電子顯微鏡及其附屬設(shè)備的結(jié)構(gòu)基本原理第一部分.ppt_第1頁(yè)
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電子顯微鏡及其附屬設(shè)備的結(jié)構(gòu)、基本原理、用途及其使用方法,第一部分透射式電子顯微鏡,1.透射式電子顯微鏡外形及其基本結(jié)構(gòu),組成：電子光學(xué)系統(tǒng)； 高壓系統(tǒng)；數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)；電子控制系統(tǒng)；真空系統(tǒng)等五大部分。,透射式電子 顯微鏡,電子光學(xué)系統(tǒng),電子槍、電子束 加速線圈、透鏡 系統(tǒng)、物鏡系統(tǒng)、 成像系統(tǒng)、消像 散系統(tǒng)、電子對(duì) 中系統(tǒng)等,真空系統(tǒng),真空系統(tǒng)的組成：機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、離子泵、真空管道、循環(huán)水系統(tǒng)等,電子槍,鏡筒,照相室,DP,IP,RP,數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)包括：CCD數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、PHOTO采集系統(tǒng)；,高壓及其電源系統(tǒng),高壓箱、高壓電纜、高壓瓷瓶、電子束發(fā)射槍、電源等。,電子控制系統(tǒng),電源控制系統(tǒng)、電子束調(diào)整系統(tǒng)、電子光路調(diào)整系統(tǒng)、電子成像控制系統(tǒng)、真空控制系統(tǒng)、模式選擇系統(tǒng)等。,2.透射電子顯微鏡的基本工作原理,電子光學(xué)系統(tǒng) 的工作原理 LaB6燈絲在高電壓的作用下，產(chǎn)生一束高能電子束。經(jīng)過(guò)透鏡、物鏡、消像散等系統(tǒng)的調(diào)整，形成一束近似平行光的電子束，作用于試樣。電子束與試樣將發(fā)生各種各樣的作用。主要形成透過(guò)電子、彈性散射電子、非彈性散射電子,

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