四探針?lè)椒y(cè)電阻率

四探針?lè)椒y(cè)電阻率〈一〉實(shí)驗(yàn)?zāi)康谩炊祵?shí)驗(yàn)原理〈三〉實(shí)驗(yàn)步驟〈四〉注意事項(xiàng)〈五〉心得體會(huì)<一>實(shí)驗(yàn)?zāi)康?、測(cè)量不規(guī)則半導(dǎo)體電阻率2、驗(yàn)證四探針?lè)ㄐ拚嚼硐肭闆r下,四根探針位于樣品中央,電流從探針1流入,從探針4流出,則可將1與4探針認(rèn)為就是點(diǎn)電流源。2、3探針得電位差為:半無(wú)窮大樣品點(diǎn)電流源得半球等位面

<二>實(shí)驗(yàn)原理由此可得出樣品得電阻率為:

簿片電阻率測(cè)量簿片樣品因?yàn)槠浜穸扰c探針間距比較,不能忽略,測(cè)量時(shí)要提供樣品得厚度形狀與測(cè)量位置得修正系數(shù)。下面考慮一般情況下得修正:當(dāng)圓形硅片得厚度滿足W/S＜0、5時(shí),電阻率為:

這就就是我們實(shí)驗(yàn)時(shí)用到得公式下面通過(guò)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)驗(yàn)證該修正公式得正確性:<三>實(shí)驗(yàn)步驟1、測(cè)試準(zhǔn)備:電源開(kāi)關(guān)置于斷開(kāi)位置,工作選擇置于“短路”,電流開(kāi)關(guān)處于彈出切斷位置。將測(cè)試樣品放在樣品架上,調(diào)節(jié)高度手輪,使探針能與其表面保持良好接觸。2、打開(kāi)電源并預(yù)熱１小時(shí)。3、極性開(kāi)關(guān)置于上方,工作狀態(tài)選擇開(kāi)關(guān)置于“短路”,撥動(dòng)電流與電壓量程開(kāi)關(guān),置于樣品測(cè)量所合適得電流、電壓量程范圍。調(diào)節(jié)電壓表得粗調(diào)細(xì)調(diào)調(diào)零,使顯示為零。顯示板2、單位顯示燈3、電流量程開(kāi)關(guān)4、工作選擇開(kāi)關(guān)(短路、測(cè)量、調(diào)節(jié)、自校選擇)5、電壓量程開(kāi)關(guān)6、輸入插座7、調(diào)零細(xì)調(diào)8、調(diào)零粗調(diào)9、電流調(diào)節(jié)10、電源開(kāi)關(guān)11、電流選擇開(kāi)關(guān)12、極性開(kāi)關(guān)12大家應(yīng)該也有點(diǎn)累了，稍作休息大家有疑問(wèn)的，可以詢問(wèn)和交流6、工作狀態(tài)選擇開(kāi)關(guān)置于“測(cè)量”,按下電流開(kāi)關(guān)輸出恒定電流,即可由數(shù)字顯示板與單位顯示燈直接讀出測(cè)量值。再將極性開(kāi)關(guān)撥至下方(負(fù)極性),按下電流開(kāi),讀出測(cè)量值,將兩次測(cè)量值取平均,即為樣品在該處得電阻率值。關(guān)如果“±”極性發(fā)出閃爍信號(hào),則測(cè)量數(shù)值已超過(guò)此電壓量程,應(yīng)將電壓量程開(kāi)關(guān)撥到更高檔,讀數(shù)后

退出電流開(kāi)關(guān),數(shù)字顯示恢復(fù)到零位、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)通過(guò)修正公式修正后,得到:與實(shí)驗(yàn)預(yù)期結(jié)果相吻合,因此該驗(yàn)證公式較為理想。<五>注意事項(xiàng)1、電流量程開(kāi)關(guān)與電壓量程開(kāi)關(guān)必須放在下表所列得任一組對(duì)應(yīng)得量程電壓量程2V200mV20mV2mV0、2mV電流量程100mA10mA1mA100μA10μA2、電阻(V/I)測(cè)量,用四端測(cè)量夾