印刷電子設(shè)備 接觸式印刷剛性母版 第二部分：印版圖案尺寸的測(cè)量方法 征求意見(jiàn)稿

1印刷電子設(shè)備接觸式印刷剛性母版第二部分：印版圖案尺寸測(cè)量本文件規(guī)定了與剛性印版上特征的關(guān)鍵尺寸3.13.23.33.43.53.623.73.8電子設(shè)備/電路制造過(guò)程中能夠形成的、且對(duì)后3.9注：一般情況下，特征寬度是針對(duì)線條和間隔3.102-D合格特征2-Dqualifi33.11橫截面合格特征cross-sectionalqualificationfe3.12參考標(biāo)記相對(duì)于參考邊的套準(zhǔn)精度registrationaccuracyo3.133.14本文件的坐標(biāo)系xyz如圖1所示。該坐標(biāo)系是以帶有圖案的掩模面朝上為準(zhǔn)。橫向與x軸對(duì)齊，縱向與y軸對(duì)齊。z軸是垂直于xy平面的方向；在參考平面處z值為零，而（x，y）=（0,0）的設(shè)定則取決于度方向沿y軸，其特征寬度則在x軸方向上進(jìn)行測(cè)量。套準(zhǔn)精度通過(guò)4——具有足夠分辨率的顯微鏡或測(cè)量?jī)x器：?重復(fù)性：小于寬度公差規(guī)格的10%；?精度：小于寬度公差規(guī)格的10%；?校準(zhǔn)：宜按照儀器制造商的指南定期進(jìn)行校準(zhǔn)。5.2特征類(lèi)型——特征寬度和中心距；方法可由客戶(hù)/供應(yīng)商協(xié)議確定。由于圖案邊緣檢測(cè)方法及其參數(shù)設(shè)置會(huì)影響測(cè)量結(jié)果，所以應(yīng)在報(bào)告5dy·························································5)根據(jù)信號(hào)強(qiáng)度分布I′(X)計(jì)算左右邊緣位置(XL,i,XR,i)。下標(biāo)L和R緣。下標(biāo)i指代線條編號(hào)。6)計(jì)算左右邊緣點(diǎn)之間的距離，以獲得特征寬度 (2)7)計(jì)算兩條相鄰線條中心之間的距離，以獲得中心距(p··············································5.4.2報(bào)告——提供用于測(cè)量的采集圖像。5.5線邊緣粗糙度（LER）和線寬粗糙度（LWR）4)對(duì)y軸方向的信號(hào)強(qiáng)度求平均值，并構(gòu)建n個(gè)長(zhǎng)度等于?y的平均區(qū)間。dy···············································65)根據(jù)信號(hào)強(qiáng)度分布I,,(X,yK)來(lái)計(jì)算左右邊緣位置(XL,ik,XR,ik)。下標(biāo)L和R分別表示左邊緣和右邊緣。下標(biāo)i指代線條編號(hào)，上標(biāo)k表示第4）項(xiàng)中y軸上的第kth個(gè)平均區(qū)間。6)計(jì)算第i條線左邊緣的LER。?根據(jù)數(shù)據(jù)集{(XL,i1,y1),(XL,i2,y2),…,(XL,in,yn)}獲取一條擬合直線（使用最小二乘法的最佳 (5) ?計(jì)算LER。2··········································7)計(jì)算第i條線的LWR。?根據(jù)左右邊緣位置(XL,ik,XR,ik)來(lái)計(jì)算平均寬度(wi)的數(shù)據(jù)集。 (8)2························································5.5.2報(bào)告——以0.01μm為單位提供測(cè)量的LER和LWR，并——注明圖案邊緣檢測(cè)方法及其參數(shù)設(shè)置。5.6討論特征的重復(fù)測(cè)量來(lái)檢驗(yàn)合格參數(shù)在母版整個(gè)區(qū)域內(nèi)的一致性。待測(cè)量的特征以及每種類(lèi)型特征的測(cè)量——具有足夠分辨率的顯微鏡或測(cè)量?jī)x器。?測(cè)量?jī)x器能夠?qū)⒛赴胬L圖文件（如dwg和gds格式）中目標(biāo)區(qū)域轉(zhuǎn)換為圖像文件（如jpg、），?重復(fù)性：小于該區(qū)域公差規(guī)格的10%；?精度：小于該區(qū)域公差規(guī)格的10%；?校準(zhǔn)：宜按照儀器制造商的指南定期進(jìn)行校準(zhǔn)。7對(duì)于特征的2-D合格判定，所測(cè)量的圖像應(yīng)與同一區(qū)域的標(biāo)稱(chēng)圖像對(duì)齊。兩張圖像的對(duì)齊可通過(guò)以下方式實(shí)現(xiàn)。該方法可由客戶(hù)/供應(yīng)商協(xié)議確定。推薦使用基于區(qū)域的方法。用于圖像對(duì)齊的方法應(yīng)在——重心（COG）法：將實(shí)際特征和標(biāo)稱(chēng)特征的——基于線邊緣的方法：使多個(gè)實(shí)際邊緣與標(biāo)稱(chēng)邊緣之間的距離最小化。6.4特征類(lèi)型——線端縮短。6.5觸點(diǎn)含單個(gè)感興趣觸點(diǎn)的整個(gè)區(qū)域，并且不受其他無(wú)關(guān)觸點(diǎn)8——以0.1μm2為單位提供測(cè)得的面積增益、面積損失、面積差值——注明測(cè)量?jī)x器?！f(shuō)明測(cè)量溫度和測(cè)量期間的溫度變化?！峁┇@取的圖像以及與標(biāo)稱(chēng)圖像對(duì)齊后的用于測(cè)量的圖像?！?.1μm2為單位提供測(cè)得的面積增益、面積損失、面積差值——注明測(cè)量?jī)x器?！⒚鲌D像對(duì)齊方法。——說(shuō)明測(cè)量溫度和測(cè)量期間的溫度變化。9——提供獲取的圖像以及與標(biāo)稱(chēng)圖像對(duì)齊后的用于測(cè)量的圖像。6.7線端縮短——以0.1μm2為單位提供測(cè)量面積增益、面積損失、面積差值和——提供用于測(cè)量所獲取的圖像。6.8討論版的整個(gè)區(qū)域內(nèi)對(duì)同一類(lèi)型特征進(jìn)行重復(fù)測(cè)量來(lái)測(cè)試合格判定參數(shù)的一致性。待測(cè)量的特征以及每種圖案對(duì)準(zhǔn)情況會(huì)影響獲得的合格判定參數(shù)。建議在為2-D束圖像對(duì)準(zhǔn)的x軸和y軸的特征，以提高特征2-D合格圓角和線端縮短會(huì)受到特征線寬誤差的影響（見(jiàn)圖5和圖6）。為了?基于光學(xué)觸針的測(cè)量?jī)x器，如共聚焦掃描顯微鏡；?基于機(jī)械觸針的測(cè)量?jī)x器，如原子力顯微鏡（AFM）。——重復(fù)性：?橫向（XY）重復(fù)性：小于橫截面上最小線寬的10%；?軸向（Z）重復(fù)性：小于橫截面輪廓深度的10%。?橫向（XY）精度：小于橫截面上最小線寬的10%；?軸向（Z）精度：小于橫截面輪廓深度的10%?！?zhǔn)：應(yīng)根據(jù)儀器制造商的指南定期進(jìn)行校準(zhǔn)。5)從測(cè)量的橫截面高度輪廓中獲取最佳擬合特注：有多種類(lèi)型的特征模型，如矩形、梯形和半球形。特征模型的選擇取擇。模型越復(fù)雜，可利用的自由度就越多，以便更好地6)根據(jù)最佳擬合特征模型計(jì)算測(cè)量輪廓的殘余誤差(R?)。R?=√··················································注：?(x)是測(cè)量的橫截面高度輪廓，f(x)為最佳擬合特征模型。7)根據(jù)最佳擬合特征模型計(jì)算橫截面積和特征高度。印版母版上的大多數(shù)特征可適用于梯外，還可確定兩個(gè)側(cè)壁角(αβ)、頂部A=(a+b)??/2·························如果選擇目標(biāo)區(qū)域（ROI）包含浮雕圖案，則可以使用上述相同步驟測(cè)量浮雕圖案的橫截面輪廓及測(cè)量位置、評(píng)估長(zhǎng)度、應(yīng)用的特征模型和特征模型的殘余誤差（——說(shuō)明測(cè)量溫度和測(cè)量期間的溫度變化?！峁┧@取的三維高度分布以及橫截面高度輪廓，通過(guò)將最佳擬合特征模型與之重疊來(lái)展示7.4討論寸特征的重復(fù)測(cè)量來(lái)檢驗(yàn)合格參數(shù)在母版整個(gè)區(qū)域內(nèi)的一致性。待測(cè)量的特征以及每種類(lèi)型特征的測(cè)——配備精密載物臺(tái)系統(tǒng)、具有足夠分辨率的顯微鏡或測(cè)量?jī)x器：?隨著精密載物臺(tái)的移動(dòng)獲取套準(zhǔn)標(biāo)記的圖像；?套準(zhǔn)標(biāo)記的位置可通過(guò)將獲取圖像時(shí)精密載物臺(tái)的位置與所獲取圖像中套準(zhǔn)標(biāo)記在第4——顯微鏡：?分辨率：小于定義套準(zhǔn)標(biāo)記的最小線寬的10%。優(yōu)選更高的分辨率；——精密載物臺(tái)：?重復(fù)性：小于套準(zhǔn)精度規(guī)范的10%；?精度：小于套準(zhǔn)精度規(guī)范的10%?！?zhǔn)：宜根據(jù)儀器制造商的指南定期進(jìn)行校準(zhǔn)。——此標(biāo)記不用于確定印版印刷層與同一基板上任何后續(xù)印刷層之間的套準(zhǔn)精度?！疽?guī)范是關(guān)于套準(zhǔn)標(biāo)記便捷應(yīng)用的一項(xiàng)建議。供應(yīng)商和客戶(hù)可以自行定義其實(shí)用的套準(zhǔn)標(biāo)?水平線和垂直線相交部分的面積應(yīng)由“用戶(hù)自行定義”；5μm至200μm50μm至1000μm?內(nèi)圓和外圓的直徑因印版制造工藝以及套準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)的不同而變化，如表2所示。(Ro)(Rb)5μm至200μm50μm至1000μm——基于邊緣的算法：套準(zhǔn)標(biāo)記的位置是通過(guò)水平線——套準(zhǔn)標(biāo)記的位置：通過(guò)將先前已登記的模版標(biāo)記與每張獲取到的圖像進(jìn)行最佳相關(guān)匹配的位置來(lái)計(jì)算的。主標(biāo)記可以是獲取到的圖像之一，也可以是套準(zhǔn)標(biāo)記的標(biāo)稱(chēng)設(shè)計(jì)圖案。8.4步驟每條參考邊上兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)之間的距離應(yīng)大于各邊緣長(zhǎng)度3)在測(cè)量系統(tǒng)的坐標(biāo)中計(jì)算兩條參考邊緣的直4)將載物臺(tái)移動(dòng)到參考套準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)于各參考邊緣的設(shè)計(jì)位置處，并測(cè)量參考套準(zhǔn)標(biāo)記的