、片選

型冊(cè)以依據(jù)客戶ute振動(dòng)幅度致動(dòng)器一端固變正負(fù)極連線盲人

閱讀器冊(cè)要求定制

度0.35mm。試固定，構(gòu)成懸線來操縱，壓器、壓電泵、試

驗(yàn)后無機(jī)械懸臂梁構(gòu)造，壓電陶瓷片非電子鎖、攝械損傷。沿

Z方向非固定端便像機(jī)快門、

名稱：光纖拉伸-壓電陶瓷

環(huán)形壓電陶瓷的特點(diǎn)多層共燒一體軸向響應(yīng)頻率大d31

和d33牢靠運(yùn)行

在力傳感器/發(fā)電機(jī)中的廣泛應(yīng)用

小的驅(qū)動(dòng)電壓到50V可以驅(qū)動(dòng)格外高負(fù)荷溫度范圍：-

1

273℃~+130℃外表絕緣：鍍銀電極，外表無涂層PZT陶

瓷材料常數(shù)

d31:-240picometer■（皮米）/Volt（伏）d33:+580

picometer（皮米）/Volt（伏）電介質(zhì)常數(shù)E:1900居里溫度:250。

C密度：7.5g/cm3

彈性順度s33:20x10-12m2/N

單片壓電陶瓷微位移致動(dòng)器選型表

名稱：簡(jiǎn)易封裝壓電陶瓷

簡(jiǎn)易封裝壓電陶瓷的特點(diǎn)

多層共燒一體

軸向響應(yīng)頻率大rryd31和d33牢靠運(yùn)行

在力傳感器/發(fā)電機(jī)中的廣泛應(yīng)用

小的驅(qū)動(dòng)電壓到50V可以驅(qū)動(dòng)格外高負(fù)荷

溫度范圍：-273℃~+130℃

外表絕緣：鍍銀電極，外表無涂層

PZT陶瓷材料常數(shù)

d31:-240picometer（皮米）/VoIt（伏）

d33:+580picometer（皮米）/Volt（伏）

電介質(zhì)常數(shù)￡：1900

居里溫度：250℃

1

密度:7.5g/cm3

彈性順度s33:20x10-12m2/N

簡(jiǎn)易封裝壓電陶瓷選型表

壓電陶瓷選型方法請(qǐng)參考封裝開/閉環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器構(gòu)造

資料/驅(qū)動(dòng)電源型號(hào)：RH11;閉環(huán)操縱器型號(hào)：RE53

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源帶寬分析

壓電陶瓷轉(zhuǎn)變長(zhǎng)度的速率這個(gè)參數(shù)在高速應(yīng)用中格外重要。假

設(shè)下面的參數(shù)，則壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源的帶寬和壓電陶瓷電容量就

可以計(jì)算出來：

）壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源可產(chǎn)生的最大電流。電流為0.5。

b）壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源的負(fù)載電容，負(fù)載電容越高,系統(tǒng)越慢。c）

額定電壓〔V〕，指壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源輸出的驅(qū)動(dòng)電壓,是

負(fù)載壓電陶瓷的最大驅(qū)動(dòng)電壓〔壓電陶瓷的伸縮長(zhǎng)度〕。

d）壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源最大帶寬，和可驅(qū)動(dòng)的負(fù)載電容量。

為了驅(qū)動(dòng)外部電容〔壓電陶瓷〕，需要對(duì)其進(jìn)展充放電。充

放電的微分，dV/dt,稱為轉(zhuǎn)換速率。電容越大，所需要的電流就

越大：

（slewrte:電壓轉(zhuǎn)換速率;Imx:驅(qū)動(dòng)電源產(chǎn)生最驅(qū)動(dòng)電流；

C:壓電陶瓷電容量〕比方對(duì)于一個(gè)100微米的壓電陶瓷,電容量

為20",驅(qū)動(dòng)電源以電流0.5驅(qū)動(dòng),轉(zhuǎn)換速率為：

1

因此，瞬態(tài)電壓從0V到75V,需要3毫秒。

留意：對(duì)于這些計(jì)算,我們假設(shè)驅(qū)動(dòng)器確實(shí)定最大帶寬比計(jì)算

的帶寬要大的多，因此驅(qū)動(dòng)器帶寬不是計(jì)算的限制因素。還請(qǐng)留意

這些計(jì)算只適用于開環(huán)系統(tǒng)。在閉環(huán)模式下，反響環(huán)路的響應(yīng)時(shí)間

成為限制帶寬另一因素。

正弦信號(hào)

系統(tǒng)帶寬通常指系統(tǒng)對(duì)一個(gè)正弦信號(hào)幅值的反響。對(duì)于由幅值,

峰峰電壓Vpp,頻率f的正弦信號(hào)操縱的壓電陶瓷，我們有:

右圖為時(shí)間和電壓的曲線。在t=2nn,(n=0,1,2,...)點(diǎn)處到達(dá)

最大轉(zhuǎn)換

速率，或者電壓變化：

由上面第一個(gè)公式可推得：因此，

對(duì)于上面的例子，最大帶寬〔75V〕為.

三角波信號(hào)

假設(shè)由一個(gè)最大電壓為Vpek最小電壓為0的三角波信號(hào)

驅(qū)動(dòng)的壓電陶瓷，轉(zhuǎn)換速率與斜率相等：

由于f=1/T

1

矩形波信號(hào)

假設(shè)由一個(gè)最大電壓為Vpek最小電壓為0的矩形波信號(hào)

驅(qū)動(dòng)的壓電促動(dòng)器，轉(zhuǎn)換速率限制了最小上升和下降時(shí)間。在上升

或者下降的狀況下，轉(zhuǎn)換速率等于斜率。假設(shè)tr為最小上升時(shí)

間，則

或者

封裝開/閉環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器構(gòu)造

封裝開/閉環(huán)壓電陶瓷安裝方法及輸出方法正確使用

位移輸出端半圓體

封裝壓電陶瓷輸出端與被驅(qū)動(dòng)體的V型槽或內(nèi)半圓聯(lián)連E3

位移輸出端外螺紋封裝壓電陶瓷輸出端與被驅(qū)動(dòng)體的外螺

紋聯(lián)連

E1

1

位移輸出端內(nèi)螺紋封裝壓電陶瓷輸出端與被驅(qū)動(dòng)體的內(nèi)螺

紋聯(lián)連

壓電陶瓷構(gòu)造特點(diǎn)：

封裝開/閉環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器構(gòu)造如右側(cè)軸向剖視圖所示，

由壓電陶瓷、機(jī)械殼體，壓縮彈簧、位移輸出桿四局部組成；

封裝壓電陶瓷具有拉力,可承受肯定的拉力,可彌補(bǔ)裸陶瓷不

能承受拉力的缺乏；

封裝壓電陶瓷可在雜亂的工作環(huán)境下工作，可訂制防水型和真

空型；

底部面螺紋固定直口固定外直徑固定

名稱：封裝環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器

R150系列封裝開/閉環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電壓為:-10

V-+150V,閉環(huán)使用建議:0V~+120V,驅(qū)動(dòng)電壓負(fù)壓過大

會(huì)使壓電陶瓷反向極化，用戶使用時(shí)負(fù)壓不要超過-1ov.

系

列名稱

產(chǎn)品實(shí)圖外形尺寸圖輸出位移位接頭構(gòu)造出廠標(biāo)準(zhǔn)配置

R150/11/.../E1

z

標(biāo)準(zhǔn)位移頭E1（用戶可選擇E2或E3類型）z電壓輸出

1

線長(zhǎng)1.5mmz傳感器線長(zhǎng)1.5mmz電壓線接頭:BNCz

傳感器線：4芯航插

R150/13/.../E1

z標(biāo)準(zhǔn)位移頭E1（用戶可選擇E2或E3類型）

z電壓輸出線長(zhǎng)1.5mmz傳感器線長(zhǎng)1.5mmz電壓線

接頭:BNCz

傳感器線：4芯航插

R150/20/.../E1

標(biāo)準(zhǔn)位移頭E1（用戶可選擇E2或E3類型）

z電壓輸出線長(zhǎng)1.5mmz傳感器線長(zhǎng)1.5mmz

電壓線接頭:BNC

傳感器線：4芯航插

R150/22/.../E1

1

z標(biāo)準(zhǔn)位移頭E1（用戶可選擇E2或E3類型）

z電壓輸出線長(zhǎng)1.5mmz傳感器線長(zhǎng)1.5mmz

電壓線接頭:BNC

傳感器線：4芯航插

封裝壓電陶瓷致動(dòng)器選型參數(shù)表

壓電陶瓷選型方法請(qǐng)參考封裝開/閉環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器構(gòu)造

資料/驅(qū)動(dòng)電源型號(hào)：RH11；閉環(huán)操縱器型號(hào)：RE53驅(qū)動(dòng)

電壓范圍：-10V~+150V

備注:除上述規(guī)格外，我公司也可以依據(jù)客戶要求定制

pstl50系列封裝壓電陶瓷致動(dòng)器

pstl50系列封裝開/閉環(huán)壓電陶瓷致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電壓為:-3

0V-+150V,閉環(huán)使用建議:-10V~+120V,驅(qū)動(dòng)電壓負(fù)

壓過大會(huì)使壓電陶瓷反向極化,用戶使用時(shí)負(fù)壓不要超過-30

V.系

列

名稱

1

產(chǎn)品實(shí)圖

外形尺寸圖

輸出位移位接頭構(gòu)造

出廠標(biāo)準(zhǔn)配置

pstl50/5...VS10

z

接頭為沉孔M3深4mm（用戶可選擇Vbs類型）

z

閉環(huán)為兩引線輸出，線長(zhǎng)L5mmz電壓線接頭:BNCz

傳感器線：4芯航插

pstl50/7...VS12

z接頭為沉孔M3深4mm（用戶可選擇Vg、Vbs、pF類

1

Z閉環(huán)為兩引線輸出，線長(zhǎng)1.5mm

z

電壓線接頭:BNCz

傳感器線：4芯航插

pstl50/10...VS15

z

接頭為沉孔M4深4mm（用戶可選擇Vg、Vbs、pF類型）

z閉環(huán)為兩引線輸出,線長(zhǎng)1.5mm

z電壓線接頭:BNC

傳感器線：4芯航插

pstl50/15...VS20

z

接頭為沉孔M5深5mm（用戶可選擇Vg、Vbs、pF類型）z

i

閉環(huán)為兩引線輸出，線長(zhǎng)L5mm

z電壓線接頭:BNC

傳感器線：4芯航插

pstl50/20...VS25

z接頭為沉孔M6深4mm（用戶可選擇Vg、Vbs、pF類型）

閉環(huán)為兩引線輸出，線長(zhǎng)L5mm

z電壓線接頭:BNC

傳感器線：4芯航插

Pst系列壓電陶瓷致動(dòng)器選型參數(shù)表

納米級(jí)高精度壓電陶瓷位移XX

名稱

產(chǎn)品實(shí)圖

構(gòu)造說明應(yīng)用舉例

1

一維納米定位平XX

壓電陶瓷直推驅(qū)動(dòng)

材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

二維納米定位平XX

壓電陶瓷直推/構(gòu)造放大驅(qū)動(dòng)材料為超硬鋁或不銹鋼料材

具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

具有分體式和一體式構(gòu)造

一維重載納米定位平XX

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)

材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

1

一維Z軸納米定位平XX

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)

材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

三維納米定位平XX

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)

材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

微動(dòng)測(cè)一維測(cè)位頭/三維測(cè)位頭

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)

材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

六自由度并聯(lián)機(jī)器人壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)

材料為超硬鋁或不銹鋼料材具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

1

名稱：一維納米定位平XX

產(chǎn)品特性高速響應(yīng)；

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);重復(fù)定位精度高；

納米級(jí)位移區(qū)分率;機(jī)體材料分鋁合金和鈦合金;

具有開環(huán)和閉環(huán)兩種；承受數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)格

保證構(gòu)結(jié)精度；標(biāo)準(zhǔn)型-k微小型-W承受計(jì)算機(jī)有限元仿真分

析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)構(gòu)造；承受先進(jìn)的外表處理工藝，提

高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的力量。

選型說明：例如：RB110SKR:公司名稱B:產(chǎn)品系列

1：輸出維數(shù)，1維

10:最大行程量10,單位微米

S:閉環(huán)選擇，開環(huán)無

K:標(biāo)準(zhǔn)型,W代表微小型

材料：超硬鋁合金

閉環(huán)：含反響傳感器輸出線

B系列一維納米級(jí)周密定位工作XX外形尺寸參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn)型-k尺寸參數(shù)

型號(hào)

1

RB110SRB125SRB15OSRB11OOSRB115OSRB1200S

單位

序號(hào)

130x130

mm

100x100

I62x62

88x52114x114

mmII52x52

mm

55x5565x65

HI40x40

IV4-M3深104-M4深104-M4深10mm

mmV32x32

45x4540x40

2222

mmVI22

mm

2020

VID20

mmVII8

810

1

X4-(p84-cp84-(plOmm

IX4-(p4.5cp4.5(p5.5mmrry

微小型-W外形構(gòu)造尺寸如以下

圖

名稱：二維納米定位平XX

產(chǎn)品特性

高速響應(yīng)；

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)；

較高的重復(fù)定位精度;納米級(jí)位移區(qū)分率;

機(jī)體材料分鋁合金和鈦合金;具有開環(huán)和閉環(huán)兩種；

承受數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;分體組

合式-F一體式-Q承受計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方

法設(shè)計(jì)微動(dòng)構(gòu)造；承受先進(jìn)的外表處理工藝，提高了適應(yīng)不同

工作環(huán)境的力量。

選型說明：

例如：RB210SFR:公司名稱B:產(chǎn)品系列2:

輸出維數(shù)，2維，X軸和Y軸10:最大行程量10,單

1

位微米

s:閉環(huán)選擇，開環(huán)無

F:分體組合型，Q代表一體式構(gòu)造

材料：超硬鋁合金

閉環(huán)：含反響傳感器輸出線

T本式-Q構(gòu)造尺寸圖如下

高速響應(yīng)；

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)；

較高的重復(fù)定位精度；

納米級(jí)位移區(qū)分率;機(jī)體材料分鋁合金和鈦合金;

具有開環(huán)和閉環(huán)兩種；

承受數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;承受計(jì)

算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)構(gòu)造；承受先進(jìn)

的外表處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的力量

1

高速響應(yīng);

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)；

較高的重復(fù)定位精度;納米級(jí)位移區(qū)分率；

機(jī)體材料分鋁合金和鈦合金;具有開環(huán)和閉環(huán)兩種；

承受數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;承受計(jì)

算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)構(gòu)造；承受先進(jìn)

的外表處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的力量

Z

名稱：三維納米定位平XX

1

由一維XX組合為三維

由一體二維XX和一維z軸XX組合為三維X、y、zX、

V、z

20x20x2050x50x50

20x20x2050x50x5017x17x17

45x45x4517x17x17

45x45x45LVDT（電感）LV

DT（電感）

高速響應(yīng)；

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)；

較高的重復(fù)定位精度;納米級(jí)位移區(qū)分率；

名稱：微動(dòng)測(cè)位頭

產(chǎn)品特性

本產(chǎn)品構(gòu)造由宏動(dòng)和微動(dòng)輸出組合產(chǎn)品；手動(dòng)行程可到

50mm

構(gòu)造可分不銹鋼或鋁合金構(gòu)造；

可分X軸/XY軸/XYZ軸組合；

納米級(jí)位移區(qū)分率;具有開環(huán)和閉環(huán)兩種；

1

承受數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度；RB1系

列RB3系列承受計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)

微動(dòng)構(gòu)造；承受先進(jìn)的外表處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)

境的力量

z

名稱：六自由度并聯(lián)機(jī)器人

微動(dòng)六自由度并聯(lián)機(jī)器人宏動(dòng)六自由度并聯(lián)機(jī)器人

X、Y、Z、皈By、BzX、Y、Z、皈By、6z定位參數(shù)

X=20pmxY=20X=10mmsY=10mm

9x=±2\9y=±2\0z=±2°

高速響應(yīng),壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)或直流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)；較高的重復(fù)

定位精度,納米級(jí)位移區(qū)分率；承受數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)

格保證構(gòu)結(jié)精度；

承受計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)構(gòu)造；

配套操縱器，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)六維XX（型號(hào)：RE56

1

壓電陶瓷偏擺XX

名稱產(chǎn)品實(shí)圖構(gòu)造說明應(yīng)用舉例

一維壓電偏

擺XX

壓電陶瓷直推驅(qū)動(dòng)

材料為超硬鋁或不銹鋼料材

具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

二維壓電偏

擺XX

壓電陶瓷直推/構(gòu)造放大驅(qū)動(dòng)

材料為超硬鋁或不銹鋼料材

具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

一維重載納

1

米定位平XX

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)

材料為超硬鋁或不銹鋼料材

具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

一維Z軸納

米定位平XX

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)

材料為超硬鋁或不銹鋼料材

具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

三維納米定

位平XX

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)

材料為超硬鋁或不銹鋼料材

具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

微動(dòng)測(cè)一維

測(cè)位頭/三

維測(cè)位頭

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)

材料為超硬鋁或不銹鋼料材

具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

六自由度并

聯(lián)機(jī)器人

1

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)

材料為超硬鋁或不銹鋼料材

具有開環(huán)或閉環(huán)操縱

壓電陶瓷傾斜XX機(jī)械構(gòu)造及驅(qū)動(dòng)

I.一維傾斜XX

軸向剖視示意圖

構(gòu)造

驅(qū)動(dòng)電路與計(jì)算方法

承受單支壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)

輸出xx面中端柔性較鏈變形輸出一維擺角：ex：PZT輸

出位移量:壓電陶瓷與中線的距離

0X=/

2.二維傾斜XX

XX面壓電陶瓷安裝位置示意圖

構(gòu)造

驅(qū)動(dòng)電路與計(jì)算方法

1

承受四支壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)輸出XX面二層柔性較鏈變形輸出

二維擺角：BY、ex:1號(hào)PZT輸出位移量B:2號(hào)PZT輸出位

移量03號(hào)PZT輸出位移量D:4號(hào)PZT輸出位移量：壓電陶

瓷中心位置直徑

0Y=(+D)/0X=(B+C)/

3.三維傾斜XX

XX面壓電陶瓷安裝位置示意圖

構(gòu)造

驅(qū)動(dòng)電路與計(jì)算方法

承受三支壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)輸出XX面二層柔性較鏈變形三支

壓電陶瓷在120。角均布輸出二維擺角：SY、ex輸出z維平

移距離:Z:1號(hào)PZT輸出位移量B:2號(hào)PZT輸出位移量03

號(hào)PZT輸出位移量：1號(hào)與2號(hào)的垂直中線距離

b:2號(hào)與3號(hào)的垂直中線距離

1

0Y=2-(B+O/20X=(B-C)/bZ=(+B+

C)/3

三腳架驅(qū)動(dòng)傾斜式系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)平XX面由三支壓電致動(dòng)器驅(qū)

動(dòng)，以120。角平分到另一個(gè)驅(qū)動(dòng)位置，承受坐標(biāo)變換，運(yùn)動(dòng)可

以分不同機(jī)構(gòu)之間的。除了傾斜的平XX,也可以使用線性z方

向，這是很重要的，例如，用于校正的光學(xué)路徑長(zhǎng)度

四腳差分壓電驅(qū)動(dòng)的傾斜系統(tǒng)平XX由兩對(duì)壓電致動(dòng)器位于

90。角到另一個(gè)驅(qū)動(dòng)位置，四執(zhí)行機(jī)構(gòu)都是成對(duì)的差異操縱，依

據(jù)不同的傾斜方向。軸傾斜0X和9Y正交布置使坐標(biāo)變換是沒

有必要的。這一結(jié)論在線性和角度定位具有很好的穩(wěn)定范圍。

傾斜角操縱系統(tǒng)的最大工作頻率在很大程度上取決于它的

機(jī)械響應(yīng)頻率與功率放大器的性能，操縱器和傳感器也很重要。系

統(tǒng)的組合

由傾斜角平XX面和鏡，需要計(jì)算反射鏡基板的第一諧振頻

率的有效慣性矩。

圓形反射鏡的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量：

矩形反射鏡的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量：

解釋：

1

m=鏡子重量[g]

Im二鏡子的慣性矩gxmm2]

L二鏡子長(zhǎng)度垂直傾斜軸[mm]

H=鏡子厚度[mm]

T二樞軸點(diǎn)平XX外表的距離[mm]

R二鏡半徑[mm]

該系統(tǒng)的響應(yīng)頻率計(jì)算和慣性矩

使用下面的公式的反射鏡基板：

有鏡子的壓頭/傾斜系統(tǒng)諧振頻率

f”二帶鏡子的平XX諧振頻率

[Hz]fO二平XX諧振頻率沒有鏡

子[Hz]

10二慣性平XX的時(shí)刻(seetechnicldt)[gxmm2]]

IM二鏡子慣的性矩[gxmm2]

z@S:集成反響傳感器確定位移測(cè)量，使用傳感器類型:SGS

〔應(yīng)變式傳感器〕，SGS供給位置信息給操縱器。

z@XO:開環(huán)驅(qū)動(dòng)0?120V工作電壓典型的開環(huán)傾斜角度。

最大工作電壓范圍為-20?+150Vo

z@XC:閉環(huán)操作操縱器具有-20至+150V的輸出電壓范

圍，以供給足夠的輸出傾斜角余量，操縱器用來補(bǔ)償負(fù)載的變化等。

z@XOR:開環(huán)區(qū)分率操作，指驅(qū)動(dòng)電源最小輸出電壓值驅(qū)動(dòng)

1

壓電陶瓷帶動(dòng)傳動(dòng)機(jī)械所產(chǎn)生的最小直線位移或最小擺角值。

z@XCR:閉環(huán)區(qū)分率操作，指操縱器反響信號(hào)的最小值，主

要取決反響傳器的采集最小值。

z@P精度指給定位移輸出和實(shí)際位移輸出的差值。

z@R重復(fù)定位精度指從初始運(yùn)動(dòng)起點(diǎn)開頭連續(xù)運(yùn)行屢次輸

出位移后返回初始運(yùn)動(dòng)起點(diǎn)，兩次初始運(yùn)動(dòng)起點(diǎn)位移差值，差值大

小取決于屢次運(yùn)行精度誤差的累積值和機(jī)械與測(cè)量?jī)x器的精度

值。

z@L線性度實(shí)際輸出的校準(zhǔn)直線與給定直線間的最大偏差

〔△X最大偏差二X實(shí)際-X理論〕與滿量程輸出〔X〕的百分比，

稱為線性度〔線性度又稱為"非線性誤差〃〕，該值越小，說明線

性特性越好。表示為公式如下：b線性度二AX最大偏差/X滿量

程*100%。

XX://.docsj/doc/40ef02bl58d0116dl7492e.html

名稱：一維傾斜XX

產(chǎn)品特性

高速響應(yīng)；

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);重復(fù)定位精度高;納米級(jí)位移區(qū)分率；

機(jī)體材料分鋁合金和鈦合金;具有開環(huán)和閉環(huán)兩種；

承受數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;承受計(jì)

算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)構(gòu)造；承受先進(jìn)

的外表處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的力量。

1

型號(hào)

類型參數(shù)

RC124RC124SRC150RC150SRC150D注解

開環(huán)

閉環(huán)

開環(huán)

閉環(huán)

開環(huán)

輸出軸方向0X

exexexex

反響傳感器類型

——SGS——SGS——@Sex開環(huán)擺角(0V?120V)

[mrd]±10%2.52.555±5@XO

ex.閉環(huán)擺角范圍[mrd]——2——4.5——@XC0X

開環(huán)擺角區(qū)分率[prd]0.050.050.10.10.2@XOR0X.閉環(huán)

擺角區(qū)分率[prd]0.10.10.10.10.2@XCR輸出線性度%

0.20.2

精度[Mrd]--±1--±1—-重復(fù)定位精度[|J

rd]——±3——±1——空載響應(yīng)頻率[KHz]44444共

1

振頻率仰15x4毫米玻璃鏡[kHz±20%]2.52.52.52.5100

共振頻率/(pl5x4毫米銅鏡子[kHz±20%]2.22.22.2

2.2±3.5陶瓷輸出支點(diǎn)與輸出XX面距離[mm]±0.56666

10輸出XX面的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量[g?mm2]230230310310450

驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷型號(hào)

--------------電容量[MF]±20%5005001000

10003x200動(dòng)態(tài)工作電流系數(shù)±200.10.10.1

機(jī)體材料鋁合金/Invr

鋁合金/Invr鋁

合

金

/Invr

鋁合金/Invr

合金鋁/Invr

電壓聯(lián)接

——工作溫度范圍[℃]-20780-20780-20780-20780

-20-70

電纜長(zhǎng)度[m]1.51.51.51.52電壓接口連接器BNC

BNCBNCBNCBNC傳感接口連接器

--四芯航插

1

--四芯航插

--重量〔含電纜聯(lián)接器〕[Kg]

0.05

閉環(huán)/開環(huán)操縱器型號(hào)

RE51/RH11

電壓驅(qū)動(dòng)線一根反響傳感器一根

D4頁

名稱：二維傾斜XX

產(chǎn)品特性

高速響應(yīng)；

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)；

光束偏轉(zhuǎn)至10毫弧度，區(qū)分率為50nrd活塞運(yùn)動(dòng)到30

微米〔對(duì)于路徑長(zhǎng)度調(diào)整〕緊湊型三腳架設(shè)計(jì)帶共面軸消退偏

振旋轉(zhuǎn)亞毫秒響應(yīng)

閉環(huán)精度更高

為后視鏡到25毫米〔1"〕直徑

無摩擦，高精度柔性導(dǎo)向系統(tǒng)

并聯(lián)運(yùn)動(dòng)對(duì)增加動(dòng)力和更好的多軸精度

1

型號(hào)

類型參數(shù)RC330.2RC330.2SRC330.4RC330.4S

RC330.8RC330.8S

注解開環(huán)閉環(huán)開環(huán)閉環(huán)開環(huán)閉環(huán)

輸出軸方向6

X、BYBX、BYBX、BYBX、BYBX、BYBX、0Y

反響傳感器類型----4xSGS-----4xSGS-----4xSGS

exeY開環(huán)擺角(0V~150V)[mrd]±10%44881515

eXOY閉環(huán)擺角范圍[mrd]2.55.510

ex舊Y開環(huán)擺角區(qū)分率[prd]0.020.020.10.10.20.2

ex.6Y閉環(huán)擺角區(qū)分率[prd]-----0.05------0.25

_____0.5

輸出線性度%----±0.1——±0.2-----±0.25

精度Wr