單晶制絨設(shè)備培訓(xùn)

1、,2011-9-10,單 晶 清 洗 設(shè) 備 培 訓(xùn),概 述,第一部分：?jiǎn)尉逑丛O(shè)備的組成 第二部分：?jiǎn)尉逑丛O(shè)備的開(kāi)機(jī) 第三部分：?jiǎn)尉逑丛O(shè)備操作 第四部分：?jiǎn)尉逑丛O(shè)備的關(guān)機(jī),單晶清洗設(shè)備的組成,一、單晶制絨機(jī) 1、單晶制絨槽式主體/一臺(tái) 2、上下料臺(tái)/各一個(gè) 3、NaOH、IPA補(bǔ)液系統(tǒng)/一套 4、純水預(yù)熱槽/一個(gè) 5、電控柜/一個(gè) 二、酸洗機(jī) 1、酸洗槽式主體/一臺(tái) 2、上下料臺(tái)/各一個(gè) 3、電控柜/一個(gè) 三、去PSG機(jī) 1、去PSG槽式主體/一臺(tái) 2、上下料臺(tái)/各一個(gè) 3、電控柜/一個(gè) 四、甩干機(jī),單晶清洗設(shè)備功能介紹,單晶槽式制絨機(jī)：用堿性溶液（NAOH）清洗硅片表 面的污 損，

2、并在硅片表面刻蝕出金字塔形的絨面。 酸洗機(jī)：用HCL、HF去除硅片表面的金屬離子。 去PSG機(jī)：用HF去除硅片表面的磷硅玻璃。 甩干機(jī)：先用水清洗硅片，再用熱氮?dú)馊コ杵?面殘留的液體。,單晶制絨設(shè)備主體,上下料臺(tái),上料臺(tái),下料臺(tái),NAOH、IPA自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng),純水預(yù)熱槽,電控柜內(nèi)部圖,壓縮空氣、氮?dú)夂图兯?yīng)管,工 作 流 程,NAHO 預(yù)處理 60S,上料臺(tái),DI水 噴淋 25S,DI水 漂洗 10S,HF 酸洗 10S,DI水 漂洗 10S,NAOH、IPA、輔助劑 制絨 1100S,DI水 漂洗 10S,DI水 漂洗 30S,NAOH、H2O2 去損傷 180S,下料臺(tái),單晶制絨,工

3、 作 流 程,HCL 酸洗 120S,上料臺(tái),甩干,下料臺(tái),DI水 噴淋 120S,DI水 漂洗 60S,DI水 噴淋 60S,HCL、HF 酸洗 120S,DI水 漂洗 60S,酸洗,工 作 流 程,HF 酸洗 120S,上料臺(tái),甩干,下料臺(tái),DI水 噴淋 120S,DI水 噴淋 60S,DI水 漂洗 60S,DI水 漂洗 60S,去PSG,DI水 低速?lài)娏?30S,上料,高速吹N2 180S,卸料,甩干機(jī),制絨設(shè)備開(kāi)機(jī)前檢查,壓縮空氣、氮?dú)?、純水?閥門(mén)處于打開(kāi)狀態(tài)，壓縮空氣、氮?dú)鈮毫?-6bar,DI水,CDA,N2,CDA調(diào)壓閥,N2調(diào)壓閥,制絨設(shè)備開(kāi)機(jī)前檢查,化學(xué)品補(bǔ)液槽按要求配液,

4、純水預(yù)熱槽溫度達(dá)到設(shè)定值,刻度標(biāo)尺,單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作,第一步：打開(kāi)設(shè)備電控柜總電源，依次打開(kāi)各功能電源開(kāi)關(guān),電控柜內(nèi)各 電源開(kāi)關(guān),單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作,第二步：等待觸摸屏顯示后，進(jìn)入主界面進(jìn)行工藝參數(shù)設(shè)置,參數(shù)設(shè)置按鈕,單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作,點(diǎn)擊“參數(shù)設(shè)置進(jìn)入”按鈕后，彈出密碼框，輸入密碼后，按“確認(rèn)”按鈕即可進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置項(xiàng)。,進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置畫(huà)面，由工藝員對(duì)工藝參數(shù)（清洗時(shí)間、各槽溫度、自動(dòng)配液參數(shù)、排液時(shí)間）進(jìn)行設(shè)置。,單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作,點(diǎn)擊“自動(dòng)補(bǔ)液參數(shù)設(shè)置”按鈕后，進(jìn)入畫(huà)面，對(duì)各槽DI水、NAOH、IPA自動(dòng)補(bǔ)液量進(jìn)行設(shè)置,自動(dòng)補(bǔ)液畫(huà)面,單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作,點(diǎn)擊“時(shí)間溫

5、速度設(shè)置”按鈕后，進(jìn)入畫(huà)面，對(duì)各槽清洗時(shí)間、及各加熱槽的溫度進(jìn)行設(shè)置，機(jī)械臂速度設(shè)置為500MM/S，除設(shè)備調(diào)試外，一般不作改動(dòng)。,時(shí)間、溫度、速度設(shè)置,單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作,第三步：設(shè)置好工藝參數(shù)后，點(diǎn)擊“返回”按鈕，即可返回主菜單，然后點(diǎn)擊“報(bào)警畫(huà)面”，確認(rèn)是否有報(bào)警。,報(bào)警按鈕,彈出報(bào)警框，報(bào)警項(xiàng)顯示為綠色，則是報(bào)警已解除，若顯示為紅色，則需要對(duì)報(bào)警進(jìn)行手動(dòng)處理。,單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作,進(jìn)行手動(dòng)處理時(shí)，在主菜單中點(diǎn)擊手動(dòng)按鈕即可進(jìn)入各手動(dòng)畫(huà)面：,點(diǎn)擊“上升”“下降”“左移”“右移”按鈕即可對(duì)機(jī)械臂進(jìn)行移動(dòng)操作。,點(diǎn)擊“循環(huán)泵ON”按鈕即可打開(kāi)或關(guān)閉各循環(huán)泵，當(dāng)標(biāo)識(shí)顯示為綠色時(shí)，即標(biāo)識(shí)

6、泵已打開(kāi)。,機(jī)械臂手動(dòng)畫(huà)面,循環(huán)泵手動(dòng)畫(huà)面,單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作,點(diǎn)擊“左蓋開(kāi)”“右蓋開(kāi)”按鈕即可打開(kāi)蓋板，標(biāo)識(shí)顯示為綠色即為打開(kāi)狀態(tài)，點(diǎn)擊“左蓋關(guān)”“右蓋關(guān)”按鈕即可關(guān)閉蓋板。,點(diǎn)擊各對(duì)應(yīng)槽體的“閥ON”，打開(kāi)閥門(mén)排液，在排液前需對(duì)排液時(shí)間進(jìn)行設(shè)置。,槽蓋手動(dòng)畫(huà)面,排水手動(dòng)畫(huà)面,單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作,排水時(shí)間設(shè)置畫(huà)面,手動(dòng)加熱畫(huà)面,點(diǎn)擊時(shí)間設(shè)置按鈕進(jìn)行各槽的排液時(shí)間設(shè)置，以S為單位。,點(diǎn)擊“加熱ON”按鈕，對(duì)所對(duì)應(yīng)槽進(jìn)行加熱，加熱時(shí)“加熱”標(biāo)識(shí)顯示為綠色。,單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作,鼓泡加水手動(dòng)畫(huà)面,手動(dòng)補(bǔ)液設(shè)置,點(diǎn)擊“鼓泡閥ON”或“加水閥ON可對(duì)所需槽進(jìn)行鼓泡或加水。,設(shè)置好補(bǔ)液量，手

7、動(dòng)按“ON”按鈕對(duì)所需工藝槽DI水、NAHO、IPA進(jìn)行補(bǔ)液,單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作,第四步：確認(rèn)無(wú)報(bào)警后，再點(diǎn)擊“監(jiān)控畫(huà)面”檢查設(shè)備槽體的溫度、液位是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，監(jiān)控顯示的花籃要與槽體里的一致。,監(jiān)控1,監(jiān)控2,單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作,若畫(huà)面顯示的花籃與槽體實(shí)際花籃不一致，可進(jìn)入主菜單，點(diǎn)擊“籃料強(qiáng)制”按鈕，進(jìn)入籃料設(shè)置畫(huà)面。,點(diǎn)擊畫(huà)面中的“有”按鈕，則會(huì)顯示有籃，點(diǎn)擊“無(wú)”顯示無(wú)籃。,單晶制絨設(shè)備運(yùn)行及操作,第五步：進(jìn)入“主菜單”，點(diǎn)擊“系統(tǒng)啟動(dòng)畫(huà)面”,在手動(dòng)狀態(tài)下按“回原點(diǎn)”，當(dāng)出現(xiàn)OK后，將觸摸屏下方的自動(dòng)手動(dòng)開(kāi)關(guān)切換到自動(dòng)狀態(tài)，按“自動(dòng)啟動(dòng)”按鈕，設(shè)備開(kāi)始運(yùn)行,系統(tǒng)啟動(dòng)畫(huà)面,單晶制絨

8、設(shè)備運(yùn)行及操作,第六步：將裝好硅片的料籃放于上料臺(tái)后，按開(kāi)始按鈕，即進(jìn)行生產(chǎn)。,開(kāi)始 按鈕,單晶制絨設(shè)備的關(guān)機(jī),1. 確保槽內(nèi)無(wú)花籃； 2. 將設(shè)備切換到手動(dòng)狀態(tài)，通過(guò)觸摸屏排掉槽內(nèi)液體，并加DI水清洗干凈； 3.關(guān)閉電控柜內(nèi)主電源開(kāi)關(guān)、純水預(yù)熱槽電源開(kāi)關(guān)； 4.關(guān)閉純水、氮?dú)?、壓縮空氣閥門(mén)。,主電源,主電源,制絨機(jī)電控柜,預(yù)熱槽電控柜,酸洗、去PSG設(shè)備開(kāi)機(jī)運(yùn)行操作及關(guān)機(jī),酸洗、去PSG開(kāi)機(jī)前檢查、運(yùn)行操作及關(guān)機(jī)請(qǐng)參照制絨機(jī)。,酸洗設(shè)備,去PSG設(shè)備,甩干機(jī),甩干設(shè)備開(kāi)機(jī)前檢查,壓縮空氣、氮?dú)?、純水?閥門(mén)處于打開(kāi)狀態(tài)，壓縮空氣、氮?dú)鈮毫?-6bar。,DI水閥,CDA閥,N2閥,甩干機(jī)運(yùn)行

9、及操作,第一步：打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，在觸摸屏“參數(shù)設(shè)置”畫(huà)面中設(shè)置工藝參數(shù)，并點(diǎn)擊“低溫開(kāi)”、“高溫開(kāi)”按鈕。,甩干機(jī)運(yùn)行及操作,第二步：等待溫度控制器上的溫度顯示達(dá)到設(shè)定值； 第三步：點(diǎn)擊“開(kāi)門(mén)”按鈕，打開(kāi)蓋板，放入裝載硅片的片盒后，雙手按住“關(guān)門(mén)”按鈕，直至蓋板關(guān)到位； 第四步：按“運(yùn)行”按鈕進(jìn)行工作； 第五步：甩干結(jié)束，蜂鳴器響后按“開(kāi)門(mén)”按鈕，打開(kāi)蓋板取出片盒。,甩干機(jī)的關(guān)機(jī),1、打開(kāi)蓋板確認(rèn)旋轉(zhuǎn)盤(pán)內(nèi)無(wú)片盒； 2、關(guān)閉蓋板，將電源開(kāi)關(guān)切換到關(guān)的狀態(tài)； 3、打開(kāi)電控柜門(mén)，關(guān)閉電源 4、關(guān)閉DI水N2CDA閥門(mén),電源開(kāi)關(guān),電控柜內(nèi)總電源,中聯(lián)酸洗機(jī),中聯(lián)酸洗機(jī)比較與JJC酸洗機(jī)除多了自動(dòng)烘干功能外，其它工藝均一致。 開(kāi)機(jī)檢查及關(guān)機(jī)參照制絨設(shè)備。,正面圖,背面圖,中聯(lián)酸洗機(jī),熱風(fēng)烘干系統(tǒng),加熱鼓風(fēng)設(shè)備,中聯(lián)酸洗機(jī)的運(yùn)行操作,打開(kāi)電源后，按觸摸屏下方的“電源啟動(dòng)”按鈕，啟動(dòng)后按“運(yùn)轉(zhuǎn)準(zhǔn)備”按鈕，等待觸摸屏進(jìn)入操作主畫(huà)面。,電源啟動(dòng),運(yùn)轉(zhuǎn)準(zhǔn)備,中聯(lián)酸洗機(jī)的運(yùn)行操作,主畫(huà)面,進(jìn)入“主畫(huà)面”后，按屏幕右下角的“菜單欄”，即進(jìn)入菜單，對(duì)設(shè)備各項(xiàng)功能、工藝參數(shù)進(jìn)行設(shè)置。,菜單欄,點(diǎn)擊菜單欄的各項(xiàng)功能，可進(jìn)行開(kāi)關(guān)蓋板、機(jī)械臂手動(dòng)移