第5章測試系統(tǒng)基本單元模塊(1)———傳感器與調(diào)理電路.ppt

1、第 章 測試系統(tǒng)基本單元模塊()傳感器與調(diào)理電路,. 傳感器概述,. 電參數(shù)型傳感器,. 電量型傳感器,. 頻率輸出型數(shù)字傳感器,. 放大器,. 傳感器概述,5.1.1傳感器的定義,()從輸入端來看，一個指定的傳感器只能感受或響應(yīng)規(guī)定的物理量，即傳感器對規(guī)定的被測量具有最大的靈敏度和最好的選擇性。,()從輸出端來看，傳感器的輸出信號為“可用信號”。,()從輸入與輸出關(guān)系來看，這種關(guān)系應(yīng)具有“一定規(guī)律”。,5.1.2傳感器的分類 )按被測量分類 ()機械量:位移、力、速度、加速度、重量等。 ()熱工量:溫度、壓力、流量、液位、物位、流速等。 ()化學(xué)量:濃度、黏度、濕度等。 ()光學(xué)量:光強、光

2、通量、輻射能量等。 ()生物量:血糖、血壓、酶等,)按輸出量的性質(zhì)分類 ()電參數(shù)型傳感器:傳感器的輸出量為電參量(電阻、電容、電感等)，如電阻式、電感式和電容式等。 ()電量型傳感器:傳感器輸出量為電量(電壓、電流、電荷)，如熱電式、光電式、壓電式、磁電式等。,. 傳感器概述,)按能源分類 ()有源傳感器:傳感器將從被測對象獲取的信息能量直接轉(zhuǎn)換成輸出信號能量。 ()無源傳感器:傳感器將從被測對象獲取的信息能量用于調(diào)制或控制外部激勵源，使外部激勵源的部分能量載運信息而形成輸出信號。,)按照結(jié)構(gòu)性質(zhì)分類 ()結(jié)構(gòu)型:結(jié)構(gòu)型傳感器是依靠傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù)變化而實現(xiàn)信號轉(zhuǎn)換的。 ()物性型:傳感器依

3、賴物理屬性的改變直接將輸入信號轉(zhuǎn)換為輸出信息。 它沒有中間轉(zhuǎn)換機構(gòu)，與結(jié)構(gòu)型對應(yīng)而言，它只有變換器。,. 電參數(shù)型傳感器,5.2.1電阻式傳感器,)應(yīng)變式傳感器,()工作原理 當(dāng)金屬絲在外力的作用下發(fā)生機械變形時，其電阻值將發(fā)生變化，這種現(xiàn)象稱為金屬絲的電阻應(yīng)變效應(yīng)。以一個長度 、橫截面積、電阻率 的金屬電阻絲為例，當(dāng)有垂直于它的橫截面的拉力 存在時，則金屬電阻絲的尺寸發(fā)生變化。 長度變?yōu)?，橫截面積變?yōu)?，電阻率變?yōu)?，使電阻 變化了。,無 作用(當(dāng) 時)，電阻為:,. 電參數(shù)型傳感器,當(dāng) 時，電阻的相對變化為:,又因為,所以,. 電參數(shù)型傳感器,由材料力學(xué)可知，存在以下關(guān)系:,式中:泊松比

4、； 機械應(yīng)變，其值為材料的長度相對變化量，即 ，通常將 =10-6 稱為一個微應(yīng)變。,則式(-)可寫成:,因為金屬電阻率不變( / =0)，電阻變化僅由體積變化產(chǎn)生，即金屬電阻絲的 / 關(guān)系為:,式中:靈敏度系數(shù)， =1 +2，在塑性變形范圍內(nèi)泊松比 =0.5，故 =2。,. 電參數(shù)型傳感器,()應(yīng)變片的基本結(jié)構(gòu)及測量 各種電阻應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)大體相同，以圖- 所示絲繞式應(yīng)變片為例。通過彈性敏感元件，將位移、力、力矩、加速度、壓力等物理量轉(zhuǎn)換為應(yīng)變，因此可以用應(yīng)變片測量上述各量，從而做成各種應(yīng)變式傳感器。,式中:應(yīng)力； 彈性模量。,應(yīng)變片之所以應(yīng)用的比較廣泛，是由于其有如下優(yōu)點: ()測量應(yīng)變的靈

5、敏度和精確度高，性能穩(wěn)定、可靠，可測12，誤差小于1； ()應(yīng)變片尺寸小、重量輕、結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、響應(yīng)速度快，測量時對被測件的工作狀態(tài)和應(yīng)力分布影響較小，既可用于靜態(tài)測量，又可用于動態(tài)測量； ()測量范圍大，既可測量彈性變形，也可測量塑性變形，變形范圍為1 2； ()適應(yīng)性強，可在高溫、超低溫、高壓、水下、強磁場以及核輻射等惡劣環(huán)境下使用； ()便于多點測量、遠距離測量和遙測。,. 電參數(shù)型傳感器,)滑變電阻式傳感器 工作原理是通過滑動觸點改變電阻絲的長度來改變電阻值的大小，進而將電阻值的變化轉(zhuǎn)變?yōu)殡妷夯螂娏鞯淖兓?滑變電阻式傳感器主要用于位置、位移的測量，圖-)用于直線位移或者位置的測

6、量，稱為線位移型滑變電阻式傳感器；圖-)用于角位移的測量，稱為角位移型滑變電阻式傳感器。 圖- 中變阻器的活動觸點 的滑動量分別為 和 ，固定觸點 和活動觸點 之間的電阻值分別為:,式中: 分別為線位移型和角位移型滑變電阻式傳感器的輸出電阻； 分別為單位長度和單位弧度的電阻值； 是分別線位移和角位移。,. 電參數(shù)型傳感器,. 電參數(shù)型傳感器,滑變電阻式傳感器的輸出(電阻)與輸入(位移)呈線性關(guān)系。 傳感器的靈敏度 就是直線的斜率，即:,繞線式滑變電阻式傳感器存在如下兩大缺點。 ()電阻的變化呈臺階狀； ()呈現(xiàn)出電感式阻抗。,滑變電阻式傳感器的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單、性能穩(wěn)定、使用方便，故在汽車領(lǐng)域得

7、到了廣泛的應(yīng)用。,. 電參數(shù)型傳感器,. . 電容式傳感器 )工作原理 電容式傳感器是將被測量的變化轉(zhuǎn)化為電容量變化的傳感器，兩個金屬平板間的電容(如圖- 所示)為:,)類型,電容式變換器就分為變間隙式、變面積式和變介電常數(shù)式三種。,電容式傳感器有 種結(jié)構(gòu)形式，它們又可按位移形式分為線位移和角位移兩種，每一種又依據(jù)傳感器極板形狀分為平板、圓板形和圓柱(圓筒)形，雖然還有球面形和鋸齒形等其他的形狀，但一般很少用。,. 電參數(shù)型傳感器,()變間隙式電容傳感器 由式(-)可知，當(dāng)其中一個極板在被測量作用下發(fā)生位移，使間隙 減小了 ，則電容0 將增加 有:,則電容的變化量為:,式中: 初始間隙； 初始

8、電容值。,. 電參數(shù)型傳感器,()變面積式電容傳感器 當(dāng)動極板在被測參量作用下發(fā)生位移，使兩極板相對有效面積改變，則電容0 也將有相應(yīng)改變。,變面積式電容傳感器在理論上有理想的線性。,5.2.3電感式傳感器,電感式傳感器中的電感變換器應(yīng)用電磁感應(yīng)原理，將輸入被測量轉(zhuǎn)換成電感的變化量作為輸出量，配用不同的敏感元件可以測量位移、壓力、振動等多種參量。 )自感式變換器 簡單自感傳感器的工作原理如圖- 所示。 根據(jù)電感的定義，線圈的電感量可近似為:,. 電參數(shù)型傳感器,()變間隙式自感傳感器 當(dāng)銜鐵移動使空氣隙減小了 時，電感將有一增量，根據(jù)式(-)有:,變間隙型結(jié)構(gòu)的電感傳感器的靈敏度高，但其靈敏度

9、隨氣隙的增大而減?。环蔷€性誤差大，在使用中，為減小非線性誤差，量程必須限制在較小的范圍內(nèi)，一般為氣隙的/ 以下。 同時，這種傳感器在制作上難度比較大。,. 電參數(shù)型傳感器,()變面積式自感變換器 圖- 所示為角位移變面積式自感傳感器示意圖。 角位移 為輸入量引起銜鐵 與鐵芯 之間氣隙磁通截面積變化。,變面積自感傳感器在忽略氣隙磁通邊緣效應(yīng)的條件下有理想的線性關(guān)系，因此可望得到較大的線性范圍。 但是與變氣隙式自感傳感器相比，其靈敏度降低，但其為一常數(shù)，線性度好，量程較大，應(yīng)用比較廣泛。,. 電參數(shù)型傳感器,()差動結(jié)構(gòu)自感變換器 圖-)和圖-)均為差動結(jié)構(gòu)的自感變換器示意圖。當(dāng)有被測量 作用時，

10、其上下氣隙 的長度分別由初始的 變?yōu)?， ，從而使線圈、線圈 的電感發(fā)生變化，即:,將上式進行下列的運算:,則有間隙的改變量 與 / 0 的理想線性關(guān)系。 測量電路的任務(wù)是將此式轉(zhuǎn)換為電壓或電流。,. 電參數(shù)型傳感器,. 電參數(shù)型傳感器,)互感式傳感器 互感式電感傳感器又稱為變壓器式傳感器，它與自感式傳感器不同之處在于互感式傳感器是先把被測非電量的變化轉(zhuǎn)化成線圈相互的互感量的變化，然后再經(jīng)過變換，成為電壓信號輸出。其等效電路如圖- 所示。,根據(jù)變壓器工作原理，在兩個次級線圈中會產(chǎn)生感應(yīng)電勢，分別為e21和e22。,式中:1、2初級線圈W1 與次級線圈W21、W22的互感； 初級線圈交流電流復(fù)數(shù)

11、值； 初級線圈激勵電壓角頻率。,. 電參數(shù)型傳感器,)電感式傳感器的組成 當(dāng)自感式變換器(變間隙式、變面積式)與相應(yīng)的彈性元件相配合可以構(gòu)成相應(yīng)的位移(線位移、角位移)，壓力/ 壓差傳感器。 它們的組成框圖如圖- 所示。,電感式傳感器:結(jié)構(gòu)簡單可靠，輸出功率大，輸出阻抗小，但頻率響應(yīng)低，不宜用于快速測量。,. 電參數(shù)型傳感器,5.2.4電渦流傳感器 )電渦流傳感器的輸出形式,()以等效電感變化作為輸出量，這是最常見的一種輸出形式。 ()以等效電阻變化作為輸出量。 ()以等效 值變化作為輸出量。 ()以等效阻抗變化作為輸出量。,)工作原理 成塊的金屬至于變化著的磁場中或者在磁場中運動時，金屬體內(nèi)

12、會產(chǎn)生感應(yīng)電動勢，形成電流，這種電流在金屬體內(nèi)是自己閉合的，呈類似水渦形狀，故稱為電渦流。圖-)所示為電渦流作用原理。,. 電參數(shù)型傳感器,5.2.5電參數(shù)型傳感器的應(yīng)用 表- 列出采用電阻式、電容式、電感式傳感器的分類，以及可實現(xiàn)測量的非電量參數(shù)。,. 電參數(shù)型傳感器,. 電參數(shù)型傳感器,5.2.6參數(shù)型傳感器常用信號調(diào)理電路,)恒流源供電測量電壓降法 單恒流源測量法線路圖如圖- 所示，當(dāng)對電阻式傳感器用恒流源0 供電時，傳感器中電阻變換器的電阻參量T 將隨輸入的被測量 而變。 只要測得變換器兩端的電壓降RT，則RT 可由下式求得:,. 電參數(shù)型傳感器,)電橋法,()電橋的基本工作原理 圖-

13、 是電橋的基本形式。 、(若是直流電橋則為電阻)為 個橋臂阻抗。 、 兩端接電源，圖-)和圖-)所示電路分別采用電壓源 和恒流源 供電，則在、兩端輸出不平衡電壓 分別為:,(電壓源供電),(恒流源供電),. 電參數(shù)型傳感器,. 電參數(shù)型傳感器,()直流電橋 直流電橋的橋臂是由電阻構(gòu)成的，故可將電阻參量的變化轉(zhuǎn)換為輸出電壓的變化，圖-為其示意圖。,. 電參數(shù)型傳感器,直流電橋應(yīng)后配雙端浮地差動放大器，如圖- 所示。,. 電量型傳感器,5.3.1磁電感應(yīng)式傳感器 磁電感應(yīng)式傳感器簡稱感應(yīng)式傳感器，也稱電動式傳感器，是典型的能量轉(zhuǎn)換型傳感器。 根據(jù)電磁感應(yīng)定律，對于一匝數(shù)為 的線圈，當(dāng)穿過該線圈的磁

14、通 發(fā)生變化時，其感應(yīng)電勢,)變磁通式,圖-)為頻數(shù)傳感器，當(dāng)齒輪旋轉(zhuǎn)時，在線圈中感應(yīng)出交流電勢，其頻率便等于齒輪的齒數(shù)和轉(zhuǎn)速的乘積；圖-)為轉(zhuǎn)速傳感器，轉(zhuǎn)數(shù)與感應(yīng)電勢 的脈沖數(shù)相等，故對感應(yīng)電勢 的脈沖進行計數(shù)則可知轉(zhuǎn) 速；圖-)為偏心度測量傳感器；圖-)振動速度測量傳感器。,. 電量型傳感器,. 電量型傳感器,)恒定磁通式 恒定磁通式結(jié)構(gòu)有兩種:如圖-)所示為動圈式，圖-)為動鐵式。,當(dāng)線圈以速度 相對磁場運動時，則每匝線圈都以速度 垂直切割磁 力線運動，從而在線圈中產(chǎn)生感應(yīng)電勢，由下式計算:,. 電量型傳感器,5.3.2壓電式傳感器,)壓電效應(yīng) 壓電效應(yīng)是指某些電介質(zhì)，沿一定方向受外力(

15、壓力或拉力)作用時，不僅發(fā)生形變，而且在其某兩個相對表面上產(chǎn)生符號相反數(shù)值相等的電荷。,. 電量型傳感器,壓電材料的主要特性參數(shù)如下。 ()壓電常數(shù):表示產(chǎn)生電荷 與作用力 之間的關(guān)系，即機電轉(zhuǎn)換性能。 ()彈性模量:表示壓電元件的剛度。 大即剛度大，可獲得高的固有振動頻率。 ()電阻率:當(dāng) 大，壓電元件具有高內(nèi)阻，凈減小電荷泄露， 也大，則傳感器固有電容大，參數(shù) 與 將影響傳感器頻率下限。 ()居里點:在此溫度時，壓電材料的壓電性能將破壞。 居里點高，可得到寬的工作溫度范圍。,)壓電變換器的等效電路 當(dāng)壓電晶體片受力變形時，在晶體片的兩個表面上聚集等量的正、負電荷，晶體片兩表面相當(dāng)于一個電容

16、的兩個極板，兩極板間的物質(zhì)等效于一種介質(zhì)，因此壓電晶體片相當(dāng)于一只平行板電容器，其電容量 為:,式中:壓電片面積； 壓電片厚度； 壓電材料的介電常數(shù)。,. 電量型傳感器,盡管壓電材料是電介質(zhì)，致使其內(nèi)阻 很高。 但它不可能無窮大，故必須考慮。 這樣可以把壓電變換器等效為一個電壓源 / 和一個有泄漏電阻 的電容 串聯(lián)的電路，如圖-)所示；也可等效為一電荷源 與一個有泄漏電阻 的電容 的并聯(lián)電路，此時，該電容為一電荷發(fā)生器，如圖-)所示。,. 電量型傳感器,)壓電式傳感器的應(yīng)用舉例 ()壓電式力傳感器 如圖- 所示，被測力 通過鋼球及鋼板 和 傳遞給并聯(lián)的兩石英片1 和2，石英片受壓后產(chǎn)生的電荷由

17、導(dǎo)桿 與傳感器殼體引出，接入電路(電荷或電壓放大器)。,. 電量型傳感器,根據(jù)壓電效應(yīng)，在晶體片上積聚的電荷量 與作用力 成正比，即:, ,式中:電荷量()； 壓電常數(shù)(/ )，與壓電材料及切片方向有關(guān)； 作用力()。,()壓電式壓力傳感器 如圖- 所示，壓電元件由兩片壓電晶體片 并接。,. 電量型傳感器,絕對振動加速度 的測量功能是由兩個組成環(huán)節(jié)實現(xiàn)的。 壓電式變換器 實現(xiàn)質(zhì)量塊 相對基座位移 的檢測。, 力學(xué)系統(tǒng) 將外殼相對地球的絕對振動加速度 轉(zhuǎn)換成質(zhì)量塊 相對基座的位移 ，力學(xué)系統(tǒng)是典型二階系統(tǒng)。,實現(xiàn)測量絕對加速度 的條件 應(yīng)將傳感器基座固定在被測物體上與被測物體一起作振動加速度 的

18、振動。當(dāng)振動角頻率0 時，幅值比:,. 電量型傳感器,這時，質(zhì)量塊 相對基座的位移 就正比于振動體的絕對加速度 ，即引起壓電元件的壓縮變形量，從而產(chǎn)生電荷 正比于絕對加速度 :,5.3.3熱電式傳感器 熱電式傳感器利用熱電效應(yīng)將被測物理量(溫度)直接轉(zhuǎn)換為電勢。 它屬于一種能量轉(zhuǎn)換型傳感器。 最典型的熱電式傳感器是熱電偶。 熱電偶是應(yīng)用最為廣泛的測溫手段。,. 電量型傳感器,將兩種不同的金屬導(dǎo)體、 串接成一個閉合回路，如圖-)所示。當(dāng)回路斷開，在斷開處的電壓差就等于熱電勢，如圖-)所示，熱電勢大小與構(gòu)成熱電偶的材料以及兩節(jié)點的溫差有關(guān):,式中:EAB(T，T0)由A、B 兩種材料組成的熱電偶，

19、結(jié)點溫度為T、T0 時 的熱電勢。 、 多項式系數(shù)，對于A、B 材料一定時為一常量。,. 電量型傳感器,)接觸電動勢 設(shè)導(dǎo)體 和 的自由電子密度為 和 ，且有 ，電子擴散的結(jié)果使導(dǎo)體 失去電子帶正電，導(dǎo)體 則因或得電子帶負電，在接觸面形成電場。 這個電場阻礙了電子繼續(xù)擴散，達到動態(tài)平衡時，在接觸面形成一個穩(wěn)定的電位差，即接觸電動勢，其大小可表示為:,. 電量型傳感器,)單一導(dǎo)體的溫差電動勢,溫差電動勢的大小與導(dǎo)體的性質(zhì)和兩端的溫度有關(guān)，可表示為:,有關(guān)熱電偶回路的幾點結(jié)論: ()如果構(gòu)成熱電偶的兩個熱電極為材料相同的均質(zhì)導(dǎo)體，即 = 、 =，則無論兩節(jié)點溫度如何，熱電偶回路的總熱電動勢為零。

20、因此，熱電偶必須采用兩種不同的材料作為熱電極。 ( )如果熱電偶兩節(jié)點溫度相等，即 = 0，即盡管導(dǎo)體、 的材料不同，熱電偶回路的總電動勢亦為零。,()熱電偶、 的熱電動勢與、 材料的中間溫度無關(guān)，只與節(jié)點溫度有關(guān)。,. 電量型傳感器,5.3.4霍爾式傳感器,)霍爾效應(yīng) 將一塊金屬導(dǎo)體或半導(dǎo)體薄片放在磁場中(如圖- 所示)，沿垂直于磁場的方向上通以電流，在垂直于電流和磁場的方向上，所組成的兩個側(cè)面將產(chǎn)生電動勢，這種物理現(xiàn)象稱為霍爾效應(yīng)。,. 電量型傳感器,在圖- 中，構(gòu)成電流 的電子均以速度 按照圖示方向運動，那么在磁場 的作用下，所受的洛侖磁力 為:,因此，在垂直于 軸的兩個側(cè)面必然有電荷積

21、累，從而形成電場，該電場對電荷 又附加一個與洛侖茲力 相反的電場力 阻止電子的偏轉(zhuǎn)運動:,直至 達到動態(tài)平衡，垂直 軸兩側(cè)面的累積電荷形成穩(wěn)定的電勢。,. 電量型傳感器,設(shè)薄片長、寬、厚分別為 ，又電流密度 。 為電子濃度。 因為 ，于是 ，并代入式(-)，則有:,)霍爾元件及其主要特性參數(shù),()額定控制電流H:使霍爾片溫升10所施加的控制電流值，受限于散熱條件下的允許最高溫升值。 ()輸入電阻:指控制電流極間的電阻值。 ()輸出電阻:指霍爾電勢輸出極之間的電阻值。 ()不等位電勢H0與不等位電阻0:不等位電勢又稱零位電勢。,電阻0 是不等位電勢H0與額定控制電流H 之比:,式中:H0零位電勢

22、； 0零位電阻。 零位電勢及零位電阻都是在直流下測得的。,. 電量型傳感器,基于霍爾效應(yīng)制作的霍爾變換器一般稱為霍爾元件或霍爾器件，如圖- 所示。,. 電量型傳感器,()寄生直流電勢:當(dāng)控制磁場為零，控制電流用額定交流電流時，霍爾電極間的空載電勢為直流電勢與交流電勢之和。 在此情況下，直流電勢稱為寄生直流電勢，交流電勢稱為交流不等位電勢。 產(chǎn)生交流不等位電勢原因與不等位電勢相同，而寄生直流電勢的產(chǎn)生原因是電極與基片間非歐姆接觸，以及兩個霍爾電極焊點大小不同而導(dǎo)致的直流溫差電勢。 ()霍爾電勢溫度系數(shù)及電阻溫度系數(shù):在磁感應(yīng)強度及控制電流恒定情況下，溫度變化1相應(yīng)霍爾電勢、電阻值變化的百分率，通

23、常在(10-2 10-4 ) / 量級，必要時應(yīng)進行溫度補償。,)霍爾線位移傳感器 傳感器結(jié)構(gòu)原理示意圖如圖- 所示。,. 電量型傳感器,假設(shè)磁場只均勻集中在磁極氣隙中，并且無邊緣效應(yīng)。 霍爾器件在 方向上的長度為 時，則當(dāng)在控制電流 作用下，產(chǎn)生的霍爾電勢與霍爾器件的位移 有如下關(guān)系:,式中: 霍爾器件在極下氣隙中的初始長度。 實際使用的傳感器常做成差動式結(jié)構(gòu)，如圖-)所示。,. 頻率輸出型數(shù)字傳感器,5.4.1計量光柵計數(shù)型數(shù)字傳感器,)透射式計量光柵的結(jié)構(gòu) 計量光柵的基本元件是光柵(運動光柵)和指示光柵(固定光柵)，它們在一塊長條形光學(xué)玻璃上被均勻刻上許多明暗相同、寬度相等的刻度。,若將

24、主光柵與指示光柵疊合在一起，并使它們的刻線之間成一個很小的交角，如圖-)所示。,莫爾條紋的間距 與柵距 和夾角 有如下關(guān)系:,可見，兩光柵刻線交角 越小，則莫爾條紋間距 越大。,. 頻率輸出型數(shù)字傳感器,. 頻率輸出型數(shù)字傳感器,)透射式計量光柵的工作原理 莫爾條紋與兩光柵刻線間的夾角 的平分線 近似垂直，當(dāng)兩塊光柵保持交角 不變而相對移動時，莫爾條紋將沿著刻線方向移動。,如果指示光柵固定不動，主光柵相對指示光柵移動代表被測位移，那么每移動一個柵距，莫爾條紋移動一個間距，這意味著在指示光柵后的光電檢測器接收到一個光脈沖的照射，并相應(yīng)輸出一個電脈沖。 通過計數(shù)電脈沖的數(shù)目，就代表了被測位移移動的

25、距離 :,式中:電脈沖的數(shù)目，也即光脈沖數(shù)。,5.4.2改變力學(xué)系統(tǒng)固有頻率型數(shù)字傳感器 剛度系數(shù)為，運動部分等效質(zhì)量為 的一維振動力學(xué)系統(tǒng)，其固有頻率 為:,. 頻率輸出型數(shù)字傳感器,)一個張緊的金屬絲的固有頻率 已知一根張緊的絲(如圖- 所示)的橫向剛度系數(shù) 為:,式中:1單位長度金屬絲的質(zhì)量，又稱線密度。 將式(-)、式(-)代入式(-)，則有:,. 頻率輸出型數(shù)字傳感器,)恒定磁場中通了電流的張緊金屬絲的等效電路 如圖- 所示，在磁場 中，通以電流 的一根長為 的直導(dǎo)線可以等效為一個電感e與電容e 的并聯(lián)電路。,. 頻率輸出型數(shù)字傳感器,)應(yīng)用舉例EJA型差壓壓力智能變送器 ()硅諧振梁結(jié)構(gòu) 其結(jié)構(gòu)示意圖如圖- 所示。,. 頻率輸出型數(shù)字傳感器,()硅諧振梁振動原理 硅諧振器的自激振蕩電路如圖- 所示， 形硅諧振梁處于由永久磁鐵提供的磁場中，與耦合變壓器，放大器等組成一正反饋振蕩器，使諧振梁在回路中產(chǎn)生振動。 諧振梁的機械振動頻率與振蕩器的電脈沖