透鏡和透鏡毛坯應(yīng)力探究

HindsInstrumentsExicor?系統(tǒng)可以測(cè)量世界上復(fù)雜光學(xué)設(shè)備中相關(guān)配件的應(yīng)力參數(shù)，例如光刻機(jī)系統(tǒng)中使用的一些光學(xué)器件。這些系統(tǒng)需要非常嚴(yán)格的低電平延遲量測(cè)量，Exicor能提供可重復(fù)和準(zhǔn)確的低延遲量測(cè)量。光學(xué)材料氟化鈣和熔石英生長(zhǎng)在圓柱形球體中。這些材料會(huì)被切割成直徑200-300mm的圓柱體。經(jīng)過滿意的應(yīng)力雙折射測(cè)量后，這些柱體便可以用來制作透鏡。

融石英

毛坯塊體

目前使用的許多光刻系統(tǒng)都是依賴于偏振光學(xué)。光以特定的偏振態(tài)穿過這些系統(tǒng)。一連串透鏡中的任何雙折射都可能改變光的偏振狀態(tài)，從而在偏光鏡被設(shè)置為接受預(yù)期偏振狀態(tài)的區(qū)域中降低強(qiáng)度。強(qiáng)度的變化可能意味著芯片的某些部分不能正確成像，這將對(duì)產(chǎn)量產(chǎn)生不利影響。在這種應(yīng)用中，雙折射的測(cè)量則尤為重要。HindsInstruments針對(duì)這些應(yīng)用開發(fā)研制出Exicor?OIA系統(tǒng)。HindsInstruemtnsExicor?OIA是功能強(qiáng)大的雙折射測(cè)量系統(tǒng)，用于評(píng)估透鏡，平面鏡片和彎曲鏡片從正常和斜入射角上。該系統(tǒng)基于HindsInstruments公司獲獎(jiǎng)的Exicor雙折射測(cè)量技術(shù)的光彈性調(diào)制器(PEM)。這種新一代雙折射測(cè)量系統(tǒng)為業(yè)界提供了分析和開發(fā)下一代光刻透鏡、透鏡毛坯和高價(jià)值珍貴光學(xué)器件的新能力。該系統(tǒng)利用PEMs來調(diào)制光束的偏振狀態(tài)，并利用先進(jìn)的探測(cè)和解調(diào)電子設(shè)備來測(cè)量光學(xué)器件如何改變偏振狀態(tài)。由此產(chǎn)生在測(cè)量一個(gè)偏振態(tài)相對(duì)于另一個(gè)偏振態(tài)在90°的光學(xué)延遲。雙折射和快軸角度方向，以及理論殘余應(yīng)力，可以基于這些數(shù)據(jù)進(jìn)行樣品評(píng)估。系統(tǒng)介紹：三光軸測(cè)量解決方案與精密平整陶瓷光源框架；X，Y，q,三軸樣品臺(tái)；可旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的光源和檢測(cè)器模塊；光軸1-OIADUV193

或OIAVIS633用于透鏡和平面鏡的斜入射角測(cè)量。該軸采用193nm源和檢測(cè)器模塊或632.8nm的HeNe源和檢測(cè)器模塊具有高達(dá)±50°OIA的旋轉(zhuǎn)范圍，具有至少±500mm的水平行程和半波長(zhǎng)延遲測(cè)量范圍(0nm至~95nmDUV,0nm至~300nmVIS)。光軸2-垂直掃描（與樣品臺(tái)垂直）平面鏡的法向入射評(píng)估。這個(gè)軸采用633nm光源和檢測(cè)器模塊固定在正常的樣品臺(tái)，至少有±500mm的水平行程和半波長(zhǎng)測(cè)量范圍(0nm~300nm)。光軸3（可選）-側(cè)面測(cè)量（90°于樣品臺(tái)）圓柱平面鏡側(cè)面的法向入射的測(cè)量。該軸采用633nm源和檢測(cè)器模塊與樣品臺(tái)平面平行固定，具有100mm以上的垂直行程并具有半波長(zhǎng)延遲測(cè)量范圍為(0nm~300nm)。光路示意圖X,Y,q

Stage–

樣品臺(tái)XY

掃描范圍

320mmx320mm

-接受400mm直徑的光學(xué)鏡片

Q

掃描范圍:0°to360°最大載重

:60Kg標(biāo)準(zhǔn)功能ExicorOIA軟件平面鏡和球面透鏡類型的自動(dòng)掃描采用手動(dòng)宏程序?qū)Ψ乔蛎孢M(jìn)行掃描延遲度和快軸角度的二維圖掃描統(tǒng)計(jì)信息樣品臺(tái)前向加載移動(dòng)(方便將樣品放入到樣品臺(tái)上)帶激光開關(guān)外殼安全鎖緊急關(guān)機(jī)按鈕系統(tǒng)狀態(tài)燈塔帶計(jì)算機(jī)和顯示器的用戶工作站基本參數(shù)可見光源延遲度范圍：

0

到300+nm紫外光源延遲度范圍：

0

到90+nm可見光源延遲度分辨率/

重復(fù)性:0.001nm/±0.03(不超過3nm,

其他為1%平均值)紫外光源延遲度分辨率/

重復(fù)性:0.001nm/±0.08nm(不超過4nm,

其他為2%平均值)延遲度精度:

好于

±0.2nm快軸角度分辨率/

重復(fù)性:0.01°/<±0.5°可見光源波長(zhǎng):