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XX公司第1共6頁(yè)1材料溶化，用直拉法生長(zhǎng)單晶的設(shè)備。900118"60Kg6"8"的（1201型爐，采用18”或20”熱場(chǎng)，投料量最大120Kg,,可拉制6"~10"）本設(shè)備在性能和控制上都進(jìn)行了改進(jìn)。在機(jī)械結(jié)構(gòu)方面采用了先進(jìn)的磁流體密封技術(shù)、拱形190g的不銹鋼絲繩。主要技術(shù)數(shù)據(jù) 9001 1201電 3相 3相變壓器容量 230加熱器最大加熱功率 150加熱器最高加熱電壓 最高加熱溫度 冷爐極限真空度 晶體直徑 熔料量 主爐室尺寸 旋閥通徑 副爐室尺寸 籽晶拉速范圍 籽晶快速 籽晶轉(zhuǎn)速范圍 編制校對(duì)批準(zhǔn)簽名簽名日期第 共6坩堝升速范圍 坩堝快速 坩堝轉(zhuǎn)速范圍 籽晶提升有效行程 坩堝升降有效行程 主機(jī)占地面積 3.22.主機(jī)最大高度 室 相對(duì)濕 外界振 當(dāng)大于10HZ時(shí)，振幅應(yīng)小于壓力 第 共6流量 ≥20m3PH值 電阻值 電壓：3氬氣純度 5.第 共6第 共655℃時(shí)，給出報(bào)警信號(hào)。第 共620～30

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