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除了邁克爾遜干涉和Linnik型干涉外,常見(jiàn)的干涉設(shè)計(jì)還有哪些?除了邁克爾遜干涉和Linnik型干涉外,常見(jiàn)的干涉設(shè)計(jì)還有多種,以下是一些主要的類(lèi)型:馬赫-增德?tīng)枺∕ach-Zehnder)干涉:原理:通過(guò)分束器將一束光分成兩束,這兩束光分別在不同的路徑中傳播,然后再通過(guò)另一個(gè)分束器重新組合。由于兩束光在傳播過(guò)程中可能經(jīng)歷不同的光程,因此會(huì)產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。應(yīng)用:馬赫-增德?tīng)柛缮鎯x常用于透射樣本的測(cè)量,如生物樣本、全息術(shù)等。法布里-珀羅(Fabry-Perot)干涉:原理:當(dāng)一束光在兩個(gè)平行且部分透射的反射面之間多次反射和透射時(shí),會(huì)形成多束相干光波的疊加,從而產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。應(yīng)用:法布里-珀羅干涉儀常用于測(cè)量光波長(zhǎng)、光學(xué)元件的厚度和折射率等。薩格納克(Sagnac)干涉:原理:當(dāng)一束光在環(huán)形路徑上反射后,會(huì)形成兩個(gè)相反方向的干涉。干涉光強(qiáng)取決于光波的波長(zhǎng)和環(huán)形路徑的長(zhǎng)度。應(yīng)用:薩格納克干涉儀常用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)速率,是光纖陀螺儀的核心部件,廣泛應(yīng)用于民用、軍用飛機(jī)以及導(dǎo)彈導(dǎo)航等領(lǐng)域。Mirau干涉:特點(diǎn):Mirau干涉儀通常具有一個(gè)物鏡和一個(gè)參考鏡,它們共同構(gòu)成一個(gè)干涉系統(tǒng)。物鏡用于聚焦被測(cè)物體表面的反射光,而參考鏡則提供一個(gè)穩(wěn)定的參考光波。應(yīng)用:Mirau干涉儀常用于表面形貌的測(cè)量,如光學(xué)元件的表面質(zhì)量、薄膜的厚度和均勻性等。外差干涉:原理:外差干涉是一種利用多普勒移頻效應(yīng)使光的頻率發(fā)生輕微改變,再與原來(lái)頻率的光相干,從而得到的差頻干涉光拍信號(hào)的技術(shù)。應(yīng)用:外差干涉技術(shù)具有測(cè)量精度高、抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),常用于震動(dòng)測(cè)量、面型測(cè)量等高精度測(cè)量領(lǐng)域。白光干涉:原理:白光干涉是利用白光作為光源進(jìn)行干涉測(cè)量的技術(shù)。由于白光包含多種波長(zhǎng)的光波,因此干涉條紋會(huì)呈現(xiàn)出彩色。通過(guò)分析干涉條紋的顏色和形狀,可以獲取被測(cè)物體的表面形貌和位移信息。應(yīng)用:白光干涉技術(shù)具有非接觸式測(cè)量、測(cè)量范圍廣、測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn),常用于光學(xué)元件的檢測(cè)、表面粗糙度的測(cè)量以及三維形貌的重建等領(lǐng)域。綜上所述,干涉技術(shù)具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和重要的研究?jī)r(jià)值。不同類(lèi)型的干涉設(shè)計(jì)具有不同的原理和特點(diǎn),適用于不同的測(cè)量需求和場(chǎng)景。TopMapMicroView白光干涉3D輪廓儀一款可以“實(shí)時(shí)”動(dòng)態(tài)/靜態(tài)微納級(jí)3D輪廓測(cè)量的白光干涉儀1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復(fù)雜的問(wèn)題,實(shí)現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描,亞納米精度下實(shí)現(xiàn)卓越的重復(fù)性表現(xiàn)。2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù),Z向測(cè)量范圍高達(dá)100mm,不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率,為復(fù)雜形貌測(cè)量提供全面解決方案。3)可搭載多普勒激光測(cè)振系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)“動(dòng)態(tài)”3D輪廓測(cè)量。實(shí)際案例1,優(yōu)于1nm分辨率,輕松測(cè)量硅片表面粗糙度測(cè)量,Ra=0.

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