CDS-(中央供酸系統(tǒng))

1、Enabling a Microelectronic World CDS (中央供酸系統(tǒng)中央供酸系統(tǒng)) Center Chemical Dispense System Prepared by： Date： 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID CDS ：系統(tǒng)目的系統(tǒng)目的 2 供應(yīng)高純度化學(xué)品以清洗芯片上之雜質(zhì)、微粒子 供應(yīng)高純度化學(xué)品以蝕刻芯片圖案 供應(yīng)高純度化學(xué)品以顯影芯片圖案 供應(yīng)高純度化學(xué)品以為化學(xué)氣相沉積前置反應(yīng)物 供應(yīng)高純度化學(xué)品以研磨芯片 供應(yīng)高純度化學(xué)

2、品以清洗制程設(shè)備零配件 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID3 客戶需求客戶需求: N2 Chemical Chemical 可不可以直接引作工藝使用? 溫度、壓力、 流量、方向、 位置 溫度、時(shí)間、 濃度 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 化學(xué)品之種類(lèi)與用途化學(xué)品之種類(lèi)與用途(一一) 4 酸性: 腐蝕性腐蝕性:H2SO4,HCl,H

3、NO3,HF,H3OP4. 毒性毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE. 堿性:NH4OH,KOH,Developer. 有機(jī)溶劑 易燃液體易燃液體:IPA,Acetone,NBA,光阻液光阻液. 腐蝕性有機(jī)溶劑腐蝕性有機(jī)溶劑:EKC,EBR,HMDS. 氧化性:HNO3,H2O2. 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 化學(xué)品之種類(lèi)與用途化學(xué)品之種類(lèi)與用途(二二) 5 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary

4、 Business Information7/17/2021, USER ID 系統(tǒng)基本要求系統(tǒng)基本要求 6 操作安全：腐蝕性、毒性、耐壓、防爆之考慮 化學(xué)品零污染：與化學(xué)品接觸部份完全與化學(xué)品兼容 微粒子控制：過(guò)濾器循環(huán)過(guò)濾 滿足最大需求流量：高濃度化學(xué)品如H2SO4、 H3PO4 自動(dòng)控制操作運(yùn)轉(zhuǎn)：系統(tǒng)單元與機(jī)臺(tái)界面自動(dòng)化 取樣分析：系統(tǒng)、管路之粒子數(shù)、金屬離子取樣分析 泄漏警報(bào)：偵測(cè)泄漏及緊急關(guān)閉系統(tǒng)(EMO) 系統(tǒng)診斷：Pump、Filter 、Valve運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)數(shù) 維修保養(yǎng)管路 Auto Purge/Flush 功能 化學(xué)品用量統(tǒng)計(jì) 2006 Amkor Technology, Inc

5、.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 化學(xué)品供應(yīng)質(zhì)量要求化學(xué)品供應(yīng)質(zhì)量要求 7 Geometry SizeParticles/mlSizeMetallics 11000.510 PPb .8100-2000.2-0.31-2 PPb .550-1000.21 PPb .35200.21 PPb .25100.1100 PPt 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系統(tǒng)流程圖系統(tǒng)流程圖(一一

6、) 8 CCB Storge Tank 12m3 CDU VMB T T T VMB VMB VMB Tool-1 Tool-2 Tool-3 Tool-4 6m3 Tote 1m3 200L Drum 化學(xué)槽車(chē)充填銜 接站將化學(xué)品由 槽車(chē)以N2加壓直 接輸送至Tank 適合使用量較 大之化學(xué)品,如 H2O2,H2SO4等 適合使用量中 等之化學(xué)品,如 HF,H3PO4等 適合使用量較 小之化學(xué)品,如 BOE,HNO3等 將化學(xué)品經(jīng)循環(huán) 過(guò)濾,再經(jīng)N2或 Pump加壓輸送 至有需求之生產(chǎn) 機(jī)臺(tái)內(nèi) 將化學(xué)品經(jīng)管路分 配至不同生產(chǎn)機(jī)臺(tái) S 可依實(shí)際用量需求選擇使用 Tee Box Sampling

7、 Box 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系統(tǒng)流程圖系統(tǒng)流程圖(二二) 9 TOOL 機(jī)臺(tái)機(jī)臺(tái) OCP SCADA Computer HUBCDUT-BOX 主管路 GN2 加強(qiáng)訊號(hào) 循環(huán)過(guò)濾 25”后 供酸 啟動(dòng)CDU 循環(huán)過(guò)濾后，同時(shí)由OCP供應(yīng)GN2， 打開(kāi)VMB內(nèi)氣動(dòng)閥，將化學(xué)品供應(yīng)至TOOL CHEMICAL LINE GN2 LINE SIGNAL LINE 供酸 VMB 泄漏警報(bào) 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor

8、Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系統(tǒng)流程圖系統(tǒng)流程圖(三三) 10 Tool SideOCP Side Trouble Ready Stop Request EMO 1.當(dāng)機(jī)臺(tái)需求化學(xué)品時(shí),傳送Request訊號(hào)給OCP 2.OCP收到訊號(hào)后,會(huì)先檢查CDU是否Ready供應(yīng) 若是，則回傳Ready訊號(hào)若否，則回傳Trouble訊號(hào) 3.機(jī)臺(tái)端EMO被壓下時(shí)，則停止供應(yīng)化學(xué)品 +24V 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/

9、2021, USER ID Chemical 輸送方式：輸送方式： 11 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID Chemical 供酸方式（供酸方式（1）：桶槽供酸）：桶槽供酸 12 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID Chemical 供酸方式（供酸方式（2）：槽車(chē)供酸）：槽車(chē)供酸 13 2006 Amkor Technology,

10、Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID CDS 設(shè)備布置設(shè)備布置： 14 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 設(shè)備位置：設(shè)備位置： 15 潔凈室： 1. 使用點(diǎn) 2. VMB閥分支箱)POU(使用點(diǎn)) 機(jī)臺(tái)操作控制介面 電控程式連結(jié) 高架地板 1. CDSVMB管 2. VMB 需求 3.監(jiān)控線 4. 液傳感器 Utility Sub FAB 1. 管 2. 連接線裝置 3. VMB

11、, Tee Box 裝置 4. 管連接 (CDSVMB) 5. 管連接 (VMBPOU) 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方式： 16 用用： 80200L/Day 使用：較少 用pump或壓送的方式 Pump系統(tǒng)系統(tǒng) 日需求日需求TANK 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方式： 1

12、7 用用： 3004000L/Day 使用：較多 用pump或壓送的方式 壓壓輸輸送系統(tǒng)送系統(tǒng) 日需求日需求TANK 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方式： 18 用用： 4000L/Day以上 用壓送的方式 Pump系統(tǒng)系統(tǒng) 日需求日需求TANK 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方

13、式： 19 Pump系統(tǒng)系統(tǒng) Pump A 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方式： 20 Pump系統(tǒng)系統(tǒng) Pump B With day tank 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方式： 21 Pressure Type Pump A 2006 Amkor Technology,

14、Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方式： 22 Pressure Type Pump B With day tank 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID 系統(tǒng)配置方式：系統(tǒng)配置方式： 23 Tank Lorry Type 4000L/Day以上以上 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business

15、Information7/17/2021, USER ID CCB流程圖流程圖 GN2 linet Storage Tank 充填槽車(chē) CDU 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID CDU之流程圖之流程圖(型一型一) Outlet Pump Transfer Filter Supply Filter GN2 inlet CDA inlet Drum Day TankTank 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary B

16、usiness Information7/17/2021, USER ID CDU之流程圖之流程圖(型二型二) Outlet Drum Tank Pump Trans/Rec Filter Supply Filter 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID TEE-BOX 構(gòu)造構(gòu)造 主管路主管路 VMB Drain 排水Port 手動(dòng)閥 箱體內(nèi)側(cè)下方裝 設(shè)泄漏偵測(cè)器 1.箱體以PP制成 2.CPVC外蓋 3.箱體與外蓋間以 O-Ring密合 4.管件以PFA制成 一般

17、酸堿類(lèi)適用 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID VMB 構(gòu)造構(gòu)造 箱體內(nèi)側(cè)下方裝 設(shè)泄漏偵測(cè)器 Drain Port inlet To Tools CDA inlet From OCP to 氣動(dòng)閥 For The Future Use Purge inlet Drain Port Exhaust 氣動(dòng)閥 手動(dòng)閥 保養(yǎng)管路時(shí)需先 以PN2將化學(xué)品 Purge至機(jī)臺(tái)端 Drain 4132 1.箱體以PP制成 2.CPVC外蓋 3.箱體與外蓋間以 O-Ring密合

18、4.管件以PFA制成 一般酸堿類(lèi)適用 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID SAMPLING-BOX 構(gòu)造構(gòu)造 1.將取樣瓶置入,并關(guān)閉 箱門(mén) 2.按壓按鈕,再打開(kāi)取樣 手動(dòng)閥 3.化學(xué)品流出達(dá)需求之 量后,關(guān)閉手動(dòng)閥,放開(kāi) 按鈕 4.打開(kāi)箱門(mén),蓋上瓶蓋,取 出取樣瓶 5.清潔取樣箱 按鈕手動(dòng)閥 箱體內(nèi)側(cè)下方裝 設(shè)泄漏偵測(cè)器 Drain排水 Port inlet 1.箱體以SUS制成 2.鋼絲玻璃外蓋 3.箱體與外蓋間以 O-Ring密合 有機(jī)溶劑類(lèi)適用 2006

19、Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID CDS ：系統(tǒng)設(shè)備之材料要求系統(tǒng)設(shè)備之材料要求 30 一般無(wú)機(jī)酸堿類(lèi) 外管：CPVC（氯化聚氯乙烯） 內(nèi)管：PFA（可溶性聚四氟乙烯）可溶性聚四氟乙烯）Piping & Tubing 管件：鐵弗龍材質(zhì)制品 有機(jī)溶劑類(lèi) 外管：SUS 304 內(nèi)管：SUS 316L EP 管件：SUS 316L以上制品 有機(jī)堿類(lèi) 外管：SUS 304 內(nèi)管：PFA Piping & Tubing 管件：鐵弗龍材質(zhì)制品 2006 Amkor Technolog

20、y, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID31 ATC Bumping 化化學(xué)學(xué)供酸系統(tǒng)供酸系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：結(jié)構(gòu)： 200L D RU MD RU M 200L VALVE BO X CD M M ACH INE TO O L 2 M ACH INE TO O L 1 簗絃 訣 恨隔跋 T BO X PLC Rem ot e box Chem i cal room FAB 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/202

21、1, USER ID32 ATC Bumping CDS控制控制： CUB 監(jiān)控室 1 2 3 CDM T Box V Box用酸機(jī)臺(tái) CDM PLC Remote box Com 0V DC12 V DC12 V Required EMO & Ready Ready 所有接點(diǎn)都 導(dǎo)通才會(huì)供 酸 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID33 ATC Bumping CDS Hook up 介面及要求介面及要求 V Box Remote Box 用酸設(shè)備 6芯控制線 每一

22、每一點(diǎn)點(diǎn)Hook up包含一管路及控制包含一管路及控制信號(hào)信號(hào)配配線線 1.管路 A Solvent : SUS外管 + PFA 內(nèi)管 B ACID PVC 外管 + PFA 內(nèi)管 C V Box預(yù)留1/2閥口，hook up管徑則 視設(shè)備需要而定 2.控制線路 : 6芯以上控制線路 測(cè)試 A Required 信號(hào)正常。 B設(shè)備端EMO信號(hào)正常。 CRequired 信號(hào)信號(hào)下，下，EMO信號(hào)信號(hào)打打開(kāi)開(kāi)是是 否強(qiáng)制停止要酸否強(qiáng)制停止要酸信號(hào)信號(hào)。 D開(kāi)關(guān)供酸。 部份機(jī)臺(tái)並沒(méi)有EMO信號(hào)接點(diǎn)，而使用本身的控 制系統(tǒng)以斷絕Required，此時(shí)更必須要求設(shè)備端 模擬EMO狀況以確保安全。 20

23、06 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID34 ATC Bumping CDS混酸混酸 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID35 ATC Bumping CDS混酸混酸 體積體積比比 & 重量比重量比 比重 = 質(zhì)量 體積 * 看客戶需求 * 目前比例 (體積比) 1.3M H2SO4 H2O2 H3PO4 DI 40 100 300 500 92

24、60 2.AZ400K DI 1 : 3 3.AZ Dev. DI 3 : 1 4.BOE DI 1 : 3 Mix Tank Drain 粗調(diào) 微調(diào) 供酸 Wet N2 Sensor 在調(diào)整配比的過(guò)程中， 換算成重量不僅方便也 更準(zhǔn)確。 2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID36 ATC Bumping CDS Mix system mix. tank Day tank 混酸量杯組 濕氮?dú)?2006 Amkor Technology, Inc.Amkor Proprietary Business Information7/17/2021, USER ID CDS ：運(yùn)轉(zhuǎn)操作注意事項(xiàng)運(yùn)轉(zhuǎn)操作注意事項(xiàng)(一一) 37 充份閱讀MSDS，認(rèn)識(shí)化學(xué)品之物質(zhì)特性，危害性， 危害標(biāo)示，危害途徑及防護(hù)措施 工作前，先行思考及演練各細(xì)節(jié)后，再行動(dòng) 工作時(shí)應(yīng)雙人以上搭配作業(yè)，事前事后確認(rèn) 正確選用及使用適當(dāng)防護(hù)器具