JJF(浙) 1194-2022 閃影像測量儀校準規(guī)范

JJF（浙）1194-2022閃測影像測量儀校準規(guī)范閃測影像測量儀校準規(guī)范JJF（浙）1194-2022I 2 2 2 2 2 4 6 11JJF（浙）1194-2022JJF1094-2002《測量儀器特性評定求和試驗方法。JJF（浙）1194-20221閃測影像測量儀校準規(guī)范注：閃測影像測量儀的工作臺可移動時的二維探測誤差為PM；閃測影像測量儀的工作臺不可移動的二維探測誤差為PS。圖1閃測影像測量儀結構示意圖閃測影像測量儀又稱一鍵式影像測量儀，簡稱閃測儀，是由上下光源、高像素CCD/CMOS相機、大視角大景深遠心鏡頭、不可移動工作臺或可移動工作臺組成，包括廣JJF（浙）1194-20222），表1計量特性序號計量特性測量設備1二維探測誤差（PM，PS）圓形靶標2尺寸測量誤差（EXY）線紋尺，一維點陣掩膜版，二維點陣掩膜版3測量重復性注：以上測量設備可在滿足閃測影像測量儀校準要求的前提下選擇使用。6.1.3儀器測量室內應無影響測量的灰塵、噪音、振動表2測量標準及其他設備序號設備名稱技術要求1圓形靶標圓度不超過1/4MPEPS2線紋尺不確定度不大于1/4MPEEXY3一維點陣掩膜版不確定度不大于1/4MPEEXY4二維點陣掩膜版不確定度不大于1/4MPEEXYJJF（浙）1194-202237.1.1二維探測誤差PM圖2PM測量示意圖半徑Ri，Rmax-Rmin即為探測誤差PM。圖3PS測量示意圖半徑Ri，Rmax-Rmin即為探測誤差PS。JJF（浙）1194-202241選擇廣視野測量模式下進行校準。2當閃測影像測量儀的工作臺可移動時，校準二維探測誤差PM與PS；當閃測影像測量儀的工作臺不可移動時，只校準二維探測誤差PS。當使用線紋尺作為測量標準時，在工作臺面上應選擇4個位置注：可根據用戶需要選擇任意位置作為測量位置。圖4測量位置示意圖每個位置測量不少于3個間隔，最小測量間隔軸與Y軸方向最大測量間隔不小于該測量位置測量行程的90%，對角線X+Y與X-Y方向定的線紋間隔進行測量。三次測得值的平均值與JJF（浙）1194-202251如閃測影像測量儀具有廣視野與高精度兩種測量模式，則需校準兩種測量模式的尺寸測量誤差。2當閃測影像測量儀工作臺可移動時，按7.2.3的方法測量拼接模式下尺寸測量誤差。s——重復性,mm；Li——第i次的讀數值，mm； n——測量次數，n=10。1如閃測影像測量儀具有廣視野與高精度兩種測量模式，則需校準兩種測量模式的測量重復性。2當閃測影像測量儀工作臺可移動時，按7.3的方法測量拼接模式下測量重復性。準證書至少應包括JJF1071-2010《國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》5.12條款中的信息。校準JJF（浙）1194-2022A.1二維探測誤差RRmin（mm）1PM2PSA.2測量平面內的尺寸測量誤差A.2.1廣視野模式：EXY測量值（mm）測量值平均值標稱值示值誤差123XYX+YX-YA.2.2廣視野模式拼接：EXY測量值（mm）測量值平均值標稱值示值誤差123X7YX+YX-YA.2.3高精度模式：EXY測量值（mm）測量值平均值標稱值示值誤差123XYX+YX-YA.2.4高精度模式拼接：EXY測量值（mm）測量值平均值標稱值示值誤差123XYX+YX-YA.3測量重復性A.3.1廣視野模式：序號12345測量值（mm）序號6789測量值（mm）A.3.2廣視野模式拼接：序號12345測量值（mm）序號6789測量值（mm）9A.3.3高精度模式：序號12345測量值（mm）序號6789測量值（mm）A.3.4高精度模式拼接：序號12345測量值（mm）序號6789測量值（mm）JJF1194-2022B.1二維探測誤差1PM2PSB.2尺寸測量誤差EXY廣視野模式廣視野模式拼接高精度模式高精度模式拼接測量值平均值示值誤差測量值平均值示值誤差測量值平均值示值誤差測量值平均值示值誤差XYX+YX-YB.3測量重復性測量重復性（mm）1廣視野模式2廣視野模式拼接3高精度模式4高精度模式拼接Δ=L-l（C.1）式中：Δ--------閃測影像測量儀測量平面內的尺寸示值誤差；（C.2）a)測量重復性引入的標準不確定度分量u1；b)閃測影像測量儀分辨力引入的標準不確定度分量u2；c)標準玻璃線紋尺引入的標準不確定度分量u3；d)閃測影像測量儀光柵尺與標準玻璃線紋尺線膨脹系數差引入的標準不確定度分量u4；JJF1194-2022實驗標準偏差=0.33μm依據標準玻璃線紋尺的證書，其測量不確定度為U=(0.20+1.5L)μm，(L-m)k=3，取JJF1194-2022表C.1標準不確定度一覽表輸入標準不確定度分量u(xi)不確定度分量來源不確定度分量值