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中國(guó)3000萬(wàn)經(jīng)理人首選培訓(xùn)網(wǎng)站靜電防護(hù)作業(yè)規(guī)范1.0目的為防止因靜電的產(chǎn)生,而間接的破壞產(chǎn)品,特訂本規(guī)范期能降低到最低。2.0適用范圍凡屬本公司之靜電防護(hù)措施,均適用本規(guī)范。3.0責(zé)任凡進(jìn)入靜電防護(hù)區(qū)的所有同仁,皆需遵守本作業(yè)規(guī)范。 3.1 各單位主管應(yīng)對(duì)其作業(yè)所需之材料,分發(fā)或設(shè)置負(fù)有維護(hù)之責(zé)。3.2確認(rèn)所屬,皆已接受本公司或外界相關(guān)ESD之訓(xùn)練。3.3由品保部門負(fù)責(zé)稽核各防護(hù)區(qū)皆符合本規(guī)范要求。4.0定義 無(wú)5.0程序5.1實(shí)施辦法: 5.1.1 設(shè)備之靜電防護(hù)措施。 (a) 硬式接地要求:使用之儀器設(shè)備的基座與電機(jī)系統(tǒng)之安全接地(SAFETY GROUND)必須連結(jié)。 測(cè)試用設(shè)備、庫(kù)房物料存放料架、地墊(FLOOR MATS)、輸送皮帶之接地以直接焊接、折縫鉚釘或使用夾式連接固定均可。 5.1.2 工作站之靜電防護(hù)措施: 生產(chǎn)流程(PRODUCTION FLOW)作業(yè)站包括,(1)COPY IC ,(2)裝配,(3)運(yùn)送,(4)儲(chǔ)放,(5)測(cè)試,(6)包裝,其直接或間接使用設(shè)備、工具及其工作人員之軟式接地,亦必須符合本規(guī)范要求。 (a) 作業(yè)站表面材料: 必須是導(dǎo)電或靜電消散性材料,如導(dǎo)電墊(TABLE MATS),導(dǎo)電導(dǎo)板,表面電阻在1055 1010SQUARE OHM之材料。 (b) 作業(yè)站間之接地連結(jié): 作業(yè)站之間的接地連結(jié)可以是串聯(lián),但必須符合下列原則: 接地時(shí),不可與設(shè)備之安全接地(SAFETY GRDUND)或高周波接地混合使用。 任何導(dǎo)線在連接點(diǎn)前一寸之內(nèi),必須以絕緣覆之。 (c) 警告標(biāo)志:(ESD Warning) 各靜電敏感作業(yè)區(qū)域,必須貼示靜電防護(hù)警告標(biāo)志。 各靜電敏感區(qū)域之場(chǎng)所大門,須貼示警告標(biāo)志。 5.1.3 靜電環(huán)、人員導(dǎo)通性測(cè)試:(CONTINUITY TEST) (a)工作人員當(dāng)日進(jìn)入防護(hù)區(qū)時(shí),必須先戴靜電環(huán)于腕上,然后作導(dǎo)通試驗(yàn),通過(guò)者方可入內(nèi)工作。未通過(guò)者需更換合格靜電環(huán)再作試驗(yàn),靜電環(huán)測(cè)試步驟參考說(shuō)明。 (b)做導(dǎo)通試驗(yàn)時(shí),需將腕帶之導(dǎo)線夾在測(cè)試儀器之夾片上再以手指輕按測(cè)試臺(tái)中央,合格顯示綠燈,不合格顯示紅燈并將所測(cè)結(jié)果記錄靜電環(huán)量測(cè)記錄表(靜電環(huán)測(cè)試儀)。 (c)因作業(yè)之限制而未能使用靜電環(huán)者,亦必須使用防靜電手套,始可接觸制品。 (d)靜電環(huán)測(cè)試器,由儀校人員按時(shí)校正并保存校驗(yàn)報(bào)告。 5.1.4工廠導(dǎo)電地板導(dǎo)通性測(cè)試及作業(yè)說(shuō)明: (a)工廠內(nèi)鋪設(shè)導(dǎo)電地板之區(qū)域,須各車間靜電接地支線每3個(gè)月量測(cè)并記錄于靜電支線阻抗量測(cè)記錄(接地電阻測(cè)量搖表),靜電干線每3個(gè)月量測(cè)一次并記錄于靜電干線阻抗量測(cè)記錄(接地電阻測(cè)量搖表), 靜電接地點(diǎn)每6個(gè)月量測(cè)一次并記錄于靜電接地點(diǎn)阻抗量測(cè)記錄(接地電阻測(cè)量搖表)。 (b)工作桌、桌墊接地的有效性,每三個(gè)月檢查接地情形并貼靜電合格標(biāo)簽。(c) 防靜電地板測(cè)試每3個(gè)月測(cè)試一次,并填寫于靜電地板阻抗量測(cè)記錄(表面電阻測(cè)試儀)。 (d) 將廠區(qū)內(nèi)靜電臺(tái)面與靜電線之連接線編號(hào)并專人點(diǎn)檢連接狀況,確保連接正常。 (e) 每日對(duì)生產(chǎn)線的靜電支線的斷路和導(dǎo)通狀況進(jìn)行檢查,警報(bào)器工作正常,并記錄與靜電斷路&有效性點(diǎn)檢表(萬(wàn)用表)。 (f)導(dǎo)電地板之維護(hù): (1) 為維護(hù)導(dǎo)電地板之壽命,地板須每日或定期做清潔保養(yǎng)。 (2) 保養(yǎng)時(shí)可用拖把沾水,將表面之灰塵去除干凈,再用導(dǎo)電臘,效果更佳。 (3) 導(dǎo)電地板嚴(yán)禁使用化學(xué)性溶劑清洗,如HCFC、甲笨、香蕉水等,以確保導(dǎo)電材質(zhì)不致變質(zhì), 脆化損壞。 5.1.5 導(dǎo)電鞋管控: 進(jìn)入工廠之所有同仁,須穿著導(dǎo)電鞋進(jìn)入工作場(chǎng)所,來(lái)賓訪客須穿防塵鞋套始可進(jìn)入。 5.1.6 零件、制品運(yùn)送與接觸之規(guī)定: (a)人員接觸物料或制品規(guī)定: 由戴有 ESD 防護(hù)手套的人員,將待置物置放于靜電防護(hù)桌面。 以工具接觸產(chǎn)品時(shí),該工具必須是不產(chǎn)生靜電者,不可由非ESD 防護(hù)絕緣材料工具接觸。 手工焊接作業(yè)時(shí),其焊接工具必須有充分之接地。 (b)使用自動(dòng)設(shè)備處理PCBA: 操作人員必須接地。 嚴(yán)禁使用產(chǎn)生靜電之物品,除非該物品有下列條件: b.1 包覆于靜電場(chǎng)隔離容器內(nèi)。 b.2 經(jīng)防靜電溶液處理過(guò)。 b.3 在離子氣流涵蓋范圍內(nèi)。(c)裝有IC的包裝管(TUBE)運(yùn)送規(guī)定: 包裝管若為導(dǎo)電性材料,可由未受靜電防護(hù)人員之運(yùn)送。 包裝管若為抗靜電性材料,則運(yùn)送者須接地或使用抗靜電手套。 包裝管若蓋子打開或塞子取出,則必須放在靜電防護(hù)工作桌面。 零散料之移轉(zhuǎn)必須以管對(duì)管之傾倒,并注意極性。 (d)PCBA運(yùn)送規(guī)定: 運(yùn)送者需接地,拿取電路板,須持其邊緣,并戴上 ESD防護(hù)手套。 須置于有接地的工作站。 以金屬架運(yùn)送,并在金屬車架上存取電路板。 (e)不良品之處理規(guī)定(含待修品): 因電性功能測(cè)試或目視,特性而判定為不良品,除非已由制造檢討會(huì)議決議為報(bào)廢品,否則其運(yùn)送規(guī)定仍符合本規(guī)范之管制規(guī)定。 (f)現(xiàn)場(chǎng)列禁物品: 易產(chǎn)生靜電的物品如膠帶(TAPE),一般塑料物品、保麗龍(POLYLON) 置于靜電防護(hù)作業(yè)站之工作桌面時(shí),應(yīng)與制品保持適當(dāng)距離,并確保放置距離在30公分以下。(g)人員接地的方法: 靜電環(huán)(Wrist Strap)必須與皮膚充分接觸。 (h)環(huán)境控制: 生產(chǎn)、檢驗(yàn)及測(cè)試區(qū)域的環(huán)境必須予以控制,務(wù)使靜電之產(chǎn)生減少到最低程度。 (i)包裝的規(guī)定(原料包裝): 盤裝原料(TRAY),所用盤子須為抗靜電或?qū)щ姴馁|(zhì),若為抗 靜電的盤子,則必須包覆在導(dǎo)電袋或?qū)щ姾袃?nèi).若為導(dǎo)電性材料的盤子,則可以此方式運(yùn)送或包覆于標(biāo)準(zhǔn)紙箱內(nèi)。 包裝管須為抗靜電,如導(dǎo)電材質(zhì),且包覆于導(dǎo)電袋或?qū)щ姾?,則可單獨(dú)運(yùn)送或裝入標(biāo)準(zhǔn)紙箱內(nèi)。管子兩端塞子及針狀物也必須是抗靜電或?qū)щ姴牧稀?零件盒及PCBA暫存架采用抗靜電材料。 (j)針對(duì)重復(fù)性使用之抗靜電材料或?qū)щ姴牧?如儲(chǔ)存放置箱、隔板、抗靜電泡棉、導(dǎo)電料盒等,于重復(fù)使用時(shí)每周至少要用抽樣方式予以確認(rèn)其阻抗值是否仍在規(guī)格內(nèi),否則應(yīng)停止重復(fù)使用該材料。5.1.7 各單位 (含部門) 及工作站別,對(duì)防靜電措施之做法: (a)取用ESD敏感組件,僅可接觸其母體外殼,不可由導(dǎo)線 (接腳)碰觸,并須使用靜電環(huán)或ESD防護(hù)手套。 (b)勿使半導(dǎo)體滑動(dòng)于任何表面上,勿使零件接觸普通的塑料或紡織物。5.2制程稽核與確認(rèn): 5.2.1要求: 由制程品管依規(guī)范本指導(dǎo)中規(guī)定作隨機(jī)稽查與確認(rèn),并列入SMT巡回稽核檢查單和DIP巡回稽核檢查單內(nèi)。5.2.2相關(guān)部門: 所有直接與間接部門在進(jìn)入 ESD 防護(hù)區(qū)域中皆需遵守本規(guī)范規(guī)定。 (a) 個(gè)人所使用的防護(hù)設(shè)備,依(5.1.3 )節(jié)實(shí)施。 (b) 靜電防護(hù)工作站之桌、地墊(TABLE & FLOOR MATS)須不定期檢查是否接觸良好。5.2.3違規(guī)處理措施: (a) 受影響之作業(yè)區(qū)應(yīng)立即暫停,并依糾正和預(yù)防控制程序。 (b) 矯正措施及受影響產(chǎn)品的處理方式,必須受到品保部及防護(hù)區(qū)域主管之認(rèn)可,始準(zhǔn)予繼續(xù)作業(yè)。5.3 教育訓(xùn)練 全公司凡有機(jī)會(huì)接觸產(chǎn)品或在ESD區(qū)域工作的員工均應(yīng)接受靜電防護(hù)的教育訓(xùn)練。訓(xùn)練由各單位指派工程師以上人員負(fù)責(zé)教導(dǎo), 受訓(xùn)員工均應(yīng)納入訓(xùn)練記錄存檔。5.4 靜電防護(hù)監(jiān)測(cè)計(jì)劃及規(guī)格:品 名規(guī)格測(cè) 量 儀 器測(cè)量方法測(cè)量周期測(cè) 量 記 錄靜電環(huán)/靜電鞋1M10%靜電環(huán)測(cè)試儀測(cè)量SOP每天靜電測(cè)試記錄表靜電支線接地阻抗4接地電阻測(cè)量搖表專人負(fù)責(zé) 每3個(gè)月靜電支線阻抗量測(cè)記錄靜電地板表面電阻1051010表面電阻測(cè)試儀專人負(fù)責(zé)每3個(gè)月防靜電地板阻抗量測(cè)記靜電干線接地阻抗4接地電阻測(cè)量搖表專人負(fù)責(zé)每3個(gè)月靜電干線阻抗量測(cè)記錄靜電接地點(diǎn)阻抗4接地電阻測(cè)量搖表專人負(fù)責(zé)每6個(gè)月靜電接地點(diǎn)阻抗量測(cè)記錄靜電斷路有效性點(diǎn)檢是否導(dǎo)通萬(wàn)用表專人負(fù)責(zé)每天靜電斷路&有效性點(diǎn)檢表輸送帶、工作臺(tái)面106109表面電阻測(cè)試儀專人負(fù)責(zé)每3個(gè)月貼靜電合格標(biāo)簽ESD靜電測(cè)試紀(jì)錄表周轉(zhuǎn)架 , 靜電箱106109表面電阻測(cè)試儀專人負(fù)責(zé)每6個(gè)月貼防靜電標(biāo)簽ESD靜電測(cè)試紀(jì)錄表5.5 靜電量測(cè)方法:5.5.1靜電環(huán)測(cè)試步驟a.裝入9V電池于靜電測(cè)試器內(nèi);b.將接地線夾插入靜電測(cè)試器上方;c.將靜電腕帶牢固在手腕上;d.將有環(huán)扣接地線扣在靜電腕帶上;e.兩接地線緊緊夾??;f.將帶有靜電腕帶之手施壓在靜電測(cè)試器圓形金屬片上,此時(shí)開始測(cè)試;g.靜電測(cè)試器出現(xiàn)綠燈并有信號(hào)聲,表示此接地系統(tǒng)OK;h.如果左邊(LOW)紅燈亮,請(qǐng)檢查靜電腕帶中的阻抗是否低于500K,否將有害于人體;i.測(cè)試器在使用50000后,測(cè)試仍會(huì)出現(xiàn)綠燈,但未有信號(hào)聲,表示該換電池。5.5.2靜電臺(tái)面、靜電周轉(zhuǎn)箱等靜電量測(cè)方法:a.取表面阻抗量測(cè)計(jì),如圖分別插上兩個(gè)測(cè)量砣.(圖1)b.將測(cè)量砣放置于待測(cè)平面上(圖2),按下TEST鍵.讀出數(shù)值(圖3).桌面,周轉(zhuǎn)箱測(cè)量值紀(jì)錄于“靜電測(cè)試合格標(biāo)簽”貼于所測(cè)物體上,測(cè)量周期為三個(gè)月測(cè)一次.e08 標(biāo)示為108,以此類推 圖3圖2圖15.5.3靜電地板的靜電量測(cè)方法:a.將待測(cè)量地板干凈,沒(méi)有臟污。b.將測(cè)量砣放置在測(cè)量地板上,兩個(gè)砣之間的間距不可超過(guò)1m(如下圖1)c.將靜電測(cè)量?jī)x的紅線、黑線分別插在兩個(gè)孔內(nèi),并將其另一端分別放在兩個(gè)測(cè)量砣上,打開電源開關(guān)進(jìn)行測(cè)量(如下圖2)d.讀取測(cè)量?jī)x上的數(shù)字在1051010范圍內(nèi),記錄于靜電地板阻抗量測(cè)記錄(表面電阻測(cè)試儀)。e.靜電地板每半年打一次導(dǎo)電臘。5.5.4靜電干線測(cè)試方法:a.將藍(lán)線一端接入P端,另一端接插地樁;紅線一端接E端,另一端接插地樁;黃線一端接C端,另一端接總干線。b.插地樁插入大地40CM以上,兩個(gè)插地樁地距離40M以上。c.將檔位旋紐旋至X1檔。d.右手搖動(dòng)搖桿手臂,左手轉(zhuǎn)動(dòng)刻度盤,觀察指針指向“0”時(shí),可讀盤指向的讀數(shù)。e.并將結(jié)果記錄于“靜電干線
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