JJG740-2005研磨面平尺檢定規(guī)程.pdf

UU場中華人民共和國國家計(jì)量檢定規(guī)程J J G 7 4 0 -2 0 0 5研 磨 面 平 尺M(jìn)i l l i n g S t r a i g h t E d g e s2 0 0 5 一0 3 一 0 3 發(fā)布2 0 0 5一0 9一0 3實(shí)施國 家 質(zhì) 量 監(jiān) 督 檢 驗(yàn) 檢 疫 總 局發(fā)布J J G 7 4 0 - 2 0 0 5研磨面平尺檢定規(guī)程J J G 7 4 0 - 2 0 0 5V e r i f i c a t i o n R e g u l a t i o n o f Mi l l i n g S t r a i g h t E d g e s 代 替 J J G 7 4 0 - 1 9 9 1 40、 . 0. 0 . o. o . 0- 一 一 。 - 一-一 0 o . 0 . o. 本規(guī)程經(jīng)國家質(zhì) 量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局于 2 0 0 5年 3月 3日批準(zhǔn) ，并 自2 0 0 5 年9 月 3日 起施行。歸 口 單 位 :全國幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會起 草 單 位 :北京市計(jì)量科學(xué)研究所本規(guī)程委托全國幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋J J G 7 4 0 - 2 0 0 5本規(guī)程起草人 : 馬桂茹( 北京市計(jì)量科學(xué)研究所) 吳迅( 北京市計(jì)量科學(xué)研究所) 劉振福( 北京市計(jì)量科學(xué)研究所)J J G 7 4 0 - 2 0 0 5目錄1 范圍 ， ( 1 )2 引用文獻(xiàn). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .( 1 )3 概述 4 ( 1 )4 計(jì) 量 性能 要 求 ( 1 )4 . 1 工作面的表面粗糙度 ( 1 )4 . 2 工 作 面 的 平面 度 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 2 )5 通用技術(shù)要求 ， ( 2 )5 . 1 外觀 ( 2 )5 . 2 表面質(zhì)量 ( 2 )6 計(jì)量器具控制 ( 2 )6 . 1 檢定條件 ( 2 )6 . 2 檢定項(xiàng)目 ( 2 )6 . 3 檢定方法 ( 2)6 . 4 檢 定結(jié)果的 處理 ( 4 )6 . 5 檢定周期 ( 4)附錄 A 等傾干涉法測量平面度及計(jì)算 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .( 5)附錄 B 常用段 ( n = 3 一 6 )分段法計(jì)算式 ( 1 )的簡化公式 ， ( 8)附錄 C 分段測量研磨面平尺工作面平面度的數(shù)據(jù)處理示例 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 9)附錄 ll 研磨面平尺工作面平面度測量結(jié)果不確定度評定 ( 1 3 )附錄 E 檢定證書和檢定結(jié)果通知書內(nèi)頁格式 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 一 ， ( 2 1 )J J G 7 4 0 - 2 0 0 5研磨面平尺檢定規(guī)程范圍本規(guī)程適用于研磨面平尺首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢驗(yàn)。2 引用文獻(xiàn)本規(guī)程引用下列文獻(xiàn):J J G 2 8 -2 0 0 0 平晶J J G 6 6 1 -2 0 0 4 平面等傾干涉儀J J F 1 0 0 1 -1 9 9 8 通用計(jì)量術(shù)語及定義J J F 1 0 5 9 -1 9 9 9 測量不確定度評定與表示J J F 1 0 9 4 -2 0 0 2 測量儀器特性評定I S O 1 4 2 5 3 . 2 : 1 9 9 9 測量設(shè)備校準(zhǔn)和產(chǎn)品檢驗(yàn)中G P S 測 量不確定度評定指南使用本規(guī)程時(shí)，應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本。3 概 述研磨面平尺是一種精密的平面標(biāo)準(zhǔn)器具，其結(jié)構(gòu)形狀如圖 1 中 ( a ) , ( b )所示。研磨面平尺主要用于檢定刀口形直尺工作棱邊的直線度。 口( a ) 皿圖 1 研磨面平尺結(jié)構(gòu)示意圖4 計(jì)t性能要求4 . 1 工作面的表面粗糙度 研磨面平尺工作面的表面粗糙度 ， 應(yīng)符合表 1 的規(guī)定。 表1 研磨面平尺工作面的表面粗糙度研磨面平尺長度/ m m 五 . 值/ 1! m毛 3 3 03 3 0,0 . 0 2 5X0 . 0 5d .1 G 7 4 0 - 2 0 0 54 . 2 工作面的平面度 研磨面平尺工作面的平面度，應(yīng)符合表 2的規(guī)定。 表2 研磨面平尺工作面的平面度研磨面 平尺長度L / m m2 0 0 _ L3 0 03 0 0 _ L 5 0 05 0 0 _ L工作 面平 面度縱向全長/ p m續(xù)0 . 1 5(0 . 4(0. 5局部/ ( 1, m / m m )X0. 2 5 / 2 4 0X0. 4 / 4 0 0橫向/ p m_0. 1 5注: 研 磨面 平尺 有 效 工 作 長 度從 ， 二 L 一 2 a . 2 a 研磨面平尺兩端點(diǎn)減去的長度，一般取 a = 5 m m o5 通用技術(shù)要求5 . 1 外觀 研磨面平尺非工作面上應(yīng)標(biāo)有制造廠名 ( 或廠標(biāo)) 、產(chǎn)品編號、尺寸規(guī)格及退互 二 標(biāo)志 。5 . 2 表面質(zhì)量 研磨面平尺工作面不得有銹跡、裂紋、劃痕、碰傷及影響測量準(zhǔn)確度的其他缺陷。 研磨面平尺應(yīng)無磁。 后續(xù)檢定和使用中檢驗(yàn)允許有不影響測量的上述缺陷。 計(jì)，器具控制 計(jì)量器具控制包括首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢驗(yàn)。6 . 1 檢定條件6 . 1 . 1 環(huán)境條件6 . 1 . 1 . 1 檢定室溫度應(yīng)為 ( 2 0 士 5 ) 1 C ;溫度變化不得超過0 . 1 C / h 和 1 C / 2 4 h .6 . 1 . 1 . 2 檢定室內(nèi)的溫度與儀器保溫箱內(nèi)的溫度之差應(yīng)不大于0 . 2 90o6 . 1 . 1 . 3 研磨面平尺在檢定室內(nèi)平衡溫度的時(shí)間應(yīng)不少于 1 0 h 。長平晶與研磨面平尺放置在儀器內(nèi)的時(shí)間，對小于等于 3 3 0 m m研磨面平尺和 2 1 0 m m長平晶應(yīng)不少于 l h ;對大于3 3 0 m m研磨面平尺和3 1 0 m m長平晶應(yīng)不少于 1 . 5 h .6 . 1 . 2 檢定設(shè)備 檢定設(shè)備見表 3 06 . 2 檢定項(xiàng)目 檢定項(xiàng)目見表 3 06 . 3 檢定方法6 . 3 . 1 外觀及表面質(zhì)量 目力觀察與手動試驗(yàn)。6 . 3 . 2 工作面的表面粗糙度J J G 7 4 0 - 2 0 0 5 用表面粗糙度比較樣塊比較法測量。有爭議時(shí)用表面粗糙度測量儀測量。6 . 3 . 3 工作面的平面度 以長平晶作為標(biāo)準(zhǔn)，在平面等傾干涉儀 ( 裝置)中對研磨面平尺平面度進(jìn)行測量。 當(dāng)被測研磨面平尺的有效長度小于或等于長平晶的長度時(shí)，采用等傾千涉法 ( 見附錄 A )整段測量。 當(dāng)被測研磨面平尺的有效長度超過長平晶長度 ( 如 3 0 0 m m或 5 0 0 m m研磨面平尺和2 1 0 m m長平晶)時(shí)，采用等傾干涉法分段測量。 表 3 檢 定項(xiàng) 目和主要檢定設(shè) 備J -T-劑 堿 p to H1 3h 1 tfi t 主要檢定設(shè)備首次檢定后續(xù)檢定 使用中檢驗(yàn)帶11.AR9aRtc AR ftkf61X ( T)f l ! 11 1l. 一 注 :表 中 “十”表示應(yīng)檢項(xiàng) 目;“一”表 示可不檢項(xiàng) 目。 分段測量的步驟: 等傾干涉法分段測量時(shí)，每段測量長度為 1 8 0 m m，在 1 8 0 m m長度上測7 個(gè)點(diǎn)， 計(jì)算各測點(diǎn)對 0 與 1 8 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差。然后儀器工作臺退回一半即9 0 m m ，加接長管，光斑中心對準(zhǔn) 9 0 m m處十字線，移動長平晶 ( 此時(shí)被測研磨面平尺不許做任何移動) ，并使長平晶的零 十字刻線處于光斑中心上;且移動工作臺時(shí)長平晶上所有十字線都能通過光斑中心，取下接長管，讓十字線與干涉環(huán)中心重合，移動工作臺保證所有十字線都能通過千涉環(huán) 中心。經(jīng)過適當(dāng)?shù)葴睾?，進(jìn)行測量 ( 9 0 一2 7 0 ) m m間各測點(diǎn)對 9 0 m m與2 7 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差。 對于研磨面平尺長度不足 9 0 m m的部分，可以將長平晶只移位 3 0 m m或 6 0 m m 。例如，測量 3 3 0 m m的研磨面平尺可分為三段測至 2 7 0 m in ， 然后再將長平晶移動 3 0 m m即測量 1 2 0 m m至 3 0 0 m m間各測點(diǎn)對 1 2 0 m m與 3 0 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差。 根據(jù) 9 0 m m處對 。 與 1 8 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差 a , , 1 8 0 m m處對9 0 m m與 2 7 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差 a 2 , ，a ; _ , ， 按式 ( 1 )求出9 0 m m , 1 8 0 m m , 2 7 0 m m ,各點(diǎn)對。 與3 0 0 m m兩端點(diǎn)連線的偏差關(guān)。 f = 2 三 ( 。 一 ， ) a , + ( n - 2 ) a , + . . + a _ ,一 廠 “- 1 ) a , + ( i - 2 ) a , + 二 。, I ( 1 )式中:n 段數(shù); i -測點(diǎn)序號。 常用段 ( ， : 二 3 一6 )的分段法計(jì)算式 ( 1 )的簡化公式見附錄 S o 按.瓜， f l 8 0 ，一之值將其余各點(diǎn)補(bǔ)插進(jìn)去。對 1 2 0 m m , 1 5 0 m m等位置有重復(fù)偏差J J G 7 4 0 - 2 0 0 5五 、 ， f e w 的 ( 重復(fù)偏差之差應(yīng)不大于1 / 6 平面度要求， 否則應(yīng)重測) ， 取其平均值為 測量值。 并根據(jù)長平晶各點(diǎn)平面 度偏差和自 重變形量 ( 見J J G 2 8 -2 0 0 0 平晶檢定規(guī)程附錄 F )對研磨面平尺各對應(yīng)點(diǎn)進(jìn)行修正后，按符合最小條件準(zhǔn)則處理后得到測量結(jié)果。 分段測量研磨面平尺工作面平面度的數(shù)據(jù)處理示例見附錄 C o 研磨面平尺橫向平面度用平面平晶等厚干涉法進(jìn)行測量。 也可用帶有 筍 3 1 0 m m標(biāo)準(zhǔn)平晶的等厚干涉儀測量。當(dāng)有爭議時(shí)以等傾干涉法測量結(jié)果為準(zhǔn) 。6 . 4 檢定結(jié)果的處理 經(jīng)檢定符合本規(guī)程要求的研磨面平尺發(fā)給檢定證書。不符合本規(guī)程要求的，發(fā)給檢定結(jié)果通知書，并注明不合格項(xiàng) 目。6 . 5 檢定周期 研磨面平尺的檢定周期根據(jù)使用情況確定，一般不超過 1 年。 J J G 7 4 0 - 2 0 0 5附 錄 A等 傾干 涉法 測量 平面度 及計(jì) 算 等傾干 涉法測量原理如圖A . 1 所示。 將兩塊尺寸差小于0 . l tL m的量塊，分別研合在長平晶工作面上兩端。也可用專用的三球支承 架 ( 鋼球直徑為3 . 1 8 m m三個(gè)鋼球的直徑差應(yīng)小于0 . l y m )代替量塊。 使用球支承架時(shí)，支承架的 3 個(gè)支承點(diǎn)應(yīng)盡量與工作臺支承點(diǎn)相重合。 圖A. 1 等傾干涉儀 ( 裝置)測量原理示意圖 1 一觀察孔;2 一玻璃分化板;3 一半反射鏡;4 -透鏡;5 一光闌;6 一光源:7 一長平晶;8 一支承量塊;9 -被測研磨面平尺;1 o-一 支承;I 1 一可稱動工作臺 被測研磨面平尺工作面向上，放在儀器工作臺的兩個(gè)可調(diào)距離支承點(diǎn)上，兩支承點(diǎn)a w T R m 1iff ft f * R 普 : 處( 1,-IR M R * R ikc f ) 。 此 、將 長 、。研 、其上的量塊 ( 或球形支承架)放在被測研磨面平尺工作面上。 被測研磨面平尺工作面與長平晶工作面，由量塊支承 ( 或球形支承架支承)形成一個(gè)平行空氣層。它位于平面等傾干涉儀 ( 裝置)光路中的聚焦點(diǎn)附近，并與光軸垂直，此時(shí)在平面等傾干涉儀 ( 裝置)目鏡里可觀察到一組等傾干涉環(huán)。這時(shí)工作臺從一端移至另一端時(shí)，兩端干涉環(huán)級數(shù)的變化應(yīng)不超過一環(huán)。再將測微 目鏡取下，裝上接長管，重新套上測微 目鏡，調(diào)整 目鏡 ( 即調(diào)整接長管的工作長度) ，使 目鏡視場內(nèi)能同時(shí)見到照明光斑的像與長平晶上的十字線。調(diào)整長平晶上各點(diǎn)的十字刻線與工作臺運(yùn)動方向平行，且光斑中心與十字刻線重合。將零十字刻線調(diào)到光斑中心上，并調(diào)整位移手輪上的刻度至零位或需要 的位置上 ，然后取下接長管，裝上測微 目鏡，再次檢查干涉環(huán)的變 5J J G 7 4 0 - 2 0 0 5化，直至兩端的干涉環(huán)變化小于一環(huán)為止。將儀器保溫箱門關(guān)上，按要求平衡溫度。 用等傾干涉法測量研磨面平尺平面度，實(shí)質(zhì)上是測量研磨面平尺工作面與長平晶工作面間空氣 層厚度的 變化。設(shè)各點(diǎn)空氣層厚度為 H o , H , H 2 , ，H n ， 則某一點(diǎn) i 對兩端點(diǎn) ( 0 點(diǎn)和 n點(diǎn))連線的偏差 F : oF 一 卜 L;1。 L;Ln H a + Ln H n 一 H i( A. 1 )式中:F : -i 點(diǎn)對。 點(diǎn)與 n 點(diǎn)連線的 偏差; H o , H、H - 0 點(diǎn)、i 點(diǎn)及n 點(diǎn)的空氣層厚度; L : -i 點(diǎn)到。 點(diǎn)的距離， m m ; L a -n 點(diǎn)到。 點(diǎn)的 距離，。 。 設(shè)。 點(diǎn)的空氣層厚度H 。 二 K 。 十 K o , K o 為。 點(diǎn)空氣層厚度中干涉儀級數(shù)， A K o 為其干涉級數(shù)的小數(shù)部分， 其他各點(diǎn)的空氣層厚度 H , = A K ; + K o , A K為i 點(diǎn)空氣層厚度減去K o 而剩下的干涉級數(shù)。若用干涉級數(shù)表示對兩端點(diǎn)連線偏差，則F = 樸 一 L 1 A K L O K ,K= (A K 。 一 K ， 一 會 ( A K 。 一 、 )( A. 2 ) 工作臺移動時(shí)，當(dāng)移向空氣層厚度變小處 ，在視場中可以看到干涉環(huán)會一環(huán)一環(huán)向中心收縮以致消失，每消失一個(gè)干涉環(huán)，表明長平晶與被測研磨面平尺表面空氣層厚度(亦 即 長 平 晶 與 被 測 研 磨 面 平 尺 工 作 面 距 離 刁 、 了 合 ; 當(dāng) 干 涉 環(huán) 擴(kuò) 張 時(shí) ， 每 擴(kuò) 張 一 個(gè) 干 涉環(huán) ， 則 表 明 其 厚 度 增 大 了 粵 ) o 2 一 卜、 曰 、2 為了使得到的結(jié)果 “ + ”表示 凸， “ 一 ”表示凹，規(guī)定每收縮消失一個(gè)干涉環(huán)時(shí)，表示干涉級數(shù) “ 增大”一級 ( 用 “ +1 ”表示) ;每擴(kuò)大產(chǎn)生一個(gè)新干涉環(huán)時(shí)，表示干涉環(huán)級數(shù) “ 減少”一級 ( 用 “ 一 1 ”表示) 。 通常，干涉環(huán)收縮或擴(kuò)張不到一個(gè)環(huán)的小數(shù)部分 K i ，可用下式計(jì)算:“ 干 涉 環(huán) 擴(kuò) 張 時(shí) ， “ = 一 (D i)2 (gym )D o+ 6 JT Wk V 時(shí) ， A K , = 卜1D n 12 J 合(ti m )( A. 3 )( A. 4 )式中:D , -i 點(diǎn)所測干涉環(huán)直徑，m m ; D o 儀器 標(biāo)準(zhǔn)干涉環(huán)直徑， m m ; 幾 光波波長， Km. 標(biāo)準(zhǔn)干涉環(huán)直徑 D 。 是根據(jù)空氣層厚度確定的儀器常數(shù)，提供，也可以通過實(shí)測由式 ( A. 5 )確定: D o = N L 萬 二 研式中:D ; , ， 與 D ; 相鄰兩干涉環(huán)直徑。 6由儀器 出廠及周期 檢定 時(shí)( A. 5 ) J J G 7 4 0 -2 0 0 5 為保證D 。 的準(zhǔn)確， 應(yīng)取多次測量的平均值。測量次數(shù)不得少于1 0 次， 每次測量時(shí)應(yīng)改變干涉環(huán)直徑。 當(dāng)測量一組干涉環(huán)直徑時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)干涉環(huán)直徑可由式 ( A . 6 )求得 :D o1 2 習(xí)( 一 ) D Zx 一 6 ( i 一 1 ) 習(xí)D RK ( K一1 ) ( K+1 )( m m)( A. 6 )式中:K 自中心起的干涉環(huán)環(huán)數(shù) ; D x 自中 心起第 i 環(huán)的直徑。當(dāng) K=4時(shí)Do3 ( D ; 一 D zi ) + ( D ; 一 D Z ) 1 0( m m)( A. 7 )當(dāng) K=5時(shí)D2 ( 。 ; 一 刀 : ) + ( 刀 卜 刀 : ) 1 0( A. 8 ) 測量時(shí)，將被測研磨面平尺工作面分為7 個(gè)測點(diǎn)逐點(diǎn)檢定，移動工作臺觀察并記取每段干涉環(huán)的 變化量 K i ，檢定每段不到一個(gè)環(huán)的小數(shù)部分并計(jì)算出G K ; 再按式 ( A . 9 )進(jìn)行計(jì)算，求得被測研磨面平尺工作面各測點(diǎn)對兩端點(diǎn)連線的偏差 F:F = I K ( 、 。 一 、 ) 卜合 。 、 。 ( 、 。 一 、 。 ) 合( A. 9 )式中: K i 從。 點(diǎn)到 i 點(diǎn)干涉環(huán)變化的整數(shù)部分; K . 從 。 到 n 點(diǎn)干涉環(huán)變化的整數(shù)部分; A K , - 0 點(diǎn)干涉級數(shù)小數(shù)部分; O K , 從 。點(diǎn)到 i 點(diǎn)干涉環(huán)變化的小數(shù)部分; A & 從。 點(diǎn)到n 點(diǎn)干涉環(huán)變化的小數(shù)部分。 再根據(jù)長平晶各點(diǎn)平面度偏差和自重變形量 ( 見 J J G 2 8 -2 0 0 1) 平 晶檢定規(guī)程附錄F )對被測研磨面平尺各對應(yīng)點(diǎn)的偏差進(jìn)行修正。當(dāng)對兩端點(diǎn)連線偏差符號相同時(shí)，取其最大偏差做為研磨面平尺工作面的平面度;若出現(xiàn)符號相反時(shí)，按符合最小條件準(zhǔn)則處理得到被測研磨面平尺工作面的平面度。J J G 7 4 0 - 2 0 0 5附錄 B常用段 ( n二 3 一 6 )分段法計(jì)算式 ( 1 )的簡化公式n 二 3:五 4 a , +2 a 2一3f 22 a , +4 a 2 3幾 二 4A 6 a , +4 a 2 +2 a 3=4f 24 a , +8 a 2 +4 a 3 4兒2 a , +4 a 2 +6 a 3 4n二5:、 _ 8 a , + 6 a 2 + 4 a 3 + 2 a 45f 2幾f 4 6 a , +1 2 a 2 +8 a 3 +4 a ,一5 4 a , + 8 a 2 +1 2 a 3 + 6 a 4一5 2 a , +4 a 2 +6 a 3 +8 a 4一5n=6:五 1 0 a , +8 a , +6 a ,+ 4 a , +2 a ,一6幾兒人 8 a , + 1 6 a , + 1 2 a , +8 a , + 4 a 5一6 6 a , +1 2 a 2 +1 8 a 3 +1 2 a 4 +6 a ,一6 4 a , +8 a 2 +1 2 a 3 +1 6 a 4 +8 a ,一6.f s 2 a , +4 a 2 +6 a 3 +8 a 4 +l O a s一68 J J G 7 4 0 -2 0 0 5附錄 C分段測t研磨面平尺工作面平面度的數(shù)據(jù)處理示例 對于3 0 0 m m研磨面平尺，可用2 1 0 m m長平晶在等傾干涉儀中分段測量。測量時(shí)分0至 1 8 0 m m, 9 0 m m至 2 7 0 m m , 1 2 0 m m至3 0 0 m m三段進(jìn)行，每次測量 1 8 0 m m段中的7 個(gè)測點(diǎn) ， 共得 2 1 個(gè)讀數(shù)，并按下述方法進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，參見表 C . t oC . 1 計(jì)算 0 至 1 8 0 m m間各點(diǎn)對。與 1 8 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差 按式 ( A . 9 )且考慮長平晶平面度偏差 ，計(jì)算該 1 8 0 m m長度上各測點(diǎn)對 0與 1 8 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差。C . 2 計(jì)算 ( 9 0 至2 7 0 ) m m間各點(diǎn)對9 0與2 7 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差 按式 ( A . 9 )且考慮長平晶平面度偏 差，計(jì)算該 1 8 0 m m長度上各測點(diǎn)對 9 0與2 7 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差。C . 3 計(jì)算 ( 1 2 0 至 3 0 0 ) m m間各點(diǎn)對 1 2 0 與 3 0 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差 按式 ( A . 9 )且考慮長平晶平面度偏差，計(jì)算該 1 8 0 m m長度上各測點(diǎn)對 1 2 0與3 0 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差。C . 4 計(jì)算 ( 0 至 2 7 0 ) m m間各點(diǎn)對 0 與 2 7 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差 根據(jù)表C . 1 , 9 0 m m處對。 與 1 8 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差 a , =一 0 . 0 7 6 p m , 1 8 0 m m處對9 0 與2 7 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差 a 2 =一 0 . 2 0 5 1 c m ， 按式 ( 1 )或附錄B 中簡化公式計(jì)算， 求得 9 0 m m及 1 8 0 m m處對。與2 7 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差 f .f 9 0 二五w二4 a , +2 a 2 32 a , +4 a 2 34 x( 一 0 . 0 7 6 ) + 2 、( 一 0 . 2 0 5 ) 32 x( 一 0 . 0 7 6 ) + 4 x( 一 0 . 2 0 5 )=一 0 . 2 3 8 ( l e m )=一 0 . 3 2 4 ( 1 c m ) 再根據(jù)幾及五 ， 的 值將其余各點(diǎn)補(bǔ)插進(jìn)去， 從而求得被測研磨面平尺0 至2 7 0 m m間各點(diǎn)對 。 與 2 7 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差。 對于五 2 0 及無 5 。 各有兩個(gè)測得值， 分別計(jì)算相應(yīng)測得值之差，當(dāng)其不超過3 0 0 m m 研磨面平尺平面度要求 ( 0 . 4 1 e m )的1 / 6 時(shí) ( 超過時(shí) 應(yīng)重測) ， 取其平均值作為測得值。即關(guān)2 0 二f ,5 .=( 一 0 . 3 1 4 )+ ( 一 0 . 3 1 0 )2=一 0 . 3 1 2 ( ji m )( 0 . 3 4 5 )+ ( 一 0 . 3 2 5 )2=一 0 . 3 3 5 ( N m )C . 5 計(jì)算 。 至 3 0 0 m m間各點(diǎn)對 。 與 3 0 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差 在 1 2 0 m m至 3 0 0 m m測量段 內(nèi)，以 1 2 0 m m與 2 7 0 m m兩點(diǎn)連線為基準(zhǔn)，并延長至3 0 0 m m，得到 3 0 0 m m這點(diǎn)對此連線的偏差。這點(diǎn)偏差與在 0 至 2 7 0 m m測量段內(nèi)測量結(jié)果中連接 1 2 0 與 2 7 0 二 兩點(diǎn)并延長至3 0 0 m m得到的偏差疊加起來 ，得到 3 0 0 m m這點(diǎn)偏差，即可求得 0 至 3 0 0 m m間各點(diǎn)對 0 與 3 0 0 m m兩點(diǎn)連線的偏差。按符合最小條件準(zhǔn)則處理得到測量結(jié)果 ( 參見表 C . 2 ) oJJG 7 叨一2 傭5 表 C. 1Do二3 . 9 2 mm檢測 位置 ( mm )一干 涉 環(huán) 直 徑 lm 。一一 干涉帶級數(shù) 天C ， 二凡 一K。乙二 C乙 ndid 2d=d l 一注 ，06 . 6 2 2 . 5 3一一 4. 00一0. 0 90O3 O6 . 4 12. 5 73. 8 4 一 一 十0. 0 4I + 0 . 1 3一0， 0 1606 . 3 82 . 6 83. 7 0+0. 1 1+0， 2 0一0， 0 龍9O6 . 3 92. 6 03. 7 9+0 06+0 1 5一0 . 0 3 51 206 . 5 22 5 04. 0 2一0. 0 5十0. 04一0 0 51 5 06 . 5 92 . 4 34. 1 6一0. 1 3一0， 04一0. 061 8 06 6 1一一0 1 6一0 0 7一0. 07906 6 62 . 5 64. 1 0一0， 09001 206. 7 0 一24 5ll)4 . 3 4一一0. 2 3一0. 1 401 5 05 8 03 . 442. 3 6一0. 2 6一0. 1 7 一 一 一0 0 11 8 05 8 02 . 4 72. 3 3一0. 3 5一0. 2 6一0 ， 0 12 1 06 . 7 72 . 4 84. 2 9一0 20一0， 1 1一0 . 0 12 4 06. 7 42 . 5 44 . 20一0 . 1 5一0 . 0 6一0 . 022 7 06. 7 02 5 74 . 1 3一0 . 1 一0 . 0 2一0 . 021 2 06 6 92 . 5 24 . 1 7一0 . 1 3001 5 06 . 3 02 . 4 23 . 8 8 -一 0 . 0 2l +0 . 1 1一0 . 0 11 8 06 . 1 02 . 1 23 . 9 8一0 . 0 3+0 . 1 0一0 0 32 1 06 3 22 . 1 5 一0一0 ， 042 4 06 . 4 22. 204. 2 2一 0 . 1 6一0 . 0 3一0 . 0 52 7 06 . 4 52. 2 3 4. 2 2一 一 0 . 1 6一0 . 0 3一0. 0 7 3 oo6 . 5 02 204. 3 2一 0 . 2 1一0 . 0 8一 0 . 0 8l 0J J G 7 4 0 - 2 0 0 5a二0. 5 9 0 k m 乙。 = LC . 一 百 二 C _ L F ; 二 . x 冬 藝( l e m )長平 晶平面度偏差 21 , 1 p . 被 測研磨 面平 尺局 部偏 差F, 二F 一A一 會 、。被測研磨面平尺兩點(diǎn)連線偏差 I t e m; 二 F ， + L h 0000一 一00+0. 1 4+0. 0 4 1+0. 0 7 0 一一0 . 0 2 9 一0 . 0 5 4一0. 0 8 3+0. 2 2+0. 0 6 5+0. 1 1 9一0 . 0 5 4 一 0 . 1 0 8I一0. 1 6 2+0. 1 8 5+0 . 0 5 5+0 . 1 3 1一 0 . 0 7 6一0. 1 6 2一0. 2 3 8+0 , 0 9+ 0. 02 7+0 . 1 2 5一0 . 0 9 8I - 0 .2 1 6一0 . 3 1 4 I_+0 . 0 2十0.0 0 6+0 . 0 8 1一0 . 0 7 5! 一0. 2 7 0.345: 一0000一0. 3 2 4 一 1一0000一0. 2 3 8 一0 . 1 4一0 . 0 4 1+0 . 0 7 0一0. 1 1 1一0. 1 9 9_ 0 .3 10一一0 . 1 6一0 . 0 4 7+0 . 1 1 9一0. 1 6 6 一0. 1 5 9 J一0 . 3 2 5一0 . 2 5一 0 . 0 7 4+0 . 1 3 1一0. 2 0 5一0. 1 1 9一 0 . 3 2 4一0 . 1 0一 0 . 0 3 0+0 . 1 2 5一0. 1 5 5一0. 0 7 9一0 . 2 3 4一0 . 0 4一 0 . 0 1 2+0 . 1 8 1一0. 0 9 3一0. 0 4 0一 0 . 1 3 30000000000一0. 3 1 2 一+0. 1 2 + 0 . 0 3 5+0. 0 7 0一0 . 0 3 5一0 . 2 5 0+0. 1 3+0. 0 3 8+0_ 1 1 9一0 . 0 8 1一0 . 1 8 7+0. 0 4+0. 0 1 2+0. 1 3 1一0 . 1 1 9一0 . 1 2 5】一+0. 0 2+0. 0 0 6+0. 1 2 5一0 . 1 1 9一0 . 0 6 2+0. 0 4+0. 0 1 2+0. 1 8 1一 。 . 0 6 9 一0000+ 0 . 0 6 21 lJ J G 7 4 0 -2 0 0 5欲660!0660.0，!0“氣gcnO 令 ; 二 令 lO口口巴O I叼李一O Ir JOCr刀O lO.、mO I心卜亡門O I今V口r尸O 1，-OJ吧護(hù)O l途O心 二碉撰攫Or，.門C 加O !O、NOO l尋OO lO(hOO !r r卜向OO lrOOOO lNOO IO;甘寸.，叫O I蓄 Nr 二 嗜 謄蟹E x NOt甲1以 二OC 勻 吞r刀心尸叫0 萬口(r尸r 刁0 診七尸Or尸0 I戶刀O巴戶刀O I辦一rV0 IO七 尸，.0 rO們寸，叫0十 二 1 P $ 攫 丫0 履琴F$ H 昌M 目9里蓄 荔NNMO護(hù).叫r 、卜刁O l導(dǎo)O 刀O I屺護(hù)O戶 刀O I叱護(hù) 刀”叫O 1O了 1寸尸.叫O十圈 mr N E rx :N 首 I L (V :4Ccn 那鉀圈琴O，.，NOO I嘆 ， 、甘)OO I心Cr毛OO !落OO IOr尹O巴OO+咽撰櫻CJ寸，叫OO+CO廣 JOO十9O+刀 nv 100+C 六呂0+pr以O(shè)0+洲 嗜 N EN0 言 IT rl艇 繃忍0 沖鉀嘆遐0叼勺r 尸0C二 .月 一oc0C ) Ia0a一，目0 !a呂心 I0 ，酬 舊心 t二 ， 洲司 口0 呈rlN O 州 瑪忍N(yùn)N尸州尸O C七尸C 刀O !嘆 、口(尸叫O l尸】N， -O I廣刀8O !ON舊OO十 ，崛 隆 心J ; ， 洲2口i l l昌el匕O蕊 N勺 致 繃Or尸O 巴OO Ir刀心，.叫O I口(rrC 刀O I戶習(xí)尸.創(chuàng)O IMO甘f Jr尸O I寸護(hù)戶刀O IC門t們目O IO毫 咧呂理 +乏OO導(dǎo)家NOO邑ONqNON SM1 2J J G 7 4 0 -2 0 0 5附錄 D研磨面平尺工作面平面度測量結(jié)果不確定度評定D. 1 概述 通過對常用規(guī)格的研磨面平尺工作面平面度測量結(jié)果不確定度的評定 ， 確認(rèn)本規(guī)程提出的測量原理、測量方法、測量程序和測量條件的合格性。D . 2 任務(wù)和目 標(biāo)不確定度D . 2 . 1 測量任務(wù) 測量2 0 0 m m和 3 3 0 m m研磨面平尺工作面的平面度。D2 2 目 標(biāo)不確定度 根據(jù) J J F 1 0 9 4 -2 0 0 2 測量儀器特性評價(jià)中 5 . 3 . 1 . 4的規(guī)定 ，評定研磨面平尺工作面平面度的不確定度 仇 、 與其最大允許誤差的 絕對值M P E V 之比，應(yīng)小于或等于1 : 3 ,我們按保守估計(jì)取 k = 3 ，即U , 、 奮 M P E V( D. 1 )則相應(yīng)目 標(biāo)不確定度 U , = U ， 見表D . l a 表D. 1 目標(biāo)不確定度 U ， 一覽表研磨面平尺規(guī)格 L / m m平面度最大允許誤差M P E , 華m目 標(biāo)不確定度 U T / lc m2 0 00. 1 50. 0 53 3 00. 4 00. 1 3D . 3 原理 、方法、程序和條件D . 3 . 1 測量原理 非接觸式技術(shù)光波干涉法，與一已知平面 ( 參考平面)比較法測量。D . 3 . 2 測量方法 采用等傾干涉法。在等傾干涉儀中用 2 1 0 m m長平晶與 2 0 0 m m的研磨面平尺整段比較測量或與3 3 0 m m的研磨面平尺分段 比較測量，得到的測量值修正長平晶工作面平面度后，按最小條件計(jì)算得到研磨面平尺工作面的平面度。D . 3 . 3 初始測量程序 用平面等傾干涉儀 ( 裝置)測量研磨面平尺平面度 ; -2 1 0 m m長平晶做標(biāo)準(zhǔn)器; 等傾干涉儀做比較儀使用。 兩個(gè) l m m量塊研合在長平晶兩端做支撐用 ; 研磨面平尺放置在檢定室內(nèi)的溫度平衡時(shí)間不少于 1 0 h ; 長平晶與研磨面平尺放置在儀器內(nèi)的溫度平衡時(shí)間: 對于2 0 0 m m研磨面平尺和2 1 0 m m長平晶不少于 1 h ; 對于3 3 0 m m研磨面平尺和2 1 0 m m長平晶不少于 1 . 5 h o 1 3J J G 7 4 0 -2 0 0 5D . 3 . 4 初始測量條件 平面等傾干涉儀 ( 裝置)經(jīng)檢定應(yīng)符合 J J G 6 6 1 -2 0 0 4 平面等傾干涉儀國家計(jì)量檢定規(guī)程的要求 ; -2 1 0 m m長平晶的規(guī)格經(jīng)檢定符合J J G 2 8 -2 0 0 0 平晶國家計(jì)量檢定規(guī)程的要求; -2 1 0 m m長平晶工作面的平面度經(jīng)檢定符合 J J G 2 8 -2 0 0 0 平晶國家計(jì)量檢定規(guī)程的要求，且具有修正自重變形影響后平面度數(shù)據(jù)的檢定證書; 經(jīng)檢定兩塊 l m m 量塊的尺寸差小于0 . 1 r t m ; 檢定室溫度 :( 2 0 1 5 ) 0 C ,溫度變化不得超過0 . 1 C/ h和 1 C / 2 4 h ; 檢定室內(nèi)的溫度與儀器保溫箱內(nèi)的溫度之差小于0 . 2 C ; 測溫儀的分辨力: 0 . 0 1 9 0 ; 長平晶的制造材料是K , 光學(xué)玻璃， 研磨面平尺是鋼制的; 操作人員是經(jīng)過培訓(xùn)的，并且十分熟悉平面等傾干涉儀 ( 裝置)的使用。D . 4 測量裝置圖示 測量裝置圖示見圖A . 1 oD . 5 不確定度來源及其說明 不確定度來源及其說明見表 D . 2 o 表D. 2 研磨面平尺工作面平面度測f不確定度分f概況和評注序號符號不確定度分量名稱說明Iud 份測量點(diǎn)定位誤差由等傾干涉儀縱、橫向定位系統(tǒng)的誤差引起。對測量結(jié)果影響較小，可忽略2u b .標(biāo)準(zhǔn)干涉環(huán)直徑 平面等傾干涉儀檢定規(guī)程規(guī)定，等傾干涉儀的標(biāo)準(zhǔn)干涉環(huán)直徑的 測量不確定度 U , 0 . 0 1 m m3“ 列視 l 微 目鏡誤差 平面等傾干涉儀檢定規(guī)程規(guī)定，在全量程范圍內(nèi)，測微目鏡的示值最大允許誤差為t 0 . 0 1 O m m4u ，干涉環(huán)小數(shù)級數(shù) 測量重復(fù)性檢定合格的等傾干涉儀的干涉環(huán)小數(shù)級數(shù)測量重復(fù)性0 . 0 2 5 個(gè)干涉級數(shù)5腸. 撓度 變形主要考慮研磨面平尺、標(biāo)準(zhǔn)長平晶因自重引起的撓度變形6“ 慫溫度 變化主要考慮溫度變化對長平晶與研磨面平尺的影響7u r a分段測量分段后每個(gè)測點(diǎn)兩次測量讀數(shù)帶來的影響8“ 即長平晶工作面平面度主要考慮標(biāo)準(zhǔn)平面度的測量不確定度的影響D . 6D . 6首次評估 首次評估不確定度分量 的說明及計(jì)算 J J G 7 4 0 -2 口 1 0 5 ( 1 ) u , . 測量點(diǎn)定位誤差B 類評定 測量點(diǎn)定位誤差主要是等傾干涉儀縱、橫向定位系統(tǒng)的誤差引起，由測量點(diǎn)縱向定位誤差和橫向定位誤差組成。由于標(biāo)準(zhǔn)干涉環(huán)直徑和被測干涉環(huán)直徑是比較測量，測量目標(biāo)是研磨面平尺工作面的平面度，且其數(shù)值很小。因此對檢定合格的等傾干涉儀而言，測量點(diǎn)定位誤差對測得值的影響很小，可以忽略不計(jì)。 a s ， 二0 ( 2 ) u b , 標(biāo)準(zhǔn)干涉環(huán)直徑B類評定 根據(jù) J J G 6 6 1 -2 0 0 4 平面等傾干涉儀檢定規(guī)程規(guī)定，在 1 0 個(gè)不同千涉級數(shù)的情況下 進(jìn)行 1 0 次標(biāo)準(zhǔn)干涉環(huán)直徑 D 。 的測量，其平均值D 。 的不確定度 ( 3 s )不超過O . O l m m，即影響量的極限值 a * = O . O l m m 。其對被測量影響的極限值 a計(jì)算如下: 根據(jù)干涉環(huán)小數(shù)級數(shù)的計(jì)算公式: 長= ( D ; l D o ) z d 0 長2 D d D o =一 D a得d A K ; =I 一 2 A K ; / D o I x d D o取d D o = a ， 正、負(fù)號表示干涉環(huán)收 縮方向與極限值大 小無關(guān)， 取其絕對值。 d A K ; = 2 在 次 一 / D o a a=d AK ; a l 2 = ( 2 , / 石 K 一 / D . ) a A / 2有則 實(shí)際測 量時(shí)， 取 K ; .: : 1 , D 。 二 3 . 8 7 m m , A = 0 . 5 8 9 3 z m ( 1 鈉光波長以下同不再說明) ，a = 0 . O 1 O m m ，則 a = ( 2 x 湯 3 . 8 7 ) x 0 . 0 1 0 x ( 0 . 5 8 9 3 / 2 ) - 0 . 0 0 1 5 ( r e m ) 保守估計(jì)為矩形分布，取分布因 子 b = 0 . 6 ， 標(biāo)準(zhǔn)干涉環(huán)直徑的不確定度分量 U h . u 、 二 a b = 0 . 0 0 1 5 x 0 . 6 二 0 . 0 0 0 9 ( PL m ) ( 3 )“ ， 測微目 鏡的 誤差B 類評定 測 微目 鏡 誤差 引 人 的 不 確 定度 分 量“ m; ， 主要由 測微目 鏡示 值 誤差 的 不 確定 度 分 量“ 。 . 和其回 程誤差的不確定度分量 U . h 兩部分構(gòu)成。 測微目鏡的回程誤差在考慮千涉環(huán)小數(shù)級數(shù)測量重復(fù)性時(shí)，已將其影響計(jì)算進(jìn)去，為避免重復(fù) 計(jì)算， 故在此不予 考慮，a . h = 0 . 測微目 鏡示值誤差的不確定度分量 U m 。 的 評定B 類評定 根據(jù) J J G 6 6 1 -2 0 0 4 平面等傾干涉儀檢定規(guī)程，平面等傾干涉儀測微 目鏡示值最大允許誤差在全量程范圍內(nèi)為 士0 . 0 1 0 m m，極限值 a = 0 . 0 1 0 m m對被測量影響的極限值 a按下式計(jì)算: 根據(jù)干涉環(huán)小數(shù)級數(shù)的計(jì)算公式: O K ; = ( D ; I D ) 2.I .I G 7 4 0 - 2 0 0 5旦 A K ,d 刀= 2 D , D石有d A K= ( 2 ,鄺 K , I D , ) d D令d D= a有d A K= ( 2 ., 厄K ; I D o ) a 則。二 d , K ; A / 2 = ( 2 , 厄K ; I D o ) a “ l / 2 取 K二 1 ， D o = 3 . 8 7 m m , A = 0 . 5 8 9 3 t m , a “ = 0 . 0 1 0 m m ， 則 a = ( 2 x 和3 . 8 7 ) x 0 . 0 1 0 x ( 0 . 5 8 9 3 / 2 ) 0 . 0 0 1 5 I x m 估計(jì)為正態(tài)分布， 取分布因子 b = 0 . 5 ， 則測微目 鏡示值誤差的不確定度分量 a m , u m=a b = 0 . 0 0 1 5 y m x 0 . 5 = 0 . 0 0 0 7 6 K m 測微目 鏡誤差的不確定度分 量 U ,. j a m i =u -= 0 . 0 0 0 7 6 1t m ( 4 ) u , 干 涉 環(huán) 小 數(shù)級 數(shù) 測 量 重 復(fù) 性B 類評 定 根據(jù) J J G 6 6 1 -2 0 0 4 平面等傾干涉儀國家計(jì)量檢定規(guī)程規(guī)定，1 0 次重復(fù)測量得到干涉環(huán)小數(shù)級測量的重復(fù)性，其值 ( 3 s )應(yīng)小于 0 . 0 2 5 個(gè)干涉級數(shù)，即 a 二 0 . 0 2 5 個(gè)干涉級數(shù)。在實(shí)際測量中，取 3 次讀數(shù)的平均值作為測得值，則其對被測量影響的極限值 a為 a = ( a 幣 ) 1 / 2 = ( 0 .0 2 5 / 存) x 0 .5 8 9 3 / 2 = 0 . 0 0 4 3 ( ti m ) 估計(jì)為正態(tài)分布，取分布因子 b = 0 . 5 ，則 u , , = a b = 0 . 0 0 4 3 x 0 . 5 = 0 . 0 0 2 1 5 ( K m ) ( 5 ) u . , 撓度變形B類評定 研磨面平尺和長平晶的自重會引起其撓度變形，對測量結(jié)果產(chǎn)生影響。 測量方法中規(guī)定研磨面平尺在測量時(shí)，兩支承點(diǎn)置于被測研磨面平尺 ( 2 / 9 ) L處，認(rèn)為此時(shí)產(chǎn)生的撓度變形最小 ，未對其予以修正。根據(jù)有關(guān)資料常見結(jié)構(gòu)的研磨面平尺其 最 大自 重 變 形量 及 其 不 確 定 度分 量u , = a b 見 表D . 3 。 表中 研 磨 面 平尺的 最 大自 重 變形量 a按保守估計(jì)服從矩形分布，分布因子 b 二0 . 6 0 表D . 3 研磨面平尺規(guī)格、最大自 重變形量和不確定度分量 “ ， 研 磨 面 平 尺: 規(guī) 格 / m m最 大 自 重 變 形 量 / u m一 不 確 定 度 分 量。 ./ u m I2 0 03 3 00. 00 1 80. 0 0 70 04 2 長平晶由于測量時(shí)，兩量塊置于長平晶的兩端點(diǎn)處 ，其自重引起的撓度變形對測量結(jié)果會產(chǎn)生影響，但長平晶自重對其平面度的影響在長平晶的檢定證書已予以修正，因此此項(xiàng)不確定度分量主要考慮長平晶 自重變形量測量的擴(kuò)展不確定度。根據(jù) J J G 2 8 - 1 6J J G 7 4 0 -2 0 0 52 0 0 0 平晶國家計(jì)量檢定規(guī)程，長平晶自重變形量測量的擴(kuò)展不確定度 U ( k = 3 )和不 確 定 度 分 量“ np 見 表D . 4 o表D . 4 長平晶自 重變 形量測量的擴(kuò)展不確定度 U和不確定度分盤U . p長平晶規(guī)格/ m m擴(kuò)展不確 定度 U l f, m ( k = 3 )不確定度分 量 a , / I m2 1 00 . 0 1 00 . 0 0 3 3撓度變形引 起的不確定度分量a . n。 .。 一 了 . 2 ， 十 a 2 p當(dāng) L= 2 0 0 m m時(shí)當(dāng) L= 3 3 0 m m時(shí)a n 6=a . n =, / 0 . 0 0 1 8 1 + 0 . 0 0 3 3 2 二 0 . 0 0 3 8 ( j i m ), / 0 . 0 0 4 2 2 + 0 . 0 0 3 3 2 = 0 . 0 0 5 3 ( j m ) ( 6 ) u , 溫度變化B 類評定 溫度對測量結(jié)果的影響主要表現(xiàn)在兩個(gè)方面，對 2 0 的偏離和溫度變化。在滿足規(guī)程所規(guī)定的條件下，溫度偏離 2 0 對測量結(jié)果的影響很小可忽略不計(jì)。溫度變化對測量結(jié)果的影響較大。 當(dāng)環(huán)境溫度符合本規(guī)程所規(guī)定的溫度條件時(shí)，在平面等傾干涉儀保溫箱內(nèi)，等溫1 h 后 ，研磨面平尺和長平晶的 自身溫度不一致性均應(yīng)小于 0 . 0 5 C ,溫度變化對測量影響的極限值為: 對L = 2 0 0 m m 的 研 磨 面 平 尺 線 脹系 數(shù)。 ， = 1 1 . 5 x 1 0 - 1 / 0 C ， 平 尺寬 度l , = 3 6 m m , 溫度差 T = 0 . 0 5 C ， a ,=O T a , l , , =0 . 0 5 Cx1 1 . 5x1 0 一 b / C x3 6 m m =0 . 0 2 0 7 U m保守估計(jì)符合矩形分布，取 b = 0 . 6 ， 則 u, =a, b = 0 . 0 2 0 7 x 0 . 6 = 0 . 0 1 2 ( m ) 對L = 3 3 0 m m 的 研磨 面 平 尺a y = 1 1 . 5 x 1 0 - 6 / 0C ， 其尺 寬l Y_ = 6 0 m m , A T = 0 .0 5 C ， a ,y 2 = 4 T a , 1 , 2 =0 . 0 5 C x 1 1 . 5 x 1 0 一 “ / x 6 0 mm = 0 . 0 3 4 5 1 c m保守估計(jì)符合矩形分布，取 b = 0 . 6 ，則 u ,y y =a , y z b = 0 . 0 3 4 5 x 0 . 6 = 0 . 0 2 1 ( Ji m ) 對2 1 0 m m 長 平晶a p = 8 x 1 0 - 6 / C , 1 , = 2 5 m m , A T = 0 .0 5 C , a , , = 4 T 稱 = 0 . 0 5 Cx 8 x 1 0 一 6 / 0 C x 2 5 m m = O . O l p m保守估計(jì)符合矩形分布，取 b = 0 . 6 ，則d J G 7 4 0 - 2 0 0 5 u , , = a 。 b = 0 . 0 1 x 0 . 6 = 0 . 0 0 6 ( ft m )環(huán)境溫度對 L = 2 0 0 m m的 研磨面平尺平面 度測量的影響 a h , l il h 、 = 丫 u 2a ,yl + u 2U w =1/ 0 . 0 1 2 2 + 0 . 0 0 6 2 = 0 . 0 1 4 ( l e m )環(huán)境溫度對 L = 3 3 0 m m的 研磨面平尺平面度測 量的影響 u h , u h2 = 丫 u 2u ly2 + u 2u l, =初. 0 2 1 2 十 0 . 0 0 6 2 = 0 . 0 2 2 ( f m )