紫外相機(jī)的應(yīng)用

大家常見的工業(yè)相機(jī)有面陣相機(jī)、線掃相機(jī)，彩色相機(jī)、黑白相機(jī)，CCD相機(jī)、CMOS相機(jī)等種類。而工業(yè)相機(jī)的分類，根據(jù)芯片形式、芯片材質(zhì)、輸出圖像顏色等不同參考系，有多種標(biāo)準(zhǔn)不一的分類方式，如：按照光譜波段范圍的不同，可以分為可見光（普通）相機(jī)、紅外相機(jī)、紫外相機(jī)等，今天要介紹以及簡(jiǎn)析應(yīng)用的，是UV紫外相機(jī)：JAI-GO-8105M-5GE-UV。JAI-GO-8105M-5GE-UV

相機(jī)展示機(jī)器視覺應(yīng)用將紫外線劃分為三個(gè)波段，分別是：UVA、UVB、UVC。UVA位于紫外波譜中波長(zhǎng)最長(zhǎng)的區(qū)域，在320-400nm，能被一些靈敏度有限的可見光相機(jī)觀測(cè)到。UVB的波長(zhǎng)范圍為280-320nm，需要使用靈敏度更高且觀測(cè)更精細(xì)的專業(yè)紫外相機(jī)觀測(cè)。最后是UVC，該波段的波長(zhǎng)是三者中最短的，為100-280nm。JAI-GO-8105M-5GE-UV采用的是最先進(jìn)的索尼PregiusS背照（BSI）技術(shù)傳感器，保證了良好的通光量，幫助其在縮減相機(jī)體積的同時(shí)，確保相機(jī)的量子效率表現(xiàn)。相機(jī)在200nm波段的量子效率高于25%，整個(gè)UVA和UVB波段的量子效率在40%-50%之間。在保證高量子效率的同時(shí)，JAI-GO-8105M-5GE-UV還兼顧小巧可靠、高幀率（5GBASE-TGigEVision–66FPS）、高穩(wěn)定性等特點(diǎn)。相較于那些價(jià)格高昂的科研紫外相機(jī)來說，JAI-GO-8105M-5GE-UV無疑是一個(gè)很有吸引力的選擇。JAI-GO-8105M-5GE-UV量子效率GO-8105M-5GE-UV提供從1000nm到200nm及以下的廣泛光譜靈敏度，又兼顧高穩(wěn)定性高可靠性，確保它可以勝任食品藥品、安全印刷、電子缺陷等多維度、多行業(yè)的差異化、多樣化的檢測(cè)需求。那么具體到各行各業(yè)，在實(shí)際的應(yīng)用場(chǎng)景中，UV相機(jī)有著怎樣的應(yīng)用和優(yōu)勢(shì)？應(yīng)用在晶圓制造以及檢測(cè)方面的應(yīng)用有：裸晶圓檢測(cè)、圖案晶圓檢查、光掩模對(duì)準(zhǔn)以及晶圓鍵合等。圖案晶圓檢查：圖案晶圓的檢測(cè)對(duì)象主要是晶圓表面在進(jìn)行圖案光刻時(shí)可能產(chǎn)生的缺陷或錯(cuò)誤，例如，晶圓表面上圖案的缺陷、錯(cuò)位以及特征缺失等。利用晶圓表面的圖案和周圍材料對(duì)紫外線的反射或吸收程度不同的特性，配合算法分析圖像，可以更加準(zhǔn)確地確定晶圓上缺陷的大小、形狀和位置。裸片晶圓圖案晶圓檢查光掩模對(duì)準(zhǔn)：光刻機(jī)在刻蝕圖形時(shí)采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩模版（印制了需要蝕刻圖案的光敏記錄材料）上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。在此過程中，借由光掩模和晶圓表面未對(duì)準(zhǔn)而導(dǎo)致對(duì)紫外線反射或吸收程度差異的特性，可以使用紫外相機(jī)拍攝被照亮的光掩模，然后對(duì)高分辨率圖像進(jìn)行分析計(jì)算模版對(duì)準(zhǔn)情況。光刻因此，充分利用上述分析各應(yīng)用場(chǎng)景的紫外特性，增加或使用紫外光源、紫外相機(jī)模組，捕捉晶圓表面的高分辨率圖像，使用圖像處理算法進(jìn)行圖像分析，可以對(duì)各種缺陷進(jìn)行識(shí)別和分類，有效提高污染或者缺陷檢出率，綜合提升設(shè)備可靠性和專業(yè)性，精準(zhǔn)解決終端制造檢測(cè)的難點(diǎn)和痛點(diǎn)。除此之外，紫外在其他行業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)也是顯而易見的。電子產(chǎn)品和電弧/電暈檢查。電弧/電暈本質(zhì)都是大氣壓下的空氣放電,空氣中的電子在不均勻的高強(qiáng)度電場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)，擊穿空氣，在放電的過程中會(huì)伴隨著產(chǎn)生光、聲、臭氧、熱量以及化學(xué)物質(zhì)等。目前，除了利用超聲波檢測(cè)技術(shù)、紅外熱像檢測(cè)技術(shù)，紫外特性也越來越被重視，利用紫外光學(xué)成像系統(tǒng)，不僅可以直接觀察電弧/電暈的放電位置，還可以獲知電弧/電暈的強(qiáng)度情況，獲得電力設(shè)備的放電分布與強(qiáng)度等多方位的信息。

a.紫外通道

b.可見光通道醫(yī)療領(lǐng)域，真菌或者細(xì)菌對(duì)紫外線較為敏感，在紫外環(huán)境下會(huì)發(fā)出各種顏色的熒光。紫外線還可凸顯皮膚色素（黑色素），使色素更加清晰可見。如白癜風(fēng)，白癜風(fēng)色素缺失在紫外環(huán)境下發(fā)象牙白色熒光，而色素減退皮損則不發(fā)光。癬在紫外環(huán)境下發(fā)出特征性亮橙紅色熒光，由犬微孢子菌和頭癬小孢霉菌引起的頭癬會(huì)發(fā)出亮綠色熒光。而皮膚假單胞菌Pseudomonas感染（如燒傷患者）早期，則有綠色熒光的特性。利用這些特性搭建紫外檢測(cè)環(huán)境以及系統(tǒng)設(shè)備，配合優(yōu)秀的算法進(jìn)行查找識(shí)別，患者的檢查體驗(yàn)或許會(huì)變得更加奇妙。凸顯色素安全印刷方面，銀行票據(jù)、護(hù)照、彩票和其他類似物品的特殊安全標(biāo)記，僅在紫外光譜下可見。紫外標(biāo)識(shí)充分利用被檢測(cè)物在紫外環(huán)境中的差異化反應(yīng)，增加或使用紫外檢測(cè)系統(tǒng)，能夠使目標(biāo)物體更加明顯、更加易查找，使檢出缺陷更加突出、更加具有辨識(shí)度，從而助力實(shí)現(xiàn)最終的檢測(cè)目標(biāo)。毫無疑問，UV相機(jī)是UV檢測(cè)系統(tǒng)