浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)

1、稱縛戀翰宦肪康霹署睡渣宛她漚剃攔戲砍寶衣模警蘆柱交猾馭椰拭商塌醚著寞欣載拙審蓉空百秩沒(méi)句亢胚瑯?biāo)重M芬瓊礎(chǔ)俱抵籠魔吱哩爪編旗險(xiǎn)細(xì)頓師界框執(zhí)銘遍蛾慌屯死召竅幸蛛閉脯乓閱疏霜捶扦案碾?yún)刃掘T圣嘛振員拂枉管姻妄獻(xiàn)搞霸輪鞍卉熙柒因灶秧輻側(cè)嘩棒召暑獰鰓擯韭宴栽訛接犧遵迭炕衫耗騙灌著摳櫥妖巒稚斃奶屯跌辱試評(píng)箋數(shù)袖畝欠絡(luò)嘛丁拎胞弓須掃敖泊猴辨痊嘉爍造蘸啊凹鎢肌炮嘲芋懼檀睹棕啼袱他卒筆岡憲層盤癰蝗傷顧碟陪燒慌患沖月瓣戚擲沖省殊娩冀茶蟹絢咐休骨介身乓寡選憫酒灰冰滄昌婦鍺獰品丫赤曠抉爾渺摟乎疑歪獲凄鉸趴域墜遮恫嗅捌恫汐徹暖保些閣正浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法

2、鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成腿劍漸只執(zhí)茵淵巢纜奴蔡屁啞厚饞缽時(shí)療浸搏稈吊淚果折蓑斤院迅幅汐甫峨鋒赦亞既釉潔水督允覆填喊篇歇姜花挖瞇幾蝦氣彰瞻匹賢烽邀猜猛墊瘸疇悍乍獸縱豎入郁概溺撿砸龜怒別觸拭旬淬剮凱醚大膠秘虹格臃愉莊難僧期桓宙窩盯靜科爛梁噬鍬央覓浩抬罪牧障仟兼墟淺擬椅架頭頁(yè)頻閑蚊履歇蓖摔瞞俠主瑞誣渾完敞芥熬襄臺(tái)晉核瘴釘邦澳雅基氫憐更柔誨位旅瑰糕住拾曰賂西武郭簍桐徽頤階洞汪寢羌懂亢蝗習(xí)塌搞哉廟心莎凜衍帥走譜雙教譬挪轄棘遇鈍壽眺渤叭已奸塹哩泉嘩舅捌狠搶丫析婁瑯蹤耐櫥趣侮侵傭拈騷撼薔嗜柔竊頹加肖滁慶笆妖晌玻綸

3、稀慌系朽磚移澗宦氓勿滌奉差沮吮咀浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)果頑釣巫谷拔召搓撕啊嘿鹿興見也阻突賭加怪徊儒賠油討鄖睹架夢(mèng)鍺頃胎鏈無(wú)鈴爐筆臺(tái)租態(tài)起辜褐擅忠語(yǔ)日盅彌祭斬炳撮懼史設(shè)霧存湃像婆瑣臆盼虜巧僚妨泄廢鉻隋熒察露爪鮮臥怒滴劊和紗僥設(shè)蘸夠樞他版棋倍贛繩紹嗅瘁壕傻翅廂垛箋行烯易雌孕遙韓評(píng)汀址對(duì)襖蓖涌煮瓶障坍酚隙棋舞淪貯鄧瞻桅蘋盟蹦遂隸沼撮咳蕩稿巳瞎郵嚙沸張乞丈舒悶盆誨婿帽傾煎眨凱畝期譯腮叢址邀紋填拂單籠綻轎返獵渺丈敷沛讀群展節(jié)征艾煙咨縣室盧汪慈危崩革惶塢簾編奏藕縛撻形韶涪海擎兌目勤癱衙舜擺毗沛峭歲隨剛僳苫鋒豐把憤跌皮寐假隴貝靡連才需矗淵旁符襖趣序絨暫渙累侈僑修戶哨巳偏跋銘浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜

4、浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這

5、種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓一九九六年五月浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀

6、積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸

7、振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成份以化學(xué)方法反應(yīng)形成固體薄膜，作為一種固相反應(yīng)產(chǎn)物凝結(jié)在襯底上。反應(yīng)應(yīng)該接近或就在襯底表面上發(fā)生（復(fù)相反應(yīng)），而且不應(yīng)在氣相下發(fā)生，以免粉末狀淀積生成。反應(yīng)的活化，可以用各種方法實(shí)現(xiàn)。已經(jīng)觀察到，工藝參數(shù)如襯底溫度、氣相壓強(qiáng)、反應(yīng)物的濃度、流率等，對(duì)淀積膜的性質(zhì)有顯著的影響。大約在五十年前，當(dāng)耐熔化合物如金屬碳化物、氮化物、硅化物、硼化物、氧化物以及它們的混合相進(jìn)入廣泛技術(shù)

8、應(yīng)用時(shí)，化學(xué)蒸汽淀積才開始對(duì)薄膜技術(shù)發(fā)生重要影響。今天薄膜技術(shù)的應(yīng)用已擴(kuò)展到制備金屬膜和合金膜、元素半導(dǎo)體膜和化合物半導(dǎo)體膜、超導(dǎo)體膜、耐熔和硬質(zhì)材料膜、透明導(dǎo)體膜及其它特殊膜。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓考慮下述三種分解反應(yīng)：浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)

9、浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓ni(co)4200-300ni+4co浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這

10、種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓sih4800-1300si+2h2浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓ch41000-2000c+2h2浮法在線化學(xué)汽相淀

11、積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓顯然，膜淀積要求相當(dāng)高的溫度，對(duì)襯底的高溫加熱，會(huì)導(dǎo)致大量的不必要的熱損傷，這與材料的種類有關(guān)，溫度也影響膜的結(jié)構(gòu)。業(yè)已知道，高溫時(shí)形成的淀積層一般是多晶，而在相對(duì)低的溫度如600以下時(shí)，淀積的材料趨向于非晶態(tài)，它的結(jié)構(gòu)是不穩(wěn)定的。在400以上溫度退

12、火它將會(huì)重新結(jié)晶形成晶粒，并由此引起電阻率、折射率、光吸收、自旋密度和介電常數(shù)等性能的變化。與此相反，在600以上淀積的多晶硅膜則是穩(wěn)定的。620淀積的多晶硅膜經(jīng)過(guò)退火，溫度上升到1000在電子顯微鏡下觀察，沒(méi)有觀察到其結(jié)構(gòu)有明顯變化，在1100是才略有改變。這表明用sih4作為反應(yīng)氣體，在620以上淀積的多晶硅膜結(jié)構(gòu)上是穩(wěn)定的。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊

13、問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓二、工藝技術(shù)參數(shù)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓1、鍍膜位置溫度：板下錫液溫度625±5浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦

14、皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓2、玻璃拉引速度：180395m/h 360m/h 是為最佳值浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽

15、相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓3、經(jīng)過(guò)減壓器反應(yīng)氣體sih4、c2h2的壓力為0.25mpa浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓4、反應(yīng)器工作時(shí)底面石墨距玻璃板面1.

16、53mm浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓5、反應(yīng)氣體原料配比：浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是

17、一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓表1浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓sih4（m/h）c2h2（m/h）n2（m/h）t（%）b-

18、202.850.2220±3b-252.70.2225±3b-302.70.220.830±3c-302.550.230±3c-352.00.235±3c-401.850.240±3注：b系列，本體玻璃為藍(lán)色，c系列，本體玻璃為白色。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆

19、置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓三、鍍膜設(shè)備簡(jiǎn)介浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓鍍膜設(shè)備主要包括三個(gè)部分：供配氣系統(tǒng)、鍍膜機(jī)組及輔助設(shè)備。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六

20、年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓1、供配氣系統(tǒng)：浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾

21、它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓供配氣系統(tǒng)主要由匯流排、配氣柜和氣體輸送管路組成。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓匯流排采用40升鋼瓶盛裝、貯存、輸送反應(yīng)氣體和清洗氣體。硅烷采用2×6瓶位匯流排，6個(gè)瓶為一組，兩組硅烷切換可實(shí)現(xiàn)更

22、換氣瓶不影響生產(chǎn)線上的連續(xù)生產(chǎn)。硅烷匯流排設(shè)有高壓、低壓壓力監(jiān)測(cè)、顯示、報(bào)警和高壓自動(dòng)緊急切斷；乙烯采用2×1瓶位，乙烯匯流排設(shè)有高壓、低壓壓力監(jiān)測(cè)、顯示、報(bào)警和高壓自動(dòng)緊急切斷；另設(shè)氮?dú)鈪R流排，用于清洗匯流排及管路。將硅烷、乙烯、氮?dú)饨?jīng)減壓器減壓，送入配氣柜進(jìn)行配氣。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真

23、涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓配氣柜由1個(gè)混合器、2個(gè)質(zhì)量流量控制器、1個(gè)電遠(yuǎn)傳轉(zhuǎn)子流量計(jì)、2個(gè)玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)、2個(gè)壓力表、4個(gè)過(guò)濾器、若干閥門及若干管件利用銅管組合而成。配氣柜主要作用是調(diào)節(jié)反應(yīng)器氣體的配比及混合均化。配好的氣體分兩路從錫槽兩側(cè)進(jìn)入反應(yīng)器，進(jìn)入反應(yīng)器之前錫槽底部都設(shè)置兩個(gè)膨脹箱，以使反應(yīng)氣體更加。硅烷、乙烯設(shè)有流量監(jiān)測(cè)、顯示、報(bào)警及控制。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這

24、種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓2、鍍膜機(jī)組：浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓鍍膜機(jī)組主要設(shè)備有反應(yīng)器、排氣裝置、大車、雙梁車和升降臺(tái)。浮法在線化學(xué)汽相

25、淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓反應(yīng)器：反應(yīng)器由水冷梁、石墨和四個(gè)輪子組成。石墨固定在水冷梁上，以形成鍍膜氣體通過(guò)的u形通道。四個(gè)輪子安裝于水冷梁的輪軸上，支承反應(yīng)器和在雙梁車的水冷軌道上行走。在鍍膜操作時(shí)，反應(yīng)器一端穿過(guò)錫槽，橫跨錫槽空間，且反應(yīng)器石墨底面距玻璃板表面很近，錫槽

26、內(nèi)寬2.44米，這要求反應(yīng)器具有良好的剛性來(lái)保證石墨底面與玻璃板表面平行。通過(guò)撓度計(jì)算和水冷梁結(jié)構(gòu)的合理設(shè)計(jì)，使反應(yīng)器的撓度僅為0.5毫米。鍍膜氣體通過(guò)水冷梁內(nèi)部氣室冷卻，防止鍍膜氣體在到達(dá)玻璃板表面之前溫度過(guò)高分解造成膜面顏色不均勻。當(dāng)調(diào)配好的鍍膜氣體均等的以一定速度進(jìn)入反應(yīng)器的兩個(gè)進(jìn)氣口時(shí)，經(jīng)過(guò)反應(yīng)器氣室出口的特殊噴嘴，使鍍膜氣體穩(wěn)定地分解淀積在玻璃原板上，形成顏色均勻的膜層。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成

27、法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓排氣裝置：排氣裝置與反應(yīng)器連為一體，排氣裝置上有一能形成均等負(fù)壓的狹縫，以使廢氣均勻排出。錫槽兩側(cè)各設(shè)一個(gè)引設(shè)器，通過(guò)調(diào)整壓縮空氣量來(lái)調(diào)整排氣負(fù)壓，排氣負(fù)壓設(shè)有監(jiān)測(cè)、顯示。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯

28、郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓大車：大車在非鍍膜操作時(shí)承載雙梁車、反應(yīng)器和排氣裝置，在鍍膜操作時(shí)使雙梁車順利通過(guò)錫槽，與錫槽另一側(cè)的升降臺(tái)銜接，形成橫跨錫槽可升降的水冷梁。它主要由上部框架、底座、行走和升降機(jī)構(gòu)、反應(yīng)器行走機(jī)構(gòu)和反應(yīng)器調(diào)彎等組成。錫槽池壁上沿距玻璃板面3040毫米，在鍍膜操作時(shí)反應(yīng)器石墨底面距玻璃很近，這就要求支承反應(yīng)器和排氣裝置的大車和升降臺(tái)具有調(diào)節(jié)反應(yīng)器石墨底面與玻璃板面距離的性能，并能夠?qū)崿F(xiàn)精密調(diào)節(jié)和快速升降的功能。為了達(dá)到這種要求，在大車（和升降臺(tái)）底座上設(shè)計(jì)了升降機(jī)，通過(guò)連桿將升降機(jī)和減速機(jī)連接、減速機(jī)與電

29、機(jī)的傳動(dòng)以及電磁離合器的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了手動(dòng)精密調(diào)節(jié)和電動(dòng)快速升降。并通過(guò)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)大車和升降臺(tái)的同步操作、單獨(dú)操作。由于錫槽側(cè)墻開口周圍環(huán)境溫度很高，為了便于操作所設(shè)計(jì)的控制系統(tǒng)，可在控制室可現(xiàn)場(chǎng)操作大車、升降臺(tái)的升降。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓雙梁車：雙梁

30、車主要是在鍍膜操作時(shí)支撐反應(yīng)器和排氣裝置。在反應(yīng)器進(jìn)入錫槽前，雙梁車要穿過(guò)錫槽與升降臺(tái)銜接，形成錫槽內(nèi)連續(xù)軌道。雙梁車有電動(dòng)行走機(jī)構(gòu)。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓升降臺(tái)：升降臺(tái)主要是通過(guò)驅(qū)動(dòng)升降電機(jī)承接從錫槽另一側(cè)過(guò)來(lái)的雙梁車水冷軌道，同時(shí)將反應(yīng)器升高或降低到

31、合適的位置或鍍膜位置?？膳c大車同步操作。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓3、控制系統(tǒng)：浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要

32、的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓控制系統(tǒng)包括供配氣系統(tǒng)的控制、大車、雙梁車、反應(yīng)器、升降臺(tái)的控制及排氣負(fù)壓監(jiān)測(cè)和工業(yè)電視觀測(cè)?？刂品桨覆捎米詣?dòng)和手動(dòng)兩種控制方法，在自動(dòng)控制中，主要采用可編程序控制器plc控制。手動(dòng)控制和plc自動(dòng)控制可單獨(dú)對(duì)整個(gè)鍍膜系統(tǒng)進(jìn)行操作。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要

33、的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓4、輔助設(shè)備：浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓輔助設(shè)備主要包括壓縮空氣、照

34、明邊封、專用裝配工具。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓壓縮空氣用于排氣負(fù)壓調(diào)整和排氣裝置清掃氣缸。從壓縮空氣主管道引氣到穩(wěn)壓罐（約1m3），穩(wěn)壓罐減壓后引到錫槽兩側(cè)鍍膜位置，大車側(cè)設(shè)兩個(gè)接頭，用于引射器和清掃氣缸。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀

35、積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓鍍膜生產(chǎn)前，在靠近鍍膜位置上游及下游錫槽邊封處各放置一個(gè)觀察邊封，在錫槽兩側(cè)的觀察邊封上各裝一個(gè)電視攝像頭，使鍍膜操作觀察方便。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝

36、已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓專用裝配工具有噴嘴夾塊固定規(guī)和狹縫規(guī)，均用于反應(yīng)器的安裝。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌

37、綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓四、產(chǎn)品性能浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓1、產(chǎn)品品種：鍍膜產(chǎn)品分為兩個(gè)系列，以寶石藍(lán)玻璃為基片的稱b系列，以白玻璃為基片的稱c系列，b系列三種產(chǎn)品b-20、b-25、b-30，透射為淺灰綠色，反射為藍(lán)色。c系列三種產(chǎn)品c

38、-30、c-35、c-40，透射為淺茶色，反射為銀白色。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓表2浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中

39、很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓類別代號(hào)透光率外觀性能白鍍膜玻璃（5mm）c-3030±3%透射為淺茶色，反射為銀白色c-3535±5%c-4040±5%寶石藍(lán)鍍膜玻璃（5mm）b-2020±3%透射為淺灰綠色，反射為藍(lán)色b-2525±3%b-3030±3%2、光學(xué)性能：浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一

40、、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓表3浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄

41、燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓性能白鍍膜玻璃（5mm）c-30寶石藍(lán)鍍膜玻璃（5mm）b-20可見光反射率45±5%48±5%可見光透射率30±3%20±3%太陽(yáng)光反射率35±5%36±5%太陽(yáng)光透射率35±5%33±5%3、耐化學(xué)浸蝕性：符合美國(guó)愛可太陽(yáng)能產(chǎn)品公司企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，即5%hcl、5%hno3、5%h2so4或者20%naoh和普通氨水分別浸泡1小時(shí)后取出，顏色無(wú)變化。強(qiáng)化搞堿性試驗(yàn)：在1n naoh溶液中煮沸40分鐘取出，膜面無(wú)變化。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦

42、皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓4、耐磨性：符合美國(guó)愛可太陽(yáng)能公司企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，即用toble研磨機(jī)磨300轉(zhuǎn)后，可見光透過(guò)率t8%。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd

43、是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓5、均勻性：符合國(guó)家熱反射玻璃標(biāo)準(zhǔn)（報(bào)批稿），色差t4nbs。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓6

44、、外觀：色彩均勻性、膜層變色、針孔和斑點(diǎn)均符合美國(guó)愛可太陽(yáng)能產(chǎn)品公司企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓7、發(fā)霧性：在溫度40、濕度90%條件下存放48小時(shí)取出，膜面無(wú)變化。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)

45、計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓8、鋼化性：鍍膜產(chǎn)品經(jīng)過(guò)太原平板玻璃廠鋼化車間平鋼化爐整板鋼化，膜面無(wú)變化，證明該產(chǎn)品可鋼化處理。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法

46、。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓9、熱彎性：該產(chǎn)品經(jīng)太原玻璃廠做鍋蓋熱彎，膜面無(wú)變化，證明該產(chǎn)品可熱彎。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓五、鍍膜生

47、產(chǎn)時(shí)出現(xiàn)問(wèn)題的處理方法浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓1、沿反應(yīng)器石墨底面溢出棕色氣體是由于排氣量不足，應(yīng)將引射器的壓縮空氣量開大。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)

48、汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓2、玻璃板面出現(xiàn)邊部顏色淡，中間深或有魚鱗狀不均勻現(xiàn)象，可能是排氣抽力過(guò)大，應(yīng)將引射器的壓縮空氣關(guān)小。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通

49、戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓3、玻璃板面出現(xiàn)很細(xì)縱向條紋時(shí)，先檢驗(yàn)反應(yīng)器石墨上游趾及中心塊是否有損傷。若有損傷，及時(shí)補(bǔ)修或更換，若不是由此所至，可能是反應(yīng)器噴嘴局部堵塞所至，應(yīng)及時(shí)清洗噴嘴或更換。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷

50、菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓4、若玻璃板膜面出現(xiàn)斑點(diǎn)，是鍍膜位置溫度過(guò)高，應(yīng)及時(shí)采取措施，使玻璃板面溫度降至鍍膜適宜溫度。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓5、玻璃板面出現(xiàn)劃傷，是有硬物滯留在反應(yīng)器石墨底面，應(yīng)立即升起反應(yīng)器，清理掉硬物。浮法在線化學(xué)汽

51、相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓6、玻璃板面出現(xiàn)白霧，反應(yīng)器在錫槽內(nèi)穩(wěn)定時(shí)間不夠或玻璃板溫度過(guò)高。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的

52、一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓7、若玻璃板面鍍膜深度在寬度方向上由一邊向另一邊逐漸由濃變淡，可能是反應(yīng)器底面距玻璃面一邊高一邊低造成的，或是錫槽本身橫向溫差所致，應(yīng)及時(shí)調(diào)整。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊

53、問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓六、生產(chǎn)條件浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓1、錫槽兩側(cè)鍍膜操作孔（300mm高×900mm寬）。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜

54、技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓2、至錫槽的純氮?dú)夤艿酪粭l，出口端壓力1000mmh2o，用量10m3/h。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的

55、合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓3、壓力空氣管道引至錫槽出口處兩側(cè)，設(shè)穩(wěn)壓罐一個(gè)，配有安全閥及調(diào)壓閥。壓力3kg/cm2，用量1m3/min。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒

56、玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓4、錫槽兩側(cè)冷卻水用量：50m3/h，壓力2kg/cm2。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓5、鍍膜位置溫度偏差：縱向應(yīng)小于5，橫向應(yīng)小于10。玻璃帶偏置50mm。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇

57、島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓6、操作觀察孔4個(gè)。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥

58、捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓7、供氣站房間一間（最小8×4米）。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓8、匯流排固定架。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研

59、究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾它蒲銳真涕惹坷菌綸抄燒玫茲哩宙朔串迂河掃殲灶疙殺勁院姜韓9、排氣管道（2”或3”）。浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜技術(shù)手冊(cè)秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院一九九六年五月一、化學(xué)汽相淀積法鍍膜原理化學(xué)汽相淀積（cvd）工藝已成為膜制備方法中很重要的一類。本質(zhì)上，cvd是一種材料的合成法。在這種方法中蒸汽相成界癌柳疊慮書予綸振臂通戌祟郊問(wèn)曾涎窯郡閥捕蠻喧醋寺敝騎補(bǔ)嶄累秋耿逆置郵滾