互換性與測量技術(shù)-14 表面粗糙度

1、 第第 五五 章章一、概述一、概述 機(jī)械加工或者其他方法獲機(jī)械加工或者其他方法獲得的零件表面，微觀上總會存得的零件表面，微觀上總會存在較小間距的峰谷痕跡，表面在較小間距的峰谷痕跡，表面粗糙度就是粗糙度就是表述這些微小峰谷表述這些微小峰谷高低程度和間距狀況的微觀幾高低程度和間距狀況的微觀幾何形狀特性的指標(biāo)。何形狀特性的指標(biāo)。圖圖 表面粗糙度示意圖表面粗糙度示意圖一、概述一、概述宏觀幾何形狀宏觀幾何形狀l表面波紋度表面波紋度l表面粗糙度表面粗糙度幾何形狀誤差幾何形狀誤差 1010mmmm1mm 1mm 1 10mm0mm 1 1mmmm表面粗糙度表面粗糙度：在零件加工表面存在的一種由較小間距：在零

2、件加工表面存在的一種由較小間距和微小峰谷形成的微觀幾何形狀誤差。和微小峰谷形成的微觀幾何形狀誤差。一、概述一、概述表面粗糙度直接影響產(chǎn)品的質(zhì)量，對零件表面許多功表面粗糙度直接影響產(chǎn)品的質(zhì)量，對零件表面許多功能都有影響。其主要表現(xiàn)能都有影響。其主要表現(xiàn) ：1. 影響耐磨性影響耐磨性 2. 影響配合性質(zhì)的穩(wěn)定性影響配合性質(zhì)的穩(wěn)定性 3. 影響疲勞強(qiáng)度影響疲勞強(qiáng)度 4. 影響耐腐蝕性影響耐腐蝕性為保證零件的使用性能和互換性，在零件幾何精度設(shè)為保證零件的使用性能和互換性，在零件幾何精度設(shè)計時必須提出合理的表面粗糙度要求。計時必須提出合理的表面粗糙度要求。 2.2.表面粗糙度對互換性的影響表面粗糙度對互

3、換性的影響 二、表面粗糙度的評定二、表面粗糙度的評定 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范 表面結(jié)構(gòu)表面結(jié)構(gòu) 輪廓法輪廓法 表面結(jié)構(gòu)的術(shù)表面結(jié)構(gòu)的術(shù)語、定義及參數(shù)語、定義及參數(shù)（GB/T 3505-2000GB/T 3505-2000）表面粗糙度表面粗糙度 參數(shù)及其數(shù)值參數(shù)及其數(shù)值（GB/T1031-1995GB/T1031-1995）機(jī)械制圖機(jī)械制圖 表面粗糙度符號、代號及其注法表面粗糙度符號、代號及其注法（GB/T GB/T 131-1993131-1993） 表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)有表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)有: : 二、表面粗糙度的評定參數(shù)二、表面粗糙度的評定參數(shù) 1. 1.基本術(shù)語及定義（基本術(shù)語及定義（G

4、B/T 3505-2000GB/T 3505-2000） l 取樣長度（取樣長度（lrlr） 用于判別表面粗糙度的沿用于判別表面粗糙度的沿 X 軸方向上的長度，即具軸方向上的長度，即具有表面粗糙度特征的一段基準(zhǔn)線長度。有表面粗糙度特征的一段基準(zhǔn)線長度。 X 軸的方向與輪廓總的走向一致，一般應(yīng)包括軸的方向與輪廓總的走向一致，一般應(yīng)包括5個以個以上的波峰和波谷上的波峰和波谷。 二、表面粗糙度的評定參數(shù)二、表面粗糙度的評定參數(shù) 1.1.基本術(shù)語及定義（基本術(shù)語及定義（GB/T 3505-2000GB/T 3505-2000） l 評定長度（評定長度（ln） l 評定長度指評定表面粗糙度所必須的一段長

5、度。評定長度指評定表面粗糙度所必須的一段長度。 可包括一個或幾個取樣長度可包括一個或幾個取樣長度 。一般取。一般取ln=5lr。二、表面粗糙度的評定參數(shù)二、表面粗糙度的評定參數(shù) 1.1.基本術(shù)語及定義（基本術(shù)語及定義（GB/T 3505-2000GB/T 3505-2000） l 輪廓中線輪廓中線 具有幾何輪廓形狀并劃分輪廓的基準(zhǔn)線，是用具有幾何輪廓形狀并劃分輪廓的基準(zhǔn)線，是用以評定表面粗糙度參數(shù)值的給定線。以評定表面粗糙度參數(shù)值的給定線。輪廓最小二乘中線輪廓最小二乘中線輪廓算術(shù)平均中線輪廓算術(shù)平均中線輪廓中線輪廓中線二、表面粗糙度的評定參數(shù)二、表面粗糙度的評定參數(shù) 1. 1.基本術(shù)語及定義（

6、基本術(shù)語及定義（GB/T 3505-2000GB/T 3505-2000） l 輪廓中線輪廓中線 l 1 1）輪廓的最小二乘中線）輪廓的最小二乘中線 在取樣長度內(nèi)，使輪廓線上各點(diǎn)的縱坐標(biāo)值在取樣長度內(nèi)，使輪廓線上各點(diǎn)的縱坐標(biāo)值Z（x)的平方和為最小的的平方和為最小的基準(zhǔn)線?；鶞?zhǔn)線。即二、表面粗糙度的評定參數(shù)二、表面粗糙度的評定參數(shù) 1. 1.基本術(shù)語及定義（基本術(shù)語及定義（GB/T 3505-2000GB/T 3505-2000） 2 2）輪廓算術(shù)平均中線輪廓算術(shù)平均中線 輪廓算術(shù)平均中線是指在取樣長度內(nèi)劃分實(shí)際輪輪廓算術(shù)平均中線是指在取樣長度內(nèi)劃分實(shí)際輪廓為上、下兩部分，且使兩部分面積相等的

7、基準(zhǔn)線。廓為上、下兩部分，且使兩部分面積相等的基準(zhǔn)線。 即二、表面粗糙度的評定參數(shù)二、表面粗糙度的評定參數(shù) 1.1.基本術(shù)語及定義（基本術(shù)語及定義（GB/T 3505-2000GB/T 3505-2000） l 輪廓濾波器和傳輸帶輪廓濾波器和傳輸帶 在評定三類輪廓上的參數(shù)時，必須先將表面輪廓在在評定三類輪廓上的參數(shù)時，必須先將表面輪廓在特定儀器上進(jìn)行濾波，以便分析獲得所需波長范圍的特定儀器上進(jìn)行濾波，以便分析獲得所需波長范圍的輪廓。輪廓。 輪廓濾波器：輪廓濾波器：將輪廓分成長波和短波成分的儀器。將輪廓分成長波和短波成分的儀器。 s c f s c f 傳輸帶：傳輸帶：由兩個不同截止波長的濾波器

8、分離獲得的由兩個不同截止波長的濾波器分離獲得的輪廓波長范圍。輪廓波長范圍。二、表面粗糙度的評定參數(shù)二、表面粗糙度的評定參數(shù) 1.1.基本術(shù)語及定義（基本術(shù)語及定義（GB/T 3505-2000GB/T 3505-2000） l 極限值判斷規(guī)則極限值判斷規(guī)則 16%16%規(guī)則：規(guī)則：被檢表面測得的全部參數(shù)值中，超過極限值的個數(shù)被檢表面測得的全部參數(shù)值中，超過極限值的個數(shù)不多于總個數(shù)的不多于總個數(shù)的16%16%時，該表面時合格的。時，該表面時合格的。 最大規(guī)則：最大規(guī)則：被檢的整個表面上測得的參數(shù)值一個也不超過給定被檢的整個表面上測得的參數(shù)值一個也不超過給定的極限值。的極限值。 16%規(guī)則是所有表

9、面結(jié)構(gòu)要求標(biāo)注的默認(rèn)規(guī)則。即當(dāng)參數(shù)規(guī)則是所有表面結(jié)構(gòu)要求標(biāo)注的默認(rèn)規(guī)則。即當(dāng)參數(shù)代號后未注代號后未注“max”字樣時，均默認(rèn)為應(yīng)用字樣時，均默認(rèn)為應(yīng)用16%規(guī)則（例如規(guī)則（例如Ra0.8）。反之，應(yīng)用最大規(guī)則（例如）。反之，應(yīng)用最大規(guī)則（例如Ramax0.8）。）。二、表面粗糙度的評定參數(shù)二、表面粗糙度的評定參數(shù) 2.2.評定參數(shù)（評定參數(shù)（GB/T 3505-2000GB/T 3505-2000） 國家標(biāo)準(zhǔn)國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T1031-1995GB/T1031-1995規(guī)定規(guī)定： 基本評定參數(shù)基本評定參數(shù)：高度參數(shù)（幅度參數(shù)）高度參數(shù)（幅度參數(shù)） 附加評定參數(shù)附加評定參數(shù)：間距和形狀特性參數(shù)間距

10、和形狀特性參數(shù)二、表面粗糙度的評定參數(shù)二、表面粗糙度的評定參數(shù) l 高度參數(shù)（幅度參數(shù)）高度參數(shù)（幅度參數(shù)） 1 1）輪廓算術(shù)平均偏差（輪廓算術(shù)平均偏差（Ra） 即在一個取樣長度即在一個取樣長度lr 內(nèi)，輪廓上各點(diǎn)至基準(zhǔn)線的內(nèi)，輪廓上各點(diǎn)至基準(zhǔn)線的距離的絕對值的算術(shù)平均值。距離的絕對值的算術(shù)平均值。二、表面粗糙度的評定參數(shù)二、表面粗糙度的評定參數(shù) l 高度參數(shù)高度參數(shù) 2 2）輪廓最大高度（輪廓最大高度（Rz） 即在一個取樣長度即在一個取樣長度lr 內(nèi)，最大輪廓峰高內(nèi)，最大輪廓峰高Zp 和最和最大輪廓谷深大輪廓谷深Zv之和的高度。之和的高度。RzZpZv二、表面粗糙度的評定參數(shù)二、表面粗糙度的

11、評定參數(shù) l 間距間距參數(shù)參數(shù) 1 1）輪廓單元的平均寬度輪廓單元的平均寬度( (RSm) ) 在取樣長度內(nèi)，輪廓單元寬度在取樣長度內(nèi)，輪廓單元寬度Xs的平均值。的平均值。 輪廓峰和輪廓谷的輪廓峰和輪廓谷的組合組合單元單元 二、表面粗糙度的評定參數(shù)二、表面粗糙度的評定參數(shù) l 形狀特性形狀特性參數(shù)參數(shù) 輪廓支承長度率（輪廓支承長度率（Rmr(c)） 在給定水平位置在給定水平位置c上上, ,輪廓的實(shí)體材料長度輪廓的實(shí)體材料長度Ml(c)與評與評定長度定長度ln的比率。的比率。 評定長度內(nèi)，一平行于評定長度內(nèi)，一平行于X X 軸的軸的直線從峰頂線向下移一水平截距直線從峰頂線向下移一水平截距c c時

12、，與輪廓相截所得各段截線時，與輪廓相截所得各段截線長度之和。長度之和。 給出Rmr(c)參數(shù)時，必須同時給出輪廓水平截距c值。 三、表面粗糙度的標(biāo)注三、表面粗糙度的標(biāo)注國家標(biāo)準(zhǔn)國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T131-1993GB/T131-1993對表面粗糙度的符號、對表面粗糙度的符號、代號及其標(biāo)注做了規(guī)定。代號及其標(biāo)注做了規(guī)定。 1標(biāo)注表面結(jié)構(gòu)的圖形符號2表面結(jié)構(gòu)代號的注寫內(nèi)容3表面結(jié)構(gòu)代號示例4表面結(jié)構(gòu)要求在圖樣中的注法(1)標(biāo)注的規(guī)定(2)標(biāo)注的方法5表面結(jié)構(gòu)要求在圖樣中的簡化注法 若需要標(biāo)注若需要標(biāo)注RSmRSm、Rmr(c)Rmr(c)值時，將其符號注在長邊的值時，將其符號注在長邊的橫線下面，數(shù)值寫

13、在代號的后面。橫線下面，數(shù)值寫在代號的后面。 6. 間距、形狀特征參數(shù)的標(biāo)注間距、形狀特征參數(shù)的標(biāo)注 舉舉 例例 舉舉 例例四、四、表面粗糙度的選用表面粗糙度的選用 1. 1. 表面粗糙度評定參數(shù)的選擇表面粗糙度評定參數(shù)的選擇 l 如無特殊要求，一般僅選用高度參數(shù)如無特殊要求，一般僅選用高度參數(shù) 1 1）在在Ra Ra = 0.025= 0.0256.36.3范圍內(nèi)，優(yōu)先選用范圍內(nèi)，優(yōu)先選用RaRa。表表面過于粗糙或太光滑時，多采用面過于粗糙或太光滑時，多采用 RzRz。2 2）當(dāng)表面不允許出現(xiàn)較深加工痕跡，防止應(yīng)力過于當(dāng)表面不允許出現(xiàn)較深加工痕跡，防止應(yīng)力過于集中，要求保證零件的抗疲勞強(qiáng)度和

14、密封性時，需集中，要求保證零件的抗疲勞強(qiáng)度和密封性時，需選選RzRz。 四、四、表面粗糙度的選擇表面粗糙度的選擇 1. 1. 表面粗糙度評定參數(shù)的選擇表面粗糙度評定參數(shù)的選擇 l 附加參數(shù)一般不單獨(dú)使用附加參數(shù)一般不單獨(dú)使用。1 1）對有特殊要求的少數(shù)零件的重要表面（如要求噴涂對有特殊要求的少數(shù)零件的重要表面（如要求噴涂均勻、涂層有較好的附著性和光澤表面）需要控制均勻、涂層有較好的附著性和光澤表面）需要控制RsmRsm數(shù)值數(shù)值。2 2）對于有較高支撐剛度和耐磨性的表面，應(yīng)規(guī)定對于有較高支撐剛度和耐磨性的表面，應(yīng)規(guī)定Rmr(c)Rmr(c)參數(shù)。參數(shù)。四、四、表面粗糙度的選擇表面粗糙度的選擇 2

15、.2.表面粗糙度評定參數(shù)值的選擇表面粗糙度評定參數(shù)值的選擇 表面粗糙度評定參數(shù)值的選擇，不但與零件的使表面粗糙度評定參數(shù)值的選擇，不但與零件的使用性能有關(guān)，還與零件的制造及經(jīng)濟(jì)性有關(guān)。用性能有關(guān)，還與零件的制造及經(jīng)濟(jì)性有關(guān)。選用的原則：選用的原則：在滿足零件表面功能的前提下，評在滿足零件表面功能的前提下，評定參數(shù)的允許值盡可能大定參數(shù)的允許值盡可能大，以減小加工難度，降低生，以減小加工難度，降低生產(chǎn)成本。產(chǎn)成本。 四、四、表面粗糙度的選擇表面粗糙度的選擇 2.2.表面粗糙度評定參數(shù)值的選擇表面粗糙度評定參數(shù)值的選擇 l 選擇方法選擇方法 l1) 1) 計算法計算法 l2 2）試驗(yàn)法）試驗(yàn)法l3

16、 3）類比法）類比法 四、四、表面粗糙度的選擇表面粗糙度的選擇 3 3）類比法）類比法（1 1）在同一零件上工作表面比非工作表面粗糙度值小。）在同一零件上工作表面比非工作表面粗糙度值小。（2 2）摩擦表面比非摩擦表面、滾動摩擦表面比滑動摩）摩擦表面比非摩擦表面、滾動摩擦表面比滑動摩擦表面的表面粗糙度值小。擦表面的表面粗糙度值小。（3 3）運(yùn)動速度高、單位面積壓力大、受交變載荷的零）運(yùn)動速度高、單位面積壓力大、受交變載荷的零件表面，以及最易產(chǎn)生應(yīng)力集中的部位（如溝槽、園角、件表面，以及最易產(chǎn)生應(yīng)力集中的部位（如溝槽、園角、臺肩等），表面粗糙度值均應(yīng)小些。臺肩等），表面粗糙度值均應(yīng)小些。（4 4）

17、配合要求高的表面，表面粗糙度值應(yīng)小些。）配合要求高的表面，表面粗糙度值應(yīng)小些。 四、四、表面粗糙度的選擇表面粗糙度的選擇 （5 5）對防腐性能、密封性能要求高的表面，表面）對防腐性能、密封性能要求高的表面，表面粗糙度值應(yīng)小些。粗糙度值應(yīng)小些。（6 6）配合零件表面的粗糙度與尺寸公差、形位公）配合零件表面的粗糙度與尺寸公差、形位公差應(yīng)協(xié)調(diào)。差應(yīng)協(xié)調(diào)。 尺寸、形位公差值越小，表面粗糙度值越??；尺寸、形位公差值越小，表面粗糙度值越??； 尺寸公差等級相同，軸比孔的表面粗糙度值要小；尺寸公差等級相同，軸比孔的表面粗糙度值要??； 對于同一公差等級的不同尺寸的孔或軸，小尺寸的孔軸對于同一公差等級的不同尺寸的

18、孔或軸，小尺寸的孔軸比大尺寸的孔軸表面粗糙度值要小。比大尺寸的孔軸表面粗糙度值要小。四、四、表面粗糙度的選擇表面粗糙度的選擇 配合零件表面的粗糙度與尺寸公差、形位公差配合零件表面的粗糙度與尺寸公差、形位公差應(yīng)協(xié)調(diào)。一般應(yīng)符合：應(yīng)協(xié)調(diào)。一般應(yīng)符合： 尺寸公差尺寸公差 形位公差形位公差 表面粗糙度表面粗糙度。 設(shè)表面形狀公差值為設(shè)表面形狀公差值為T，尺寸公差值為，尺寸公差值為IT，它們之間可參，它們之間可參照以下對應(yīng)關(guān)系：照以下對應(yīng)關(guān)系： 若若T0.61T，則，則Ra0.05IT，Rz0.21T； 若若T0.41T，則，則Ra 0.025IT,Rz 0.1T; 若若T0.25IT，則，則Ra 0.

19、012IT,Rz 0.05IT； 若若T0.25IT，則，則Ra 0.15T，Rz 0.6T (一一)比較法比較法 比較法就是將被測零件表面與表面粗糙度樣板比較法就是將被測零件表面與表面粗糙度樣板 ，通過視，通過視覺、觸感或其它方法進(jìn)行比較后，對被檢表面的粗糙度作出覺、觸感或其它方法進(jìn)行比較后，對被檢表面的粗糙度作出評定的方法。評定的方法。常用于生產(chǎn)現(xiàn)場常用于生產(chǎn)現(xiàn)場 .五、五、 表面粗糙度的測量表面粗糙度的測量 1.測量表面粗糙度的測量方法測量表面粗糙度的測量方法 (二二)光切法光切法 光切法就是利用光切法就是利用“光切原理光切原理”來測量零來測量零件表面的粗糙度件表面的粗糙度. .五、五、

20、 表面粗糙度的測量表面粗糙度的測量 1.測量表面粗糙度的測量方法測量表面粗糙度的測量方法實(shí)實(shí) 驗(yàn)驗(yàn) 目目 的的儀儀 器器 說說 明明實(shí)實(shí) 驗(yàn)驗(yàn) 步步 驟驟光切法測量表面粗糙度實(shí)驗(yàn)光切法測量表面粗糙度實(shí)驗(yàn)實(shí)實(shí) 驗(yàn)驗(yàn) 報報 告告實(shí)實(shí) 驗(yàn)驗(yàn) 目目 的的1 1 熟悉光切顯微鏡測量表面粗糙度的方法熟悉光切顯微鏡測量表面粗糙度的方法2 2 加深對微觀不平度十點(diǎn)高度加深對微觀不平度十點(diǎn)高度RzRz的理解的理解3 3 正確判斷工件表面粗糙度的合格性正確判斷工件表面粗糙度的合格性儀儀 器器 說說 明明 光切顯微鏡外形結(jié)構(gòu)光切顯微鏡外形結(jié)構(gòu)1-1-底座；底座；2-2-立柱；立柱；3-3-橫臂；橫臂；4-4-粗調(diào)螺

21、母；粗調(diào)螺母；5-5-鎖緊旋手；鎖緊旋手；6-6-微調(diào)手輪微調(diào)手輪7-7-殼體；殼體；8-8-手柄；手柄；9-9-工作臺；工作臺；10-10-可換物鏡組；可換物鏡組；11-11-目鏡；目鏡；12-12-燕尾；燕尾；13-13-目鏡千分尺目鏡千分尺儀儀 器器 說說 明明 光切顯微鏡是一種測量表面粗糙度的儀器，它可以測光切顯微鏡是一種測量表面粗糙度的儀器，它可以測出表面粗糙度中的出表面粗糙度中的Rz和和S等參數(shù)。等參數(shù)。 光切顯微鏡有四對不同倍數(shù)：光切顯微鏡有四對不同倍數(shù)：7X,14X,30X,60X)的物的物鏡。鏡。 測量時，須先估測工件表面粗糙度測量時，須先估測工件表面粗糙度Rz數(shù)值的范圍，然

22、數(shù)值的范圍，然后按下表選擇相應(yīng)的物鏡放大倍數(shù)。后按下表選擇相應(yīng)的物鏡放大倍數(shù)。 物鏡放大物鏡放大倍數(shù)倍數(shù)視場直徑視場直徑(mm) (mm) 物鏡工作物鏡工作距離距離換算系換算系數(shù)數(shù)E E測量范測量范圍圍RzRz相當(dāng)于舊相當(dāng)于舊國標(biāo)國標(biāo)7X7X 2.5 2.5 17.8 17.81.281.28 10-8010-80 3- 5 3- 5 14X 14X 1.3 1.3 6.8 6.80.630.63 3.2-103.2-10 5- 7 5- 7 30X 30X 0.6 0.6 1.6 1.60.290.291.6-6.31.6-6.3 7- 8 7- 8 60X 60X 0.3 0.3 0.65

23、 0.65 0.16 0.16 0.8-3.20.8-3.2 8- 9 8- 9物鏡放大倍物鏡放大倍數(shù)數(shù)1 1 擦凈被測工件并置于工作臺上，使工件的紋理方向（加工痕跡）擦凈被測工件并置于工作臺上，使工件的紋理方向（加工痕跡）和工作臺縱向移動方向垂直。和工作臺縱向移動方向垂直。2 2 放松支臂緊固螺釘，旋轉(zhuǎn)螺母，使支臂慢慢降下，直至外觀可放松支臂緊固螺釘，旋轉(zhuǎn)螺母，使支臂慢慢降下，直至外觀可以看到工件表面上出現(xiàn)綠色光帶后，鎖緊螺絲。以看到工件表面上出現(xiàn)綠色光帶后，鎖緊螺絲。3 3 調(diào)節(jié)支架微動升降手輪，從外觀可以看到工件表面出現(xiàn)細(xì)窄較調(diào)節(jié)支架微動升降手輪，從外觀可以看到工件表面出現(xiàn)細(xì)窄較亮的綠色

24、光帶，此時視場看到亮帶最窄最清晰。亮的綠色光帶，此時視場看到亮帶最窄最清晰。Wang chenggang實(shí)實(shí) 驗(yàn)驗(yàn) 步步 驟驟觀察方向觀察方向光束投射方向光束投射方向圖示圖示 圖圖3-23 光切法測量原理光切法測量原理4 4 松開緊定螺釘，轉(zhuǎn)動目鏡千分尺，使目鏡中的十字線的任一松開緊定螺釘，轉(zhuǎn)動目鏡千分尺，使目鏡中的十字線的任一條線平行于光帶某一清晰的邊界，此條線即定為近似平行于輪條線平行于光帶某一清晰的邊界，此條線即定為近似平行于輪廓中線并作為測量基準(zhǔn)線。用該線分別切于彎曲亮帶中的五個廓中線并作為測量基準(zhǔn)線。用該線分別切于彎曲亮帶中的五個最高峰和五個最低谷，從目鏡千分尺的鼓輪上分別讀出相應(yīng)的

25、最高峰和五個最低谷，從目鏡千分尺的鼓輪上分別讀出相應(yīng)的數(shù)值。數(shù)值。 峰頂值峰頂值：a a2 , a , a4 , a , a6 , a , a8 , a , a10 ; ; 谷底值谷底值：a a1 ,a ,a3 ,a ,a5,a,a7 ,a ,a9( (單位單位: :毫米毫米) )， 根據(jù)計算公式根據(jù)計算公式 計算出計算出Rz Rz 值值; ; 公式：公式：Rz=1/5 y y=1/5(a2 +a4 +a10 ) ( a 1 +a3 +.a9 )Ei=15pii=1vi5（三）（三） 干涉法干涉法 干涉法是利用光波干涉原理測量表面粗糙度的一種方干涉法是利用光波干涉原理測量表面粗糙度的一種方法。法。圖圖3-26 干涉法測量原理干涉法測量原理干涉顯微鏡實(shí)物干涉顯微鏡實(shí)物（四）（四） 針描法針描法 針描法又稱觸針法，是一種接觸測量表面粗糙度針描法又稱觸針法，是一種接觸測量表面粗糙度的方法。電動輪廓儀（又稱表面粗糙度檢查儀）就是的方法。電動輪廓儀（又稱表面粗糙度檢查儀）就是利用針描法來測量表面粗