大專畢業(yè)論文-開題報告-V3.0.1.doc

本文給出大專畢業(yè)論文開題報告內容和格式基本要求及示例，學生須參考本文要求撰寫畢業(yè)論文開題報告。不用此信息時，刪除此框。煙臺汽車工程職業(yè)學院( 2007 )級?？粕厴I(yè)設計(論文)開 題 報 告論文題目：開題報告格式基本要求：(1) 紙 型：A4紙，單面打??；(2) 頁邊距：上2cm，下2cm，左3cm、右2cm；(3) 頁 眉：1.5cm，頁腳：1.25cm，左側裝訂；(4) 字 體：開題報告正文全部宋體、五號、首行縮進2字符；一級標題黑體、小三、居左；二級標題黑體、四號、居左；三級標題黑體、小四、居左。標題都采用1.5倍行距。頁碼10磅、Times New Roman、居中。西文、數(shù)字等符號字體Times New Roman。(5) 行 距：正文固定值20磅；段前、段后均為0；(6) 字 數(shù)： 2000字以上。(7) 格式方面的其他要求請參考大專畢業(yè)設計（論文）模板相應部分的格式要求。不用此信息時，刪除此框。題目一般不宜超過20字。題名應避免使用不常見的縮略詞、首字母縮寫，避免使用英文字符、代號、公式和上下標等。題目字號小三、宋體、居中、加粗。不用此信息時，刪除此框。系 （部）： 汽車工程系 專 業(yè)： 班 級： 學 號： 學生姓名： 指導教師： 填表格式：字號四號、宋體、加粗，英文或數(shù)字使用Times New Roman字體，填寫的文字應盡量放在橫線的中部。不用此信息時，刪除此框。將相應的年月日將其修改為實際的報告提交日期，不用此信息時，刪除此框。報告時間：2009 年 10月10日課題的背景意義及選題的依據(jù)，著重說明本課題在國內外的研究動態(tài)、目前的水平。本課題的目的、意義和開展研究工作的設想，準備在哪些方面取得進展和創(chuàng)新，課題的最終目標以及可能達到的水平。，不用此信息時，刪除此框。一、課題研究的背景和意義微機械角速率傳感器是近些年來發(fā)展的新一代慣性儀表,已有十余年的歷史，與傳統(tǒng)的傳感器相比，采用MEMS技術制作的微型角速率傳感器不僅將具有傳統(tǒng)角速率傳感器耐沖擊、抗過載的特點，而且還將具有體積小、重量輕、功耗低、價格便宜的特點，適合利用微電子技術大批量生產。不僅在軍事領域有很好的應用前景，而且在民用領域也將得到廣泛的應用，如相機防抖、汽車慣導系統(tǒng)、智能玩具等。因而，它是是未來低、中精度傳感器的理想換代產品，也是慣性技術向民用領域大量推廣應用最有前途的儀表。隨著微機械加工技術的發(fā)展和信號處理技術的發(fā)展，微機械角速率傳感器的精度正不斷的提高，應用領域也將不斷擴大。畢業(yè)設計（論文）選題想說明什么主要問題，結論是什么，在開題報告中要作為研究的基本內容給予粗略的，但必須是清楚的介紹。不用此信息時，刪除此框。二、研究的基本內容和擬解決的主要問題目前，國內外各種類型的傳感器有100多種，但射流角速率傳感器仍受到美、日等發(fā)達國家的極大重視，原因是這種角速率傳感器具有著其他傳感器不可媲美的一些特點。射流角速率傳感器是利用射流束在哥氏力（Coriolis）作用下發(fā)生偏轉來實現(xiàn)角速度測量的，是一種具有陀螺功能，而沒有高速轉子的新型固態(tài)慣性傳感器。由于采用氣流來敏感角速度，不存在可動部件，因而抗過載和抗沖擊的性能非常好，其承受過載的能力比一般陀螺高一個數(shù)量級，在承受16000g以上的沖擊后仍然能夠正常工作，是末制導炮彈不可缺少的關鍵部件；這種角速率傳感器響應時間也比較快，約為5080ms；另外，其壽命和可靠性也比一般角速率傳感器高一到兩個數(shù)量級，平均無故障工作時間可達250000小時；而且這種傳感器具有成本低的特點，其成本約為一般傳感器的1/31/2；最后，這種傳感器的信號處理電路非常簡單，只需要一個直流電橋即可以將角速度信號讀出。光纖陀螺也屬于固態(tài)慣性傳感器，抗沖擊和抗過載能力也比較強，但是其配套的電路系統(tǒng)比較復雜，而且價格較高。本次論文是突破了用傳統(tǒng)機械加工方法制成的射流角速度傳感器，將MEMS技術用于射流角速度傳感器，為射流角速度傳感器的微型化發(fā)展開辟了一條新途徑。在開題報告中學生要說明自己準備采用什么樣的研究方法。比如調查研究中的抽樣法、問卷法，論文論證中的實證分析法、比較分析法等。不用此信息時，刪除此框。三、課題的研究方法及措施3.1研究方法（1）對射流角速率傳感器的版圖進行優(yōu)化設計，使角速率傳感器的結構達到最理想值；（2）使用ANSYS程序，建立有限元模型，進行模態(tài)分析。（3）解決制作過程中遇到的工藝難題，尤其是在熱敏電阻絲的制作，鍵合工藝，以及ICP刻蝕中出現(xiàn)的問題。（4）完成流片試驗，制作出微型射流角速率傳感器樣片，進行封裝和測試。本次論文是突破了用傳統(tǒng)機械加工方法制成的射流角速度傳感器，將MEMS技術用于射流角速度傳感器，為射流角速度傳感器的微型化發(fā)展開辟了一條新途徑。二級標題、三級標題應寫成3.1、3.2和3.1.1、3.1.2的形式。具體要求詳見大專畢業(yè)設計（論文）模板。不用此信息時，刪除此框。3.2措施（1）參加反應的氣體（SiCl2H2和NH3）和非反應氣體混合物從管口部位進入，運輸?shù)骄哂幸欢ㄩL度的管道淀積區(qū)內。（2）反應物分子隨主流氣體擴散到達襯底表面并吸附在襯底表面上。（3）吸附在襯底表面上的反應物分子發(fā)生化學反應生成Si3N4沉積在硅表面上，而另一產物HCl氣體很容易外擴散離開表面。（4）反應后的氣體被抽出積淀區(qū)。LPCVD生成Si3N4是不定型的介電材料，大約含有8%的氫原子。溫度、壓力，反應物濃度均對該工藝有影響。課題研究工作的步驟和進度就是課題研究在時間和順序上的安排。畢業(yè)設計（論文）創(chuàng)作過程中，材料收集、初稿的寫作、論文的修改等 ，都要分階段進行，每個階段從什么時間開始，到什么時間結束都要有規(guī)定。不用此信息時，刪除此框。四、課題研究工作的步驟、進度2005.112005.12 論題了解 閱讀了與論題有關的基礎性文獻，對射流角速率傳感器有一個較全面的了解2005.122006.3 流片實驗 對射流角速率傳感器的版圖進行流片，掌握每個工藝步驟2006.42006.9 模擬分析 使用ANSYS進行建模分析，提出問題，改進版圖2006.102006.11 版圖設計 優(yōu)化版圖，提高結構的可靠性，并進行流片實驗2006.112007.3 論文答辯 撰寫論文，論文答辯 內容舉例：(僅供學生參考)課題研究工作的步驟、進度2008.11-2008.12 現(xiàn)場調研及文獻閱讀 確定煙臺交運集團發(fā)展現(xiàn)代物流的設計方案2009.12-2009.01 現(xiàn)代物流的設計方案分析，進行相關實驗 初步完成煙臺交運集團發(fā)展現(xiàn)代物流的優(yōu)化設計方案2009.01-2009.02 現(xiàn)代物流的最優(yōu)化設計、應用 基本完成交運集團發(fā)展現(xiàn)代物流的優(yōu)化設計，并進行相關應用2009.03-2009.05 課題總結，撰寫論文 對交運集團發(fā)展現(xiàn)代物流的應用進行總結，形成論文初稿2009.06 論文答辯 論文答辯，修改定稿以上紅字內容改為論文題目在開題報告中應列出主要的參考文獻，在實際上介紹了自己的準備情況，表明自己已了解所選課題的相關資料源，證明選題是有理論依據(jù)的。參考文獻內容：宋體，字號：五號；參考文獻另起一頁。參考文獻按正文中引用順序排列；參考文獻數(shù)量不少于10篇，其中外文參考文獻不少于2篇，并且包含一定數(shù)量的期刊。參考文獻具體書寫格式參見大專畢業(yè)設計（論文）模板。不用此信息時，刪除此框。五、主要參考文獻（列出至少10篇重要的參考文獻，其中外文至少2篇）1 王壽榮編著. 硅微型慣性器件理論及應用. 南京: 東南大學出版社, 2000:1022美 格雷戈里 T. A. 科瓦奇. 微傳感器與微執(zhí)行器. 北京：科學出版社，2003,3:12923 張昆，馮立群，余昌鈺，等. 機器人柔性手腕的球面齒輪設計研究J. 清華大學學報，1994, 34(2): 1-7.4 鄭開青. 通訊系統(tǒng)模擬及軟件D.北京：北方工業(yè)大學無線電系，1987.5 姜錫洲. 一種溫熱外敷藥制備方法P.中國：881056073，1980-07-26.6 中華人民共和國國家技術監(jiān)督局. GB31003102. 中華人民共和國國家標準量與單位S.北京：中國標準出版社，1994-11-01.7 蕭鈺. 出版業(yè)信息化邁入快車道 EB/OL . 2002-04-15 . http:/www.creader. com/news/20011219/200112190019.html.8 姜英敏. 國際理解教育的發(fā)展及其問題N.中國教育報,2007-05-05(3).9 Greiff P, et al. Mioromechanical gyroscopic transducer with improved drive and sense capabilities. U.S patent No. 5408877, 15. 410 Tang W C. Laterally driven polysilicon resonant microstructures. Sensors and Actuators, 1989, A20: (25-32)11 Aslam, M., and Schulz, D.,”Thechnology of Diamond Microelectromechaincal Systems,” Proceedings of Transducers95, the 8th international Conference on Solid-Stat