EDS原理及應用_第1頁
EDS原理及應用_第2頁
EDS原理及應用_第3頁
EDS原理及應用_第4頁
EDS原理及應用_第5頁
已閱讀5頁，還剩3頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、eds原理及應用,能量分散譜儀：eds (energy dispersive spectrometer,eds是能快速地分析各種試樣的微區(qū)內be-u的所有元素的一種設備。eds可以與epma，sem，tem等組合，其中semeds組合是應用最廣的顯微分析儀器,eds檢測原理,光子能量檢測過程 x射線光子進入鋰漂移硅si(li)探測器后，在晶體內產生電子一空穴對。在低溫下，產生一個電子空穴對平均消耗能量為3.8ev。能量為e的x射線光子產生的電子空穴對為ne/3.8 。 例如：mnka能量e為5.895kev，形成的電子空穴對為1550個。cak: 3.7kev，約產生1,000電子空穴對。 電

2、子-空穴對形成電壓脈沖信號，探測器輸出的電壓脈沖高度對應x射線的能量,定性分析原理,x射線的能量為eh h為普朗克常數，為光子振動頻率。 不同元素發(fā)出的特征x射線具有不同頻率，即具有不同能量，只要檢測不同光子的能量（頻率）, 即可確定元素定性分析.可分為定點，線掃描，面掃描分析,特征x射線的產生：物質原子內層的某些電子被轟擊，或躍遷到外部殼層，或使該原子電離，而在內層留下空位。然后，處在較外層的電子便躍入內層以填補這個空位。躍遷中多余的能量以特定波長的x射線光量子的形式放出,定量分析,1.有標樣定量分析：在相同條件下，同時測量標樣和試樣中各元素的x射線強度，通過強度比，再經過修正后可求出各元素

3、的百分含量。有標樣分析準確度高。 2. 無標樣定量分析：標樣x射線強度是通過理論計算或者數據庫進行定量計算,eds特點,能快速、同時對各種試樣的微區(qū)內be-u的所有元素，元素定性、定量分析，幾分鐘即可完成。 對試樣與探測器的幾何位置要求低，可以在低倍率下獲得x射線掃描、面分布結果。 能譜所需探針電流小：對電子束照射后易損傷的試樣，例如生物試樣、快離子導體試樣、玻璃等損傷小。 檢測限一般為0.1%0.5%，中等原子序數的無重疊峰主元素的定量相誤差約為2% eds定量分析的相對誤差(含量20%wt）的元素，允許的相對誤差5% (3 %wt含量20%wt的元素，允許的相對誤差10% (1 %wt含量3%wt的元素，允許的相對誤差30% (0.5%wt含量1%wt的元素，允許的相對誤差50% 能量分辨率低（130ev） 工作條件要求嚴格。si(li)探頭必須始終保持在液氦冷卻的低溫狀態(tài)，即使是在不工作時也不能中斷，否則晶體內li的濃度分布狀態(tài)就會因擴散

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論