印刷 知識專業(yè)培訓燒結(jié)維修小組手冊

1、絲網(wǎng)、分測故障檢修參考故障現(xiàn)象原因分析解決方法一道吸碎硅片 cda有時不夠穩(wěn)定cda吹氣的閥島有臟阻現(xiàn)象兩側(cè)風刀或吹氣管道臟阻兩側(cè)風刀吹飄片子調(diào)整吹氣調(diào)節(jié)閥清潔閥島、吹氣管道和吹氣調(diào)節(jié)閥等，必要時更換清潔兩側(cè)風刀或吹氣管道調(diào)整風刀的吹氣方向及吹氣調(diào)節(jié)閥大小一道連吸多片風刀吹氣太小風刀沒有吹開頂面的片子上料盒內(nèi)硅片頂面過高，兩側(cè)風刀出氣口過低適當調(diào)大吹氣調(diào)節(jié)閥調(diào)整風刀的吹氣方向調(diào)整兩側(cè)對射光纖頭的上下位置 調(diào)整風刀的吹氣口方向 行走臂上下電機報警電機轉(zhuǎn)動不靈活或卡住上下位置出錯行走臂上下不靈活或卡住行走臂輔助汽缸失靈elmo卡程序出錯或損壞更換電磁抱閘；電機繞組短路，需更換調(diào)整參數(shù)；緊牢編碼器轉(zhuǎn)

2、軸螺絲；齒帶繃緊或更換齒輪箱內(nèi)碎片清理，加潤滑脂，必要時更換齒輪調(diào)節(jié)氣壓大小，必要時更換重新導入程序或更換elmo卡轉(zhuǎn)盤報警圓光柵頭位置偏移圓光柵尺位置有偏差轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動時受外力卡住轉(zhuǎn)盤本身轉(zhuǎn)動不靈活或卡死elmo卡程序出錯或損壞重新調(diào)整，確保指示燈常綠（原點除外），必要時更換調(diào)整圓光柵尺一周，確保光柵頭綠色指示燈常綠（原點除外）緊牢頂桿低端螺絲；調(diào)整與頂桿低端靠近的接近開關位置拆下轉(zhuǎn)盤的轉(zhuǎn)子， 軸承清洗、上潤滑油重新導入程序或更換elmo卡行走臂直線電機報警電機滑塊摩擦力較大行走臂滑塊摩擦力較大電機位置超出上下限elmo卡程序出錯或損壞電機線圈短路燒毀用酒精清潔后，給導軌、滑塊加適量的導軌油，必

3、要時更換用酒精清潔后，給導軌、滑塊加適量的導軌油，必要時更換重新設置原點參數(shù)或上下限參數(shù)重新導入程序或更換elmo卡更換直線電機烘箱機械手上下電機報警電機上下受阻，摩擦力較大電機動作超限行走臂向上動作時阻力較大烘箱溫度過高elmo卡程序出錯或損壞雙作用氣缸實效、氣壓偏小或損壞給導軌、滑塊加潤滑油，必要時拆下更換調(diào)整參數(shù)調(diào)整雙感應氣缸cda大小，必要時更換調(diào)大烘箱前面頂部的排風量重新導入程序或更換elmo卡調(diào)節(jié)好雙作用氣缸，必要時更換烘箱夾碎夾爪磨損、變形夾爪夾取硅片時過緊或過松硅片被夾取時動作較大產(chǎn)生碰撞托盤不在合適的位置托盤兩側(cè)的鏈條前后位置不適當更換新的夾爪適當調(diào)整夾爪閉合時的參數(shù)調(diào)整夾爪

4、參數(shù)，確保抓取時夾爪內(nèi)側(cè)碰不到或輕觸硅片調(diào)整托盤兩側(cè)邊的調(diào)節(jié)擋板調(diào)整托盤兩端鏈條兩側(cè)的調(diào)節(jié)檔塊卸載頂桿頂碎硅片頂桿變形頂桿的底盤變形頂桿的頂部不水平頂桿的上端面不平滑臺面真空釋放緩慢頂桿電機線圈燒毀頂桿電機滑塊損壞elmo卡程序出錯或損壞校正頂桿，必要時更換校正底盤，必要時更換打磨頂桿，必要時更換頂桿和底盤用細紋路的銼子挫平延長真空釋放時間；臺面清洗，電磁閥閥芯清洗，必要時更換更換直線電機更換電機滑塊重新導入程序或更換elmo卡印刷上下刮刀報警電機過載發(fā)燙電機上下摩擦力較大或被卡住調(diào)整參數(shù)，使刮刀不要超過行程范圍 清潔導軌和滑塊，必要時更換烘箱鏈條不旋轉(zhuǎn)，有時電機報警電機軸銷磨損或電機損壞電機

5、減速箱損壞鏈條位置不正確，左側(cè)下兩個接近開關不良鏈條卡死托盤斷更換電機軸銷或電機更換電機減速箱復位，使鏈條位置正確檢查接近開關，必要時更換打開烘箱，找出卡死部位檢查托盤，更換托盤探針上下電機報警 閉合時，探針電機調(diào)得過低 測試臺導軌、滑塊不靈活 彈簧或彈簧調(diào)節(jié)螺絲卡住測試臺 探針電機上下不靈活 探針上下電機受熱燒毀 輔助氣缸串氣損壞 調(diào)節(jié)電機原點或help內(nèi)探針閉合參數(shù) 導軌和滑塊的清潔、加油，甚至更換 重新調(diào)好彈簧，使彈簧調(diào)節(jié)螺絲在適合位置 探針電機導軌和滑塊的清潔、加油，甚至更換 更換探針上下電機 更換輔助氣缸分測承載盒內(nèi)電池片不能上升 承載盒左右兩側(cè)的對射光纖沒有對準 光電傳感器沒有設置

6、好或損壞 重新調(diào)節(jié)對射光纖頭位置，直到對射準確為止 重新調(diào)整光電傳感器，必要時更換回料板不工作氣缸內(nèi)的密封圈磨損負責上下動作的氣管漏氣或折疊相關閥島故障拆下氣缸，更換密封圈整理折疊氣管，更換破損氣管拆下閥島清洗，如損壞則更換上料臂抽碎片子上料感應器感應不到片子上料臂前端白色擋塊磨損有缺槽調(diào)節(jié)感應器的靈敏度，如壞則更換更換白色擋塊001 0e09 01 aux. circuits not active w1機器附屬電源丟失，“p2”和0e09輸入信號信號為低解除機器上所有“emergency”按鈕，然后按下綠色的“auxiliaries”按鈕，并檢查輸入信號0e09是否為高。003 printe

7、r 01 machine a hasnt been reset印刷機a打開后復位進程沒有被執(zhí)行確保有氣壓和真空；解除機器上所有“emergency”按鈕；按下綠色的“auxiliaries”按鈕；使機器以“auto”模式運行（黑色旋鈕）按“reset”，reset進行開始；等reset進程完成。（綠色的“reset”按鈕不再閃爍，一直為綠色）004 oven 01 machine b hasnt been reset烘箱b沒有復位按復位印刷機f的方法來復位烘箱b033 0e12 01 insufficient air pressure w1氣壓供應比所需要的低檢查氣壓表的顯示值是否工作在6 b

8、ar；檢查氣壓傳感器0e12035 0e13 01 insufficient main vacuum w1真空供應比所需要的低檢查真空表負壓是否工作在0.07mpa；檢查負壓傳感器0e13046 cal 14 calibration in progress某個相機校準正在進行等待校準完成047 cal 14 calibration error相機采集到的測量數(shù)據(jù)不完全正確。確保載入的是正確的程序文件；檢查鏡頭是否太臟或者變形；檢查焦距和光線；重新設定模式；檢查搜索區(qū)域048 cal 14 linear calibration error某個線型校準不對重復一下047警報的操作方法；檢查x，y軸

9、和theta的移動是否在可允許的范圍之內(nèi)；檢查馬達是否正常工作049 angular calibration error角度電機校準出現(xiàn)錯誤重復一下047警報的操作方法；檢查theta的移動是否在可允許的范圍之內(nèi)；檢查馬達是否正常工作042 axes check page 42-elmo manual, error with elmo mgxx.某個mgxx馬達錯誤去42-elmo頁選擇相應的馬達并檢查相關的參數(shù)elmo driver not operationalelmo卡沒有準備好通信檢查elmo連接；重新安裝卡上的電纜；關閉機器并重新啟動motor short circuitelmo偵測

10、到一個短路檢查從馬達到elmo卡電纜。檢查馬達本身的連接器。stopped by a limit switch限位開關發(fā)出報警，elmo卡切斷馬達供電 讓馬達和限位開關斷開；把馬達復位。external inhibit在elmo卡數(shù)字輸入信號關閉解除所有emergency按扭并按下auxiliaries按扭position error exceeded理論值和實際值之間出現(xiàn)誤差確保電源；按start cycle按扭后，等上幾秒后，馬達恢復；沒有動力時檢查馬達的機械摩擦；恢復elmo參數(shù)為原始值。failed to find electrical zero復位馬達開始時檢測線圈的換向情況失敗關掉

11、馬達電源（按emergency按扭）并檢查移動是否有障礙；用composerelmo軟件下載參數(shù)；檢查編碼器工作是否正常positive position limit exceeded馬達正位置極限的設定問題返回到馬達正常值的范圍內(nèi)；復位馬達negative position limit exceeded馬達負位置極限的設定問題返回到馬達正常值的范圍內(nèi)；復位馬達time-out pdo2 messagecan網(wǎng)絡通信超時重新連接can連接器。關閉機器并重新啟動motor hardware fault熱安全系統(tǒng)探測到馬達過熱并關閉馬達檢查馬達到elmo卡的電纜；檢查編碼器工作是否正常；確保馬達沒

12、有被某個機械制動所阻止wait axis in position window軟件命令所希望的位置不是所期望的位置轉(zhuǎn)到手動模式檢查馬達移動是否正常；檢查機械摩擦是否過大；復位整個機器。rtc故障檢修參考故障現(xiàn)象原因分析解決方法溫度的偏移不能通過更改設置點而得到修正scr故障或需要校正校正scr或更換scr。區(qū)域溫度無規(guī)律地波動pid參數(shù)沒有調(diào)整好調(diào)整pid參數(shù)過溫或欠溫警報可能是熱電偶損壞更換熱電偶加熱區(qū)溫區(qū)報警加熱燈燒毀更換加熱燈管在處理過程中出現(xiàn)#，計算機沒有和控制器建立通迅檢測計算機和控制器內(nèi)的以太網(wǎng)卡;檢測以太網(wǎng)連接器在屏幕操作時數(shù)據(jù)顯示凍結(jié)程序塊不能和控制器進行通迅檢測run和rec

13、指示燈是否點亮;trx指示應該周期性的閃爍.試著更換繼電器或程序塊.傳動速度出錯離合器松脫傳送帶運行監(jiān)示傳感器磨損或撕裂鏈條連接的齒輪間的輪距不適合旋緊離合器更換運行監(jiān)示傳感器重新調(diào)整輪距傳送帶不動作輸送帶動作檢測傳感器不工作馬達驅(qū)動印刷電路板上的保險絲“f1”和“f2”燒斷輸送帶傳動馬達燒壞馬達速度控制印刷電路板上的s1、s2沒有輸入信號清潔或更換動作檢測裝置的齒輪和傳感器更換保險絲“f1”和“f2”更換馬達檢查s1、s2信號輸入模塊及相關接點9區(qū)溫度報警加熱燈管燒壞根據(jù)報警信息更換加熱管，可用萬用表來判斷已損壞的燈管。不能登錄,opto 22整個控制系統(tǒng)沒有電源安全密封盒里的保險絲“fb”

14、燒斷控制器和計算機的以太網(wǎng)通訊電纜沒連接好以太網(wǎng)沒有安裝設置好更換保險絲fb。重新連接重新安裝設置燒結(jié)爐在“warm up”模式下超出15分鐘主接觸器“k1”線圈沒有得電或損壞“k3”和“k6”繼電器沒有得電或損壞安裝在opto 22板上“k4”繼電器指示燈不亮。檢查線圈供電電路或更換“k1”檢查線圈供電電路或更換“k3”和“k6”檢查“k4”和opto 22板加熱是在一個失控的狀態(tài)下，在設定一個較底的溫度下不能關斷，而是持續(xù)升溫。scr沒有校正好scr發(fā)生短路故障校正scr的zero和span更換scr區(qū)域溫度變化很大scr 沒有校正好空氣流量表沒調(diào)節(jié)好相鄰的區(qū)域溫度相差太大pid 沒有調(diào)節(jié)

15、在適當值校正scr的zero和span調(diào)節(jié)空氣流量表降低相鄰區(qū)域溫度的偏差重新調(diào)節(jié)pid 在適當值despatch故障檢修參考故障現(xiàn)象原因分析解決方法主電路斷路器不能復位燒結(jié)爐沒有供電電源急停按鈕有一個沒有拔出或者其中有一個斷開變壓器103t初次級上的保險絲燒斷確保燒結(jié)爐外面的供電正常急停按鈕都在拔出位置用萬用表檢查通斷，更換燒斷的保險絲進氣風扇和排氣風扇不運行110交流變壓器初級沒有380v的交流電壓110交流變壓器次級沒有380v的交流電壓相應風扇支路的保險絲燒斷相應風扇的交流接觸器壞相應風扇的速度轉(zhuǎn)換開關壞或關掉風扇電機卡死或線圈繞組燒壞更換保險絲801fu更換變壓器或保險絲805fu更

16、換相應支路的保險絲更換相應的交流接觸器更換相應的速度轉(zhuǎn)換開關或打開解除卡死部位或更換風扇主斷路器已合上，但是pc不能通電運行110vac線路保險絲燒斷ups不間斷電源打不開pc顯示器電源沒有打開pc電纜的各個連接點有故障更換保險絲維修或更換ups電源打開pc顯示器電源檢查pc電纜的各個連接點傳送帶電機在電源打開運轉(zhuǎn)時，電機卻不轉(zhuǎn)pc顯示器上有報警信息傳送帶電機驅(qū)動卡上的綠色電源指示燈不亮0-20ma速度控制信號線無輸出。傳送帶直流電機壞更換報警信息查出故障原因更換電機驅(qū)動卡上的保險絲或驅(qū)動卡檢查模塊及相關控制電路修理或更換電機傳送帶電機轉(zhuǎn)動，但是輸送帶不動輸送帶被機器卡住或者纏繞滑片上面的緊固

17、螺帽太松輸送帶偏長開蓋檢查緊固滑片上面的螺帽去掉一部分，確保長度適中在燒結(jié)爐卸貨出口處的熒光燈不亮熒光燈沒有供給電源熒光燈壞檢查線路，確保電源供給更換熒光燈干燥箱或燒結(jié)箱不能加熱。pc顯示器上有報警信息scr上端的加熱電源保險絲燒斷加熱燈管燒壞scr上沒有0-20ma的電平控制信號輸入加熱燈管兩端沒有輸入電壓scr上的電源指示燈不亮更換報警信息查出故障原因用萬用表查出燒斷的保險絲更換損壞的加熱燈管檢查模擬i/o模塊及相關的接線檢查scr及相關的控制電路修理或更換scr冷卻循環(huán)水沒有流量外圍的循環(huán)水沒有打開進水閥和出水閥沒有同時打開冷卻水過濾器阻塞電磁閥線圈電壓不正常電磁閥線圈燒毀打開外圍的循環(huán)

18、水同時打開進水閥和出水閥拆下過濾器進行清洗檢查電磁閥供電電路更換電磁閥沒有壓縮空氣外圍沒有cda供給cda進氣閥沒有打開cda進氣電磁閥無電壓供給氣體調(diào)壓閥沒有設定在正確的位置通知外圍打開cda供給打開cda進氣閥門檢查電磁閥供電電路重新調(diào)整氣體調(diào)壓閥燒結(jié)爐的烘箱在打開時，底部不能降下來烘箱上下接縫處的緊固螺絲沒有全部拆下“normmaint”開關不在“maint”位置“raiselower”開關上沒有110vac輸入電壓升降機傳動裝置允許繼電器”沒有通電閉合升降機電源供給變壓器沒有380vac輸入電壓升降機電源供給變壓器次級沒有24vac電壓升降機電路橋式整流電路沒有24vdc輸出全部拆下緊

19、固螺絲調(diào)整到“maint”位置檢查保險絲及供電回路檢查四個超位限定開關檢查初級的保險絲修理或更換變壓器檢查24vdc供電保險絲或橋堆烘箱箱體打開后不能合上。“normmaint”開關不在“maint”位置“raiselower”開關上沒有110vac輸入電壓升降機傳動裝置允許繼電器”沒有通電閉合升降機電源供給變壓器沒有380vac輸入電壓升降機電源供給變壓器次級沒有24vac電壓升降機電路橋式整流電路沒有24vdc輸出調(diào)整到“maint”位置檢查保險絲及供電回路檢查四個超位限定開關檢查初級的保險絲修理或更換變壓器檢查24vdc供電保險絲或橋堆furnace6 區(qū)溫度升不到設定值furnace6

20、 區(qū)加熱燈管壞烘箱頂端的排風調(diào)節(jié)過大更換損壞的燈管調(diào)小排風調(diào)節(jié)閥門btu燒結(jié)爐常見故障分析序號故障現(xiàn)象原因分析解決方法情況說明11傳送帶運動速度不穩(wěn)定 爐膛內(nèi)有異物阻礙 傳送帶與爐膛側(cè)面有不當摩擦 電機編碼器損壞或松動 張緊輪因氣壓不足張緊度不足 齒輪定位銷松動 電機損壞 傳動軸承缺乏潤懷或者損壞檢查爐膛內(nèi)部是否存在異物檢查傳送帶運動軌跡是否正常檢查cda氣壓是否正常檢查編碼器緊固螺絲是否松動或者編碼器損壞，必要時更換檢查定位銷是否工作脫落檢查傳動軸承潤滑油是否老化，必要時更換2傳送帶卷曲燒結(jié)爐持續(xù)工作在高溫狀態(tài)在高溫時，傳送帶停止給燒結(jié)爐降溫從接頭處拆開傳送帶，更換3傳送帶跑偏 驅(qū)動輪和從動

21、輪不在同一直線上 返回輪工作不正常，偏向一邊 張緊輪兩邊的壓力不均勻檢查整個傳動系統(tǒng)，保證驅(qū)動輪，從動輪在同一直線上工作。調(diào)整返回輪使履帶走向正常。檢查張緊輪兩邊的壓縮彈簧，使其受力均勻。4鏈齒輪結(jié)構工作不正常，有異響。驅(qū)動齒輪和傳動齒輪位置有偏差，或者已被磨損。鏈條張緊程度不正常或者缺乏潤滑。檢查齒輪對準狀況，調(diào)整使其在一條線上。如果齒輪或者鏈條被嚴重磨損，則更換檢查調(diào)整鏈條張緊程度清潔齒輪和鏈條，重新上潤滑油5正常生產(chǎn)時，傳送帶滑動張緊輪壓力不足，造成傳送帶滑動調(diào)節(jié)張緊輪兩邊的彈簧6開啟wincon程序后顯示無連接 電腦與intellimax連接網(wǎng)線斷開 intellimax無響應 硬件故

22、障檢查確認相關接接及網(wǎng)線接頭檢查intellimax上24v電源檢查網(wǎng)絡連接設置tcp/ip為10.10.10.100和255.255.255.0重裝os軟件。7燒結(jié)完成的產(chǎn)品溫度過高 冷卻器有故障 傳送帶速度過快，冷卻時間太短 冷卻區(qū)氣流量不足。檢查冷卻區(qū)水流量檢查傳送帶速度，如果過快，請降低帶速增大冷卻區(qū)氣流量設定值更換空氣過濾器8溫度顯示超出量程熱電偶連接不正?；蛘邠p壞檢查熱電偶及相關連接線路如果熱電偶損壞，請更換9超溫狀況 已損壞的控制熱電偶導致加熱功率過高 ssr損壞 overtemperature模塊損壞檢查超溫報警熱電偶電路，如果熱電偶損壞，請更換使用鉗形電流表檢查流過ssr的電

23、流大小檢查ssr的控制電壓,當輸出功率為100%時，為5v如果ssr損壞，請更換檢查overtemperature模塊，必要時更換10沒有加熱功率輸出 當overtemperature模塊發(fā)現(xiàn)有超溫報警時，控制器自動關閉加熱 加熱交流接觸器損壞 控制用熱電偶損壞 主電路斷路器跳開從wincon上檢查是否存在報警檢查交流接觸器是否工作正常檢查熱電偶及其相關連接是否正常檢查主電路斷路器是否跳開11某個加熱區(qū)無功率輸出 檢查熱電偶及相關電路是否斷開 加熱控制或者主電路故障（可能是ssr，斷路器，intellimax及配線問題） 加熱燈管損壞 pid參數(shù)沒有設置檢查熱電偶及其相關電路檢查相關主電路及加

24、熱控制電路元件和配線檢查加熱燈管是否損壞打開wincon檢查pid參數(shù)是否設置正常12氣流量不足 外部氣壓不足 空氣過濾器太臟清理管路及過濾器檢查外部氣源壓力13加熱燈管不工作 wincon菜單中加熱項未點選 超溫狀態(tài) 加熱管斷路 ssr損壞 熱電偶損壞在wincon主界面上察看加熱項是否已點選檢查加熱主電路檢查ssr及加熱燈管是否損壞，必要時更換檢查熱電偶是否顯示正常，必要時更換14加熱管超溫工作狀態(tài) wincon設置不正確 overtemperature模塊或者熱電偶損壞 intellimax損壞參照wincon online help設置更換熱電偶或者overtemperature 模塊

25、檢查配線，必要時更換intellimax15冷卻水底流量報警冷卻水管道電磁閥關閉 水流量控制閥關閉 水流量檢測傳感器損壞檢查水流量控制閥及電磁閥工作uo是否正常檢查傳感器，必要時更換16冷卻水水溫逐漸上升 冷卻水管道堵塞 外部冷卻水壓力不足清理管道檢查外部供水壓力centrotherm燒結(jié)爐常見故障分析序號故障現(xiàn)象原因分析解決方法情況說明11實際測量超溫 警報被觸發(fā)。 信號燈切換到紅。 報警喇叭響了相應區(qū)的控制熱電偶損壞。 最大允許溫度高了。 reg97干擾。tmm5干擾。復位喇叭。檢查熱電偶，有必要的話更換它。檢查tmm5。檢查reg97。修理完故障后，按“confirm disturban

26、ce”和“reset”按鈕2監(jiān)控器超溫 警報被觸發(fā)。信號燈切換到紅。 報警喇叭響了最大允許溫度高了。熱電偶壞了。stc有缺陷。復位喇叭。檢查stc，手動復位。檢查熱電偶，有必要的話就更換。修理完故障后，按“confirm disturbance”和“reset”按鈕3控制器超溫警報被觸發(fā)。信號燈切換到紅色。報警喇叭響了。最大允許溫度高了。reg97干擾。tmm5干擾。復位喇叭。檢查reg97。檢查熱電偶。檢查tmm5。修理完故障后，按“confirm disturbance”和“reset”按鈕4溫度測量錯誤警報被觸發(fā)。信號燈切換到黃色。報警喇叭響了。tmm5和reg97之間的通訊干擾。熱電偶壞了。復位喇叭。檢查熱電偶，有必要的話更換它。檢查tmm5。檢查reg97。修理完故障后，按“confirm disturbance”和“reset”按鈕5變頻器熱空氣風扇故障警報被觸發(fā)。信號燈切換到紅色。報警喇叭響了變頻器控制干擾。熱空氣風扇干擾。熱量保險絲損壞。復位喇叭。檢查變頻器。檢查熱空氣風扇。檢查熱力保險絲。6變頻器熱空氣送風機can總線錯誤警報被觸發(fā)。信號燈切換到黃色。 報警喇叭響了。 can總線干擾。 變頻器上的can總線連接器松了。復位喇叭。檢查變頻器。檢查can總線連接器和can電纜。7加熱電路故障警報被觸發(fā)。信號燈切換到黃色。報警喇叭響了固態(tài)繼電器電