ESD防護(hù)技術(shù)培訓(xùn)教材

1、防護(hù)基礎(chǔ)識(shí)轄訓(xùn)第一部分ESD基礎(chǔ)知識(shí)靜電：物體表面過?；虿蛔愕南鄬?duì)靜止不 動(dòng)的電荷。靜電是一種電能，它留 存于物體表面；靜電是正電荷與負(fù) 電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果。靜電現(xiàn)象：是電荷的產(chǎn)生和消失過程中產(chǎn) 生的電現(xiàn)象的總和。靜電引起 的自然現(xiàn)象如：閃電等。欝電的空要特支衣靜電材料按電阻率劃分的靜電導(dǎo)體、 靜電耗散體、靜電絕緣體與“動(dòng)”電 （流動(dòng)的電流）情況下按電阻率劃分的 導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體完全不同。巻靜電具有高電位、低電量、小電流以 及作用時(shí)間短的特點(diǎn)。衣受環(huán)境條件，特別是濕度的影響比較 大，靜電測(cè)量時(shí)復(fù)現(xiàn)性差，瞬態(tài)現(xiàn)象多。初電占工曲用電的區(qū)別&起電的方式不同占能量相差很大衣表現(xiàn)

2、形式不同衣歐姆定律的適用性不同湯俸的超電方式由于電子的得與失使物體失去電平衡，就 產(chǎn)生了靜電。靜電產(chǎn)生的基本過程可歸納為： 接觸-電荷轉(zhuǎn)移T偶電層的形成一電荷分離。物體的起電方式主要有：1）物體間的摩擦，產(chǎn)生的熱可使電子轉(zhuǎn) 移，產(chǎn)生靜電；2）物體間的接觸與分離；3 ）電磁感應(yīng)；）摩擦與電磁感應(yīng)綜合效應(yīng)。7#纟用湯區(qū)厚擦起電序列¥人手 味玻璃，仔人的頭發(fā) 味尼龍 張羊毛仔鋁 冬紙*棉花 仔硬橡皮加銅 華銀 仔金.<仔聚乙烯9主要是利用電荷的同性相吸、異性相 斥和靜電吸附的特性，主要應(yīng)用在：1.靜電除塵技術(shù)" 2.靜電復(fù)印與攝影技術(shù)-3. 靜電涂覆技術(shù)4. 靜電分選技術(shù)5

3、. 靜電生物效應(yīng)等人俸暢電人體靜電：指由于自身行動(dòng)或與其它的帶 電物體相接觸或相接近而在人 體上產(chǎn)生并積聚的靜電。人體靜電的起電方式主要有: 、步行起電。 、庫擦起電。 、靜電感應(yīng)起電。 、接觸傳導(dǎo)帶電。初電數(shù)電數(shù)矗靜電放電(ESD):當(dāng)帶電體上的電荷所產(chǎn) 生的電場(chǎng)，其電場(chǎng)強(qiáng)度超過周圍介質(zhì)的絕緣 擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度時(shí)，帶電體表面附近的介質(zhì)就 發(fā)£電離引起靜電電荷轉(zhuǎn)移，因而使帶電 體上電荷趨向減少或消失，這種情況又叫靜 電放電。(Electrostatic discharge,縮寫為ESD)物電敘電損傷農(nóng)右圖是ESD對(duì)電子元件的損 害，箭頭所指 處為靜電放電 后造成的“爪 '型腳”，

4、使集 成電路部分損 壞。（該圖放大 320倍）13ESD瀕傷的失數(shù)模式右即時(shí)失效：又稱為硬擊穿或突發(fā)性完全失效， 它是器件的一個(gè)或多個(gè)電參數(shù)突然劣化，完全失 去規(guī)定功能的一種失效。巻延時(shí)失效：如果帶電體的靜電位或存貯的靜電 能量較低，僅能供給短暫發(fā)生的局部擊穿能量， 或ESD回路有限流電阻存在，一次ESD脈沖不足 以引起器件發(fā)生突發(fā)性完全失效，但它會(huì)在器件 內(nèi)部造成輕微的損傷，使器件的性能劣化或參數(shù) 指標(biāo)下降，降低了器件抗靜電的能力、使用可靠 性與壽命，使其運(yùn)行一段時(shí)間后，出現(xiàn)故障而不 能正常工作。人體動(dòng)作相對(duì)濕度下靜電電壓(V)10%40%55%人在塑膠地板上行走1200050003000人

5、在工作臺(tái)面上工作6000800400從塑料管中取出DIP2000 700400從塑料盤中取出DIP1150040002000從泡沫塑料中取出DIP1450050003500從塑料包裝中取出PCB26000200007000用泡沫塑料包裝PCB21000110005500物電數(shù)電敏感庚銀別靜電放電敏感度級(jí)別：是建立靜電安全作業(yè)區(qū)的依據(jù)，是指電子元器件、組件和設(shè)備按照靜電放電敏感度試驗(yàn)方法測(cè)出的其對(duì)靜電放電損壞的敏感度而進(jìn)行的分級(jí)。靜電放電敏感電子元器件分類級(jí)別靜電電位(V)元器件類別I級(jí)0-1999微波器件、電耦合器件、集成電路等II級(jí)2000-3999運(yùn)算放大器、結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)管等III級(jí)4000

6、-15999硅整流器、片裝電阻器等>16000非靜電敏感產(chǎn)品等ESR防護(hù)基戚扣識(shí)籍初I第二部分ESD防護(hù)技術(shù)17ESD防護(hù)的必要性由于器件集成度的不斷提高，電路密集度更高， 致使其耐擊穿電壓愈來愈低。靜電在電子工業(yè)中被稱為“看不見的敵人， 無處不在的殺手”。一般情況下，幾千伏的靜電電壓不易被人體 感知，人體能感覺到靜電電擊時(shí)的靜電電壓一般 居3KV - 4KV以上，在5KV以上靜電電壓才能看到靜 電放電火花，然而一般器件可能早已損壞。對(duì)靜電的防護(hù)主要應(yīng)致力于防患于未然，對(duì) ESD進(jìn)行綜合防護(hù)。人條帶電電電電擊程庚的矣系電位（伏）電擊程度備注1000完全無感覺2000手指外側(cè)有感覺。但不疼

7、發(fā)出微弱的放電聲2500有針觸的感覺，有哆嗦感，但不疼3000有被針刺的感覺，微疼4000有被針深刺的感覺，手指微疼見到放電的微光5000從手掌到前腕感到疼指尖延伸出微光6000手指感到劇疼，后腕感到沉重7000手指和手掌感到劇疼，稍有麻木感覺8000從手掌到前腕有麻木感覺9000手腕子感到劇疼，手感到麻木沉重10000整個(gè)手感到疼，有電流過的感覺11000手指劇麻，整個(gè)手感到被強(qiáng)烈電擊12000整個(gè)手感到被強(qiáng)烈地電擊21ESD防護(hù)的必要性靜電損傷失效模式比較仃靜電防護(hù)的同的靜電防護(hù)的根本目的是：在元器件、組件的制造和使用過程 中，通過各種防護(hù)手段，防止因靜電的 放電效應(yīng)而產(chǎn)生或可能產(chǎn)生的損害

8、，或 將這些損害限制在最小的程度，以確保 元器件、組件和設(shè)備的設(shè)計(jì)性能及使用 性能不致因靜電作用受到損害。初電防護(hù)的塞瘁履則辿“防” 一防止靜電場(chǎng)，有效抑制或減少靜電荷的產(chǎn)生，嚴(yán)格控制靜電源。辿“泄"一迅速、安全.有效地消除已經(jīng)產(chǎn)生的靜電荷，避免靜電荷的積聚。辿 “控”一對(duì)所有防靜電措施的有效性進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控定期檢測(cè)、維護(hù)和檢驗(yàn)O會(huì)曲、絳令、廚乙套的櫓電防護(hù)內(nèi)客農(nóng)在每個(gè)即使細(xì)小的環(huán)節(jié)，利用一 些必要的、有效的靜電防護(hù)手段， 選用優(yōu)質(zhì)的防護(hù)技術(shù)產(chǎn)品； -卷制定完善的靜電防護(hù)管理規(guī)程， 并切實(shí)有效地貫徹執(zhí)行。27#注 賣 防靜電工作區(qū) 操作ESDS產(chǎn)品應(yīng) 采取防護(hù)措蔚（直級(jí)）防裁電工作區(qū)標(biāo)

9、祀#根據(jù)GJB3007-97國家軍標(biāo)規(guī)定：A級(jí)防靜電 工作區(qū)允許的對(duì)地靜電電位不超過± 100V; B級(jí)防靜電工作區(qū)是指允許的對(duì)地靜電電位 不超過± 1000Vo23防裁電工作區(qū)系疣電扯的確定靜電的泄放必須“安全”，所謂“安 全性”是指無論對(duì)元器件，還是人身都必 須保證絕對(duì)的安全。安全性有兩個(gè)指標(biāo)： 一是靜電電壓必須在1秒鐘內(nèi)降至100V;二 是放電電流不能高于5mA。因此靜電防護(hù)的 系統(tǒng)電阻選擇在：106q -109Q。ESD防護(hù)過程控制要求ESD防護(hù)系統(tǒng)失效的主要原因：防靜電設(shè)施與地的連接可能產(chǎn)生松動(dòng)或脫落; 防靜電桌面隨著使用時(shí)間的延長而發(fā)生失效; 腕帶損壞,或其內(nèi)部

10、出現(xiàn)斷線而連接不可靠； 腕帶的佩戴不規(guī)范，如不戴、松弛、沒有緊 貼皮膚等。ESD防護(hù)過程控制要求防靜電手腕帶的正確佩戴是：使用通過安全性檢查的手腕帶，將長度適當(dāng)?shù)乃?緊圈直接佩戴在手腕上，并與皮膚良好接觸；接 觸集成電路或已貼裝集成電路的PCB時(shí)將鱷魚夾夾 持在接地良好的接地端，鱷魚夾、接地線等裸露 部分不得與設(shè)備、線體、工作臺(tái)等的金屬件接觸。在手腕帶佩戴上，禁止1）將手腕帶纏繞在手腕上， 而不將其接地；2）將手腕帶佩戴在衣服袖口上或 將其藏在防靜電工作服的松緊袖口內(nèi)；3）將鱷魚 夾直接夾持在設(shè)備、線體外殼上或非專用靜電接 地端的其它點(diǎn)上。 '27f；：.：,：.：.：；+：丐：憲仔:

11、 ：o:防帯電手腕帶的餛截 F K 29ESD防護(hù)過程控制要求1）靜電防護(hù)是一個(gè)系統(tǒng)工程，滲透到生產(chǎn)的全過 程，每個(gè)環(huán)節(jié)都必須同樣重視，萬不可厚此薄彼。2）防靜電工程涉及的部門眾多，需要相互協(xié)調(diào)、 共同努力，各司其職，ESD才能得到有效控制。3）靜電防護(hù)在很大程度上是提高靜電防護(hù)意識(shí)問 題，提高所有接觸靜電敏感器件人員的靜電防護(hù) 意識(shí)，定期進(jìn)行靜電防護(hù)安全操作與靜電防護(hù)技 術(shù)培訓(xùn)是非常重要的。4）制定完善的靜電防護(hù)管理規(guī)程，實(shí)行有效的管 理和監(jiān)控，最大限度地減少或避免靜電的危害。欝電防護(hù)系疣的爼咸完備的靜電防護(hù)硬件系統(tǒng)包括:人體靜電防護(hù)、環(huán)境靜電防護(hù)、操作系統(tǒng)靜電防護(hù):、,靜電保護(hù)接地、離子風(fēng)

12、靜電消除器、靜電檢測(cè)及監(jiān)控儀表、,防護(hù)措施的日常維護(hù)。'人俸橢電防護(hù)人體在日?；顒?dòng)和生產(chǎn)操作中可產(chǎn)生的電壓為 數(shù)十伏到數(shù)萬伏的靜電，而放電過程是及其短促的， 所以靜電放電過程中釋放的能量可達(dá)幾十瓦，這足 以引起芯片微區(qū)燒毀或SiO2膜擊穿。因此對(duì)進(jìn)入防靜電工作區(qū)（包括生產(chǎn)、倉儲(chǔ)、運(yùn) 輸過程）的人員均要進(jìn)行靜電防護(hù)，其中首要的是 配備防靜電服、防靜電手腕帶和防靜電鞋。人體所攜帶的靜電，一是可以通過接地良好的防 靜電手腕帶及時(shí)泄放，另一方面防靜電鞋與防靜電 地面的配合使用，可以及時(shí)有效地泄放人員在運(yùn)動(dòng) 中產(chǎn)生的靜電，減少人體所攜帶的靜電。33可調(diào)節(jié)性金屬手腕帶普通防靜電手腕帶. 工匚KjV

13、iCA，巧幾“".I，.； ，.，. :'， w WWW * « > » WWW W » » > » WWW W » » WWW WWW W » » WWW> V w w « > 防初電手腕帶*»v<:送*空號(hào)汐牙汐*茫s ：扌津匸齊雷？怨*老丁扌®扌訂圧SE總藻匸毬*誥主老扌電TSE總*老三奧匚：；S去去.:I.:;:.*.X.丿 «*»*.* -*i*-*.5 V«*r可調(diào)節(jié)性金厲手腕帶的金屬壞

14、用抗過敏不銹鋼制 作.環(huán)外層杲PVF絕緣層.抗摩擦.環(huán)長可任慧調(diào) 節(jié).此手腕帶使用方便靈活壽命長久且不產(chǎn)生灰 塵.可用于18級(jí)以上無塵凈化環(huán)境.j金虜環(huán)電阻值： ioonu接地線電陰值：1/門靜電泄放時(shí)間；OJs普通防靜電手腕帶使用柔軟而窩有彈性的材料配 以導(dǎo)電望混編而成此手腕帶導(dǎo)電性能好.長度可 任意調(diào)節(jié)彈簣綾地線能經(jīng)受30000次以上環(huán)繞試 驗(yàn)不斷製。J接地電陰：lOQJ靜電泄放時(shí)間：0"探燼物電防護(hù)防靜電工作區(qū)的地面、墻壁、天花板，按國家標(biāo)準(zhǔn)要求因選用防靜電材料，地面是一個(gè)靜電產(chǎn)生的主要來源'因此必須重視工 作區(qū)地面的靜電防護(hù)。 地面的處理方法有:1:防靜電地板漆、2：

15、防靜電PVC貼面地板、3:防靜電橡膠地板4：防靜電環(huán)氧自流坪5:防靜電高架地板31:. :：；：；：!防靜電地板漆簡單易行的處理方法J涂布涂兩道3表面電粗：1巾'門I 葉血I J* X-*" ，BX* |V& R)jF、' "： ：'：'：':再：.： ：'：.： '«*：工取HQ'：.：'遙“防靜電地板灤厲單組份7K性漆，耐久、耐摩擦且防滑.對(duì)環(huán)境無污染，人體無危害.是防靜電地面覆蓋面：20-26平方米/加侖33防靜電PVC貼面地板a-產(chǎn)品數(shù)據(jù)累統(tǒng)電阻：i0 « io1-

16、i.o i(rn防火測(cè)試：B1級(jí)(G85O222 - 95)耐廨測(cè)試：0.0206/oh； (GB4O85 - 83GB5478 - 85)接地裝導(dǎo)電地面材科導(dǎo)電膠-接地設(shè)施靜電334厚 «! 1.0 1.2 1.5 (板面使用)2.0 2.5 3.0 (地面使用)成 分：PVC訶浙.粵電材料、增腿劑.穩(wěn)定剤.填料弩尺 寸 300 x300 SOO X 500 600 « 600 800 « 1200 (wn)施 工：施工按本公司建議.地坪應(yīng)満潔.干燥及平整.并預(yù)設(shè)保 養(yǎng)：現(xiàn)場(chǎng)盂度不低于15C.理想濕度為2029上: ：.：. K防帯電PVC貼面地祓幾、產(chǎn)'

17、;'導(dǎo)電性能及靜電耗散能力優(yōu)良 導(dǎo)電材科不會(huì)釀 特時(shí)問推移.環(huán)境涅漫度交化而實(shí)去或降低導(dǎo)電 性能地板耐酸堿，耐磨防塵，衣藍(lán)易消潔和維護(hù), 適合于十級(jí)以上凈化空.以及其它有防靜電贊床 的區(qū)域使用.JW4/*一卜防輸電環(huán)酬脂地坪涂科防靜電壞胸脂地翳料具有蹄亂哋防 耐歟耐睞編附著力等特乳涂歸面處 酣單科解性好詹易淸洗廣澆用于 電子,電罷醫(yī)藥、化二食品魏業(yè)城電腦監(jiān) 辦公室.實(shí)驗(yàn)室.手術(shù)室等場(chǎng)骯»赫M電雎1門41叮OQ sq $加面機(jī)25 30單方米/捕侖J砂砂次虻兩次地面廉理底漆涂布中涂魁布-*而獵布*>0.5535<-x-x-<-x-x-<-x-x-<

18、-x-x-<-x-x-<-x-x-<-x-x-<-x-x-<-x-x-<-x-x-高架地板防靜電活動(dòng)地扳是專供電子計(jì)算機(jī)房.凈化室.通iR中心,髙級(jí)實(shí)鯊室等地耐設(shè)的地面桝I,它具有可升性在一足范幗內(nèi)可調(diào)節(jié)其高度,使地板下形成一個(gè)可使用的空間.能方粧地舗設(shè)電纜一電線等活動(dòng)地板易干拆馳便干錐修.具有防靜電.細(xì)L耐SL防火.扇清潔等特點(diǎn).F - :解:解:孑:-i：o：.:嚇敢:巧:齊:空:農(nóng)總:壬:佑磁:遂:曲磁:佑磁:遂:曲磁:37PVC防物電地祕(mì)使用規(guī)范防、靜電PVC地板是一種長效的靜電防護(hù)手段，它安裝 簡單，維護(hù)容易，因此被廣泛采用。為了更好地發(fā)揮其效 用

19、，延長其有效壽命，在日常使用中應(yīng)注意以下事項(xiàng)：1、保持地板表面潔凈，避免積垢，對(duì)充分發(fā)揮防靜電 PVC地板的抗靜電性能。2、避免尖利的物品在地板表向拖拽。以免造成地1併劃 傷。3、避免過于沉重、有棱角的物體直接砸在地板上。4、安裝或移動(dòng)設(shè)備、較重物體時(shí)，注意采取對(duì)地而的 保護(hù)措施，如在地板上鋪紙板等。5、人員進(jìn)入鋪設(shè)防靜電PVC地板的區(qū)域，應(yīng)更換子鞋 子，避免將泥土、沙粒等帶入防靜電工作區(qū)。6、地板表面如滴上油污或有機(jī)溶濟(jì)，應(yīng)及時(shí)擦去。-#防初電操作系銃的徂咸防靜電操作系統(tǒng)是根據(jù)防靜電要求，為 建立保護(hù)區(qū)域和進(jìn)行保護(hù)性操作所必須配 置的設(shè)施和工具的總稱。防靜電安全工作臺(tái)及防靜電桌墊防靜電地墊防

20、靜電區(qū)域警示標(biāo)志防靜電元件盒（袋）防靜電周轉(zhuǎn)車、周轉(zhuǎn)箱接地工具和設(shè)備其它保護(hù)設(shè)備: :肴緞.：；：.：耐高溫防靜電RUBBER桌墊耐條溫防靜電RUBBER實(shí)墊分兩層上層為靜電耗 散層.下層為導(dǎo)電虧.具有很好的防酸、防堿.防 化學(xué)溶劑特性.耐鹿.易滴洗。丿 表面電阻率：1取t/亠9 * IGG/sq» 接地電阻1 x w4 - 9 X 1012/旳J靜電衰減時(shí)間；O.O1-O.O2s可酎高溫；26O-C貨號(hào)RM-3414RM4414顏色淺藍(lán)灰廠FAM經(jīng)濟(jì)型防靜電RUBBER桌墊經(jīng)濟(jì)型防靜電R3BER桌室為兩層結(jié)構(gòu)，上層為靜 電耗散層.下層為導(dǎo)電層.此桌墊使用時(shí)間持久. 貝有極佳的防酸，

21、防禎L防化學(xué)溶劑特性.耐爲(wèi). 易満洗.經(jīng)濟(jì)實(shí)惠.J 表面電阻率：5 x 10匚9 x 1O?Q/sq亠掙電衰裁時(shí)間； 0.05sJ 尺寸：Im 用 10m x 2mm、1.2mx10mx2mm 顏色：上層綠色/灰色/砥色.下層黒色 :曲耳洱曲 J:.廠0:曲椰:謬請(qǐng):際郴:純濟(jì):曲 、防靜電屏藪袋根據(jù)一法拉第寵原理設(shè)計(jì).適用于PCB、IC 等靜克敏感產(chǎn)品的包裝，袋體采用美國進(jìn)口優(yōu) 質(zhì)原料.經(jīng)全自動(dòng)流水線一次生產(chǎn)成型”強(qiáng)大 的生產(chǎn)犍力、先進(jìn)的檢測(cè)手段和充裕的庫存保 障了屛蔽袋上乘的質(zhì)量和及時(shí)的交貸承諾特性:屏蔽袋I封口)金屬層構(gòu)威一完整的-法拉 第籠"，防止所裝器件il曼靜電和電硏液的

22、 破壞內(nèi)、外表面均采用防靜電材料，袋體半透明 J可采用頁空包裝或充氮后包裝J電性能及物理性能達(dá)到ASTM 0257. EIA 541 和MIL-B-81705國際標(biāo)準(zhǔn)丿不含氨坯化合物(Amide)J可加印ESD標(biāo)記外表面防斛電涂層聚酸鋁層防靜電聚乙惦內(nèi)表面丿袋口可熱封、自封或粘膠封裝內(nèi)表面<»> < I'靜電屏蔽防潮袋櫓電屛就防潮褻 I II t e t t < i t t < t <i lit i t i a t t < aiti i < t aili i < a f i i e t t « i t t <

23、; t ait I i a i i f同時(shí)具苗防紳電.防電磁干擾和防潮三大 功能.灣用于有防潮要求的電子產(chǎn)品的包 裝陰潮袋采用進(jìn)口扯質(zhì)原料.經(jīng)全自動(dòng)流 水線一次生產(chǎn)成型.袋體采用標(biāo)準(zhǔn)的防靜 電及防潮標(biāo)識(shí).特性:卓越的肪潮性能可尿用頁空包裝或充氮包裝電性能及物理性能達(dá)到EIA 583.EIA 541 和MIL-B-81705國際標(biāo)灌J內(nèi)、外表面均釆用防靜電材料J不含氨棊化合物丿可加印ESO標(biāo)記和防潮標(biāo)記防靜電尼龍鋁層防赫電聚乙婿外表面：袋口可熱封.自封或粘膠封裝45防物電警斥標(biāo)志#* .f -aaa_a_ -:序:濟(jì):擴(kuò)專2；：匸：工：；：:：；：-.*. .V. -: .:： :： ：- -：

24、 * 防暢電工作臺(tái)怨咸：>>:. . .t;?z:防靜電接地線防靜地椅47防暢電接地接地是將電氣連接到能供給或接受大量電荷的物 體上，地線是指能夠接受或提供大量電荷的物質(zhì)（如 大地、艦船或運(yùn)載工具、設(shè)備外殼等）。通常說的接 地有硬接地和軟接地之分：硬接地是指直接或通過一個(gè)低阻抗同地線相連；軟接地是指通過足夠高的阻抗接地，將電流限制 在人身安全電流（通常為5mA）之下。防靜電系統(tǒng)的接地線不得接在電源零線上，也不 得與防雷地線共用，必須有獨(dú)立可靠的接地裝置，接 地電阻一般應(yīng)小于10Q。使用三相五線制供電，其大 地線可以作為防靜電地線（但零線、地線不得混接）。49EPA性擁檢圭頗球要痂檢

25、査頻次1項(xiàng)目名稱檢查方式環(huán)境溫度、相對(duì)濕度測(cè)&佩戴腕帶情況忑人體對(duì)地電阻,測(cè)雖每口一次穿柵靜電鞋、襪情況下人體對(duì)地電阻測(cè)雖-矽筋電服裝穿戴惜況、-、-目視傍靜電手腕帶或腳腕帶佩戴情九八/ 目視防靜啦鞋穿戴情況目視防靜電工作臺(tái)而接地情況目視每周=次地板、地墊接地惜況-Bi 視.系統(tǒng)接地情況，目視標(biāo)id情況,-目視腫電位水平-”-”測(cè)屋.每月云次匚作服對(duì)地汕阻和表而（餐對(duì)點(diǎn)5電阻 :''.測(cè) f'防靜取手套、指套對(duì)地電阻“ .;<f測(cè)雖，離子風(fēng)機(jī)靜電中和能力''潤呈”工作臺(tái)而對(duì)地電阻和表面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻測(cè)4地板、地墊對(duì)地電阻和我而（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻 .測(cè)呈.每季度-次周擄蓉器衣面（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)）電阻77測(cè)罐*匸作椅對(duì)地電阻和表而（點(diǎn)對(duì)電阻././>'測(cè)鈕電烙鐵對(duì)地電陰t測(cè)呈'存放器、小車對(duì)地電阻和表而（點(diǎn)'對(duì)點(diǎn)）電阻，測(cè)址系統(tǒng)接地電阻：建成后第：年每季度一次，以后每21個(gè)月-次”4測(cè)雖廿纟見初電防護(hù)系銃所需的產(chǎn)晶靜電防護(hù)系統(tǒng)類別典型產(chǎn)品.人體靜電 防護(hù)防靜電服裝丄衣、手套、手指套、鞋（套）、帽子輔助產(chǎn)品防靜電椅凳、煙霧凈化器環(huán)境防護(hù)墻壁地板等防靜電漆PVC貼面地板.環(huán)氧樹脂地坪.