無錫英之杰微電子有限公司年產電子元件30萬片搬遷項目報告表

—1—建設項目名稱無錫英之杰微電子有限公司年產電子元件30萬片搬遷項目項目代碼2208-320214-89-05-792031建設單位聯(lián)系人****聯(lián)系方式*******建設地點無錫市新吳區(qū)樂星路16號地理坐標（120度24分42.590秒，31度30分20.400秒）國民經濟行業(yè)類別[C3973]集成電路制造建設項目行業(yè)類別三十六、計算機、通信和其他電子設備制造業(yè)39－電子器件制造397－集成電路制造建設性質口新建（遷建）□改建□擴建□技術改造建設項目申報情形口首次申報項目□不予批準后再次申報項目□超五年重新審核項目□重大變動重新報批項目項目審批（核準/備案）部門（選新吳區(qū)行政審批局項目審批（核準/備案）文號（選填）錫新行審投備〔2024〕320號總投資（萬元）500環(huán)保投資（萬元）20環(huán)保投資占比（%）4施工工期3個月是否開工建設□是：600專項評價設置情況表1-1專項設置情況判斷表排放廢氣含有毒有害污染物、二噁英、苯）；規(guī)劃情況規(guī)劃名稱：《無錫國家高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)開發(fā)建設規(guī)劃（2022-2035年）》審批機關：/審批文件名稱及文號：/規(guī)劃環(huán)境影響評價情況規(guī)劃環(huán)評文件名稱：《無錫國家高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)開發(fā)建設規(guī)劃（2022-2035年）環(huán)境影響報告書》；—2—審批機關：江蘇省生態(tài)環(huán)境廳審查意見及文號：《省生態(tài)環(huán)境廳關于無錫國家高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)開發(fā)建設規(guī)劃（2022-2035年）環(huán)境影響報告書的審查意見》蘇環(huán)審〔2024〕9號規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響評價符合性分析1、與規(guī)劃相符性分析本項目位于無錫市新吳區(qū)樂星路16號，根據《無錫新區(qū)高新區(qū)A區(qū)控制性詳細規(guī)劃A南-光伏管理單元動態(tài)更新批后公布》（2024.4.15），項目所在地規(guī)劃為工業(yè)用地（見附圖7），符合土地規(guī)劃要求。（1）本項目與《無錫國家高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)開發(fā)建設規(guī)劃（2022-2035年）》相符性分析表1-2本項目與《無錫國家高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)開發(fā)建設規(guī)劃（2022-2035年）》相符性分析1規(guī)劃形成“一心三廊三片”的總體空間結“三片”為新一代信息產創(chuàng)活力片區(qū)、高端裝備產創(chuàng)活力片區(qū)和生命健康產創(chuàng)活力片代信息產創(chuàng)活力片區(qū)依托新一代信息技術產業(yè)及傳統(tǒng)制造業(yè)集聚的產業(yè)優(yōu)勢，以發(fā)展集成電路、汽車零部件、生物醫(yī)藥、智備、汽車零部件產業(yè)，打造智能裝備產業(yè)醫(yī)藥企業(yè)集群為優(yōu)勢，凝聚全球智慧，發(fā)展生物醫(yī)藥、智能裝備、高端商貿為主，本項目位于高新別為C3973集成電路制造，符合高新區(qū)產業(yè)規(guī)2全面對標國家產業(yè)發(fā)展導向，充分結合新吳區(qū)規(guī)劃產業(yè)體系，高新區(qū)規(guī)劃形成生物醫(yī)藥、智能裝備、汽車零部件為核心的四大先進制造業(yè)，加快發(fā)展高端軟件及數字創(chuàng)意、高端商貿兩大現(xiàn)代服務業(yè)。3高新區(qū)主要依托錫東水廠供水，取水水源高新區(qū)工業(yè)用水以城市自來水為主，部分高新區(qū)采取雨污分流制，污水分片區(qū)集中梅村水處理廠服務范圍北至太湖大道，北至太湖大道，南至碩放機場（含華友工業(yè)），南站片區(qū)和旺莊路片區(qū)蘆村污水處理廠收），本項目自來水依托市政自來水管網，項目所在地市政給水管網已鋪設完成。本項生產廢水（不含水處理站處理后與生活污水、純水制備廢水、循環(huán)冷卻水一并接—3—新城水處理二廠設置專管收集梅村水處理廠服務范圍內的海力士、華虹、華潤等大西、南至滬寧高速公路；包括商業(yè)配套區(qū)高新區(qū)的天然氣主要有兩大氣源：一是中門站從東側給無錫供應天然氣；另一是江蘇省天然氣投資開發(fā)有限公司的“川氣”，通過江陰青陽門站從北側給無錫高壓管網，經碩放調壓站、新區(qū)調壓站等調壓設施調壓后供應高新區(qū)用氣。規(guī)劃范圍內由西氣東輸-分輸站經新區(qū)門站至高浪路等燃氣主管網供給各用氣點，以管道天然氣高新區(qū)規(guī)劃實行集中供熱，規(guī)劃及現(xiàn)狀熱源主要為友聯(lián)熱電及藍天燃機，區(qū)域內熱網聯(lián)網聯(lián)供，提升熱網供應保障能力。友綜上所述，本項目符合《無錫國家高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)開發(fā)建設規(guī)劃（2022-2035年）》的相關要求。（2）本項目與規(guī)劃環(huán)評批復的相符性對照情況見表1-3。表1-3本項目與高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)規(guī)劃環(huán)評審查意見對照表12水域在規(guī)劃期內禁止開發(fā)利用。落實《報告書》提出的現(xiàn)有環(huán)境問題整改措施，加快推進正大萬物城、旺莊南片部分區(qū)域鄰近居民區(qū)企業(yè)退出進程，諾翔新材料、復恩特生物、益明光電等7家矛盾。強化工業(yè)企業(yè)退出和產業(yè)升級過程中的污染防治、生態(tài)修復。嚴格落實企業(yè)衛(wèi)生防護距離要求，企業(yè)衛(wèi)生防護距離內不得規(guī)劃布局敏感目標。加強工業(yè)區(qū)與居住區(qū)生活空間的防護，推進區(qū)內空間隔離帶建設，確保高新區(qū)產業(yè)布局與生—4—3濃度應達到25微克/立方米；納污水體周涇浜、4制、高效治理設施建設，落實精細化管控要求，5區(qū)內入河排污口排查及規(guī)范化整治，建立名錄，集處理處置，做到“就地分類收集、就近轉移處6—5—7一步完善高新區(qū)突發(fā)水污染事件風險防控體系建設，確?！靶∈鹿什怀鰪S區(qū)、大事故不出園區(qū)”。加強環(huán)境應急基礎設施建設，配備充足的應急裝備物資，提高環(huán)境應急救援能力。建立健全環(huán)境風險評估和應急預案制度，定期開展環(huán)境應急演練，完善環(huán)境應急響應聯(lián)動機制，提升應急實戰(zhàn)水平。建立突發(fā)環(huán)境事件隱患排查長效機制，定期排查突發(fā)環(huán)境事件隱患，建立隱患清單并督促整改到位，保障區(qū)域環(huán)境安全。重點關注并督促指導涉重金屬企業(yè)構筑“風險單元-管網、應急池-8專職環(huán)境管理人員，統(tǒng)一對高新區(qū)進行環(huán)境監(jiān)督本項目落實環(huán)境管理能根據上表分析，本項目符合國家、地方的產業(yè)政策，符合無錫高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)的產業(yè)定位，符合區(qū)域環(huán)境管理要求，與無錫國家高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)的規(guī)劃環(huán)評審核意見相關要求相符。其他符合性分析1、產業(yè)政策相符性建設項目為[C3973]集成電路制造，與國家及地方現(xiàn)行產業(yè)政策相符性分析詳見下表。表1-4項目與國家及地方現(xiàn)行產業(yè)政策相符性分析表1《產業(yè)結構調整指導目錄（2024年本）》2《市場準入負面清單（2022年版）》34本）》56《禁止用地項目目錄（2012年本）》7《限制用地項目目錄（2012年本）》89根據上表分析，建設項目符合國家和地方現(xiàn)行產業(yè)政策。2、“三線一單”相符性（1）與生態(tài)保護紅線的相符性1）與《江蘇省國家級生態(tài)保護紅線規(guī)劃》（蘇政發(fā)〔2018〕74號）相符性分析建設項目位于無錫市新吳區(qū)樂星路16號，與建設項目直線距離最近的國—6—家級生態(tài)保護區(qū)為“貢湖錫東飲用水水源保護區(qū)”，位于建設項目西南側，建設項目到邊界最近距離約5.2km。建設項目評價范圍內不涉及無錫市范圍內的國家級生態(tài)保護紅線，不會導致無錫市轄區(qū)內國家級生態(tài)保護紅線生態(tài)服務功能下降。因此，建設項目的建設不違背《江蘇省國家級生態(tài)保護紅線規(guī)劃》（蘇政發(fā)〔2018〕74號）要求。2）與《江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域規(guī)劃》（蘇政發(fā)〔2020〕1號）相符性分析建設項目位于無錫市新吳區(qū)樂星路16號，生態(tài)空間保護區(qū)域為項目東南側“太湖（無錫市區(qū)）重要保護區(qū)”，建設項目到其邊界最近距離約5.1km。建設項目評價范圍內不涉及無錫市范圍內生態(tài)空間保護區(qū)域。因此，建設項目符合《省政府關于印發(fā)江蘇省生態(tài)空間管控區(qū)域規(guī)劃的通知》（蘇政發(fā)〔2020〕1號）的要求。（2）與環(huán)境質量底線的相符性根據《2023年度無錫市生態(tài)環(huán)境狀況公報》：按照《環(huán)境空氣質量標準》（GB3095-2012）二級標準進行年度評價，各市（縣）、區(qū)臭氧濃度未達標，其余指標均已達標，因此判定為非達標區(qū)。根據《無錫市大氣環(huán)境質量限期達標規(guī)劃（2018-2025年）》，通過推進能源結構調整，優(yōu)化產業(yè)結構和布局，加快推進揮發(fā)性有機物綜合整治，深化火電行業(yè)超低排放和工業(yè)鍋爐整治成果，推進熱電整合，提高揚塵管理水平，促進PM2.5和臭氧協(xié)同控制，推進區(qū)域聯(lián)防聯(lián)控等措施，大氣環(huán)境質量狀況可以得到進一步改善；納污水體江南運河pH、化學需氧量、氨氮、總氮、總磷的濃度均能滿足《地表水環(huán)境質量標準》（GB3838-2002）中Ⅳ類標準的要求。噪聲現(xiàn)狀能達到《聲環(huán)境質量標準》（GB3096-2008）中的3類聲環(huán)境功能區(qū)要求。建設項目建設后運營期產生的各項污染物通過相應的治理措施處理后均可達標排放，建設項目環(huán)境風險可控制在安全范圍內，因此，建設項目的建設對區(qū)域環(huán)境質量影響較小，符合環(huán)境質量底線的相關規(guī)定要求。（3）資源利用上線相符性建設項目位于無錫市新吳區(qū)內，主要從事集成電路制造，所使用的能源主要為水、電能，物耗及能耗水平均較低，不會超過資源利用上線。建設項目用水水源來自市政自來水管網，建設項目用電由市政供電系統(tǒng)供電，能滿足建設項目的供電需求?！?—（4）與環(huán)境準入負面清單相符性根據關于印發(fā)《無錫市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實施方案》的通知（錫環(huán)委辦〔2020〕40號無錫市共劃定環(huán)境管控單元194個，分為優(yōu)先保護單元、重點管控單元和一般管控單元三類，實施分類管控。優(yōu)先保護單元，指以生態(tài)環(huán)境保護為主的區(qū)域，包括生態(tài)保護紅線和生態(tài)空間管控區(qū)域。全市劃分優(yōu)先保護單元51個，占全市總面積的28.63%。重點管控單元，指涉及水、大氣、土壤、自然資源等資源環(huán)境要素重點管控的區(qū)域，主要包括人口密集的中心城區(qū)和各級各類產業(yè)集聚的工業(yè)園區(qū)（工業(yè)集中區(qū)）。全市劃分重點管控單元89個，占全市國土面積的34.06%。一般管控單元，指除優(yōu)先保護單元、重點管控單元以外的其他區(qū)域，銜接街道（鄉(xiāng)鎮(zhèn)）邊界形成管控單元。全市劃分一般管控單元54個，占全市國土面積的37.31%。以環(huán)境管控單元為基礎，從空間布局約束、污染物排放管控、環(huán)境風險防控和資源利用效率等方面明確準入、限制和禁止的要求，建立無錫市市域生態(tài)環(huán)境管控要求和194個環(huán)境管控單元的生態(tài)環(huán)境準入清單。本項目位于無錫市新吳區(qū)樂星路16號，屬于重點管控單元，本項目與其相符性分析如下：表1-5與無錫市新吳區(qū)“三線一單”生態(tài)環(huán)境準入清單相符性分析類型園區(qū)空間布局約束鹽酸霧的項目2）禁止新建、改建、印染、電鍍以及其他排放含磷、氮等污染物的企業(yè)和項目，城鎮(zhèn)污水集中處理等環(huán)境基礎設施項目和《江蘇省太湖水污染防治條例》第四十六條規(guī)定的情形除外3）禁止引進高污染、高能耗、止引進純電鍍加工類項目；禁止建設新增鉛、汞、鉻、砷、鎘、鎳、銅重金屬污染排放總量的項目5）禁止新增化工項目6）限制高毒農藥項目7）禁止引進不符合所在工業(yè)園區(qū)產業(yè)定位的工業(yè)項目8）禁止建設環(huán)境污染嚴污染物排放管本項目無廢氣產生；本—8—控環(huán)境風險防控資源開發(fā)效率要求（2）土地資源總量不高于55.0平方公里。建設用地總量不高于50.67平方公里。工業(yè)用地總量不高于26.57平方公），于20蒸噸/小時鍋爐以外燃用的煤炭及與《無錫國家高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)開發(fā)建設規(guī)劃（2022-2035年）環(huán)境影響報告書》園區(qū)環(huán)境準入負面清單相符性分析表1-6本項目與無錫國家高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)環(huán)境準入負面清單相符性分析造，不屬于《產業(yè)結構調整指江經濟帶發(fā)展負面清單指南》實施細則、《太湖流域管理條例》、《江蘇省太湖水污染防治條例》等國家、地方法律法規(guī)、產業(yè)政策相沖突的項目?！?—蘇省禁止用地項目目錄（2013控廢均委托有資質單位妥善處要求由上表可見，本項目不屬于園區(qū)環(huán)境準入負面清單。3、與《<長江經濟帶發(fā)展負面清單指南>江蘇省實施細則管控條款（試行）》的相符性對照《<長江經濟帶發(fā)展負面清單指南>江蘇省實施細則管控條款（試行）》“三、產業(yè)發(fā)展”，本項目不屬于負面清單中項目。具體管控要求對照詳見下表：表1-7《<長江經濟帶發(fā)展負面清單指南>江蘇省實施細則管控條款（試行）》相符性分析不在飲用水水源二級保護區(qū)—10——11—動東線江蘇段）、新溝河、新孟河、走馬塘、望夾江（揚州）、潤揚河、潘家河、蟛蜞港、泰岸線邊界（即水利部門河道管理范圍邊界）向水源地保護、岸線利用項目清理整治、沿江重化產能轉型升級等相關政策文件要求，對長江干支流兩岸排污行為實行嚴格監(jiān)管，對違法違非化工項目和其他人員密集動展—12—使用明令淘汰的安全生產落后工藝及裝備，符合要求。綜上，項目建設與長江流域管理要求是相符的。4、與《江蘇省太湖水污染防治條例》《太湖流域管理條例》相符性分析根據《江蘇省太湖水污染防治條例》（2021年9月29日修正），太湖流域劃分為三級保護區(qū)：太湖湖體、沿湖岸5公里區(qū)域、入湖河道上溯10公里以及沿岸兩側各1公里范圍為一級保護區(qū)；主要入湖河道上溯10公里至50公里以及沿岸兩側各1公里范圍為二級保護區(qū)；其他地區(qū)為三級保護區(qū)。根據《江蘇省太湖水污染防治條例》（2021年9月29日修正）第四十三條，在太湖一、二、三級保護區(qū)內禁止下列行為：（一）新建、改建、擴建化學制漿造紙、制革、釀造、染料、印染、電鍍以及其他排放含磷、氮等污染物的企業(yè)和項目，城鎮(zhèn)污水集中處理等環(huán)境基礎設施項目和第四十六條規(guī)定的情形除外二）銷售、使用含磷洗滌用品三）向水體排放或者傾倒油類、酸液、堿液、劇毒廢渣廢液、含放射性廢渣廢液、含病原體污水、工業(yè)廢渣以及其他廢棄物四）在水體清洗裝貯過油類或者有毒有害污染物的車輛、船舶和容器等五）使用農藥等有毒物毒殺水生生物六）向水體直接排放人畜糞便、傾倒垃圾七）圍湖造地八）違法開山采石，或者進行破壞林木、植被、水生生物的活動九）法律、法規(guī)禁止的其他行為。根據《太湖流域管理條例》：第二十八條：禁止在太湖流域設置不符合國家產業(yè)政策和水環(huán)境綜合治理要求的造紙、制革、酒精、淀粉、冶金、釀造、印染、電鍍等排放水污染物的生產項目，現(xiàn)有的生產項目不能實現(xiàn)達標排放的，應當依法關閉；第二十九條：新孟河、望虞河以外的其他主要入太湖河道，自—13—河口1萬米上溯至5萬米河道岸線內及其岸線兩側各1000米范圍內，禁止下列行為一）新建化工、擴建化工、醫(yī)藥生產項目二）新建、擴建污水集中處理設施排污口以外的排污口三）擴大水產養(yǎng)殖規(guī)模；第三十條：太湖岸線內和岸線周邊5000米范圍內，淀山湖岸線內和岸線周邊2000米范圍內，太浦河、新孟河、望虞河岸線內和岸線兩側各1000米范圍內，其他主要入太湖河道自河口上溯至1萬米河道岸線內及其岸線兩側各1000米范圍內，禁止下列行為一）設置劇毒物質、危險化學品的貯存、輸送設施和廢物回收場、垃圾場二）設置水上餐飲經營設施三）新建、擴建高爾夫球場四）新建、擴建畜禽養(yǎng)殖場五）新建、擴建向水體排放污染物的建設項目。建設項目位于太湖流域三級保護區(qū)，運營期生產廢水經廠內污水處理站處理后與經化糞池預處理后的生活污水、純水制備廢水、循環(huán)冷卻水排入新城水處理廠處理，本項目生產用水為純水，不添加清洗劑，故本項目生產廢水不含《太湖流域管理條例》相關要求。5、與《關于在環(huán)評審批階段開展“源頭管控行動”的工作意見》相符性分析表1-8本項目與《關于在環(huán)評審批階段開展“源頭管控行動”的工作意見》相符性分析生產工境四替代新吳區(qū)樂星路16技術要求》（GBT38597-2020）標準的產品?！皟筛摺表椖??！?4—率鼓勵采用吸附、吸收、生物凈化、催化燃燒、6、與《集成電路制造建設項目環(huán)境影響評價文件審批原則（2024年版）》相符性分析表1-9與《集成電路制造建設項目環(huán)境影響評價文件審批原則（2024年版）》相符性分析生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控要求，不在理站處理后與經化糞池預處理純水制備廢水一起接管新城水處理廠集中處理；生產廢水不磷酸霧、氰化氫等酸性廢氣以及襯底清洗、及使用VOCs物料的，廠區(qū)內揮發(fā)性有機物水外排量。生產廢水優(yōu)先回用。含氟廢水、廢水、含砷廢水等應設立完善的廢水收集、流、分類收集、分質處理的原廢水污染物符合《半導體行業(yè)—15—及廢水排放種類，重點關注氟化物、總氮、標準》（GB12348）要求。境事件應急預案編制要求。區(qū)防控、跟蹤監(jiān)測和應急響應的防控原則。項目應對涉及有毒有害物質的生產、使用、—16——17——18—建設內容1、項目由來無錫英之杰微電子有限公司于2020年租賃無錫新吳區(qū)新梅路68號無錫固電半導體股份有限公司一樓標準廠房投資建設了《無錫英之杰微電子有限公司年產電子元件30萬片項目環(huán)境影響報告表》并于2020年10月26日取得了無錫市行政審批局出具的批復（錫行審環(huán)許〔2020〕7473號），企業(yè)于2021年3月10日通過了第一階段自主竣工驗收（產能為年產電子元件15萬片）?，F(xiàn)有項目全廠職工16人，工作班制實行三班制，每班8小時，年工作300天。各類環(huán)保治理設施與主體工程均已正常運行，符合現(xiàn)有項目竣工環(huán)境保護驗收的要求?，F(xiàn)有項目于2021年1月18日進行排污許可登記，登記編號：913202145703551029。實際建設過程中，考慮到車間面積較小，為了后期正常運營，企業(yè)擬將年產電子元件30萬片項目整體搬遷至無錫市新吳區(qū)樂星路16號，租賃中國航空工業(yè)集團雷華電子技術研究所已建廠房進行生產。整體搬遷后位于無錫新吳區(qū)新梅路68號的廠房處于空置狀態(tài)，無任何生存設備及處理設施遺留，無相關污染物遺留。本項目不設食堂，職工用餐從快餐公司外購解決，公司僅提供就餐場所。根據《中華人民共和國環(huán)境保護法》以及《建設項目環(huán)境保護管理條例》《中華人民共和國環(huán)境影響評價法》等有關規(guī)定，本項目需要進行環(huán)境影響評價。根據《建設項目環(huán)境影響評價分類管理名錄》（2021年版），本項目類別屬于“三十六、計算機、通信和其他電子設備制造業(yè)39－電子器件制造397－集成電路制造”，需要編制環(huán)境影響評價報告表。無錫英之杰微電子有限公司委托南京博環(huán)環(huán)保有限公司編制“年產電子元件30萬片搬遷項目”環(huán)境影響報告表。接受委托后，我單位立即安排有關環(huán)評人員進行現(xiàn)場踏勘，對項目所處區(qū)域的自然環(huán)境、社會經濟環(huán)境等進行了調查，在此基礎上完成了本項目的環(huán)境影響報告表，交由建設單位上報環(huán)保主管部門審查。2、主要產品及產能情況表2-1建設項目主要產品及產能件/年/年3、主要生產單元、主要工藝及生產設施一覽表建設項目建成后，主要生產單元、主要生產工藝及生產設施情況詳見表2-2。表2-2建設項目主要生產單元、主要工藝及生產設施名稱一覽表間XA-WM-2083003200210011001000100130141001AP-80010781001--100122110011--/1001搬遷后淘汰部分劃片機，利用劃片清洗一體設備替代提高生產效率；新增清洗機、挑粒機等提高生產效率，提高產品質量。本項目新增小型制氮機進行氮氣生產，不再購買氣瓶，用于晶圓、電子元件的暫存，防止與空氣接觸氧化；結合生產實際搬遷后，新增單臺純水制備設備，增大純水制備功率，淘汰原先純水制備設備。3、建設項目原輔材料、理化性質、物料平衡（1）原輔材料消耗表建設項目建成后原輔材料見下表2-3。表2-3建設項目原輔材料消耗一覽表1固2固3-固4氣5/固678統(tǒng)固固（2）理化性質表2-4建設項目原輔材料理化性質表無色無臭氣體，溶于水、烴類等多種有機溶劑），），—19—PAM是一種線型高分子聚合物，它易溶于水，幾乎子聚合物，其化學通式為[Al2(OH)nCl6-n]m，其中m代表聚合），/4、建設項目工程組成表建設項目主體工程、輔助工程、公用工程、環(huán)保工程、儲運工程、依托工程等詳見表2-5。表2-5建設項目工程組成情況表--用-廠3/h/—20——21—制氮工作原理：1、壓縮機將進氣口的空氣壓縮到一定壓力，增加了氮氣和其他雜質的濃度。2、空氣經過冷卻器降溫，使空氣中的水蒸氣凝結成液體水，此時水蒸氣和其他液體雜質被去除。3、利用專用分子篩的吸附差異，將氮氣和氧氣從空氣中分離出來。分子篩在加壓時吸附氧的能力增加，減壓時吸附量減少，從而實現(xiàn)氧和氮的分離，此過程會產生廢分子篩。4、吸附塔飽和后，系統(tǒng)自動切換到再生塔，利用減壓和加熱的方法將吸附劑中的吸附物釋放出來，再生吸附劑，使其恢復吸附能力。5、完成再生后，系統(tǒng)自動切換回吸附塔，繼續(xù)制氮。這樣循環(huán)往復，實現(xiàn)連續(xù)制氮。純水制備工藝流程：圖2-1純水制備工藝流程圖1）砂石過濾：自來水通過砂石過濾截留水中的細小顆粒、懸浮物、膠體、有機物等雜質，—22—目標除濁度，從而保證其出水SDI（污染指數）≤3，有效地防止后續(xù)反滲透裝置發(fā)生污堵現(xiàn)象，過濾器中填料為精制石英砂。該過程產生廢石英砂（S2-1）。2）活性炭過濾：活性炭過濾器進一步去除水中低分子有機物、游離氯，也能減少水中異味、色度和臭味，可防止有機物污染反滲透膜，以滿足反滲透進水余氯小于0.1ppm的要求，過濾器中填料為墊底石英砂與果殼活性炭。該過程產生廢活性炭（S2-2）。3）反滲透：進入RO膜過濾系統(tǒng)，脫掉水中的鹽分。該過程產生廢RO膜（S2-3）、濃水（W2-1）、反沖洗廢水（W2-2）。4）EDI：在直流電場的作用下，通過隔板的水中電解質離子發(fā)生定向移動，利用交換膜對離子的選擇透過作用來對水質進行提純的一種科學的水處理技術，該過程產生廢離子交換樹脂（S2-4）、濃水（W2-3）。建設項目對純水要求較高，所用純水機的純水制備系數為0.6，純水機中砂石、活性炭，2～3年更換一次，廢RO膜、離子交換樹脂4～5年更換一次。廢砂石、廢活性炭、廢RO膜外售綜合利用；廢離子交換樹脂委托有資質單位處置。5、項目給水平衡建設項目年用水量為38700t/a，主要為員工生活用水及純水制備，其中生活用水量為600t/a、純水制備用水為38100t/a。①生活用水建設項目員工定員40人。職工生活用水根據《建筑給水排水設計標準》（GB50015-2019員工用水定額為每人每天40-60L，本次評價員工生活用水定額為50L/人·d，年工作300天，則生活用水量為600t/a，廢水產生量以用水量的80%計，則生活污水產量為480t/a，主要污染物濃度分別為COD350mg/L、SS200mg/L、總氮35mg/L、氨氮25mg/L、總磷4mg/L。②濕法加工（磨片、劃片、清洗）用水建設項目磨片、劃片、清洗等工序均為濕法作業(yè)，根據建設單位提供的資料，磨片、劃片工序作業(yè)時所用的純水用量為16200t/a；清洗工序所用的純水量為5400t/a。廢水產生量以用水量的80%計，則廢水產生量為17280t/a，經廠內污水設施處理后達標接管污水處理廠。建設項目所用“晶圓”，為成品硅質晶片，滿足產品合格要求情況下，不存在砷、重金屬等有害物質，清洗過程利用二氧化碳起泡形成離子水，不添加清洗劑。因此，濕法作業(yè)廢水中主要污染物為COD、SS（硅渣），濃度分別為COD200mg/L、SS1000mg/L，經廠內污水設施處理后達標接管污水處理廠。③循環(huán)冷卻用水建設項目生產過程中磨片機、劃片設備需使用純水進行設備冷卻，補水量與工藝要求、設備運行情況、氣候條件相關。循環(huán)水損耗量約10%，廢水量以循環(huán)量的5%考慮，則補水—23—量為循環(huán)量的15%。根據建設單位提供資料，循環(huán)水量1.0m3/h（7200t/a），則補水量約為1080t/a，廢水量360t/aCOD、SS濃度分別為50mg/L、80mg/L）直接接管市政污水管網；④純水制備用水建設項目生產過程中純水使用量約為22680t/a，項目純水制備系數0.6，則原水用量37800t/a，反滲透、EDI過程濃水產生量15120t/a，反滲透膜需定期進行反沖洗，反沖洗用水量為1t/d，即300t/a，則新鮮水總需求量為38100t/a，最終產生純水制備廢水15420t/a。（純水制備濃水和反沖洗廢水）（COD、SS濃度分別為40mg/L、40mg/L）直接排入市政污水管網。建設項目用排水平衡圖見2-3。圖2-3建設項目用排水平衡圖單位：t/a搬遷后與現(xiàn)有項目水平衡圖發(fā)生變化的方面主要為生活用水、純水制備用水（包括過程中反沖洗用水），其變化原因如下：（1）生活用水減少：根據企業(yè)實際用人情況以及設備效率的提升，雇傭職員人數為40故員工生活用水定額為50L/人·d。（2）純水制備用水增加：本次提高了純水的純度，采用EDI設備制備純水，其純水制備系數降低，為0.6，反滲透過程需進行反沖洗。6、勞動定員及工作制度勞動定員：定員40人工作制度：年工作天數300天，三班制，每班8小時工作制，年工作時間為7200小時。7、廠區(qū)平面布置情況—24—廠區(qū)（2F）北側為主要生產區(qū)域（玻璃隔間），自西向東分別放置磨片機、劃片設備以及挑粒機，中間區(qū)域放置貼膜機、打包區(qū)和檢驗區(qū)，生產區(qū)域最西側為原料儲存柜和產品儲存柜；廠區(qū)最南側自西向東依次為更衣間、辦公區(qū)、原料倉庫、一般固廢倉庫、原料倉庫和餐廳；廠區(qū)最東邊自北向南依次為更衣間和配電房。純水制備和污水處理站在1層獨立廠房。平面布置按照工藝需要進行設置，符合物流能流順序，減少了原材料在各工藝之間的傳送時間和傳送距離，避免了各生產工藝過渡過程中的時間、人力及能源浪費，各原材料均設置專門的存放區(qū)域?？v觀廠房的平面布置，各分區(qū)的布置規(guī)劃整齊，既方便內外交通聯(lián)系，又方便原輔材料和成品的運輸，廠區(qū)平面布置較合理。建設項目車間平面布置圖詳見附圖4?！?5—工藝流程和產排污環(huán)節(jié)1、工藝流程（1）電子元件建設項目生產產品主要為電子元件，詳細生產工藝見下圖。圖2-4電子元件生產工藝流程圖工藝流程簡述如下：檢驗：將外購來的晶圓進行目檢，該工序產生的污染物主要為不合格品（S1-1）。貼膜：為防止后續(xù)芯片背面加工過程中，對正面表層電路的劃痕，背面磨片前，先用貼膜機利用藍貼膜自身的粘貼性將其貼在各類晶圓正面（電路圖面）進行保護，該工序產生的污染物主要為貼膜邊角料（S1-2）。磨片：正面貼膜保護后，利用磨片機對芯片背面打薄。采用濕磨法進行打磨，因此不會產生粉塵。該工序在純水中完成，利用純水沖洗磨片過程中的硅粉、邊角料。磨片工序完成后，烘干（電加熱，40~50℃,10min）或者自然晾干。該工序產生的污染物主要為沖洗廢水—26—（W1-1）、廢玻璃邊角料（S1-3）、設備噪聲（N）。貼膜：磨片后的芯片背面已加工完成，此時利用貼膜機將背面貼膜，避免后續(xù)工序對芯片背面的劃痕，同時人工撕去正面貼膜；該工序產生的污染物為正面廢膜、背面貼膜邊角料劃片：一整片晶圓上通常有幾百至數千個芯片連在一起，不同獨立電氣功能的芯片間留有80μm~150μm間隙，整片晶圓被劃分為多個“劃片街區(qū)”，利用劃片機將每個具有獨立電氣性能的芯片分離出來的過程，稱為劃片。該工序在純水中進行，分離過程中個別劃片間藍膜的粘連，使用UV照射機斷開，完成后置于烘箱內烘干（電加熱，40~50℃,10min）或者自然晾干。該工序產生的污染物主要為劃片廢水（W1-2）。清洗、烘干：將劃片后的晶圓置于清洗機中利用去離子水進行清洗以去除芯片表面殘留的浮灰、渣。為防止靜電對被加工的芯片產生破壞，需利用二氧化碳起泡機對去純水進行離子化處理。其原理為：利用二氧化碳起泡機，將鋼瓶內二氧化碳氣體形成密致氣泡，通入純水產生氫離子、碳酸根離子，形成離子水。清洗后的晶圓再置于烘箱內進行烘干（電加熱，40~50℃,10min）。該工序產生的污染物主要為清洗廢水（W1-3）、廢渣（S1-5）。質檢：在顯微鏡下，檢驗芯片的物理尺寸和表面質量，將不合格品標記，該工序不產生污染物。挑粒：將檢驗后不合格品分選出來，退回上游生產廠家；合格品進行包裝。該工序產生的污染物主要為不合格品（S1-6）。2、其他工藝流程中未說明的產污環(huán)節(jié)建設項目其他工藝流程中未說明的產污主要為職工生活過程中的生活垃圾及生活污水、UV照射機更換的UV燈管、制氮機運行的廢分子篩、廢包裝材料、污水處理站污泥、空壓機含油廢液。3、產污工序建設項目產污工序見表2-6。表2-6建設項目產污工序一覽表W1-1W1-2W1-3W2-2--N—27—-----------------與項目有關的原有環(huán)境污染問題1、現(xiàn)有項目環(huán)保手續(xù)履行情況無錫英之杰微電子有限公司于2020年租賃無錫新吳區(qū)新梅路68號無錫固電半導體股份有限公司一樓標準廠房投資建設了《無錫英之杰微電子有限公司年產電子元件30萬片項目環(huán)境影響報告表》并于2020年10月26日取得了無錫市行政審批局出具的批復（錫行審環(huán)許〔2020〕7473號），企業(yè)于2021年3月10日通過了第一階段自主竣工驗收（產能為年產電子元件15萬片）。表2-7現(xiàn)有項目批復及環(huán)?！叭瑫r”竣工驗收情況現(xiàn)有項目全廠職工16人，工作班制實行三班制，每班8小時，年工作300天。各類環(huán)保治理設施與主體工程均已正常運行，符合現(xiàn)有項目竣工環(huán)境保護驗收的要求。現(xiàn)有項目于2021年1月18日進行排污許可登記，登記編號：913202145703551029。實際建設過程中，考慮到車間面積較小，為了后期正常運營，企業(yè)擬將年產電子元件30萬片項目整體搬遷至無錫市新吳區(qū)樂星路16號，租賃中國航空工業(yè)集團雷華電子技術研究所已建廠房進行生產。整體搬遷后位于無錫新吳區(qū)新梅路68號的廠房處于空置狀態(tài)，無任何生產設備及處理設施遺留，無相關污染物遺留。2、現(xiàn)有項目工藝流程現(xiàn)有項目產品主要為電子元件，其生產工藝與建設項目基本一致，詳見建設項目工程分析內容。3、現(xiàn)有項目產污情況（1）廢氣現(xiàn)有項目運營期，磨片、劃片等工序均為濕法作業(yè)，純水具有冷卻、抑塵的作用，產生—28—的晶圓片碎渣（硅渣）粒徑、重度較大，隨水流進入廢水，現(xiàn)有項目無生產廢氣產生；（2）廢水根據現(xiàn)有項目一期驗收對廠區(qū)廢水處理設施監(jiān)測數據（檢測報告：ZHJC202101003B01監(jiān)測時間為2021年1月6日-7日，詳見下表2-8廢水監(jiān)測結果統(tǒng)計表污水總排口*1pH值-6~9量3污水總排口*1pH值-6~9量3監(jiān)測結果表明：pH、SS、COD、NH3-N、TN、TP值排放監(jiān)測結果達到《半導體行業(yè)污染物排放標準》（DB32/3747-2020）表1間接排放限值，可滿足環(huán)評及批復要求?，F(xiàn)有項目用排水平衡圖見2-1。圖2-2現(xiàn)有項目用排水平衡圖單位：t/a—29—（3）噪聲根據現(xiàn)有項目一期驗收對廠區(qū)噪聲處理設施監(jiān)測數據，監(jiān)測時間為2021年1月6日-7日，詳見下表。表2-9噪聲監(jiān)測結果一覽表表2-9噪聲監(jiān)測結果表明：現(xiàn)有項目廠界監(jiān)測點噪聲監(jiān)測值滿足《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）3類標準限值要求。（4）固廢現(xiàn)有項目固體廢棄物主要為生活垃圾、廢貼膜、廢砂石、廢活性炭、廢RO膜、廢離子交換樹脂、廢UV燈管、過濾渣、水處理廢過濾器、廢包裝材料。表2-10本次驗收項目固體廢物產生和處置匯總表123456789置建設單位廠區(qū)內危險廢物暫存場所的設置已按《危險廢物貯存污染控制標準》（GB18597-2023）要求設置，廠內一般工業(yè)固廢的暫存場所已按照《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標準》（GB18599-2020）要求建設，現(xiàn)有項目固廢均得到有效處置。4、現(xiàn)有項目污染物排放量匯總根據現(xiàn)有項目2021年1月6日-7日對項目竣工驗收監(jiān)測情況，現(xiàn)有項目實際污染物排放量與原環(huán)評量匯總見表2-11。表2-11現(xiàn)有項目污染物排放匯總表（單位：t/a）0000000005、現(xiàn)有項目存在的問題根據竣工驗收報告，現(xiàn)有項目三廢均達標排放，經現(xiàn)場勘查，企業(yè)未有投訴及污染事件發(fā)生。本項目為搬遷項目，項目建成原項目廠區(qū)內全部騰空，各生產設備、原輔材料及固體廢物等均全部清運或直接委托處置，故所有污染物全部削減。6、“以新帶老”削減量核算根據《無錫英之杰微電子有限公司年產電子元件30萬片項目環(huán)境影響報告表》，現(xiàn)有項目廢水“以新帶老”量見表2-12。表2-12現(xiàn)有項目廢水“以新帶老”削減量（單位：t/a）“以新帶老”削減量/0000—30——31—環(huán)境質量現(xiàn)狀1、大氣環(huán)境（1）基準污染物本次評價選取2023年作為評價基準年，根據《2023年度無錫市生態(tài)環(huán)境狀況公報》，項目所在區(qū)域各評價因子數據見表3-1。表3-1空氣環(huán)境質量現(xiàn)狀結果及評價表NO2PM10PM2.54mg/m3由上表可見：2023年無錫市臭氧未達到《環(huán)境空氣質量標準》（GB3095-2012）表1中二級標準要求。因此，判定項目所在地為不達標區(qū)。根據《無錫市大氣環(huán)境質量限期達標規(guī)劃（2018-2025年）》，無錫市達標規(guī)劃的規(guī)劃范圍為：整個無錫市全市范圍（4650平方公里）。無錫市區(qū)面積1643.88平方公里，另有太湖水域397.8平方公里。下轄共5個區(qū)2個市（梁溪區(qū)、濱湖區(qū)、惠山區(qū)、錫山區(qū)、新吳區(qū)、江陰市、宜興市）、7個鎮(zhèn)、41個街道。達標期限：無錫市環(huán)境空氣質量在2025年實現(xiàn)全面達標。遠期目標：力爭到2025年，無錫市PM2.5濃度達到35μg/m3左右，O3濃度達到拐點，除O3以外的主要大氣污染物濃度達到國家二級標準要求，空氣質量優(yōu)良天數比率達到80%?？傮w戰(zhàn)略：以不斷降低PM2.5濃度，明顯減少重污染天數，明顯改善環(huán)境空氣質量，明顯增強人民的藍天幸福感為核心目標，推進能源結構調整，推進熱電整合，優(yōu)化產業(yè)結構和布局：提高各行業(yè)清潔化生產水平，全面執(zhí)行大氣污染物特別排放限值，完成重點企業(yè)顆粒物無組織排放深度治理，從化工、電子（半導體）、涂裝等工業(yè)行業(yè)挖掘VOCs減排潛力，完成重點行業(yè)低VOCs含量原輔料替代目標：以港口碼頭和堆場為重點提高揚塵污染控制水平。促進PM2.5和臭氧協(xié)同控制，推進區(qū)域聯(lián)防聯(lián)控，提升大氣污染精細化防控能力。分階段戰(zhàn)略：到2025年，實施清潔能源利用，優(yōu)化能源結構，以江陰市為重點推進熱電整合。完成重點行業(yè)低VOCs含量原輔料替代目標。升級工藝技術，優(yōu)化工藝流程，提高各行業(yè)清潔化生產水平。大幅提升新能源汽車特別是電動車比例。推進PM2.5和臭氧的協(xié)同控制，推進區(qū)域聯(lián)防聯(lián)控?！?2—2、地表水環(huán)境建設單位廢水接管新城水處理廠，納污水體為江南運河。地表水環(huán)境質量現(xiàn)狀高新區(qū)所在區(qū)域地表水環(huán)境質量例行監(jiān)測結果（報告編號：GS2201001019P1，監(jiān)測時間2022年01月20日-01月22日），監(jiān)測點位為伯瀆港與京杭大運河交叉口上游太湖大道橋W1、新城水處理廠排口下游1000m新虹橋W2和五七大橋走馬塘與京杭運河交匯處下游1500mW3。項目引用的數據時效在三年內，符合《建設項目環(huán)境影響評價技術導則總綱》（HJ2.1-2016）章節(jié)5.1.2“充分收集和利用評價范圍內各例行監(jiān)測點、斷面或站位的近三年環(huán)境監(jiān)測資料或背景值調查資料”要求，具有時效性，因此本項目引用該項目地表水現(xiàn)狀監(jiān)測數據是有效的。監(jiān)測結果見表3-2。表3-2地表水環(huán)境質量現(xiàn)狀引用監(jiān)測結果表單位：mg/L（pH為無量綱）河京杭大運河交叉口上游太湖000/0/0000/0/0游77000/0/0Ⅳ類//02）Ⅳ類標準，水環(huán)境質量現(xiàn)狀良好。3、聲環(huán)境質量建設項目位于無錫市新吳區(qū)，根據《無錫市區(qū)聲環(huán)境功能區(qū)劃分調整方案》（錫政辦發(fā)〔2024〕32號），建設項目所在區(qū)域劃分為3類聲環(huán)境功能區(qū)。根據《2023年度無錫市生態(tài)環(huán)境狀況公報》，2023年全市晝間區(qū)域環(huán)境噪聲平均等效聲級為57.1分貝。其中新吳區(qū)晝間區(qū)域環(huán)境噪聲總體水平等級為三級。企業(yè)自身將通過選用低噪聲設備，設備減振等措施減小噪聲。4、土壤及地下水環(huán)境質量現(xiàn)狀建設項目主要生產電子元件，原料倉庫地面按照一般防滲要求進行防滲；建設項目按照要求建設后，不屬于存在土壤、地下水環(huán)境污染途徑的項目，原則上不開展環(huán)境質量現(xiàn)狀調查。建設項目不涉及電磁輻射，不開展電磁輻射現(xiàn)狀監(jiān)測與評價。6、生態(tài)環(huán)境建設項目不新增用地，范圍內不涉及生態(tài)環(huán)境保護目標。環(huán)境保護目標1、大氣環(huán)境建設項目位于無錫市新吳區(qū)樂星路16號，根據現(xiàn)場勘查，項目周邊500m范圍內無大氣環(huán)境保護目標。2、聲環(huán)境建設項目位于無錫市新吳區(qū)樂星路16號，項目周邊50米范圍內沒有聲環(huán)境敏感目標。3、地表水環(huán)境表3-3地表水保護目標1Ⅳ類N4、地下水環(huán)境廠界外500米范圍內無地下水集中式飲用水水源和熱水、礦泉水、溫泉等特殊地下水資源。5、生態(tài)環(huán)境建設項目用地范圍內無生態(tài)環(huán)境保護目標。污染物排放控制標準1、廢水排放標準建設項目生產廢水、生活污水一并接管新城水處理廠集中處理，接管標準執(zhí)行《半導體行業(yè)污染物排放標準》（DB32/3747-2020）表1間接排放限值。表3-3水污染物排放執(zhí)行標準單位：除pH外為mg/L序號1pH234NH3-N56無錫新城水處理廠尾水執(zhí)行《地表水環(huán)境質量標準》（GB3838-2002）Ⅲ類水質標準，具體見表3-4?！?3——34—表3-4無錫新城水處理廠尾水排放標準表（單位：mg/LpH無量綱）準pHNH3-N≤0.15單位產品基準排水量執(zhí)行江蘇省地方標準《半導體行業(yè)污染物排放標準》（DB32/3747-2020）表2標準，具體見表3-5。表3-5單位產品基準排水量1m3/片2m3/片3m3/片2、噪聲排放標準根據《無錫市區(qū)聲環(huán)境功能區(qū)劃分調整方案》（錫政辦發(fā)〔2024〕32號），項目所在區(qū)域為3類聲環(huán)境功能區(qū)，項目廠界噪聲執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）中的3類標準，具體見表3-6。表3-6工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準單位：dB（A）3、固廢控制標準建設項目產生的一般工業(yè)固體廢物貯存執(zhí)行《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制及《危險廢物收集貯存運輸技術規(guī)范》（HJ2025-2012）中相關規(guī)定要求進行危險廢物的包裝、貯存設施的選址、設計、運行、安全防護、監(jiān)測和關閉等要求進行合理的貯存?？偭靠刂浦笜私ㄔO項目建成后，各種污染物排放總量見表3-7。表3-7建設項目污染物排放量匯總（單位：t/a）稱量量/4.440[1]00.012[1]—35—00.017[1]00.002[1]00000000000006600000注：[1]為排入新城水處理廠的接管考核量；[2]為參照新城水處理廠出水指標計算，作為該項目排入外環(huán)境的水污染物總量；本項目不排放廢氣。本項目廢水污染物接管考核量為：廢水量33540t/a、COD1.788t/a、SS4.440t/a、NH3-N0.012t/a、TN0.017t/a、TP0.002t/a，最終外排情況為：廢水量33540t/a、COD0.671t/a、SS0.168t/a、NH3-N0.012t/a、TN0.017t/a、TP0.002t/a，納入污水處理廠總量范圍內。固廢均得到合理處置。—36—施工期環(huán)境保護措施建設項目生產所用廠房為已建構筑物，施工期主要為設備安裝調試，施工期較短，對周圍環(huán)境影響較小，因此不做施工期環(huán)境影響評價。運營期環(huán)境影響和保護措施建設項目運營期，磨片、劃片等工序均為濕法作業(yè)，純水具有冷卻、抑塵的作用，產生的晶圓片碎渣（硅渣）粒徑、重度較大，隨水流進入廢水。因此，本次環(huán)評不考慮廢氣。2、廢水建設項目廢水主要為員工生活污水及生產廢水。根據《無錫英之杰微電子有限公司年產電子元件30萬片項目環(huán)境影響報告表》核算廢水產污系數。①生活污水量480t/a其中污染物產生濃度分別為COD350mg/L、SS200mg/L、氨氮25mg/L、總氮35mg/L、總磷4.0mg/L，進入化糞池預處理；②濕式作業(yè)廢水17280t/a，其中污染物產生濃度分別為COD200mg/L、SS1000mg/L，進入廠內污水處理站處理；③循環(huán)冷卻外排水360t/a，其中污染物產生濃度分別為COD50mg/L、SS80mg/L，直接接管市政污水管網；④純水制備廢水（純水制備濃水+反沖洗廢水）15420t/a，其中污染物產生濃度分別為COD40mg/L、SS40mg/L，直接接管市政污水管網；（2）廢水污染產生及排放一覽表表4-1廢水污染物產生及排放情況處理措施mg/L水業(yè)pH/廠內污水處理站pH/水///////—37—備廢水//////+/3本項目廢水排放總量為33540t/a，設計產品產量為30萬片電子元件，4、5、6、8、12英寸的芯片數量各為6萬片，本項目各類型產品基準排水量小于《半導體行業(yè)污染物排放標準》（DB32/3747-2020）表2中相關要求。表4-2單位產品基準排水量情況123（3）廢水類別、污染物及污染治理設施信息一覽表表4-3廢水類別、污染物及污染治理設施信息表-站水+反沖---廢水間接排放口基本情況見表4-4。表4-4企業(yè)廢水排放口基本情況表序號（萬限值（mg/L）15—38—定15（4）水污染源監(jiān)測計劃根據《排污單位自行監(jiān)測技術指南總則》（HJ819-2017），建設項目運營期需定期在廢水排放口進行水質監(jiān)測，水污染源監(jiān)測計劃見表4-5。表4-5廢水污染源環(huán)境監(jiān)測計劃（5）廢水污染治理設施可行性分析建設項目實行“雨污分流、清污分流”。生活污水經化糞池預處理達標后，生產廢水（磨片/劃片/清洗等工序濕法作業(yè)廢水），主要污染物為COD、SS，經廠內污水處理站處理后通過市政污水管網接管污水處理廠深度處理。營運期的室外排水體制為雨污分流。1）廠內污水處理站可行性分析①工藝介紹建設項目“廠內污水處理站”具體處理工藝為“調節(jié)+鹽析+混凝沉淀+過濾”，設計處理能力為5t/h，項目年運行300天，則該裝置年可處理廢水量為36000t/a＞17280t/a（建設項目產生），滿足廢水水量處理要求，具體工藝流程見圖4-1?！?9—圖4-1廠內污水處理站工藝流程圖工藝流程簡述：車間生產廢水直接進入集水池，通過污水提升泵與流量計，再以混凝沉淀方法將廢水中大部分SS，雜質等顆粒物去除，再經過過濾系統(tǒng)，再次得到凈化，并加以綜合過濾后保證出水水質，實現(xiàn)達標排放要求。污水調節(jié)池：生產廢水收集到綜合污水調節(jié)池，在綜合污水調節(jié)池中廢水將充分混合，污染去除率可達5%-10%，底部沉降的污泥將定期由污泥泵打入污泥池，停留混合后的出水經泵入一體化污水處理設備?；炷恋矸磻荷a廢水進入反應池中，經自動調節(jié)PH后，投加PAM、PAC，進行鹽析，采用該方法有效讓穩(wěn)定性很強而難于降解的污染物脫穩(wěn)，并將硅離子、雜質收集后凝聚，投加助凝劑PAM，經機械攪拌加速其反應，使廢水中的固體懸浮物形成膠羽狀物體，加快固液分離的速度，然后進入沉淀池進行固液分離，上清液流入中間水箱，在達一定液位由過濾泵送到過濾器，進一步除去SS及COD，使水質穩(wěn)定達到更好效果，此工藝出水快，穩(wěn)定，自動化程度高，操作簡便。經過一體化設備進行各反應后，產生沉降污泥，經污泥轉移泵送入板框壓濾機，污泥經脫水處理后，產生的泥餅定期外運處理，廢液可回流至綜合污水調節(jié)池中重新進行處理。過濾系統(tǒng)：經混凝反應后的出水，經帶式過濾，再以吸附過濾，再次去除SS與異味，使出水得到更好保障，采用砂濾碳濾，可有效地將水中雜質、異味去除。污泥系統(tǒng)：混凝反應沉淀后的污泥，用污泥轉移泵將污泥池中的污泥抽至污水處理站的板框壓濾機，通過板框壓濾機將其擠壓成干泥餅，運至指定地點，壓濾液和污泥池的上清液將回流至綜合污水調節(jié)池進行處理。②裝置構筑物參數建設項目廠內污水處理站主要構筑物參數見下表4-6。表4-6廠內污水處理站構筑物一覽表11-2-1--1--21-1-1-3-3--31-1-2--4-17m3-1-1--5-1-4--4--4--③設計處理效率表4-7廠區(qū)污水處理站處理各處理單元處理效率表座1—40——41—0座1座155由上表可知，本項目生產廢水經污水處理站處理后可滿足《半導體行業(yè)污染物排放標準》（DB32/3747-2020）表1間接排放限值；廢水處理后接管至無錫新城水處理廠處理后，對周圍水環(huán)境影響較小。2）依托污水處理廠可行性分析①處理工藝可行性分析新城水處理廠成立于1998年，經過提標改造和多次擴建，總設計規(guī)模為27萬m3/d，目前一~四期已建成投入運營，其中一期、二期一階段共9萬m3/d污水采用MSBR+濾布濾池+紫外消毒工藝處理；二期續(xù)建和三期共6萬m3/d污水采用A2O+MBR工藝處理，四期擴建2萬m3/d污水采用MSBR+濾布濾池+紫外消毒工藝處理，新城水處理廠一廠尾水現(xiàn)狀排放執(zhí)行《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標準》（GB18918-2002）表1一級A標準；提標改造完成后所有指標均執(zhí)行類《地表水環(huán)境質量標準》（GB3838-2002）Ⅲ類水質標準；五期（二廠）擴建10萬m3/d污水采用“硝化+反硝化濾池+濾布濾池+臭氧活性炭濾池+超濾”工藝處理，尾水達到《地表水環(huán)境質量標準》（GB3838-2002）Ⅲ類標準，排入周涇浜，最終匯入京杭運河。根據咨詢新城水處理廠目前運行情況，“17萬噸/日再提標工程”與“擴建10萬m3/d”正處于試運行調試階段，尚未完成驗收工作。具體工藝流程圖如下：圖4-1一期工程及二期一階段MSBR升級改造后污水處理工藝流程圖—42—圖4-2二期續(xù)建工程污水處理工藝流程圖圖4-3三期工程污水處理工藝流程圖圖4-4四期工程污水處理工藝流程圖—43—圖4-5五期工程污水處理工藝流程圖②接管可行性分析無錫新吳區(qū)范圍內排水采用“雨污分流”制，現(xiàn)有雨、污水接管口已根據江蘇省生態(tài)環(huán)境廳《江蘇省排污口設置及規(guī)范化整治管理辦法》進行設置，本項目位于無錫新城水處理廠污水管網覆蓋范圍內，目前，項目所在地區(qū)域管網已鋪設到位。因此，建設項目的廢水接管進入無錫新城水處理廠集中處理是可行的。③廢水量接管的可行性分析目前，無錫新城水處理廠已接納污水量約25.25萬t/d，尚有處理余量1.75萬t/d，本項目生活污水+生產廢水排放量為33540t/a（111.8t/d）。因此，無錫新城水處理廠目前尚有余量能夠接納本項目的污水，從處理規(guī)模上講，接管進入無錫新城水處理廠進行集中處理是可行。④廢水水質的可行性分析本項目生產廢水水質較為簡單，濕法作業(yè)廢水經廠內污水處理站處理后能夠滿足《半導體行業(yè)污染物排放標準》（DB32/3747-2020）表1間接排放限值。（6）地表水環(huán)境影響評價結論建設項目產生的生活污水經化糞池處理，濕法作業(yè)廢水經廠區(qū)污水處理站處理后，一并和純水制備廢水（濃水+反沖洗廢水）、循環(huán)冷卻排水接入市政污水管網，水質滿足《半導體行業(yè)污染物排放標準》（DB32/3747-2020）表1間接排放限值，同時達到無錫新城水處理廠設計進水標準要求后，通過市政污水管網接管至無錫新城水處理廠處理，尾水排入江南運河。項目廢水經處理后滿足無錫新城水處理廠接管標準的要求，從水質水量、接管標準及建設進度等方面綜合考慮，項目廢水接管至無錫新城水處理廠處理是可行的。因此，項目對地表水環(huán)境的影響可以接受?！?4—3、噪聲（1）噪聲源及降噪情況建設項目主要噪聲源為：磨片機、劃片機、挑粒機、空壓機等機械噪聲，單臺噪聲級70~80dB(A)。建設單位擬采取以下降噪措施：1）控制設備噪聲在設備選型時選用先進的低噪聲設備，在滿足工藝設計的前提下，盡量選用滿足國際標準的低噪聲、低振動型號的設備，降低噪聲源強。2）設備減振、隔聲、消聲器高噪聲設備安裝減振底座，電機設置隔聲罩。對風機的進、出口處安裝阻性消聲器，并在機組與地基之間安置減震器，在風機與排氣筒之間設置軟連接；選用低噪聲環(huán)保型冷卻塔，并設置減振底座、隔聲堤，以降低噪聲對廠界的影響。通過以上處理措施處理后，可降噪約15dB(A)左右。3）加強建筑物隔聲措施高噪聲設備除風機外均安置在室內，合理布置設備的位置，有效利用了建筑隔聲，防止噪聲的擴散和傳播，正常生產時門窗密閉，采取隔聲措施，降噪量約20dB(A)左右。4）強化生產管理確保各類防治措施有效運行，各設備均保持良好運行狀態(tài)，防止突發(fā)噪聲。（2）廠界達標情況分析根據《環(huán)境影響評價技術導則聲環(huán)境》（HJ2.4-2021），選取預測模式，應用過程中將根據具體情況做必要簡化。聲環(huán)境影響評價中聲級的疊加是按能量（聲功率或聲壓平方）相加的（聲壓級及聲功率級的疊加計算均為下式）?！鱾€噪聲源疊加后的總聲壓級，dB；—第i個噪聲源的聲壓級，dB；N—噪聲源總個數。如果有N個相同聲源疊加，則總聲壓（功率）級為：LP=LP1+10lgN1）室內聲源等效室外聲源聲功率級計算方法—45—①計算某一室內聲源靠近圍護結構處產生的倍頻帶聲壓級或A聲級：式中In—靠近開口處（或窗戶）室內某倍頻帶的聲壓級或A聲級，dB；——點聲源聲功率級（A計權或倍頻帶），dB；Q——指向性因數；通常對無指向性聲源，當聲源放在房間中心時，Q=1；當放在一面墻的中心時，Q=2；當放在兩面墻夾角處時，Q=4；當放在三面墻夾角處時，Q=8；本項目按照Q=2；R——房間常數；R=Sa/(1-a)，S為房間內表面面積，m2；α為平均吸聲系數；平均吸聲系數按照0.02考慮（洪宗輝《環(huán)境噪聲控制工程》（高等教育出版社）中混凝土的吸聲系）；r——聲源到靠近圍護結構某點處的距離，m。②計算出所有室內聲源在圍護結構處產生的i倍頻帶疊加聲壓級：式中：——靠近圍護結構處室內N個聲源i倍頻帶的疊加聲壓級，dB；——室內j聲源i倍頻帶的聲壓級，dB；N——室內聲源總數。③在室內近似為擴散聲場時，計算出靠近室外圍護結構處的聲壓級：式中：——靠近圍護結構處室外N個聲源i倍頻帶的疊加聲壓級，dB；—46———靠近圍護結構處室內N個聲源i倍頻帶的疊加聲壓級，dB；——圍護結構i倍頻帶的隔聲量，dB，根據前面分析按照25dB計。④將室外聲源的聲壓級和透過面積換算成等效的室外聲源，計算出中心位置位于透聲面積（S）處的等效聲源的倍頻帶聲功率級。式中：——中心位置位于透聲面積（S）處的等效聲源的倍頻帶聲功率級，dB；——靠近圍護結構處室外聲源的聲壓級，dB；S——透聲面積，m2，為簡化計算，透聲面積按照墻體面積計。⑤然后按室外聲源預測方法計算預測點處的A聲級。本項目聲源處于半自由聲場，則：式中：Lp(r)——預測點處聲壓級，dB；Lw——由點聲源產生的倍頻帶聲功率級，dB；r——預測點距聲源的距離。⑥預測點的貢獻值和背景值按能量疊加方法計算得到的聲級。噪聲預測值（Leq）計算公式為：式中：Leq——預測點的噪聲預測值，dB；Leqg——建設項目聲源在預測點產生的噪聲貢獻值，dB；Leqb——預測點的背景噪聲值，dB。建設項目高噪聲設備情況見表4-8、表4-9。表4-8工業(yè)企業(yè)噪聲源強調查清單（室外聲源）XYZ1211/11表4-9工業(yè)企業(yè)噪聲源強調查清單（室內聲源）序號/dB(A)XYZ1間4243AP-8004445YC-00346站/4—47——48—（3）廠界達標情況分析建設項目建成后，廠界噪聲貢獻值預測結果與達標分析見表4-10。表4-10廠界噪聲貢獻值預測結果達標分析XYZ從上表可知，建設項目建成后，高噪聲設備經廠房隔聲和距離衰減后，對東、南、西、北廠界的噪聲預測值分別為48.84dB(A)、42.54dB(A)、42.57dB(A)、43.29dB(A)，滿足《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）3類晝間噪聲值≤65dB(A)，夜間噪聲值≤55dB(A)的標準要求。（4）噪聲監(jiān)測計劃根據《排污單位自行監(jiān)測技術指南總則》（HJ819-2017），廠界噪聲最低監(jiān)測頻次為季度，并在噪聲監(jiān)測點附近醒目處設置環(huán)境保護圖形標志牌。表4-11噪聲環(huán)境監(jiān)測計劃4、固廢（1）固體廢物產生情況建設項目生產過程中產生的生活垃圾由環(huán)衛(wèi)清運；不合格品原廠家回收；廢貼膜、廢玻璃邊角料、廢渣、廢石英砂、廢活性炭、廢RO膜、廢包裝材料、污泥外售綜合利用；廢分子篩、廢離子交換樹脂、廢UV燈管、空壓機含油廢液，按照相關要求委托原廠家處置。固廢堆場單獨設隔間，分類、分區(qū)貯存，地面防滲、內設禁火標志，配置滅火器材。根據建設單位提供的資料晶圓涉及芯片專利、核心技術等問題，不合格芯片粘連在藍膜上，直接返回上游生產廠家，回收再利用，不作為固廢處理。1）員工生活垃圾建設項目員工定員40人，生活垃圾按0.5kg/人?d計，年工作300天，則產生員工垃圾6t/a，統(tǒng)一收集后交由環(huán)衛(wèi)部門清運；2）不合格品晶圓入廠后需要目檢，會產生少量不合格品，后續(xù)挑粒工序產生不合格品，根據建設單位提供的資料，不合格產生量較少，年產生量為1.5t，返回原廠家。3）廢貼膜—49—廢貼膜為貼膜時產生的廢貼膜邊角料。根據建設單位提供的資料，廢貼膜邊角料產生量約為1.2t/a；統(tǒng)一收集后外售。4）廢玻璃邊角料膜片磨角時產生的廢玻璃邊角料。根據建設單位提供的資料，廢玻璃邊角料產生量約為1.0t/a；統(tǒng)一收集后外售。5）廢渣：本項目清洗晶圓時會產生少量的廢渣，根據建設單位提供的資料，廢渣產生量約為0.1t/a，統(tǒng)一收集后外售。6）純水制備過程產生的固廢純水制備工程產生廢石英砂、廢活性炭、廢離子交換樹脂、廢RO膜，砂石、活性炭，2～3年更換一次，廢RO膜、離子交換樹脂4～5年更換一次。廢石英砂產生量約為0.25t/a，廢活性炭產生量約為0.12t/a，廢RO膜產生量約為0.1t/a，廢離子交換樹脂產生量約為0.04t/a。廢離子交換樹脂委托有資質單位處置，廢砂石、廢活性炭、廢RO膜為一般工業(yè)固廢外售綜合利用。7）廢UV燈管：建設項目劃片分離過程中，個別劃片間藍膜的粘連，使用UV照射機斷開。該儀器內燈管4~5年更換一次，廢燈管產生量約0.002t/a，委托有資質單位處置；8）廢分子篩：制氮機利用分子篩實現(xiàn)氣體分離，為保證制氮機的制氮純度，需定期更換分子篩，結合更換頻次和填充量，年產生量為0.05t/a。9）廢包裝材料本項目原輔料包拆包、產品包裝箱時會產生廢包裝材料，根據建設單位提供的資料產生量約0.3t/a，為一般固體廢物，收集后外賣、綜合利用。10）污水處理站污泥：V=100CoηQ/1000（100-p）ρ式中：V——沉淀污泥量，m3/d；Q—污水流量，m3/d本項目為60m3/d）η——去除率，%本項目η以80%計）Co—進水懸浮物濃度，mg/L；（本項目SS取為1000）P—污泥含水率，%；（P取75%）ρ—沉淀污泥密度，以1200kg/m3計。根據以上公式計算出，沉淀池的污泥（含水率75%）產生量為16t/a，則污水處理站污泥量約16t/a，廠區(qū)收集后外售處置。11）空壓機含油廢液：空壓機設備維護產生的廢油，年產量為0.005t/a。（2）固體廢物處置利用情況表4-12建設項目固體廢物利用處置方式一覽表1固62345固家固固固6789固固固脂固置固固固固液液置從項目采用的固廢利用及處置方式來分析，對產生的各類固廢按其性質分類分區(qū)收集和暫存，并均能得到有效利用或妥善處置。在嚴格管理下，建設項目的固體廢物對周圍環(huán)境不會產生二次污染。（3）固廢暫存場所（設施）環(huán)境影響分析①一般固廢暫存場所（設施）環(huán)境影響分析建設項目擬在倉庫1東南角設5m2一般固廢暫存間，一般固廢堆場已按照《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標準》（GB18599-2020）要求建設，對一般固廢堆放區(qū)地面進行了硬化，并做好防腐、防滲和防漏處理，企業(yè)已制定“一般固廢倉庫管理制度”“一般工業(yè)固廢處置管理規(guī)定”，由專人維護。暫存生產過程中一般固廢：不合格品、廢邊角料等外售綜合利用，廢模具由廠家回收利用。因此，項目一般工業(yè)固廢的收集、貯存對環(huán)境的影響較小。②危險廢物貯存場所（設施）環(huán)境影響分析建設項目擬在倉庫2東南角設5m2的危險廢物貯存點，貯存場所擬按照《危險廢物貯存污染控制標準》（GB18597-2023）的相關要求建設，建設項目危廢已分類存放、貯存，不相容的危險廢物除分類存放，還應設置隔離間隔斷。廢離子交換樹脂（HW13）年產量為0.04t/a，由廠家更換后回收處置，占地0.5m2；廢UV燈管（HW29）年產量為0.002t/a，由廠家更換后回收處置，占地0.5m2；廢分子篩（HW49）年產量為0.05t/a，袋裝后堆放貯存，占地0.5m2；空壓機含油廢液（HW09）年產量為0.005t/a，桶裝后堆放貯存，占地0.5m2；—50——51—收集的危險廢物及時貯存至危險廢物倉庫，同時建立危險廢物管理制度，設置儲存臺賬，如實記錄危險廢物儲存及處理情況，貯存場所擬在出入口設置在線視頻監(jiān)控?？諌簷C含油廢液置于密閉容器內，廢離子交換樹脂、廢UV燈管、廢分子篩等固態(tài)危廢采用袋裝，貯存時間短，且均采用密閉儲存，貯存過程中不會揮發(fā)出廢氣，不會對環(huán)境空氣、地表水、地下水、土壤以及環(huán)境敏感目標造成影響。因此，危險廢物的貯存滿足《危險廢物貯存污染控制標準》（GB18597-2023）的相關要求。③固廢暫存間環(huán)境保護圖形標志本項目環(huán)境保護圖形標志根據《環(huán)境保護圖形標志－固體廢物貯存（處置）場》（GB15562.2-1995）及其修改單、《危險廢物識別標志設置技術規(guī)范》（HJ1276-2022）、《省生態(tài)環(huán)境廳關于做好<危險廢物貯存污染控制標準>等標準規(guī)范實施后危險廢物環(huán)境管理銜接工作的通知》（蘇環(huán)辦〔2023〕154號）設置，本項目固廢貯存場所的環(huán)境保護圖形標志的具體要求見表4-13。表4-13固廢倉庫的環(huán)境保護圖形標志一覽表簽牌（4）運輸過程的環(huán)境影響分析危險廢物的收集、運輸按照《危險廢物收集貯存運輸技術規(guī)范》（HJ2025-2012）的要求進行。在運輸過程中，按照《江蘇省固體廢物污染環(huán)境防治條例》中對危險廢物的包裝、運輸的有關標準、技術規(guī)范和要求進行，有效防止危險廢物轉移過程中污染環(huán)境。項—52—目需處理的危險廢物采用專門的車輛，密閉運輸，嚴格禁止拋灑滴漏，杜絕在運輸過程中造成環(huán)境的二次污染。在危險廢物的運輸中執(zhí)行《危險廢物轉移聯(lián)單管理辦法》中有關的規(guī)定和要求。建設單位須針對此對員工進行培訓，加強安全生產及防止污染的意識，培訓通過后方可上崗，對于固體廢棄物的收集、運輸要實施專人專職管理制度并建立好臺賬。（5）污染防治措施及其經濟、技術分析1）貯存場所（設施）污染防治措施A.一般固廢建設項目一般工業(yè)固廢，應按照相關要求分類收集貯存，暫存場所應滿足《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標準》（GB18599-2020）《環(huán)境保護圖形標志固體廢物貯存（處置）場》（GB15562.2-1995）及其修改單等規(guī)定要求。Ⅰ、貯存、處置場的建設類型，必須與將要堆放的一般工業(yè)固體廢物的類別相一致。Ⅱ、為保障設施、設備正常運行，必要時應采取措施防止地基下沉，尤其是防止不均勻或局部下沉。Ⅲ、貯存、處置場的使用單位，應建立檔案制度。應將入場的一般工業(yè)固體廢物的種類和數量以及下列資料，詳細記錄在案，長期保存，供隨時查閱。B.危險固廢建設項目設置的危廢暫存場所應滿足如下要求：I、貯存物質相容性要求：在常溫常壓下不水解、不揮發(fā)的固體危險廢物可在貯存場所內分別堆放，除此之外的其他危險廢物必須存放于容器中，存放用容器也須符合（GB18597-2023）標準的相關規(guī)定；禁止將不相容（相互反應）的危險廢物在同一容器中存放；無法裝入常用容器的危險廢物可用防漏膠袋等盛裝。II、包裝容器要求：危險廢物貯存容器應當使用符合標準的容器盛裝危險廢物，裝載危險廢物的容器及材質要滿足相應的強度要求，完好無損，盛裝危險廢物的容器材質和襯里要與危險廢物相容。III、危險廢物貯存場所要求：項目危廢倉庫應按照《危險廢物貯存污染控制標準》（GB18597-2023）的相關要求建設：地面設置防滲層，配備通訊設備、照明設施、安全防護服裝及工具，并設有應急防護設施；在危險廢物倉庫出入口、設施內部、危險廢物運輸車輛通道等關鍵位置按照危險廢物貯存設施視頻監(jiān)控布設要求設置視頻監(jiān)控，并與中控室聯(lián)網。對危險廢物的容器和包裝物以及收集、貯存、運輸、處置危險廢物的設施、場所，擬設置危險廢物識別標志。危廢貯存過程必須分類存放、貯存，并必須做到防雨、防滲、防漏、防揚散、防流失—53—及其他防止污染環(huán)境的措施，不得隨意露天堆放，地面進行耐腐蝕硬化處理，地基須防滲，地面表面無裂縫；不相容的危險廢物需分類存放，并設置隔離間隔斷；具備警示標識等方面內容。IV、危險廢物暫存管理要求：危廢暫存間設立危險廢物進出入臺賬登記管理制度，記錄每次運送流程和處置去向，嚴格執(zhí)行危險廢物電子聯(lián)單制度，實行對危險廢物從源頭到終端處理的全過程監(jiān)管，確保危險廢物100%得到安全處置。（7）危險廢物運輸過程的環(huán)境影響分析建設項目危險廢物委托資質單位進行運輸，在運輸過程中要采用專用的車輛，密閉運輸，嚴格禁止跑冒滴漏，杜絕在運輸過程中造成環(huán)境的二次污染，在危險廢物的運輸中執(zhí)行《危險廢物轉移聯(lián)單管理辦法》中有關的規(guī)定和要求。（8）危險廢物環(huán)境風險評價按照《建設項目環(huán)境風險評價技術導則》（HJ169-2018），建設項目的危險廢物具有有毒有害危險性，存在泄漏風險，建