防靜電管控程序

1、文件制定修改作廢 連絡(luò)單文件名防靜電管控程序文件編號KDSC-Q-018(1)第1版部 門 別管 理 者 代 表文 控 中 心生產(chǎn)部工 程 技 術(shù) 部質(zhì) 量 部采 購 部企 劃 部銷 售 部廠 務(wù) 部作成部門確認(rèn)作成審核作成會簽11鞠德香分發(fā)變 更 原 因新作成是否屬重大變更？是否工程變更（ECN編號如是重大變更是否有可靠性評估報告并附 在本文件后？有無可靠性評估報口編號會簽確認(rèn)部門管理者代表文控中心生產(chǎn)部工程技術(shù)部質(zhì)量部采購部銷售部企劃部會 簽 者意 見 欄部門廠務(wù)部會簽者意 見 欄批準(zhǔn)注：指作成；指會簽；指紙本分發(fā)；o指電子檔分發(fā)表單編號：KDSC-QR-Q-001A文件修改履歷表文件名稱

2、：防靜電管控程序文件編號：KDSC-Q-018(1)版本號：1修改時間修改內(nèi)容修改頁數(shù)版本號修改人生效時間2010.12.09初版121鞠德香2010. 12.15表單編號：KDSC-QR-Q-001A科達(dá)半導(dǎo)體有限公司KEDA SEMICONDUCTOR CC-, LTD.蓋有紅色“文控中心發(fā)行專用章”章的文件為受控版本，其余版本不受控。|文件編號：KDSC-Q-018(1)防靜電管控程序版本號：1頁 數(shù)：3/131. 目的2. 范圍3. 定義(含縮寫)4. 職責(zé)5. 程序內(nèi)容6. 安全7. 引用文件8. 記錄保存9. 流程圖10. 附件防靜電管控程序文件編號：KDSC-Q-018(1)版本

3、號:1頁數(shù):4/131.目的建立此程序保護(hù)科達(dá)半導(dǎo)體有限公司生產(chǎn)產(chǎn)品免遭ESD的破壞2. 范圍2.1適用于科達(dá)半導(dǎo)體有限公司所有的工序（所有引腳被短路在一起的工序除外），員工，需接觸產(chǎn)品的來訪者，產(chǎn)品和設(shè)備。3. 定義（含縮寫）3.1靜電放電具有不同靜電勢的物體之間的靜電荷的迅速轉(zhuǎn)移3.2靜電放電敏感器件易在操作，測試或運輸過程中由于電場或靜電放電而受損的分立器件，集成電路或電子元器件。3.3導(dǎo)電材料5 導(dǎo)電材料的表面電阻：R w 10ohm/square3.4靜電消散材料512靜電消散材料的表面電阻：10 R 10 ohm/square3.7離子風(fēng)機一種向空氣釋放離子為手段。正離子被吸附到負(fù)

4、離子表面而負(fù)離子被吸附到正離子表面從而達(dá)到中和電荷之效果4. 職責(zé)4.1質(zhì)量部管理職責(zé)4.1.1發(fā)展ESD防護(hù)管理和制備適當(dāng)?shù)臏y試模式4.1.2編寫并更新ESD培訓(xùn)教材和控制規(guī)范4.1.3依據(jù)ESD控制要求，指導(dǎo)并培訓(xùn) ESD負(fù)責(zé)人防靜電管控程序文件編號KDSC-Q-018(1)版本號1頁數(shù)5/134.1.4每天監(jiān)控檢查是否所有操作工在操作前用腕帶測試儀測試自己的鞋子。4.1.5監(jiān)控所有操作工在操作前用腕帶測試儀測試自己的鞋子。423執(zhí)行對員工的ESC培訓(xùn)。4.2工程技術(shù)部職責(zé)4.2.1執(zhí)行并維護(hù)ESD控制4.2.2批準(zhǔn)新生產(chǎn)設(shè)備的ESD防護(hù)狀況4.3領(lǐng)班職責(zé)4.3.1領(lǐng)班負(fù)責(zé)對本規(guī)范的執(zhí)行，

5、記錄及保存。4.3.2需要ESD控制的各個區(qū)域的領(lǐng)班最終負(fù)責(zé)正確的ESD防護(hù)用品的使用和堅決執(zhí)行ESD的需求和程序。4.3.4如發(fā)現(xiàn)設(shè)備上的ESD器件發(fā)生問題或需修理時領(lǐng)班應(yīng)通知工程技術(shù)部。4.3.5 4在工作臺被移動過前領(lǐng)班應(yīng)通知工程技術(shù)部以便作移動后的接地保護(hù)。4.3.6 一旦發(fā)現(xiàn)失效的材料和設(shè)備，領(lǐng)班應(yīng)該更換。4.4維修工程師4.4.1按生產(chǎn)領(lǐng)班要求維修 ESD工作。4.4.2對ESD工作站、機器及工作架等進(jìn)行日常檢查和根據(jù)文件要求做預(yù)防維護(hù)。4.4.3按QA和生產(chǎn)部的要求采取糾正措施。4.5 QA職責(zé)4.5.1對組裝和測試區(qū)域的不符合項提出整改要求4.5.2批準(zhǔn)并持續(xù)批準(zhǔn)材料和設(shè)備的E

6、SD控制項目4.6員工職責(zé)4.6.1所有員工在工作區(qū)域必須遵守并執(zhí)行ESD防護(hù)。4.6.2無論何時員工發(fā)現(xiàn)有與 ESD規(guī)范不符，應(yīng)停止工作并告知其主管。4.6.3所有人員在切筋、測試、 FVI、EVI/包裝、后道質(zhì)檢區(qū)，都需做腕帶測試。ProcessWrist StrapShoe/Booty圓片接收XV圓片檢驗XV貼片XV劃片XV二光檢驗XV裝片XV鍵合XV三光檢驗XV*塑封XV*塑封后固化XV或常白班人員每天一次4.7來訪人員職責(zé)進(jìn)入ESD防護(hù)區(qū)域的來訪人員須穿著ESD鞋并通過ESD測試并記錄，或接受指令站立距ESD敏感器件至少12英寸遠(yuǎn)的地方5. 程序內(nèi)容：5.1 ESD防護(hù)要求5.1.1

7、個人的接地5.1.1.1在靜電保護(hù)區(qū)域和工作站接觸器件的人員須戴上腕帶或穿上防靜電鞋。接地腕帶應(yīng)與工作臺或機器連接。全體人員的腕帶或鞋物應(yīng)每天每班被測量并記錄在靜電檢查記錄表。5.1.1.2.當(dāng)操作工坐著操作設(shè)備的時候，必須在需要的區(qū)域帶好腕帶。5.1.1.3所有的人必須穿好通過檢查的防靜電鞋或帶上手腕才能進(jìn)入放置產(chǎn)品的地方。5.1.2手腕帶，防靜電鞋5.1.2.1所有的員工在操作半導(dǎo)體產(chǎn)品的時候必須帶好手腕帶。只有在移動產(chǎn)品或不可能帶手腕帶的地方可除外。5.1.2.2如果腕帶或防靜電鞋不合格，操作工或其他人員必須經(jīng)質(zhì)量部確認(rèn)，必要時更換新的。5.1.2.3腕帶的測量電阻應(yīng)該在 0.75 M

8、ohms到10M ohms之間。5.1.2.4操作工穿上防靜電鞋之后，人體和導(dǎo)電（或消散）地板間應(yīng)0.75 M ohms到100 M ohms之間5.1.3防護(hù)服5.1.3.1所有的員工必須穿ESD防護(hù)服和防護(hù)帽。5.1.3.2 ESD防護(hù)服必須有傳導(dǎo)的條線，不應(yīng)產(chǎn)生超過+/-100伏的靜電電壓。5.1.3.3ESD防護(hù)服必須每月定期測量，并保持記錄。5.1.4防護(hù)工作臺表面5.1.4.1有可能與單獨器件直接接觸的非抗靜電工作臺表面須鋪有靜電吸收墊。該墊子應(yīng)與接地工作臺連接，必須用螺釘固定在工作臺上，且用導(dǎo)線連通。595.1.4.2工作臺面的靜電消散阻抗應(yīng)該在10 10 ohms595.1.4

9、.3每個ESD工作臺必須連接到 ESD接地點。從靜電消散的工作表面到接地點應(yīng)該是10 10 ohms5.1.4.4靜電消散工作臺表面應(yīng)該被每月度定期地測量并保留記錄。文件編號：KDSC-Q-018（1）防靜電管控程序版本號：1頁數(shù)：7/135.145在使用靜電消散桌不實際的特殊應(yīng)用的地方，不銹鋼桌子可以被使用。5.146各種工作臺必須被識別和控制，應(yīng)有辨認(rèn)的號碼。5.1.5工作椅59 595.1.5.1生產(chǎn)線上工作椅的表面電阻應(yīng)在10 ohms到10 ohms之間，椅面到消散地板的電阻應(yīng)在10 ohms到10 ohms之間。5.1.6傳導(dǎo)的或消散地板595.1.6.1傳導(dǎo)的或消散地板的表面電阻

10、應(yīng)該在10到10 ohms之間.595.1.6.2傳導(dǎo)的或消散地板應(yīng)連接到大地且表面。傳導(dǎo)地板到地的電阻應(yīng)在10到10 ohms之間5.1.6.3地板應(yīng)該被定期地清潔，測量，并保持記錄。5.1.7架子和氮氣柜5.1.7.1架子和氮氣柜不必接地，但支架必須是導(dǎo)電材料，并且所有ESDS器件必須在ESD保護(hù)包裝中.595.1.7.2架子和氮氣柜的工作表面到靜電消散地板表面的電阻應(yīng)在10到10 ohms之間5.1.7.3架子和氮氣柜需要定期檢查和記錄5.1.8有源設(shè)備接地5.1.8.1在ESD安全工作站的所有的有電源的設(shè)備應(yīng)該被接地通接地插座。注：設(shè)備接地是指插座里被測試和達(dá)到地方要求的地線（綠線）。

11、5.1.8.2所有的有電源的設(shè)備應(yīng)該接地從設(shè)備機身（底盤）到地線，防止電沖擊。5.1.8.3所有有電源的設(shè)備應(yīng)該用絕緣材料從工作臺和地板隔離開。5.1.9無源設(shè)備接地5.1.9.1所有的無電源的設(shè)備應(yīng)該接地從設(shè)備機身（底盤）到地線。5.1.10接地連接固定連接裝置類似于金屬夾，吸合器及香蕉插頭應(yīng)被連接于指定接地點.線的結(jié)合應(yīng)纏繞或焊接.鱷魚夾是不被推薦使用的.5.2材料的批準(zhǔn)5.2.1質(zhì)量部提供ESD材料的測試報告給采購部，采購部根據(jù)測試報告保持一個被批準(zhǔn)的ESD材料供應(yīng)商清單。5.2.2使用新的防靜電材料需要通過IQA來料檢查。5125.2.3在工作站的材料不應(yīng)該產(chǎn)生超過+/-100伏的摩擦

12、電荷，表面電阻在10 10 ohms/sq。5.2.4其他材料包括：5.2.4.1 料盤512用于放置靜電敏感器件的盤子應(yīng)該有10 10的表面電阻。摩擦電荷不超過+/-100伏。防靜電管控程序文件編號：KDSC-Q-018(1)版本號:1頁數(shù):8/135.242防靜電料管512用于放置靜電敏感器件的條管應(yīng)該是防靜電的或傳導(dǎo)的材料。該10 10的表面電阻。擦電荷不超過+/-100 伏。5.243防靜電袋所有的紙（隨件單）等應(yīng)被放在防靜電的或靜電消散的袋子里。不允許紙和靜電敏感器件直接接觸。該有51210 10的表面電阻。摩擦電荷不超過+/-100伏。5.244手套和手指套512只有防靜電的或傳導(dǎo)

13、的手套和手指套可以被使用在工作區(qū)。該有1010的表面電阻，擦電荷不超過+/-100 伏。5.2.5靜電電壓的控制水平所有生產(chǎn)工序中產(chǎn)生的靜電電壓應(yīng)該在+/- 100伏以內(nèi)。5.2.6保護(hù)區(qū)5 .2.6.1如果ESD警告標(biāo)簽損壞了，發(fā)現(xiàn)者應(yīng)該通知部門主管，由對應(yīng)部門進(jìn)行修復(fù)。5.262如果要建立新的生產(chǎn)線，由生產(chǎn)部把ESD警示標(biāo)簽貼上去。5.2.6.3所有ESD和非ESD區(qū)域應(yīng)該用不同的警示牌加以區(qū)分。5.3將靜電充電減至最小的方法5.3.1電荷積累的預(yù)防/中和方法包括，抗靜電液體的處理，相對濕度控制，離子風(fēng)機和ESD防護(hù)服或其他方法。5.3.2 抗靜電液體抗靜電化學(xué)品（抗靜電液體）可以用于防止

14、工作或存儲區(qū)域可產(chǎn)生靜電荷的材料上，防止靜電電荷的產(chǎn)生。在抗靜電化學(xué)品的應(yīng)中，用者應(yīng)考慮以下幾點：5.3.2.1應(yīng)選擇讓ESDS器件免受污染的抗靜電液體5.3.2.2抗靜電液體不適用于器件或包裝直接暴露于噴霧中5.3.3相對濕度控制相對濕度對靜電的產(chǎn)生有重要的關(guān)系，它的控制參考生產(chǎn)環(huán)境管控程序。5.3.4離子風(fēng)機5.3.4.1桌上的離子風(fēng)機必須被安置于適當(dāng)位置，以達(dá)到可以覆蓋廠商指定的區(qū)域。離子風(fēng)機須對準(zhǔn)器件和操作工的手，而不是對準(zhǔn)操作工。5.3.4.2器件不應(yīng)太靠近離子風(fēng)機，以至于超過離子發(fā)生器廠商指定的最小距離離子風(fēng)機正面至器件的最小距離為30厘米。在離子風(fēng)機不可能安裝在足夠距離的地方，例

15、如小型設(shè)備內(nèi)必需安裝在可能最遠(yuǎn)的位置上.防靜電管控程序文件編號：KDSC-Q-018(1)版本號:1頁數(shù):9/13桌上離子風(fēng)機正面到被操作器件的最大距離為100厘米如果是其他型號的桌上離子風(fēng)機需用于生產(chǎn)線,須根據(jù)離子中和功能試驗出最大使用距離。5.343離子發(fā)生器與無保護(hù)的器件之間應(yīng)是自由的直接的空氣流通5.344操作離子風(fēng)機的操作工應(yīng)該在工作結(jié)束后(例如：PM, calibration和layout change等)確認(rèn)離子風(fēng)機，處理和重新安裝朝著device的方向。5.3.5 ESD防護(hù)服5.3.5.1任何時候ESD防護(hù)服的穿著者在ESD防護(hù)工作區(qū)或指定的 ESD防護(hù)區(qū)內(nèi)必須扣緊防護(hù)服5.

16、3.5.2必須依從ESD防護(hù)服廠商的清潔指導(dǎo)以得到最大的效力和效用5.3.6手套/指套只有棉手套，抗靜電/導(dǎo)電手套或抗靜電/導(dǎo)電指套可被使用于操作ESDS器件5.4測試方法5.4.1腕帶目視檢查：被損壞或污染視為不合格每天用腕帶/鞋類測試儀進(jìn)行快速檢查，在A和C之間(0.75 M ohms R 10 M ohms)5.4.2防靜電鞋目視檢查：被損壞或穿破視為不合格。每天用腕帶測試儀進(jìn)行快速檢查。5.4.3工作臺接地點連接檢查：接地線斷開或松弛連接在接地點上視為不合格.公共接地點或腕帶插座松弛視為不合格。桌子接地點到接地點電阻：2 ohms59墊子表面電阻：10 10 ohms59墊子表面到接地

17、點：10 10 ohm5.4.4地板用表面電阻儀測地板墊子的表面電阻。59地板墊子的表面電阻必須在10到10之間。59地板墊子到接地線的電阻必須在10到10之間。5.4.5防靜電服防靜電管控程序文件編號：KDSC-Q-018(1)版本號:1頁數(shù):10/13545.1采樣率：每季度全體。545.2目檢防靜電服的外觀，導(dǎo)電格或線是否連續(xù)。5.4.5.3用靜電場強計測量防靜電服的抗靜電特性5.4.5.3.1讓某人穿上ESC導(dǎo)電服，確保他是通過腳套接地的。5.4.5.3.2用靜電場強計測量ESD導(dǎo)電服的場強（距離 ESD導(dǎo)電服1英寸）。545.3.3讀數(shù)應(yīng)小于100靜電伏特。測量2次，并記錄在記錄表上

18、。5.4.5.4用表面電阻計測量ESD導(dǎo)電服的表面電阻。5.4.5.4.1將ESD導(dǎo)電服放在一平的表面上，并在衣服上放上表面電阻計。125.4.5.4.2測量讀數(shù)，讀數(shù)應(yīng)小于10，記錄在記錄表上。5.4.5.5防靜電服的使用壽命控制5.4.5.5.1操作工包括QC檢驗工和線上維修工服裝的有效期根據(jù)入廠日期為兩年。5.4.5.5.2工程師，技術(shù)員，培訓(xùn)員等服裝的有效期根據(jù)入廠日期為兩年5.4.5.5.3企劃，質(zhì)量， 營銷，和部門領(lǐng)導(dǎo)等非一線員工服裝的有效期根據(jù)入廠日期為三年5.4.5.5.4當(dāng)?shù)狡跁r，有關(guān)部門應(yīng)在一個月前把相關(guān)的人員名單交于倉庫，倉庫負(fù)責(zé)舊的收集和新的發(fā)放5.4.5.5.5當(dāng)需要

19、而過期發(fā)生時，必須在經(jīng)QA檢查合格后方可使用，但期限不超過半年5.4.5.6防靜電服裝的防護(hù)5.4.5.6.1操作工及QA檢驗員每人2件防靜電服5.4.5.6.2定期清洗一次防靜電服5.4.5.6.3須對損壞的防靜電服進(jìn)行修理，如拉鏈損壞，袖口松開等。該防靜電服無法修復(fù)，應(yīng)立即更換。5.4.6架子和氮氣柜5.4.7 ESD 材料用表面電阻儀來測量導(dǎo)電的，消散的和防靜電材料的表面電阻，用場強儀測量摩擦電壓。5.4.8機器接地5.4.8.1有源設(shè)備底盤接地電阻：在A和B之間（最大10歐姆）軌道接地電阻：在C和B之間（最大10歐姆）公共接地點或腕帶插座電阻：最大10M歐姆（推薦電阻小于10歐姆）連接

20、檢測：松弛視為不合格。5.4.8.2無源設(shè)備直接接地：在A和B之間（最大10歐姆）防靜電管控程序文件編號：KDSC-Q-018(1)版本號:1頁數(shù)：11/13間接接地：在A和B之間（最大35兆歐）549 ESD椅子59表面到地板的電阻：1010 ohms5.4.10靜電鞋/腕帶測試儀5.4.10.1設(shè)備的校正應(yīng)參照測定儀器管控程序。5.5整改措施5.5.1若發(fā)現(xiàn)某區(qū)域ESD防護(hù)不當(dāng)，則該區(qū)域生產(chǎn)須停止直到問題被解決為止。5.5.2所有ESD器件須從關(guān)閉區(qū)域轉(zhuǎn)移到 ESD安全區(qū)域5.5.3若發(fā)現(xiàn)有ESD防護(hù)不當(dāng)，失效原因和失效情況必須被糾正及記錄，記錄必須被存檔保留.5.6計量所有的測試、測量設(shè)

21、備的校正應(yīng)參照測定儀器管控程序來進(jìn)行。6. 安全安全性須根據(jù)操作安全規(guī)范定義。7. 引用文件7.1測定儀器管控程序7.2生產(chǎn)環(huán)境管控程序8. 記錄保存8.1ESD警示培訓(xùn)8.1.1所有操作ESD敏感器件的人員須接受最基本的ESD警示培訓(xùn)及至少每年一次的再培訓(xùn)。8.1.2進(jìn)入ESD防護(hù)區(qū)域的人員須接受 ESD警示培訓(xùn)或站在ESD敏感器件防靜電區(qū)域以外8.1.3 ESD警示培訓(xùn)必須包括靜電原理，本規(guī)范相應(yīng)部分的簡介及在工作區(qū)域的實際運用。8.1.4培訓(xùn)記錄應(yīng)為每個員工保留。培訓(xùn)記錄應(yīng)至少需要包括培訓(xùn)時間，課程長度，主題及培訓(xùn)員姓名。記錄 必須保留至少2整年。8.2 ESD檢查記錄附件的檢查記錄至少

22、保持一年，連續(xù)監(jiān)控項目和目視檢查無記錄要求。8.2.1合格的電阻和電勢測量結(jié)果可被記錄為數(shù)值或通過。8.2.2不合格的項目，當(dāng)測量設(shè)備可以提供數(shù)值時必須被記錄為數(shù)值。另外，必須記錄為失效。9. 流程圖無防靜電管控程序文件編號：KDSC-Q-018(1)版本號:1頁數(shù):12/1310附件序號項目項目NO檢查項目規(guī)范發(fā)生部門責(zé)任部門頻率樣本數(shù)規(guī)格1手腕帶1目視檢查1次/季度100%是否損壞生產(chǎn)部質(zhì)量部2電阻值測量1次/天100%0.7510M生產(chǎn)部生產(chǎn)部2防靜電鞋3目視檢查1次/季度100%4電阻值測量1次/天100%0.75100M生產(chǎn)部生產(chǎn)部3防靜電工作臺和不銹鋼工作臺5接地線接地目視檢查1次

23、/季度100%正確接地工程技術(shù)工程技術(shù)6接地點1次/月100% 2歐姆工程技術(shù)質(zhì)量部7表面電阻1次/月100%A -.5910 Q 10 Q生產(chǎn)部質(zhì)量部8防靜電墊接地1次/月100%A -.5910 Q 10 Q生產(chǎn)部質(zhì)量部9桌子移動每次發(fā)生100%N/A生產(chǎn)部質(zhì)量部4防靜電地板10表面電阻1次/月5點A -.5910 Q 10 Q全車間質(zhì)量部11防靜電地板接地1次/季度5點5910 Q 10 Q全車間質(zhì)量部5防靜電服12靜態(tài)電壓1次/季度100% 100v全車間質(zhì)量部6氮氣柜13工作表面到靜電 消散地板表面1次/季度100%A -.5910 Q 10 Q工程技術(shù)質(zhì)量部7防靜電椅14表面到地板的電 阻1次/季度100%10 Q 10 Q生產(chǎn)部質(zhì)量部出師表兩漢：諸葛亮先帝創(chuàng)業(yè)未半而中道崩殂，今天下三分，益州