《集成電路和半導(dǎo)體行業(yè)隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)及技術(shù)要求》

ICS

CCS

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

T/CIXXX-2023

集成電路和半導(dǎo)體行業(yè)隔振系統(tǒng)設(shè)

計(jì)及技術(shù)要求

（征求意見(jiàn)稿）

2023-XX-XX發(fā)布2023-XX-XX實(shí)施

中國(guó)國(guó)際科技促進(jìn)會(huì)發(fā)布

集成電路和半導(dǎo)體行業(yè)隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)及技術(shù)要求

1范圍

1.1主題內(nèi)容

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體設(shè)備用隔振系統(tǒng)的設(shè)計(jì)程序、結(jié)構(gòu)型式和技術(shù)要求。

1.2適用范圍

本文件適用于隔振器為底部安裝的半導(dǎo)體設(shè)備隔振系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。

本文件中儀器本身被視為系統(tǒng)中已確定的載荷。

2引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期

的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件。不注日期的引用文件，其最新版本（包括

所有的修改單）適用于本文件。

GB2298-80機(jī)械振動(dòng)、沖擊名詞術(shù)語(yǔ)

GJB510-88無(wú)諧振峰隔振器總規(guī)范

SJ42-77金屬鍍層和化學(xué)處理層的分類(lèi)、特性、應(yīng)用范圍和標(biāo)記

SJ/Z2924-88振動(dòng)沖擊隔離系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計(jì)技術(shù)導(dǎo)則

SJ20436-1994機(jī)載電子設(shè)備隔振系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及技術(shù)要求

SJ/T10181-91金屬型隔振器總規(guī)范

3定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。

GB2298定義的名詞術(shù)語(yǔ)均適用于本標(biāo)準(zhǔn)

SJ20436-1994定義的底部安裝均適用于本標(biāo)準(zhǔn)

光學(xué)精密儀器

特指用于極紫外光曝光的設(shè)備，如光刻機(jī)中的曝光裝置等需要高振動(dòng)品質(zhì)的光學(xué)設(shè)備。

4一般要求

4.1設(shè)計(jì)程序

4.1.1掌握設(shè)備的外形、尺寸、質(zhì)量、隔振要求、技術(shù)指標(biāo)、環(huán)境條件和有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。

4.1.2根據(jù)技術(shù)指標(biāo)與使用部門(mén)要求，確定隔振系統(tǒng)在光學(xué)精密儀器上的安裝位置、安裝形

式和安裝尺寸。

4.1.3按本標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。

2

4.2設(shè)計(jì)要求

4.2.1系統(tǒng)應(yīng)體積小，質(zhì)量輕。隔振架的型式尺寸應(yīng)與設(shè)備及光學(xué)精密儀器內(nèi)的安裝位置相

適應(yīng)。

4.2.2隔振系統(tǒng)應(yīng)對(duì)設(shè)備起到支撐和隔振作用，并應(yīng)采用易于維修的結(jié)構(gòu)型式。

4.2.3隔振系統(tǒng)的強(qiáng)度應(yīng)與光學(xué)儀器的設(shè)計(jì)和設(shè)備的物理特性相適應(yīng)。并充分考慮工作環(huán)境

的真空特性，減少結(jié)構(gòu)的密閉空腔結(jié)構(gòu)。

4.2.4選用的材料應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)優(yōu)先選用如下輕金屬材料：

4.2.5保護(hù)性處理應(yīng)簡(jiǎn)單有效，避免損害其他設(shè)備。鍍涂層的選擇和標(biāo)記應(yīng)符合真空環(huán)境的

要求。

4.2.6安裝方式應(yīng)不影響相鄰設(shè)備的安裝，應(yīng)按照設(shè)計(jì)的安裝方式進(jìn)行

4.2.7安裝聯(lián)接件必須具有足夠的強(qiáng)度和防松緊固措施。

4.2.8系統(tǒng)各部分裝卸應(yīng)迅速方便并盡量不用專(zhuān)用工具。

4.2.9系統(tǒng)的安裝設(shè)計(jì)需充分考慮可達(dá)性，應(yīng)使設(shè)備的調(diào)整、測(cè)試點(diǎn)、檢測(cè)點(diǎn)、保險(xiǎn)都能容

易和安全的接近

4.2.10系統(tǒng)各部分應(yīng)適用于真空環(huán)境，能夠在真空和空氣切換過(guò)程中保持設(shè)備穩(wěn)定。

4.2.11系統(tǒng)在工作期間或存放后，不應(yīng)引起機(jī)械松動(dòng)，機(jī)械損傷，結(jié)構(gòu)變形，性能應(yīng)符合

SJ/T10181-91規(guī)定。

5詳細(xì)要求

5.1隔振系統(tǒng)的型式

5.1.1單臺(tái)式

5.1.1.1底部安裝整體式如圖1所示。

5.1.2集裝式

5.1.2.1集裝式安裝如圖2所示。

3

圖1單臺(tái)式底部安裝隔振系統(tǒng)

1-安裝板；2-螺栓；3-支腿；4-音圈電機(jī)；5-螺旋彈簧；

6-傳感器；7-準(zhǔn)零剛度彈簧；8-擋板；9-底板；10-側(cè)向支撐座

圖2箱式底部安裝隔振系統(tǒng)

5.2隔振系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

5.2.1確定設(shè)備重心

a計(jì)算法

b稱(chēng)重法

c平衡法

4

5.2.2隔振系統(tǒng)中準(zhǔn)零剛度的設(shè)計(jì)

a采用預(yù)壓片彈簧的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)零剛度，如圖3所示。

b片彈簧的長(zhǎng)跨比由載荷大小決定，布置方式如圖4所示。

圖3準(zhǔn)零剛度彈簧

1-彈簧底座；2-預(yù)壓片彈簧

圖4準(zhǔn)零剛度彈簧布置方式

5.2.3隔振系統(tǒng)中音圈電機(jī)的選用應(yīng)適應(yīng)真空環(huán)境，推力比由載荷和具體振動(dòng)量級(jí)共同決定。

5.2.4隔振系統(tǒng)中水平彈簧選用螺旋壓縮彈簧，選用標(biāo)準(zhǔn)按照音圈電機(jī)推力比決定，并符合

SJ/T10181-91規(guī)定

5.3性能

5.3.1振動(dòng)

按GJB779中的4.4.5條規(guī)定。

5.3.2隔振效率

按GJB779中的4.4.6條規(guī)定。

5

5.3.3沖擊

按GJB779中的4.4.7條規(guī)定。

5.4指標(biāo)

5.4.1隔振帶寬

隔振開(kāi)始于0.5Hz，X/Y/Z三個(gè)方向傳遞率2Hz下降30dB；10Hz下降50dB；50Hz下

降80dB

5.4.1負(fù)載穩(wěn)定性

X/Y/Z三個(gè)方向<15μm@5min；具有機(jī)械限位功能：水平向<±700μm、垂向<±700μm

5.4.2可靠性

平均修復(fù)時(shí)間MTTR≤4小時(shí)，平均故障間隔時(shí)間