ATM機知識培訓課程

1、歡迎進入歡迎進入atm機知識培訓課堂機知識培訓課堂 atm機知識培訓機知識培訓 一、一、atmatm機器開關(guān)機知識機器開關(guān)機知識二、二、atmatm機器測試基礎知識機器測試基礎知識三、機檢流程與內(nèi)容三、機檢流程與內(nèi)容四、機檢型號轉(zhuǎn)換與注意事項四、機檢型號轉(zhuǎn)換與注意事項五、機檢異常情況與處理方法五、機檢異常情況與處理方法六、六、atmatm日常保養(yǎng)日常保養(yǎng)一、一、atmatm機器開關(guān)機知識機器開關(guān)機知識開關(guān)開關(guān)機鍵機鍵備注：1、開/關(guān)機鍵，時間間隔15s。2、atm機關(guān)機時間過長無法正常復位時，正面主機上有一個reset復位小孔，用回形針頂一下，若還無法復位，將所有模塊分別關(guān)閉完全后，將主機電源

2、關(guān)閉，待十分鐘再開。二、二、atmatm機器測試基礎知識機器測試基礎知識a) a)atmatm檢測機器簡介檢測機器簡介1、6大測試模塊2、上料盒3、下料盒b)b)atmatm檢測機器校準操作步驟及流程檢測機器校準操作步驟及流程1、電阻率/厚度校準操作步驟及流程2、少子壽命校準操作步驟及流程3、ttv校準操作步驟及流程1. 1.atmatm測試機器簡介測試機器簡介測試模塊簡介測試模塊簡介主界面主界面下料盒設置下料盒設置1、裂紋、孔洞測試模塊測試界面2、少子壽命測試模塊測試界面3、外觀測試模塊測試界面4、電阻率測試模塊測試界面5、ttv測試模塊測試界面、外觀測試模塊測試界面主界面?zhèn)渥ⅲ?、顯示各測

3、試模塊信息；2、顯示各下料盒內(nèi)數(shù)據(jù)；3、顯示atm機異常信息；下料盒設置備注：1、電阻率0.5-32、電阻率0.5-33、電阻率3-64、未響應（重測）備注：5、裂紋、孔洞6、ttv不良7、其他不良8、未響應（重測）2. 2.atmatm測試機器校準測試機器校準步驟及流程步驟及流程stopstoprecorderrecorderautosettingautosetting少子壽命校準：少子壽命校準：ctrl兩下 2 enter進入2號模塊步驟：步驟：1. 進入2號模塊：點擊stop進入recorder 放入正常硅片點擊autosetting測試；2. 測試完畢后取回硅片，點擊 star正常測試

4、。注：少子壽命每班需校準一次。2. 2.atmatm測試機器校準測試機器校準電阻率及厚度校準：電阻率及厚度校準：1) ctrl兩下 2 enter進入4號模塊，點擊stop2)點擊calibrate thickness（校準厚度），在隨后彈出的界面中輸入標片的厚度數(shù)值，點擊“ok”，并查看校準厚度值是否在此范圍內(nèi)，若在此范圍內(nèi)需記錄其校準值，若不在此范圍內(nèi)需重新校準。3)電阻率校準：取出標片 再將標片置于電阻率探頭下 點擊compensate resistivity(補償電阻）點擊new。4)點擊calibrate resistivity(校準電阻）輸入電阻率標準值點擊ok并查看電阻率值是否在

5、此范圍內(nèi)，若在此范圍內(nèi)需記錄其校準值，若不在需重新校準拿出標片。5)點擊options(選項）點擊save measurement options(保存測量選項） 輸入校準時間.6)校準完成后需點擊star。注意事項：注意事項： 放置標片校準時需與探頭對齊，否則影響其準確性，厚度校準區(qū)域勿與電阻率校準區(qū)域混淆。 厚度校準誤差值： 2um 電阻率校準誤差值： 0.1 歐姆.厘米 校準時間：每班校準一次ttvttv校準：校準： 1） ctrl兩下 2 enter進入第五模塊 點擊stop 點擊settings 擊password 輸入密碼12345。settingssettings輸入輸入密碼密碼

6、2 2）點擊newcalibration 找到相應校準文件（04/05）3） 放入校準（04/05），標準片校準區(qū)域?qū)誓K的三條紅外線。注意：儀器上的三個光點必須與標片上的三點對準。4）連續(xù)點擊ok 十次 取出校準片備注：備注：1、標準片校準區(qū)域應對準紅外線放置，否則影響其校準準確性；2、 04、05校準片取用校準時，應一一對應，勿混淆；3、校準完畢后應將此模塊關(guān)閉，再重新打開測試，否則測試不出；三、三、atmatm檢測流程與內(nèi)容檢測流程與內(nèi)容a.a.每班上班檢驗前應做：每班上班檢驗前應做：1.查看下料盒是否與盒外標識一致，如不一致應及時將其更改過來；2.查看本班檢驗的硅片供應商及型號是否與

7、上個班檢驗的一致，如一致就正常檢驗，如不一致應更改成本班硅片測試的型號及下料盒數(shù)量等；3.將所有測試模塊內(nèi)數(shù)據(jù)關(guān)閉清零，以便于記錄測試新數(shù)據(jù)；4.進入4號模塊內(nèi)，對電阻率進行保存（例如： jiang xi jing ke 125s-165 100000 c)；5.校準電阻率、厚度、并如實填寫校準記錄；6.校準少子壽命；7.如本班是周二（白班）應對機器進行周保養(yǎng)及對ttv的校準； 上料檢驗前；備注：備注：a. 檢驗前，先確認，來料規(guī)格與機器的檢測的規(guī)格是否一致，若一致，繼續(xù)下一步；若不一致，需進行規(guī)格型號的切換/參數(shù)的更改，確認信息統(tǒng)一后，方可進行；b. 上料前，先進行硅片外觀的大體檢驗，若有不

8、良，挑選出放入不良品分選盒內(nèi)，并標識相關(guān)信息（類型、數(shù)量）；若無，進行下一步；上料盒上料吸片機械臂不良品分選盒檢驗流程及注意事項備注：備注：a. 上料時，應將手拿的硅片對準上料盒，避免硅片與盒子碰撞，造成人為缺角、碎片；b. 上料時，應用小紙折成角度，拿硅片時，避免人為造成臟污片；c. 上料時，每次上料數(shù)量控制在100-150片內(nèi)； 上料時；白紙白紙 檢驗中備注：備注：a. 檢驗中，1號模塊，測試硅片的裂紋、孔洞；b. 每次檢測硅片前先確定一下，機器測試模塊的硬件是否處于工作狀態(tài)（如：測試的燈泡是否工作），若不工作應根據(jù)正規(guī)操作手法，將其更換，保證其工作狀態(tài)（或通知設備進行維修）； c. 每次

9、檢測前點檢確認一下設備是否可正常測試出不良，若可以，繼續(xù)檢驗；若不可以，應及時通知設備進行維修；裂紋/孔洞1備注：備注：a. 2號模塊測試少子壽命；b. 測試前需對2號模塊進行校準，根據(jù)校準操作指導流程進行；c. 若檢測的過程中，發(fā)現(xiàn)有少子壽命不良的硅片，應將少子壽命再校準一下，避免測試錯誤；少子壽命少子壽命2備注：備注：a. 3號模塊測試硅片外觀的正面（是否存在硅晶脫落、崩邊等）；b. 準備機檢時，需先確認其模塊內(nèi)設置的各項參數(shù)是否與測試規(guī)格相符，若符合，繼續(xù)；若不符合，需進行參數(shù)調(diào)整；c. 上機進行檢測的硅片，上料前需確認是否存在機器測試不出的不良（如：臟污、色差等）；外觀外觀3備注：備注

10、：a. 號模塊對硅片（電阻率、p/n型、厚度）進行檢測；b. 每班進行測試前需對電阻率及厚度進行校準（詳見操作指導書）；在4號模塊內(nèi)新建本班檢驗文件名，存儲檢驗數(shù)據(jù)；c. 準備檢測前，確認一下模塊內(nèi)設置的測試參數(shù)是否是正確的，若正確，繼續(xù)檢驗；若不正確，需調(diào)整再進行操作；電阻率電阻率/厚度厚度4備注：備注：a. 5號模塊為測試ttv模塊，此模塊可測試（彎曲bend;線痕saw mark; 厚度5點測試tv/ttv）值；b. 準備測試前，先確認測試模塊內(nèi)設置的參數(shù)是否正確，若正確，繼續(xù)檢驗；若不正確，調(diào)整參數(shù)，再進行操作；c. 此模塊通過條線進行掃描；ttv5備注：備注：a. 6號模塊測試外觀的

11、反面，與3號模塊的測試功能類似；b. 時刻觀注此模塊內(nèi)是否有硅片堵塞情況，若有硅片，及時清理，否則影響正常測試；若無硅片，則可正常測試；外觀反面外觀反面7備注：備注：1、主界面上顯示6大模塊的測試狀態(tài)；2、下料盒會自動計入盒內(nèi)數(shù)量，當達到設置的數(shù)量時，會自動彈出；3、下料盒內(nèi)的硅片，是分選出，有合格的，也有不良的，每個都有對應的參照；4、從測試狀態(tài)中可以看出測試的硅片是哪種不良；主界面主界面下料盒內(nèi)的數(shù)量測試狀態(tài)6 1 2 3下料時的操作步驟：1、下料盒彈出，將真空板放入，按圖示13進行操作；2、兩手置于空檔處，平衡的將硅片取出；3、避免與盒子相磨擦人為造成硅片不良的產(chǎn)生；4、下料后，再倒一下

12、四個角，看一下外觀是否存在不良，然后每盒按一定數(shù)量包裝好，再包裝成箱；b.b.中途切換硅片檢驗時中途切換硅片檢驗時1.先確認檢驗型號是否一致，如不一致需將型號更改切換。2.確認包裝數(shù)量是否一致，如不一致需調(diào)整下料盒內(nèi)數(shù)量：6號界面內(nèi)點擊confing更改1、2、3號盒內(nèi)的數(shù)量，點擊save保存。3.切換到4號模塊內(nèi)，點擊 clear statistcs更改電阻率保存的文件名（如jiang xi jing ke 125s-165 100000 c)。4.若此批來料很少時，此批檢驗完后，又進行上批檢驗，須將之前更改的全部調(diào)回來（如盒內(nèi)數(shù)量、型號、電阻率文件名、測試記錄）。5.切到1、2模塊內(nèi)記錄測

13、試數(shù)據(jù)，再將它關(guān)閉清零，以便于記錄測試的數(shù)據(jù)。四、四、atm型號轉(zhuǎn)換與注意事項型號轉(zhuǎn)換與注意事項a) a)更換型號更換型號150- 150- 165 1651.切到3號模塊內(nèi)2.點擊 paramerization 點擊stop 點擊set parameters3.輸入密碼：123454.點擊save parameters as 點擊125*165型號，打開保存5.修改參數(shù)： chamfer c12.55.00 deviatior distance ac0.301.00 arc length a11.0 2.00 diagonal distance -165 1.006.保養(yǎng)save param

14、eters 點擊start,進行正常測試b)b)更換型號更換型號 165- 165- 150 1501.切到3號模塊里2.點擊 paramerization 點擊stop 點擊set parameters3.輸入密碼：123454.點擊save parameters as 點擊125*150型號，打開保存5.修改參數(shù)： chamfer c30.05.00 deviatior distance ac1.501.00 arc length a27.0 2.00 diagonal distance -150 1.006.保養(yǎng)save parameters 點擊start,進行正常測試注：輸入?yún)?shù)時應

15、輸“，”而不是小數(shù)點。c) c)更換型號更換型號 165- 165- 219 2191.切到3號模塊里2.點擊 paramerization 點擊stop 點擊set parameters3.輸入密碼：123454.點擊save parameters as 點擊156e*219型號，打開保存5.修改參數(shù)： wafer c1563.00 chamfer c1.501.50 deviatior distance ac1.001.00 arc length a1.50 1.50 diagonal distance -2194.006.保養(yǎng)save parameters 點擊start,進行正常測試注

16、：輸入?yún)?shù)時應輸“，”而不是小數(shù)點。d) d)更換型號更換型號 165- 165- 200 2001.切到3號模塊里2.點擊 paramerization 點擊stop 點擊set parameters3.輸入密碼：123454.點擊save parameters as 點擊156s*200型號，打開保存5.修改參數(shù)： wafer c156.003.00 chamfer c22.005.00 deviatior distance ac0.301.00 arc length a19.00 2.00 diagonal distance -2004.006.保養(yǎng)save parameters 點擊s

17、tart,進行正常測試注：輸入?yún)?shù)時應輸“，”而不是小數(shù)點。c) c)更換型號邊長更換型號邊長125s-156e125s-156e1.調(diào)節(jié)吹氣口桿子的距離，吹氣口應離硅片3cm(視情況而定）2.用156模板調(diào)節(jié)軌道，松緊適中3.6號主界面上點擊config內(nèi)125調(diào)成156的規(guī)格4.6號主界面進入service to master pc,找到service .xml 文件，將其重命名為service 125.xml ,找到service 156.xml ，將此名稱“156e”刪除。（如測試是156e，就顯示125s和156s；如測試是125s，就顯示156s和156e；如測的是156s，就顯示

18、125s和156e）5.切到3號模塊里，點擊paramerization 點擊stop 點擊set parameters 輸入密碼：12345 點擊save parameters as 點擊156e的型號打開保存save parameters 點擊star 鍵6.將上料處機械手換成小的7.將承載盒內(nèi)4個白色的取出8.切到1號模塊里點擊paramerization 點擊stop 點擊set parameters 輸入密碼：0000，將“ ucracks”的值 調(diào)成35，點擊save 保存9.1號模塊的兩個光源，將上面的一個盒 子上的按鈕按向“l(fā)ocal ”，再將光源指數(shù)調(diào)到70%更換型號邊長更換

19、型號邊長125s-156e125s-156e1、調(diào)節(jié)吹氣口桿子的距離，吹氣口應離硅片3cm(視情況而定）2、用156模板調(diào)節(jié)軌道，松緊適中3、6號主界面上點擊config內(nèi)125調(diào)成156的規(guī)格4、6號主界面進入service to master pc,找到service .xml 文件，將其重命名為service 125.xml ,找到service 156.xml ，將此名稱“156e”刪除。（如測試是156e，就顯示125s和156s；如測試是125s，就顯示156s和156e；如測的是156s，就顯示125s和156e）d) d)更換型號邊長更換型號邊長156e-125s156e-12

20、5s1.調(diào)節(jié)吹氣口桿子的距離，吹氣口應離硅片3cm(視情況而定）2.用125模板調(diào)節(jié)軌道，松緊適中3.6號主界面上點擊config內(nèi)156調(diào)成125的規(guī)格4.6號主界面進入service to master pc,找到service .xml 文件，將其重命名為service 156e.xml ,找到service 125s.xml ，將此名稱“125”刪除。（如測試是156e，就顯示125s和156s；如測試是125s，就顯示156s和156e；如測的是156s，就顯示125s和156e）5.切到3號模塊里，點擊paramerization 點擊stop 點擊set parameters 輸

21、入密碼：12345 點擊save parameters as 點擊125-165/125-150的型號打開保存save parameters 點擊star 鍵6.將上料處機械手換成小的7.將承載盒裝入4個白色的8.切到1號模塊里點擊paramerization 點擊stop 點擊set parameters 輸入密碼：0000，將“ ucracks”的值 調(diào)成0.50.55，點擊save 保存9.1號模塊的兩個光源，將上面的一個盒 子上的按鈕按向“remote ”，再將光源指數(shù)調(diào)到100%五、五、atmatm異常基本處理辦法異?；咎幚磙k法a.a.一號模塊測試不出不良品（裂紋、孔洞）一號模塊測

22、試不出不良品（裂紋、孔洞）1.原因：確認測試燈泡光源是否還亮著，如果測試燈泡不亮了，就說明是測試燈泡的原因（燈泡壞了）a)處理方法：先將燈源的開關(guān)關(guān)閉，再將機器內(nèi)的黑管子（光纖）拔掉；將壞的燈泡取出，將新的燈泡換上；b)換一號燈泡注意事項：確認燈泡的型號；不可用手直接接觸燈泡（帶手套），會留下手指印，會影響測試結(jié)果；c)換完后將黑管子安裝上去，再將燈源開關(guān)打開；d)完畢后需確認是否測試出不良品（將裂紋、針孔片放在機器內(nèi)走一遍，測試出來才能進行正常檢驗）。2、原因：確認測試模塊狀態(tài)是否打開，如果測試模塊未打開。 處理方法：進入該模塊，雙擊該模塊圖標，即打開此模塊。3、原因：確認測試模塊數(shù)據(jù)是否更

23、新，如果測試模塊數(shù)據(jù)不更新或不動，則說明該模塊存儲信息已滿。 處理方法：進入該模塊，點擊 ，將文件夾內(nèi)的數(shù)據(jù)留一個最近的，其他信息都清理掉。然后，再測試幾片看，機器是否正常。b.b.一號模塊測試界面多出一塊一號模塊測試界面多出一塊1.原因：前軌道調(diào)的太寬了導致到了測試極限；2.處理方法：測試一片硅片查看是左邊還是右邊太寬了，將軌道向內(nèi)調(diào)一點點（注：不可調(diào)的太緊，防止軌道卡片）c.c.異?，F(xiàn)象：異?，F(xiàn)象： 主界面提示“axis 4 of robot 1 out of range”并且機器無法復位；1.原因：機械手轉(zhuǎn)動超過180度；2.將機械手轉(zhuǎn)回180度（如不清楚是順時針還是逆時針轉(zhuǎn)，就先一個方

24、向試一下，再進行復位，如果復不了位就反方向轉(zhuǎn)）；d.d.異常現(xiàn)象：異?，F(xiàn)象： 測試正常就是測到最后一兩片時機器會急停；1.原因：機械手轉(zhuǎn)過頭了；2.處理方法：要讓機器自動調(diào)節(jié)； 點擊star programs adept technology adept desktop adept desktop 4.2 file channect 彈出對話框（connect to controller ) 點擊connect 彈出的界面上會顯示測試速度，將它調(diào)到50上面，進行測試，如看到機械手自身有3600 轉(zhuǎn)動，就說明已經(jīng)調(diào)好了，如果沒有3600 轉(zhuǎn)動，測完100片后再跳到60上測試，以此類推，調(diào)完后測試

25、速度跳到100（正常測試速度）e.e.如何截屏如何截屏 按prtsc sgs rq 鍵點擊start programs accessories paint 復制即可（ctrl +v)，再將復制的保存file save as f. f.三號模塊有誤抓現(xiàn)象三號模塊有誤抓現(xiàn)象 處理方法：調(diào)節(jié)光源 找到“optical wafer in spection”點擊右鍵properties find target 找到owi confing .xml 文件并打開找到property name =“threshold factor”type =“double” value 19 /value （19此處是光源

26、值） 先將光源值調(diào)大點，關(guān)閉并保存，再將三號模塊打開測試，如果還是有誤抓就以此類推g.g.測試硅片時，某個模塊測試不出，一直往測試硅片時，某個模塊測試不出，一直往4 4、8 8號盒號盒內(nèi)放。內(nèi)放。a)原因：某個模塊測試時間有誤 處理方法：調(diào)節(jié)時間步驟：進入六號主界面上找到times 點擊進入找到需要調(diào)節(jié)的模塊，并算出十個時間的平均值，主界面上找到shortcut to msater pc 并進入找到serice .xml 文件并進入找到需要修改的模塊arrival time “ 時間”（此處是測試的時間） 將算出來的值填在測試時間處總結(jié)：一般測試時顯示是空格就應該將時間調(diào)大點總結(jié)：一般測試時顯

27、示是空格就應該將時間調(diào)大點。b)原因：測試模塊是否正常 處理方法：在主界面中，查看一下，具體是哪個模塊測試不出，然后ctrl兩次+模塊編號，enter進入，確認該模塊的狀態(tài)，無異常情況時，將此模塊關(guān)閉，再重新打開，然后試測幾片，看是否運行正常。h.h.六號模塊測試不出六號模塊測試不出1.查看六號模塊測試地區(qū)有無碎渣，如有需要清理掉，把模塊關(guān)閉，進行測試，如還是測試不出，需要校準光源2.校準光源： 路徑：開始intelican file open camsim-setup single grab 縮小桌面11 相機參數(shù)設定 輸入：（注：每次輸入必須回車，等待ok出現(xiàn)，再進行下一次的輸入“”代表空格。）ecp-0-0sag-0-0gla-1-1(確認3600max 4095)注：如不在此范圍1.模塊是否有碎片遮擋2.中間燈管是否傾斜3.調(diào)節(jié)光源度4.擦相機鏡頭ccg-4-0(2600/2800/3000)gpc確認六位值（1、2、6、7的值在02.0之間，3、4、5的值在-3-6之間）灰度值10的遮擋住相機鏡頭ccf移開遮擋物ccpepc-1-1wpc-1