單晶硅電池生產(chǎn)工藝ppt課件

1、1 化學(xué)清洗化學(xué)清洗原片分揀去損傷層制造絨面鹽酸清洗2 分散刻蝕分散刻蝕分散制結(jié)刻蝕去邊去PSG層3 制減反膜制減反膜PECVD設(shè)備4 印刷電極印刷電極5 燒結(jié)燒結(jié) 6 分選分選印刷正極印刷背場 印刷負(fù)極 把正負(fù)極和硅片燒在一同以便導(dǎo)電APCVD設(shè)備或手工噴涂 印刷視頻 清洗工藝1 原片分揀 1根據(jù)電阻率把電池分類。硅片常見電阻率分類0.5-6，0.5-3 ，3-6 。 2把藏片，厚片，薄片，缺損片，厚度不均勻片取出2 去損傷層：Si+2NaOH30%+H2O Na2SiO3 +2H2 ， 原叫減薄原來硅片太厚，300m,目前18020 m 。思索：為什么硅片厚度會(huì)由300降低到180？3 制

2、絨 Si+2NaOH(0.8%-1.3%)+H2O Na2SiO3 +2H2 ，溶液中加有酒精或異丙醇，添加各向異性引子，加速構(gòu)成金字塔。85左右，時(shí)間10-50分鐘 4 鹽酸洗V濃鹽酸：V水=1:6 或鹽酸37%雙氧水30%混合洗II號(hào)清洗液 V濃鹽酸： V雙氧水：V水=1：1：6 85左右，清洗5-20分鐘。鹽酸具有酸和絡(luò)合劑的雙重作用，氯離子能與 Pt 2+、 Ag+、Cd2+、Hg2+等金屬離子構(gòu)成可溶于水的絡(luò)合物。5 HF洗VHF:V水=1：10，室溫, 5-10分鐘。有些廠家不用。兩張多晶硅絨面顯微照片分散POCl3在高溫下600分解生成五氯化磷PCl5和五氧化二磷P2O5，其反響

3、式如下假設(shè)氧氣充足， PCl5能和氧繼續(xù)反響生成Cl2和P2O5。為了防止產(chǎn)生PCl5，應(yīng)通入適量氧氣。等離子刻蝕硅分散后硅片外表有磷硅玻璃產(chǎn)生。SiO2混合P和P2O5。用HF清洗掉外表的磷硅玻璃。HF和水體積比1:10 偏磷酸 P2O5+H2O-2HPO3H3PO4-HPO3+H2OOHHCTiOHOHHOCTi5244245244OHTiOTiOH22442顏色顏色厚度埃厚度埃顏色顏色厚度埃厚度埃顏色顏色厚度埃厚度埃硅本性0-200很淡藍(lán)色1000-1100藍(lán)色2100-2300褐色200-400硅本性1100-1200藍(lán)綠色2300-2500黃褐色400-500淡黃色1200-1300

4、淺綠色2500-2800紅色550-730黃色1300-1500橙黃色2800-3000深藍(lán)色730-770橙黃色1500-1800紅色3000-3300藍(lán)色770-990紅色1800-1900淡藍(lán)色930-1000深紅色1900-2100氮化硅膜的顏色與厚度的對比表氮化硅膜的顏色與厚度的對比表紅外加熱燈管 鹵鎢燈縱向溫度分布曲線 橫向溫度的穩(wěn)定性延續(xù)和非延續(xù)放片溫區(qū)1溫區(qū)2溫區(qū)3溫區(qū)4溫區(qū)5溫區(qū)6溫區(qū)7150200300400560640875一個(gè)燒結(jié)爐的溫區(qū)溫度2.3去磷硅玻璃去磷硅玻璃3制減反膜制減反膜4.1背電極印刷背電極印刷4.2背場印刷背場印刷4.3正面電極印刷正面電極印刷5燒結(jié)燒

5、結(jié) 清洗前檢測(據(jù)厚度、 電阻率等分揀，分揀儀器)刻蝕結(jié)果檢測(萬用表)減反膜檢測(橢偏儀)2.2刻蝕機(jī)刻蝕機(jī)3清洗結(jié)果檢測(反射儀, 顯微鏡) 水質(zhì)監(jiān)測(電導(dǎo)率儀) 化學(xué)品稱量(普通電子秤)1清洗機(jī)一套清洗機(jī)一套2.1分散爐分散爐2分散結(jié)果檢測(方塊電阻測試儀) 環(huán)境監(jiān)測(塵埃粒子計(jì)數(shù)器)6分選分選爐溫測試儀 歐姆接觸測試儀漿料用量稱量(高精度電子秤)4印刷印刷液氮和液氧儲(chǔ)罐液氮和液氧儲(chǔ)罐CF4儲(chǔ)罐儲(chǔ)罐硅烷氨氣儲(chǔ)罐硅烷氨氣儲(chǔ)罐 + 硅烷熄滅塔硅烷熄滅塔1 車間環(huán)境要求 分散要求最高，10000級(jí)，即每立方英尺中粒徑0.5微米的粒子不超越10000個(gè)。美國聯(lián)邦規(guī)范209E，國際規(guī)范為ISO14

6、644。建議把車間一切工序凈化等級(jí)設(shè)置為10000級(jí)。2 地域大氣環(huán)境 1塵埃粒子與凈化本錢；空氣循環(huán)送風(fēng)。 2鈉離子對半導(dǎo)體器件的危害 洛杉磯每立方大氣中1013鈉離子。 直徑0.1微米的NaCl粒子，潮解后會(huì)擴(kuò)展為直徑50微米的圓面積，相當(dāng)于64k存儲(chǔ)器一半的面積。 鈉等金屬離子在硅資料中是有效的復(fù)合中心，它們會(huì)降低電池的電性能。鈉離子的可挪動(dòng)性會(huì)降低組件的壽命，是組件衰減過快。 做一個(gè)優(yōu)秀的技術(shù)人員需求具備的東西：1 熟習(xí)所用到的一切的化學(xué)品的物理化學(xué)性質(zhì)。HF，H2SO4，雙氧水，鹽酸，氫氧化鈉，酒精，異丙醇，三氯氧磷，去離子水，硅烷，氨氣，四氟化碳2 盡能夠掌握每個(gè)工序的細(xì)節(jié)比如印刷3 熟習(xí)所用到的器具及資料的物理化學(xué)性質(zhì)比如片架花籃