超純水系統(tǒng)工藝流程圖_第1頁
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超純水系統(tǒng)工藝流程圖_第3頁
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文檔簡介

1、圖3 常用的一級(jí) R0二級(jí)EDI+MB電子I級(jí)超純水系統(tǒng)工藝配置圖適合于源水硬度高，有機(jī)物含量高，電導(dǎo)率高小于 1000卩s/cm,要求產(chǎn)水電阻率18Q cm的超純水系統(tǒng)圖4常用的一級(jí) R0二級(jí)EDI電子H級(jí)超純水系統(tǒng)工藝配置圖適合于源水硬度高，有機(jī)物含量高，電導(dǎo)率小于 1000卩s/cm ,要求產(chǎn)水電阻率 1518MQ cm的超純水系統(tǒng)自來水進(jìn)水:排放1快速過濾器紫外線小殺菌燈R不合格排放原水箱 原水泵用水點(diǎn)O.lum過濾器線燈超濾裝置反洗排放水羽純水岀口 調(diào)壓閥1PFp F p拋光混床超純水泵濃水回流 或排放Fk氮封超純水箱極水排放二級(jí)EDI膜堆符號(hào)說明：肉岡電磁閥球閥化學(xué)計(jì)量泵過濾器循環(huán)

2、泵PpcF止回閥壓力表壓力控制器流量計(jì)0.2um過濾器純水泵1不合格排放純水箱電阻率表電導(dǎo)率表流變控制開關(guān)1000s/cm),要求產(chǎn)水電阻率 18Q cm的超純水系統(tǒng)圖5 常用的一級(jí) R0二級(jí)EDI電子+MB電子I級(jí)超純水系統(tǒng)工藝配置圖 適合于源水硬度低，有機(jī)物含量低，電導(dǎo)率高(小于cm的超純水系統(tǒng)圖6 常用的一級(jí) R0二級(jí)EDI電子H級(jí)超純水系統(tǒng)工藝配置圖適合于源水硬度低，有機(jī)物含量低，電導(dǎo)率高小于 1000 s/cm,要求產(chǎn)水電阻率1518血圖7是常用的一級(jí)EDI全系統(tǒng)組成圖。圖7 常用的產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定的二級(jí)R0一級(jí)EDI+MB電子I級(jí)超純水系統(tǒng)組成圖cm 的純水系統(tǒng)適合于源水硬度低，有機(jī)物含量高，電導(dǎo)率 1000卩s/cm,即TDS 500ppm時(shí)，要求產(chǎn)水電阻率 18Q適合于源水硬度低，有機(jī)物含量高，電導(dǎo)率 1000卩s/c

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