《半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明

CEMIA團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液》（征求意見(jiàn)稿）編制說(shuō)明工作簡(jiǎn)況任務(wù)來(lái)源國(guó)內(nèi)面板行業(yè)的崛起，推動(dòng)國(guó)內(nèi)濕電子化學(xué)品需求增長(zhǎng)提速。近十年來(lái)，濕電子化學(xué)品也已成為我國(guó)化學(xué)工業(yè)中一個(gè)重要的獨(dú)立分支和新增長(zhǎng)點(diǎn)。雖然國(guó)家大力支持新型顯示行業(yè)的發(fā)展，但是濕電子化學(xué)品的國(guó)產(chǎn)化率還有待提升，目前大多企業(yè)還是選擇國(guó)外濕電子化學(xué)品。其原材料國(guó)外進(jìn)口，價(jià)格高，在技術(shù)封鎖和疫情等不確定因素下，有斷供風(fēng)險(xiǎn)。而高堿濃度負(fù)膠顯影液國(guó)產(chǎn)化解決了“卡脖子”問(wèn)題。目前也有許多企業(yè)在進(jìn)行高堿濃度負(fù)膠顯影液的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)，但是我國(guó)還沒(méi)有高堿濃度負(fù)膠顯影液的標(biāo)準(zhǔn)給企業(yè)的生產(chǎn)和質(zhì)量的監(jiān)督帶來(lái)不便，為了提高產(chǎn)品質(zhì)量，規(guī)范產(chǎn)品檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，保障企業(yè)生產(chǎn)人員的生命安全，促進(jìn)行業(yè)安全有序發(fā)展，需要制定高堿濃度顯影液產(chǎn)品行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。建立“高堿濃度顯影液”團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，可以規(guī)范行業(yè)高堿濃度負(fù)膠顯影液的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，提高顯影液的生產(chǎn)質(zhì)量，滿足濕電子化學(xué)品的高要求，加快了新型顯示行業(yè)的發(fā)展進(jìn)程。2022年9月19日，中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)下發(fā)了《<有機(jī)發(fā)光二極管顯示用有機(jī)材料軌道能級(jí)測(cè)試循環(huán)伏安法>等四項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)上公示并公開(kāi)征集參與單位的公告》（中電材協(xié)2022第11號(hào)）。下達(dá)項(xiàng)目中，福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱佑達(dá)）牽頭承擔(dān)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目《半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液》，項(xiàng)目計(jì)劃編號(hào)：CEMIA2022-1-03。參與該團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)制修訂工作的單位還有：福州大學(xué)、福建華佳彩有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)提出并歸口。目前已完成工作調(diào)研佑達(dá)于2022年1月開(kāi)始收集國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液相關(guān)技術(shù)資料并進(jìn)行對(duì)比分析，總結(jié)佑達(dá)長(zhǎng)期以來(lái)對(duì)濕電子化學(xué)品，尤其是負(fù)膠顯影液的實(shí)際技術(shù)和產(chǎn)品質(zhì)量狀況，了解國(guó)內(nèi)外相關(guān)行業(yè)技術(shù)情況，為制定標(biāo)準(zhǔn)打下了良好基礎(chǔ)。標(biāo)準(zhǔn)啟動(dòng)會(huì)2022年2月佑達(dá)組織本公司相關(guān)技術(shù)、生產(chǎn)、質(zhì)量及銷售人員召開(kāi)了本標(biāo)準(zhǔn)的啟動(dòng)會(huì)議，標(biāo)準(zhǔn)啟動(dòng)會(huì)上相關(guān)人員介紹了半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液的國(guó)內(nèi)外狀況、行業(yè)發(fā)展動(dòng)向，技術(shù)、質(zhì)量和生產(chǎn)人員介紹了半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液的產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)及其一般檢測(cè)方法等。會(huì)議最終確定了本標(biāo)準(zhǔn)中編寫確定的項(xiàng)目有：產(chǎn)品外觀、主要成分、色度、理化性能、顆粒數(shù)、陰離子雜質(zhì)含量和金屬雜質(zhì)含量等。起草標(biāo)準(zhǔn)草案2022年8月，佑達(dá)起草了本標(biāo)準(zhǔn)草案，并組織本單位及相關(guān)單位技術(shù)人員對(duì)標(biāo)準(zhǔn)草案進(jìn)行了討論。根據(jù)市場(chǎng)調(diào)研及實(shí)際情況分析，會(huì)議確定了本標(biāo)準(zhǔn)草案中編寫的項(xiàng)目有半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液的產(chǎn)品外觀、主要成分、色度、理化性能、顆粒數(shù)、陰離子雜質(zhì)含量和金屬雜質(zhì)含量等共計(jì)20余項(xiàng)。進(jìn)行驗(yàn)證試驗(yàn)本標(biāo)準(zhǔn)工作組收集了行業(yè)內(nèi)若干主要半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液供應(yīng)商在下游客戶端的應(yīng)用產(chǎn)品，采用本標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的方法進(jìn)行該產(chǎn)品所有相關(guān)指標(biāo)的驗(yàn)證。標(biāo)準(zhǔn)討論稿標(biāo)準(zhǔn)工作組于2022年9月完成標(biāo)準(zhǔn)討論稿，2022年9月中電材協(xié)組織相關(guān)技術(shù)人員對(duì)本標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)部討論稿進(jìn)行評(píng)審，評(píng)審確定本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的范圍、產(chǎn)品的具體技術(shù)要求及其具體檢驗(yàn)方法、產(chǎn)品的檢驗(yàn)規(guī)則，以及參考的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)等內(nèi)容。后續(xù)工作計(jì)劃標(biāo)準(zhǔn)工作組計(jì)劃于2023年6月完成征求意見(jiàn)稿，2023年7月完成送審稿，2023年8月完成報(bào)批稿。標(biāo)準(zhǔn)主要起草人及其所做的工作表1標(biāo)準(zhǔn)工作組姓名單位主要工作組長(zhǎng)田博福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司組織協(xié)調(diào)標(biāo)準(zhǔn)工作、起草制定、聯(lián)絡(luò)意見(jiàn)征集組員劉小勇福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司參與調(diào)研、資料收集、討論、匯總侯琳熙福州大學(xué)參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持姚慧君福建華佳彩有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持肖龍強(qiáng)福州大學(xué)參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持黃曉莉福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持黃子勗福建華佳彩有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持房龍翔福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持陳澤生福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司參與調(diào)研和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證肖小江福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持邱小真福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司參與調(diào)研和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證葉鑫煌福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司參與調(diào)研和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證李叢香福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司參與標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、討論和技術(shù)支持吳玲玲福建省佑達(dá)環(huán)保材料有限公司參與調(diào)研和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)編制原則和確定標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容編制原則本標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格遵照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的有關(guān)規(guī)定起草。標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容范圍（1）本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液的術(shù)語(yǔ)和定義、縮略語(yǔ)、技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和安全。術(shù)語(yǔ)和定義（2）本文件沒(méi)有需要界定的術(shù)語(yǔ)和定義?？s略語(yǔ)（3）下列縮略語(yǔ)適用于本文件。HDPE：HighDensityPolyethylene，高密度聚乙烯外觀及其檢驗(yàn)（4.1）半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液的外觀將能夠從直觀角度對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)進(jìn)行初步鑒定，根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液的外觀為透明澄清液體，并采用于50mL具塞比色管中，加入樣品，在自然光或日光燈下目測(cè)的方法進(jìn)行外觀檢測(cè)。主要化學(xué)成分及其檢驗(yàn)（4.2）半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液需要達(dá)到高純?cè)噭┑幕A(chǔ)要求，根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定主要化學(xué)成分氫氧化鉀的含量應(yīng)控制在8.38±0.10%的范圍內(nèi)。本標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)GB/T9725的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液中氫氧化鉀的含量。色度及其檢驗(yàn)（4.3）根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液的色度應(yīng)不大于50Hazen單位（Pt-Co色號(hào)）。本標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)GB/T3143檢驗(yàn)半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液的色度。顆粒數(shù)及其檢驗(yàn)（4.4）根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液顆粒直徑≥0.5μm的顆粒數(shù)應(yīng)不大于100pcs/mL。具體顆粒數(shù)的管控指標(biāo)可由供應(yīng)商和客戶協(xié)商決定。本標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)SJ/T11638檢驗(yàn)半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液的顆粒數(shù)。陰離子雜質(zhì)含量及其檢驗(yàn)（4.5）根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液中碳酸根含量≤50μg/g，氯離子含量≤1.0μg/g。具體陰離子雜質(zhì)的管控指標(biāo)可由供應(yīng)商和客戶協(xié)商決定。本標(biāo)準(zhǔn)碳酸根的檢測(cè)方法依據(jù)SJ/T11635-2016的規(guī)定進(jìn)行，氯離子的檢測(cè)方法根據(jù)GB/T34672的規(guī)定進(jìn)行。金屬雜質(zhì)含量及其檢驗(yàn)（4.6）根據(jù)客戶應(yīng)用指標(biāo)及行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)實(shí)際，本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液金屬雜質(zhì)含量應(yīng)不大于1.0μg/g。具體金屬雜質(zhì)的管控指標(biāo)可由供應(yīng)商與客戶協(xié)商決定本標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)SJ/T11508-2015中5.6的規(guī)定檢驗(yàn)半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液的金屬雜質(zhì)含量。主要試驗(yàn)（或驗(yàn)證）的分析、綜述報(bào)告，技術(shù)經(jīng)濟(jì)論證、預(yù)期的經(jīng)濟(jì)效果主要試驗(yàn)（或驗(yàn)證）的分析、綜述報(bào)告本標(biāo)準(zhǔn)各項(xiàng)指標(biāo)是根據(jù)市場(chǎng)供需情況總結(jié)出來(lái)的，并結(jié)合了從行業(yè)內(nèi)各相關(guān)企業(yè)收集獲得的技術(shù)資料，完全可以滿足半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液的應(yīng)用要求。主要對(duì)半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液的產(chǎn)品外觀、主要成分、色度、理化性能、顆粒數(shù)、陰離子雜質(zhì)含量和金屬雜質(zhì)含量等指標(biāo)進(jìn)行了試驗(yàn)。收集行業(yè)內(nèi)主要半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液供應(yīng)商在下游客戶端的應(yīng)用產(chǎn)品，采用本標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的方法進(jìn)行該產(chǎn)品所有相關(guān)指標(biāo)的檢驗(yàn)結(jié)果如下：表2半導(dǎo)體顯示用高堿濃度負(fù)膠顯影液樣品的檢驗(yàn)結(jié)果項(xiàng)目指標(biāo)#1#2#3#4#5#6#7#8氫氧化鉀，ω/（wt%）8.38±0.108.368.378.368.368.408.398.388.37色度/Hazen單位（Pt-Co色號(hào)）≤50<50<50<50<50<50<50<50<50顆粒（≥0.5μm）/（pcs/mL）≤1005055306044385243碳酸根（CO32-），ω/（μg/g）≤5013.6517.5414.778.4423.0918.3416.768.26氯離子（Cl-），ω/（μg/g）≤1.00.020.150.090.090.030.050.030.06銀（Ag），ω/（μg/g）≤1.00.130.130.110.220.110.190.230.16鋁（Al），ω/（μg/g）≤1.00.290.240.170.310.250.190.280.05砷（As），ω/（μg/g）≤1.00.160.020.210.190.280.190.190.29金（Au），ω/（μg/g）≤1.00.130.110.260.020.100.150.130.14硼（B），ω/（μg/g）≤1.00.190.140.110.170.140.130.150.26鋇（Ba），ω/（μg/g）≤1.00.190.250.030.100.080.090.150.04鈹（Be），ω/（μg/g）≤1.00.130.110.190.110.100.150.180.13鉍（Bi），ω/（μg/g）≤1.00.090.170.040.190.150.190.130.18鈣（Ca），ω/（μg/g）≤1.00.270.120.220.110.160.140.150.09鎘（Cd），ω/（μg/g）≤1.00.120.260.090.110.160.160.040.20鈷（Co），ω/（μg/g）≤1.00.130.160.280.220.270.030.200.17鉻（Cr），ω/（μg/g）≤1.00.200.350.170.200.240.060.270.17銅（Cu），ω/（μg/g）≤1.00.140.250.100.170.050.240.050.12銻（Sb），ω/（μg/g）≤1.00.280.120.170.220.140.240.240.03鐵（Fe），ω/（μg/g）≤1.00.060.190.180.080.200.210.140.21鎵（Ga），ω/（μg/g）≤1.00.260.270.150.280.160.100.170.17汞（Hg），ω/（μg/g）≤1.00.140.300.250.060.020.250.250.29銦（In），ω/（μg/g）≤1.00.120.060.020.270.100.260.160.25鋰（Li），ω/（μg/g）≤1.00.010.180.200.120.290.220.240.17鎂（Mg），ω/（μg/g）≤1.00.100.280.280.230.280.110.260.07錳（Mn），ω/（μg/g）≤1.00.110.050.200.180.280.230.090.30鉬（Mo），ω/（μg/g）≤1.00.230.120.090.220.130.070.030.03鎳（Ni），ω/（μg/g）≤1.00.140.170.260.260.170.220.210.25鉛（Pb），ω/（μg/g）≤1.00.290.250.260.190.270.200.000.28鉑（Pt），ω/（μg/g）≤1.00.080.350.160.210.080.230.280.29錫（Sn），ω/（μg/g）≤1.00.270.250.290.280.160.420.130.28鍶（Sr），ω/（μg/g）≤1.00.330.020.170.290.260.230.330.34鈦（Ti），ω/（μg/g）≤1.00.090.240.280.160.180.140.080.10釩（V），ω/（μg/g）≤1.00.250.150.310.020.200.140.050.21鋅（Zn），ω/（μg/g）≤1.00.270.080.170.110.030.250.230.14由表2可知，本標(biāo)準(zhǔn)中的主要指標(biāo)在行業(yè)內(nèi)產(chǎn)品中處于平均水平，適合于行業(yè)內(nèi)進(jìn)行推廣，并且符合產(chǎn)品在下游產(chǎn)業(yè)產(chǎn)線內(nèi)的應(yīng)用需求。技術(shù)經(jīng)濟(jì)論證、預(yù)期的經(jīng)濟(jì)效果2021年，受益于宅家需求，面向個(gè)人電腦等電子產(chǎn)品和服務(wù)器的存儲(chǔ)器供貨出現(xiàn)激增，與此同時(shí)，由于缺貨漲價(jià)帶來(lái)的銷售額也拉高全年銷售水位，根據(jù)高德納公司（Gartner）統(tǒng)計(jì)，2021年整個(gè)半導(dǎo)體市場(chǎng)增長(zhǎng)了25.1%，達(dá)到5835億美元，這是銷售額首次突破5000億美元的一年。美國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)（SIA）最新數(shù)據(jù)也顯示，在缺芯大背景下，2021年全球共售出1.15萬(wàn)億顆芯片，全球半導(dǎo)體行業(yè)銷售額達(dá)到創(chuàng)紀(jì)錄的5559億美元，同比增長(zhǎng)26.2%。汽車級(jí)芯片需求增幅最大，銷售額比上年增長(zhǎng)34%，達(dá)264億美元。隨著芯片越來(lái)越多地應(yīng)用到現(xiàn)在和未來(lái)的關(guān)鍵技術(shù)中，預(yù)計(jì)未來(lái)幾年對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)的需求將顯著增加。本標(biāo)準(zhǔn)以國(guó)內(nèi)外同類產(chǎn)品的技術(shù)資料、產(chǎn)品說(shuō)明和技術(shù)規(guī)范為依據(jù)，結(jié)合國(guó)內(nèi)高堿濃度負(fù)膠顯影液的研究水平、質(zhì)量水平和實(shí)際的生產(chǎn)情況進(jìn)行制訂，可充分反映當(dāng)前國(guó)內(nèi)負(fù)膠顯影液生產(chǎn)企業(yè)的技術(shù)水平，并能滿足行業(yè)使用單位的生產(chǎn)要求。同時(shí)，可進(jìn)一步規(guī)范負(fù)膠顯影液產(chǎn)品的技術(shù)要求，促進(jìn)技術(shù)進(jìn)步，推進(jìn)濕電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)鏈的不斷完善和發(fā)展，提高國(guó)內(nèi)企業(yè)