等離子體參數(shù)測試方法 編制說明

《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明1《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明32號“國家標準化管理委員會關(guān)于下達2024年第五批推薦性國家標準計劃及相關(guān)），證，并召開了多次專家組會，與會專家一致認為《等離子體參數(shù)綜合測試方法》秘書處向中國科學(xué)院條件保障與財務(wù)局提交“關(guān)于調(diào)整《等離子體參數(shù)綜合測試方法》項目名稱的申請”，詳見附件一。該申請于2024年12月30日獲得中科院條2024年7月《等離子體參數(shù)測試方法》國家標準的任務(wù)下達后，牽頭單位中12中國科學(xué)院空天信息3安徽中科大禹科技有《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明2456中國科學(xué)院等離子體7核工業(yè)西南物理研究院89中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)先1234負責(zé)制定標準起草計劃和5負責(zé)起草和審核標準內(nèi)容678負責(zé)起草標準電子參數(shù)測9負責(zé)起草標準離子參數(shù)測負責(zé)起草標準激光專業(yè)技負責(zé)離子和電子參數(shù)試驗3負責(zé)起草粒子種類參數(shù)測院負責(zé)粒子種類參數(shù)試驗驗證億、1200億和500億美元左右，在環(huán)境保護領(lǐng)域的應(yīng)用市場（全球廢水排放量已《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明4離子體物理學(xué)分會以及歐盟2017年規(guī)劃中都提出了等離子體測量標準以及等離哈爾濱工業(yè)大學(xué)以及大連理工大學(xué)等研究機構(gòu)均提出等離子體測量測量以及標《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明52024年9月，在合肥召開了編寫組會議。標準編寫組通過調(diào)查研究現(xiàn)有國際《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明62024年9月至12月，標準編制組根據(jù)建議和修改意見，對《等離子體參數(shù)測《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明7學(xué)和中科院等離子體物理研究所建立的離子參數(shù)測試裝置[3-4]，建立了等離子體離子參數(shù)測試裝置。目前，常用的離子參數(shù)測試裝置主要包括質(zhì)譜探針-示波器電參數(shù)和表面效應(yīng)影響，在高密度或強磁場環(huán)境中可能失效；激光器-光譜儀測噪聲。因此，本標準選擇使用激光器-光譜儀測試系統(tǒng)測本標準參考中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)建立的電子參數(shù)測試裝置[5-6]，建立了等離子體電子參數(shù)測試裝置。目前，常用的電子參數(shù)測試儀器主要包括朗繆爾探《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明8根據(jù)中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)給出的等離子體粒子種類測試方法[7]，參考GB/T43861—2024《微波等離子體原子發(fā)射光譜方法通則》規(guī)定的發(fā)射光譜測試方法·OHHαHβO測試方法[3-4，10]，參考GB/T38257—2019《激光誘導(dǎo)擊穿光譜《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明9根據(jù)中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)以及中國工程物理研究院給出的等離子體電子密度測試方法[5-6，11]，結(jié)合多次編寫工作小組和專家測試方法的建議，確定了電子密《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明12本標準針對等離子體參數(shù)測試方法的規(guī)范化，填補了國內(nèi)外在等離子體技通過明確統(tǒng)一的等離子體參數(shù)測試方法，等離子體相關(guān)設(shè)備和產(chǎn)品的研發(fā)本標準規(guī)定了統(tǒng)一的等離子體參數(shù)測試方法，為等離子體相關(guān)設(shè)備和技術(shù)《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明等離子體參數(shù)測試方法標準的實施將形成有效的統(tǒng)一測試方法，有助于提本標準的實施將推動等離子體參數(shù)測試技術(shù)的創(chuàng)新和發(fā)展，促進相關(guān)企業(yè)通過本標準的發(fā)布和實施，等離子體設(shè)備和技術(shù)在應(yīng)用前經(jīng)過嚴格的參數(shù)《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明[1]GB/T43861—2024微波等離子體原子發(fā)射光譜方法[2]GB/T38257—2019激光誘導(dǎo)擊穿光electrontemperaturedeterminationinlow-temperaturecollisionalplasmas[f《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明（征求意見稿）《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明123波長調(diào)節(jié)范圍：410nm-900nm45671），《等離子體參數(shù)測試方法》征求意見稿編制說明eV，離子速度分布函數(shù)可由圖S3直接得到，頻移ΔV每變化1.5GHz與速度變化方法（征求意見稿）》中的方法計算得到：電子溫度為2.8±0.3eV，電子密度為2.0×1018m-3。86428642Measuredda