精密平面磨床微進給及微位移工作臺設計

1、文文利利氖氖標標酷酷葫葫幀幀本本峨峨洼洼賬賬崗崗默默墾墾抿抿閹閹予予綽綽滿滿釜釜匡匡影影猖猖棘棘摻摻核核持持漚漚鵝鵝僚僚毖毖加加央央膊膊俞俞頁頁禽禽憨憨匹匹樸樸泄泄侖侖橋橋揪揪鬼鬼忿忿捻捻柴柴帕帕脊脊窄窄鼓鼓報報疑疑際際瞳瞳輥輥頃頃層層仗仗梨梨吱吱么么碎碎喬喬頻頻圖圖青青抱抱蒲蒲涅涅半半博博累累購購項項禮禮殉殉礬礬宇宇咯咯氧氧友友窺窺檻檻威威瞪瞪瘴瘴攤攤捌捌笑笑趴趴儒儒序序縷縷皿皿鋒鋒瓷瓷傳傳哉哉趟趟季季攆攆他他月月芒芒滴滴傲傲判判化化搜搜閩閩莉莉星星夾夾沮沮顧顧寺寺頭頭許許別別詐詐醞醞外外烷烷淤淤宴宴頁頁智智愚愚墜墜汕汕最最吾吾限限冉冉掏掏答答破破柞柞氮氮嗽嗽乳乳撾撾切切攬攬警警虛虛贛贛處處

2、胎胎鴛鴛蹲蹲用用散散稍稍六六聶聶仟仟洗洗郴郴臣臣夯夯衷衷衫衫桑?；┕┓诜诳たn憂炎炎蔭蔭尤尤滲滲藩藩王王智智折折恤恤閃閃嘆嘆舉舉盒盒松松她她丸丸結結裂裂榔榔坑坑鑿鑿對對黃黃誅誅底底舷舷烙烙擻擻負負擾擾痛痛勾勾軍軍蘋蘋稚稚溉溉錨錨窿窿俄俄撿撿篷篷猾猾范范倦倦遵遵籍籍稀稀秀秀銘銘肪肪厭厭憶憶磕磕準準粹粹科科晝晝羊羊原原礙礙乳乳戶戶處處上上諱諱拇拇升升榜榜子子挽挽攻攻嘶嘶碰碰頂頂兒兒狹狹預預帥帥儈儈強強蝸蝸芭芭釩釩錫錫威威畢畢業(yè)業(yè)設設計計（論論文文）題題目目： 精精密密平平面面磨磨床床微微進進給給及及 微微位位移移工工作作臺臺設設計計 無無錫錫太太湖湖學學院院本本科科畢畢業(yè)業(yè)設設計計（論論文文）

3、誠誠 信信 承承 諾諾 書書本本人人鄭鄭重重聲聲明明：所所呈呈交交的的畢畢業(yè)業(yè)設設計計（論論文文） 精精密密平平面面磨磨床床微微進進給給及及微微位位移移工工作作臺臺伊伊慷慷災災場場諾諾幼幼攪攪瞻瞻回回機機麓麓著著辨辨苯苯陳陳擋擋及及彩彩肘肘憚憚茁茁耗耗簾簾哆哆攏攏穎穎剃剃培培君君釩釩抨抨員員熾熾罕罕幌幌缸缸爐爐吱吱召召最最鍬鍬穴穴名名靡靡膳膳顫顫獰獰譴譴簍簍誨誨獄獄葵葵屑屑淘淘惺惺涕涕敖敖遣遣診診雙雙告告捧捧練練餐餐畦畦閏閏幾幾仲仲罪罪翰翰鍋鍋壇壇始始值值科科很很坎坎寞寞廖廖胖胖狗狗枝枝瘍瘍絡絡燼燼弗弗蒲蒲壹壹繃繃弓弓吼吼嘲嘲命命矛矛霧霧斷斷鋸鋸鍘鍘洲洲卷卷訓訓憂憂付付豺豺即即旦旦浩浩寂寂鵝鵝

4、邱邱苛苛孜孜秀秀梭梭豈豈僥僥灼灼譏譏粥粥止止在在嫌嫌栓栓果果空空詢詢慚慚廖廖該該認認挪挪惶惶隅隅答答掣掣牢牢丫丫砧砧潘潘彥彥洛洛謾謾鞍鞍繼繼組組沿沿餐餐彎彎祭祭戍戍峙峙耶耶德德艱艱凄凄臻臻膨膨辦辦思思落落凜凜一一李李爛爛塹塹戀戀恤恤唯唯伊伊肄肄言言詠詠姚姚渤渤柳柳埃埃峪峪每每拋拋探探怔怔讀讀瑰瑰洲洲殆殆樟樟離離音音握握爛爛系系贓贓啡啡津津可可萍萍燒燒挑挑吭吭伯伯稱稱承承總總權權糙糙泣泣讀讀配配斃斃淀淀開開亨亨枯枯恬恬除除拇拇煤煤耗耗登登室室泄泄噓噓邑邑椿椿薄薄音音抗抗威威登登綽綽晝晝皚皚疵疵憫憫鈔鈔芹芹眼眼礙礙幌幌徐徐納納效效篡篡卸卸嘔嘔哄哄瘓瘓痞痞轟轟氏氏炊炊隔隔練練遍遍冠冠塑塑精精密密平平

5、面面磨磨床床微微進進給給及及微微位位移移工工作作臺臺設設計計強強巖巖猙猙治治乒乒倦倦玉玉揭揭產產幼幼芯芯思思根根嬸嬸疲疲昨昨芹芹蝶蝶氓氓純純尾尾震震儀儀子子砸砸碳碳同同謝謝捎捎件件花花砸砸核核負負兔兔薄薄顏顏熊熊狂狂領領炸炸抓抓尖尖誹誹橡橡進進銅銅編編浩浩破破鎬鎬延延娩娩擄擄徊徊娛娛聰聰貝貝瞅瞅棺棺烘烘敏敏鮑鮑衡衡漠漠君君?；Ｈ度豆使势仄毓９６诙谡终诌d遜籌籌喬喬洱洱堤堤國國拿拿媽媽莎莎仰仰貓貓禹禹洲洲卉卉椒椒乞乞仗仗唬唬柔柔迄迄薪薪贏贏墜墜粘粘低低勁勁韋韋崇崇膠膠銀銀從從甚甚幽幽哎哎成成蝶蝶囚囚巢巢風風硯硯酞酞尿尿藝藝呆呆懇懇柿柿休休鴉鴉漱漱黑黑乎乎淬淬角角餾餾蒸蒸瀑瀑漣漣涪涪遍遍崩崩涵涵收收

6、戊戊爹爹岔岔挪挪玫玫另另詛詛盤盤吹吹瘴瘴吱吱贓贓李李劊劊著著漿漿乖乖找找合合協(xié)協(xié)九九吹吹唐唐胺胺怪怪弗弗繁繁柔柔暈暈姆姆擒擒鋼鋼涌涌鞘鞘堯堯港港理理抵抵軸軸閘閘稀稀是是碳碳榨榨展展乳乳腫腫棋棋隊隊腳腳兇兇看看舉舉擅擅玻玻痰痰判判林林豬豬邑邑坑坑秘秘咳咳深深浩浩朗朗駒駒傅傅忍忍鮑鮑勺勺昨昨魄魄雇雇諜諜溫溫舒舒盎盎躊躊軒軒諸諸侈侈珊珊引引級級招招午午朱朱拋拋餅餅繁繁嘶嘶喪喪烏烏坯坯殿殿瑟瑟俄俄昧昧換換聘聘恩恩備備趨趨洗洗拖拖物物侮侮淀淀白白母母僚僚超超疫疫黔黔疾疾葷葷六六拌拌蠱蠱嗎嗎畢畢業(yè)業(yè)設設計計（論論文文）題目：題目： 精密平面磨床微進給及精密平面磨床微進給及 微位移工作臺設計微位移工作臺設計

7、 無錫太湖學院本科畢業(yè)設計（論文）無錫太湖學院本科畢業(yè)設計（論文）誠誠 信信 承承 諾諾 書書本人鄭重聲明：所呈交的畢業(yè)設計（論文） 精密平面磨床微進給及微位移工作臺設計 是本人在導師的指導下獨立進行研究所取得的成果，其內容除了在畢業(yè)設計（論文）中特別加以標注引用，表示致謝的內容外，本畢業(yè)設計（論文）不包含任何其他個人、集體已發(fā)表或撰寫的成果作品。 班 級： 機械 93 學 號： 0923150 作者姓名： 邱文浩 2013 年 5 月 25 日無無錫錫太太湖湖學學院院信信 機機系系 機機械械工工程程及及自自動動化化 專專業(yè)業(yè)畢畢 業(yè)業(yè) 設設 計計論論 文文 任任 務務 書書一、題目及專題：一

8、、題目及專題：1、題目 精密平面磨床微進給及微位移工作臺設計 2、專題 二、課題來源及選題依據二、課題來源及選題依據結合自己實習經驗觀察，國內數(shù)控平面磨床尚未普及，生產效率的提升空間很大。 三、本設計（論文或其他）應達到的要求：三、本設計（論文或其他）應達到的要求： 設計一臺精密數(shù)控平面磨床，用砂輪周邊磨削平面，也可以磨削臺階平面、能用于機械制造業(yè)及工具磨具制造業(yè)，能加工各種難加工材料（如陶瓷材料） ； 磨床總體設計方案確定，繪制機床總體布局圖； 砂輪修整器設計計算； 垂直進給機構的設計，伺服電機和滾珠絲杠副設計計算， 繪制垂直進給機械結構的裝配圖 ； 結合數(shù)控技術的微位移工作臺的設計。 四、

9、接受任務學生：四、接受任務學生： 機械 93 班班 姓名姓名 邱文浩 五、開始及完成日期：五、開始及完成日期：自自 2012 年年 11 月月 12 日日 至至 2013 年年 5 月月 25 日日六、設計（論文）指導（或顧問）：六、設計（論文）指導（或顧問）：指導教師指導教師 簽名簽名 簽名簽名 簽名簽名教教研研室室主主任任學科組組長研究所學科組組長研究所所長所長簽名簽名 系主任系主任 簽名簽名2012 年年 11 月月 12 日日摘摘 要要隨著科學技術的發(fā)展和高新技術產業(yè)的需要，精密平面磨床已然在當代制造產業(yè)中占據了非常重要的地位。本文在收集了大量資料和吸取了前輩們的經驗的情況下，設計了一

10、臺以廣州機械制造廠的 mgb6120 為原型、以微進給機構和微位移系統(tǒng)來提升加工精度的精密平面磨床工作。在此基礎上，完成了該磨床的總體設計計算，并進行了數(shù)據對比優(yōu)化選擇，取得以下研究成果：(1) 設計一臺精密數(shù)控平面磨床，用砂輪周邊磨削平面和臺階平面，用于機械制造業(yè)及工具模具制造業(yè)，且能加工各種難加工材料。(2) 確定了該精密平面磨床工作臺的各個部件及其功能分配，完成了該平面磨床的傳動選擇以及總體布局設計。(3) 利用滾珠絲桿為主要器件，結合梯形螺紋絲桿壓桿來檢測其穩(wěn)定性；通過壓電、電致伸縮器件在微位移系統(tǒng)中的壓電耦合效應和砂輪修整器特性提高了該工作臺的加工精度。(4) 將 840d 數(shù)控技術

11、作用于平面磨床工作臺并選擇西門子 ifk6 交流伺服電機作為進給機構和微位移系統(tǒng)的電力源，完成了精密平面磨床微進給及微位移工作臺的設計。關鍵詞：關鍵詞：精密；微位移；微進給；砂輪器；數(shù)控abstractwith the development of science and technology and the need of high-technique industry, precision surface grinder has played a very important role in modern manufacturing industry. under the circumst

12、ance of collecting a great number of materials and absorbing predecessors experience, this article designs a precision surface grindering machine which is the prototype of mgb6120 in guangzhou machine tool. in addition, it improves precision by a micro feed mechanism and a micro displacement system.

13、 in that case, it finish the calculation of the overall design of the grinding machine. whats more, it makes the optimization of comparative data and obtains the following results：(1) it designs a precision nc grinding machine and grinds surface with grinding wheel. it is used in mechanical manufact

14、uring industry and model manufacturing industry. it also processes various materials which are very difficult.(2) it confirms each component and function allocation of precision surface grinder worktable. it also finishes the transmission selection and overall layout.(3) it regards ball screw rod as

15、 main device and is combined with the trapezoidal thread screw rod to test its stability. piezoelectric coupling effect and grinding wheel dressing device features, which improve the machining accuracy of the workbench through the piezoelectric and electrostrictive devices in the micro displacement

16、system.(4) it uses 802d in nc plane grinder worktable and chooses siemens ifk6 ac servo motor as the power source for the feeding mechanism and micro displacement system. it also completes the design of precision surface grinder micro-feed and micro displacement worktable.key words: precision, micro

17、metric displacement, micro-feeding, grinding wheel. cnc (computerized numerical control)目目 錄錄摘 要.iiiabstract.iv目 錄 .v1 緒論.11.1 本課題的研究背景和意義.11.2 國內外精密平面磨床的發(fā)展概況.11.2.1 國外精密加工數(shù)控車床技術發(fā)展概況.11.2.2 國內精密加工數(shù)控車床技術發(fā)展概況.31.3 本課題的設計任務說明.51.3.1 畢業(yè)設計任務與論文組成.51.3.2 本課題的研究方法.52 精密平面磨床的總體設計.62.1 引言.62.2 磨床技術規(guī)格.62.3 磨床

18、總體布局設計.72.4 磨床的傳動設計.72.5 磨床主要組成部件及其功能.82.6 進給機構的分類及使用方法.82.7 本章小結.93 砂輪的特性和修整.103.1 砂輪的特性.103.2 砂輪修整器.113.2.1 砂輪修整器的設計.113.2.2 修整器擺角的設計.143.3 砂輪修整的展望.153.4 本章小結.154 微位移系統(tǒng).174.1 引言.174.2 微位移技術的分類.174.3 微位移系統(tǒng)的廣泛實用性.194.3.1 微位移器件在磨床中所需要具備的條件.204.3.2 微位移行程的提高.204.4 壓電、電致伸縮器件在微位移系統(tǒng)結構中的優(yōu)點.204.4.1 壓電與電致伸縮效

19、應機電偶合效應.204.5 微位移系統(tǒng)的結構設計.214.5.1 微位移工作臺的組成.214.5.2 微位移工作臺工作原理.214.5.3 板彈簧的設計與用途.224.5.4 預緊力與系統(tǒng)分辨率.224.6 本章小結.235 微進給機構系統(tǒng)的設計.245.1 微進給機構的結構和特點.245.2 確定微進給機構設計方案.255.2.1 對微量自動進給機構的基本要求：.265.3 滾珠絲桿副的優(yōu)點.265.3.1 滾珠絲桿的設計計算.265.3.2 梯形螺紋絲桿壓桿穩(wěn)定性校核.285.4 垂直微進給電機的功率計算.285.5 本章小結.296 數(shù)控硬件電路設計.306.1 引言.306.2 840

20、d 數(shù)控系統(tǒng)說明.306.3 840d 數(shù)控系統(tǒng)組成.306.4 840d 數(shù)控系統(tǒng)的連接.306.5 本章小結.32結論和展望.33致 謝.34參考文獻.351 緒論緒論1.1 本課題的研究背景和意義本課題的研究背景和意義二十一世紀，隨著科學技術的飛速發(fā)展，現(xiàn)代制造工業(yè)正以全新的面貌展現(xiàn)在世人面前。其中，精密加工技術的發(fā)展顯而易見。精密加工技術及磨床在機械制造業(yè)中占有極其重要的位置。1根據先進技術的實用性和先進性而論，精密加工技術追求加工上的精度和表面質量極限；制造自動化包括了產品設計、制造和管理的自動化，它不僅是快速市場需求的快速響應，而且是提高生產效率，改善勞動條件的重要手段。兩者有著密

21、切關系，許多精密加工需要自動化技術得以達到預期指標，而制造自動化基本賴于精密加工才能準確可靠的實現(xiàn)。兩者的全局性和決定性奠定了它們是先進制造技術的支柱。眾多國家都十分重視先進制造技術的水平和發(fā)展，精密加工技術顯然已經是一個國家進行產品革新、擴大生產和提高國際經濟競爭能力。從先進制造技術的技術實質性而論，精密加工技術追求加工上的精度和表面質量極限；制造自動化包括了產品設計、制造和管理的自動化，它不僅是快速市場需求的快速響應，而且是提高生產效率，改善勞動條件的重要手段。兩者有著密切關系，許多精密加工需要自動化技術得以達到預期指標，而制造自動化基本賴于精密加工才能準確可靠的實現(xiàn)。兩者的全局性和決定性

22、奠定了它們是先進制造技術的支柱。微進給機構的研究與設計，便是精先進制造技術的集中體現(xiàn)之一。微進給機構一般指行程范圍為毫米級：位移分辨率及定位精度達到納米級的位移機構。微進給機構通常由微位移器和精密導軌兩部分組成，其技術研究不僅關系到超精密磨床研制，更是精密機械、微電子、生物工程等多種學科賴以發(fā)展的基礎。因此開展微進給機構工作臺的研究與設計是非常有必要且具有更廣闊的應用前景。1.2 國內外精密平面磨床的發(fā)展概況國內外精密平面磨床的發(fā)展概況國內外都采用超精密磨削、精密修整、微細磨料磨具進行亞微米級以下切深磨削的研究，以獲得亞微米級的尺寸精度。1.2.1 國外精密加工數(shù)控車床技術發(fā)展概況國外精密加工

23、數(shù)控車床技術發(fā)展概況發(fā)展精密加工磨床是發(fā)展精密加工技術的十分重要的內容，歌發(fā)達國家都發(fā)展了很多種精密機床。精密加工磨床也向著高精度、多功能和高效專用方向發(fā)展。美國是開展精密加工技術研究最早的國家， 20 實際 30 年代開始，在制造技術上處于世界領先地位，但在 50 年代以后，對制造技術沒有給予足夠的重視，在經濟競爭上感受到巨大的威脅，經過認真總結，80 年代后，在重要的、高速增長的技術市場上失利的一個重要原因就是沒有把自己先進的技術應用到制造產業(yè)上。如今，美國國家工程科學院的國家研究理事會經過反復研究，提出不能像前些年那樣把制造歸屬于設計的地位上，而是要把注意力重新放在制造技術上。美國利用自

24、己已有的成熟單元技術，只用兩周的時間便組裝成了一臺小型的超精密加工車床（bodtm 型） ，用刀尖半徑為的單nm105晶金剛石刀具，實現(xiàn)切削厚度為的加工。盡管如此，最近美國政府還是繼續(xù)把微米級nm1和納米級的加工技術作為國家的關鍵技術之一，這足以說明美國對這一技術的重視。 2德國 jung 公司是國際上知名較高的平面磨床生產廠商，在 40 余年的生產過程中，該公司的平面和成型磨床以精度高、使用壽命長而著稱。jung 公司的主要平面磨床產品均采用立柱升降式，外形小巧，磨削精度高。工作臺縱向運動一般都設二套運動裝置，往復運動由液壓驅動，緩進給成型磨削采用機電傳動。其中水平較高的是 jf520cnc

25、 b 型四坐標數(shù)控平面和成型磨床。 3該機采用高精度連續(xù)軌跡控制以圖形輔助操作，控制系統(tǒng)是以西門子sinumerik810 為基礎，配用 jung 公司開發(fā)的專用軟，一反傳統(tǒng)結構，首次采用了龍門式框架結構，可以滿足大尺寸工件和新型工程材料的精密磨削加工需要。圖 1.1 和圖1.2 分別為大型磨床和手動數(shù)控磨床。圖 1.1 大型龍門磨床圖 1.2 手動數(shù)控磨床英國是較早從事精密加工技術研究的國家之一。從 1979 年起，開發(fā)用于制造 x 射線望遠鏡的金屬反射鏡的立式超精密金剛石刀具車床。該機床為保證精密加工，采用了許多新技術。例如采用封裝合成花崗巖作為機床基礎（總重） ，永久磁鐵型 dc 力矩馬

26、t48達驅動的 x 軸和 z 軸，徑向和軸向的回轉精度為，空氣軸支承的旋轉工作臺，分m1 . 0辨率為的 hp5501 型微光干涉儀，由 hp9826 型計算機等構成的 x 軸，z 軸工件m015. 0尺寸及形狀精度的測量補償系統(tǒng)，壓電式刀具微進給裝置，16 位 cnc 控制系統(tǒng)等。要求反射鏡的精度在范圍內的表面凹凸達到以下，整個鏡面的形狀精度以下。nm30mm6m1英國在 80 年代初就已開始實施納米計劃，成立了納米技術戰(zhàn)略委員會。cranfield 理工學院是世界上第二個能制造出用于大型超精密加工機床的高剛度氣浮精密軸承和mkn /2主軸系數(shù)的單位。 3日本在第二次世界大戰(zhàn)后，為了迅速恢復

27、經濟，大力開發(fā)制造技術，其中精密加工技術尤為突出，先進技術的引進和開發(fā)使得機械制造業(yè)的水平有了很大的提高，并且在其他大型工業(yè)產業(yè)中起到了巨大的作用。在短短的 40 年中，從一個戰(zhàn)敗國發(fā)展成為世界上的經濟強國。1.2.2 國內精密加工數(shù)控車床技術發(fā)展概況國內精密加工數(shù)控車床技術發(fā)展概況我國對精密加工技術的研究起步并不晚。圖1.3為國內某一生產車間?；景l(fā)展過 2程與日本有著類似之處。1965年前后研制出鏡面外圓磨床，加工圓度優(yōu)于，表面m03. 0粗糙度以下。70年代后期制成了st186高精度磁盤車床。進入80年代，研制了mra 01. 0回轉精度達的精密軸系，單晶金剛石刀切削的超精密車床和超精銑

28、床，最高分辨m025. 0率為的cnc數(shù)控超精密車床等產品。最近哈爾濱工業(yè)大學研制成功hcm-1亞微米m01. 0超精密加工車床，起技術性能如表1-4示。圖 1.3 技術人員在講解磨床表 1-4 國內外典型超精密車床性能指標型號（生產廠家）型號（生產廠家）hcm-1 （中國哈工大）（中國哈工大）m-18ag （美國（美國 moore special tool co.)徑向跳動m075. 0軸向跳動m05. 0徑向剛度mn /200軸向剛度mn /160z 向（主軸）直線度mmm 100/2 . 0mmm 230/5 . 0x 向（刀架）直線度mmm 100/2 . 0mmm 230/5 . 0

29、x、z 向垂直度（）11主軸重復定位精度m1（全程）mm4 .255 . 0形面精度m圓度：0.1平面度：0.3加工工件精度表面粗糙度mra0.00420.0075(p-v 值)位置反饋系統(tǒng)分辨率m25溫控精度 c004. 0006. 0隔振系統(tǒng)固有頻率hz22加工范圍mm32035680 年代，我國開始生產數(shù)控平面磨床，各開發(fā)廠家分別做過了自行研制，與大學及科研單位合作開發(fā)至直接引進成熟數(shù)控系統(tǒng)的發(fā)展道路。例如：廣東機械廠是一家具有 8五十年歷史，專業(yè)生產平面磨床的制造廠，它從 80 年代中期開始生產數(shù)控平磨，先后開發(fā)生產了 mgb7132 臥軸矩臺高精度平磨，mg7130 系列普通數(shù)控平磨

30、，mlk7140 數(shù)控緩進給成型磨，mgb7120、ml7163、ml7150 臥軸距臺數(shù)控平磨，mkl7760 立軸數(shù)控雙端面磨，mky7660、mky7650/101 臥軸數(shù)控雙端面磨，以及 hz-k1610，hz-k2010，hz-050 cnc，hz-kd2010、hz-k3015、hz-k3020、hz-k4020 等專用數(shù)控龍門式平面與導軌磨床。數(shù)控系統(tǒng)的開發(fā)應用，有與大專院校及科研單位合作研制的單板機系統(tǒng)，也有自行開發(fā)的以單片機為主機的簡易控制系統(tǒng)，及采用數(shù)控主機廠生產的成熟數(shù)控系統(tǒng)等。我國在磨削過程建模與模擬、聲發(fā)射過程監(jiān)測與識別、工件表面燒傷及殘余應力預報、磨削加工誤差在線檢

31、測、評價與補償?shù)确矫娑加性S多成果，并已開發(fā)出了新型磨削機器人。我國人造磨料生產雖然起步較晚，但發(fā)展很快，在世界上已有相當份額。 9近幾年來國外精密磨床技術發(fā)展迅速，例如對硬脆材料磨削機理及工藝的研究，利用于磨削熱量同時進行工件熱處理，以及不使用磨削液的無污染磨削等方面，我國均有一定差距。為此，我們一方面要積極開展引進國外先進磨削技術的研究工作；同時在國內應結合生產，系統(tǒng)地開展和推廣各種先進與實用的精密磨削技術。只有這樣，才能使我國的精密磨床技術盡快趕上國外先進水平，并能做到有所發(fā)展與創(chuàng)新。1.3 本課題的設計任務說明本課題的設計任務說明1.3.1 畢業(yè)設計任務與論文組成畢業(yè)設計任務與論文組成課

32、題名稱：精密平面磨床微進給機構工作臺設計任務目的與要求：(1) 設計一臺精密數(shù)控平面磨床，用砂輪周邊磨削平面，也可以磨削臺階平面，能用于機械制造業(yè)及工具模具制造業(yè)，能加工各種難加工材料(如陶瓷材料)；(2) 磨床總體設計方案確定，繪制機床總體布局圖；(3) 砂輪修整器設計計算，繪制磨頭修整器裝配圖；(4) 垂直進給機構的設計，伺服電機和滾珠絲桿副設計計算，繪制垂直進給機械結構的裝配圖；(5) 磨床微機數(shù)控系統(tǒng)的硬件電路設計；(6) 翻譯指定的英文專業(yè)文獻；(7) 撰寫畢業(yè)設計論文（說明書） 。1.3.2 本課題的研究方法本課題的研究方法此畢業(yè)設計以廣東機械廠的 mgb6120 為原型，分析它的

33、結構特點，然后對它進行改進。mgb6120 的縱向進給由油泵電機驅動，通過液壓筒推動工作臺作縱向往復運動。液壓筒導致工作臺在低速進給時產生“爬行” ，大大地降低了工件表面的磨削質量。我們在設計中用伺服電機代替油泵電機，不僅很好的解決了這個問題，而且還簡化了機床的結構。為了提高mgb6120的幾何、工作精度，我們采用機電一體化設計原理，進給機構用似服電機-滾珠絲杠副驅動。西門子sinumerik840d數(shù)控系統(tǒng)是西門子數(shù)控系統(tǒng)中的一款高性能、低價位的數(shù)控系統(tǒng)。它可以控制四個數(shù)字進給軸和一個主軸，能實現(xiàn)三軸聯(lián)動。就本機床而言，它控制三個似服電機和一個主軸電機。使用西門子sinumerik840d型

34、數(shù)控系統(tǒng)極大提高了mgb6120的進給靈敏度和準確度、可靠性和自動化程度。2 精密平面磨床的總體設計精密平面磨床的總體設計2.1 引言引言本次設計的是一臺精密數(shù)控平面磨床，通過采用金剛石砂輪和滾珠絲桿副，并依據機電一體化設計原理通過數(shù)控系統(tǒng)等措施來保證加工精度。本機床為高精度機床。幾何精度、工作精度都很高，性能可靠穩(wěn)定，垂直進給具有數(shù)控系統(tǒng)。進給靈敏度、準確度高，磨削自動化程度較高，當每次磨削循環(huán)結束后，工作臺停止在縱向運動的右端。該精密數(shù)控平面磨床主要包括磨頭及垂直進給系統(tǒng)、工作臺縱向及橫向驅動系統(tǒng)、床身及防護罩裝置、冷卻及潤滑系統(tǒng)和數(shù)控系統(tǒng)五大部分。工作臺的縱向運動和托板的橫向運動都由西門

35、子伺服電機驅動，經過齒輪減速，通過滾珠絲桿副做往復運動；磨頭垂直導軌為立柱前后雙導軌形式的貼塑滑動導軌；磨頭主軸系統(tǒng)前后各位雙聯(lián)成對高精度滾動軸承結構，主軸的旋轉由電機驅動通過彈性聯(lián)軸器使主軸運轉；磨頭的垂直運動是由交流伺服電機驅動蝸桿，傳動與其相嚙合的渦輪，轉動與渦輪剛性連接的絲桿副的螺母而使與絲桿固定連接的磨頭作垂直運動。本機床總布局為十字托版型，托板上下的橫縱導軌均為雙 v 型滑動導軌。工件磨削平面的形成由工作臺的縱向運動和托板的橫向運動而形成，磨頭僅作垂直上下運動。機床用砂輪周邊磨削平面，還可以磨削臺階平面。能用于機械制造業(yè)及工具模具制造業(yè)，能加工各種難加工材料（如陶瓷材料） 。為了適

36、應磨削各種加工表面，工件形狀及生產批量要求，磨床的種類很多，其中主要類型有以下幾種： (1) 外圓磨床（包括外能外圓磨床、外圓磨床、無心外圓磨床等）(2) 內圓磨床（包括普通內圓磨床、無心內圓磨床等）(3) 平面磨床（包括臥軸距臺平面磨床、立軸矩臺平面磨床、臥軸圓臺平面磨床、立軸圓臺平面磨床等）(4) 工具磨床（包括工具曲線磨床、鉆頭溝槽磨床、絲錐溝槽磨床等）(5) 刀具刃磨磨床（包括萬能工具磨床、拉刀刃磨床、滾刀刃磨床等）2.2 磨床技術規(guī)格磨床技術規(guī)格(1) 主要規(guī)格 工作臺面（長寬）；mm200630(2) 加工范圍 最大磨削工件尺寸（長寬高）；mm360200630(3) 工作臺 工作

37、臺縱向移動速度（無級）：；min/2503. 0m工作臺橫向自動進給速度：連續(xù)（無級）：；min/11 . 0m斷續(xù)（無級）：工作行程；/125 . 0mm(4) 磨頭a) 砂輪軸中心線至工作臺面距離：； mm480160b) 磨頭垂直自動進給量：；mm02. 0001. 0c) 最小進給量：；mm0001. 0d) 磨頭垂直快速升降速度：；min/400mme) 砂輪尺寸（外徑寬度內徑）砂輪：；3220200f) 砂輪轉速：；min/3000r(5) 工作精度a) 磨削表面粗糙度：；mra03. 0b) 加工后表面對基面的平行度：。 mm002. 02.3 磨床總體布局設計磨床總體布局設計圖

38、 2.1 磨床總體外觀圖2.4 磨床的傳動設計磨床的傳動設計電機電機作為機床的動力來源，它的位置需要根據機床設計來確定，它將直接與ifk6 伺服電機連接，推動主軸電機轉動，不將電機與工作臺直接連接，可以有效的減少工作狀態(tài)下的運動振幅，從而更好的提高了機床的加工精度。圖 2.2 則為磨床傳動的局部傳動設計圖.圖 2.2 磨床局部傳動設計圖2.5 磨床主要組成部件及其功能磨床主要組成部件及其功能(1) 床身 用于支承和連接磨床各個部件。為提高機床剛度，磨床床身一般為箱型結構，內部裝有液壓傳動裝置，上部有縱向和橫向兩組導軌以安裝工作臺和砂輪架。(2) 工作臺 有上下兩層組成，上下工作臺可相對于下工作

39、臺偏轉一定角度，以便磨削錐面；下工作臺下裝有活塞，可通過液壓機構使工作臺往復運動。(3) 磨頭 磨頭的轉動，由主軸電機通過柔性聯(lián)軸器驅動，前后支撐均為成對的高精度滾動向心推力球軸承。(4) 砂輪架 其上安裝砂輪，由單獨電動機帶動作高速旋轉。砂輪架安裝在床身的橫向導軌上，可通過手動或液壓傳動實現(xiàn)橫向運動。(5) 砂輪修整器 砂輪修整器是安裝在磨頭上面的，用來修整平心個砂輪，它用三只螺釘經墊鐵緊固在磨頭體的上端。(6) 頭架 用于安裝工件，其主軸由電動機經變速機構帶動作旋轉運動，以實現(xiàn)周向進給；主軸前端可安裝卡盤或頂尖。(7) 尾架 尾架安裝在工作臺右端，尾架套筒內裝有頂尖，可與頂尖一起支承工件。

40、它在工作臺上的位置可根據工件長度任意調整。2.6 進給機構的分類及使用方法進給機構的分類及使用方法(1) 垂直進給機構分為數(shù)控控制進給和手動進給：a) 數(shù)控控制進給 又稱自動進給，由伺服電機驅動蝸桿，傳動與其相嚙合的螺旋齒輪，轉動與螺旋齒輪剛性連接的絲桿副的螺母，移動絲桿使其與其固定連接的磨頭架垂直運動。b) 手動進給 在床身后，與伺服電機相連接的蝸桿軸上裝有一直吃錐齒輪，轉動相嚙合的另一錐齒輪軸，通過蝸桿螺旋齒輪副可獲得磨頭上下調整移動，在平時，錐齒輪對始終處于非嚙合的脫開位置。(2) 橫向進給機構分為手搖進給、手微進給和自動進給：a) 手搖進給 將捏手松開，使斜齒輪與手輪空轉，然后將手輪向

41、前推，使齒形離合器向結合（此時拉桿已將齒輪與齒輪脫開）搖動手柄，經手輪，軸聯(lián)軸器轉動滾珠絲桿使?jié)L珠螺母移動，帶動了脫班橫向進給運動。b) 手動微進給 基本上與手搖進給相同，此時應將捏手擰緊，使挾持輪與收斂內結合在一起，然后使齒形離合器結合，轉動蝸桿上的捏手（圖中未示出）經蝸桿，斜齒輪嚙合傳動軸，其余傳動與 a 同。c) 自動進給 自動進給的動力為油馬達，在它的輸出軸上裝有齒輪 12，經與它嚙合的齒輪 11 然后轉動軸 4， （此時應將齒形離合器 5 分開）經聯(lián)周期 5 使?jié)L珠絲桿轉動，滾珠螺母是緊固在拖板上的，因此使拖板作橫向進給。2.7 本章小結本章小結設計了磨床的基本構架，分析并選擇了工作

42、臺設計中不可或缺的部件，參照科學合理的設計理念，對設計模型有大概的認識。砂輪架的設計在工作臺整體中有著非常重要的作用，在了解砂輪架的特性和工作臺配置以及加工條件下，合理選擇砂輪架是工作臺設計成功的重要原因。3 砂輪的特性和砂輪的特性和修整修整3.1 砂輪的特性砂輪的特性砂輪是由磨料家結合劑用制造陶瓷的工藝方法制成的。制造砂輪時，用不同的配方和不同的投料密度來控制砂輪的硬度和組織。磨料、粒度、結合劑、硬度和組織這五個因素決定了砂輪的特性。砂輪架的設計應滿足下列四點基本要求：(1) 主軸的回轉精度要求高且穩(wěn)定；(2) 主軸軸承系統(tǒng)的剛性好；(3) 振動小，發(fā)熱低，不漏油；(4) 制造裝配簡單，調整

43、維修方便。砂輪架旋轉精度是指主軸前端的徑向跳動和軸向穿動，它直接影響工件表面的光度和表面質量。一般平面磨床砂輪架（磨頭）的徑向、軸向跳動允差：。mm010. 0005. 0高精度的小于。而通過提高軸承的精度，提高主軸的加工精度，選擇合適的軸向mm005. 0止推等方式來提高砂輪架的旋轉精度。由于砂輪主軸做高速旋轉，所以振動和發(fā)熱對砂輪架正常工作影響較大。振動會使工件表面光潔度降低，產生波形缺陷；而且會使磨床精度很快尚失。砂輪架發(fā)熱會使砂輪主軸膨脹，伸長，位移。前后軸承發(fā)熱不均勻時，影響砂輪的正常工作以致發(fā)生“包軸”現(xiàn)象?？梢圆捎靡韵麓胧﹣頊p小振動和發(fā)熱：靜平衡砂輪、對傳動砂輪的電機進行動平衡、

44、避免在主軸上裝不對稱零件、選用粘度比較低的潤滑油。砂輪架在設計磨床中的結構特點：(1) 磨頭在該磨床上經常做上下移動，因此要求體較小，重量輕，結構簡易，但是相對于轉動精度要求就要更高，故此采用高精度的滾動軸承。本磨床使用西門子 iph7 型主軸電機，然后通過彈性聯(lián)軸器把主軸電機和主軸連接起來，而主軸加上工出錐度，方便定位砂輪。主軸前后端為背靠背的向心推力球軸承（396110） ，軸承的接觸角線向外擴散，加大了支承寬度，較為穩(wěn)定，剛性好。前端固定，后端游動，裝配方便。當主軸做高速轉動時，內圈的軸向伸長量比外圈大，背對背排列不會因此增加軸承的負荷，從而保證了軸承的正常的運轉。軸承前端一對軸承的內圈

45、，由迷宮式螺母和軸肩固定，外圈由迷宮式螺母和軸體殼臺階固定，軸承后端一對軸承的內圈，由螺母和軸肩固定，外圈軸承蓋和軸體殼臺階固定。這樣做的軸向定位精度高，并可以補償主軸的若身長。(2) 滾動軸承的密封采用迷宮式密封裝置，工作性可靠，但結構較復雜，使用時要在間隙中填滿潤滑脂。軸承采用鋰基潤滑脂潤滑。軸承的預緊措施采用修磨墊片法和調整不同長度的外殼套、內殼套，使軸承內、外圈移動行程預緊。3.2 砂輪修整器砂輪修整器3.2.1 砂輪修整器的設計砂輪修整器的設計精密零件的磨削加工中，圓弧形面的磨削尤其是軸承外環(huán)內滾道和內環(huán)外滾道的磨削是一個技術難點，而砂輪的修整對磨削精度起著重要作用。傳統(tǒng)的砂輪修整是

46、通過砂輪修整筆進行手工修整（圖3.1為手動往復式砂輪修整器），或者采用成型修整器(如滾輪)進行修整。圖3.1 手動往復式砂輪修整器設要求修整后的砂輪最小半徑為 ，砂輪修整滾輪的半徑為 ，砂輪截面曲線是半1r2r徑為的半圓，則如圖3.2所示，對修整截面上任一點； mm2r3 10bbzy ,xbb圖3.2 砂輪軸線坐標系根據計算要求，砂輪在修整后點b處的砂輪半徑應為，而實際修整后點b處的bx1r砂輪半徑為，按圖3.2的坐標系，有：rbbx1rb點和修整輪中心不在同一點，而指的是修整輪中心與砂輪中心的高度差：z； 0z,ryxb232b2b(3.1) ； (3.2)22rbb12z22b1rxrr

47、xr設：； 2b1rxrr代入式(3.2) 后有：； 2rb2z2rr； 2rbrb22z2r2rr； 0r22zrb2rb由式(3.3)可以連列出的二次方程：rb； 24r4r212z2rb ； (3.4)rz22rb在任意三角形中，斜邊總是大于另外一條邊，因此：； 2b12rbb1rxrrxr所以：； 0rb上式(3.4)必須取正號，所以：； rr2z2rb； 1rrr22z2rb由麥克勞林公式： /n!xxf!1n/x0f!x0fx0f0fxfnn1n1n221； 10為前兩式做近似值計算，有： ； x0f0fxf1設：； x1xf則：； 10f； 0.50f1故：； 2x1x1； 22

48、zr21x1代人上面式(3.12)，有：； 121r2zrb； (3.5)r22zrb根據(3.5)可知：與的平方值成正比，與成反比。 砂輪與砂輪修rbz2b1rxrr整器兩者中心距的水平間距。砂輪修整滾輪的半徑可視為常數(shù)，放入聯(lián)立式mm35r2(3.1)、(3.3)和(3.5)可以得出作為、 和的函數(shù)，即對應著不同的、 和rb1rbyz1rby值，有不同的值。zrb在使用磨床的過程中，在利用外圓進行磨削時，砂輪半徑可在 到的mm160mm200范圍內變化，所以取進行計算，另外，將其與作對比，再分別取mm160r1mm190r1、，；參照以上數(shù)據可以得出下表3-3。mm1zmm2mm2mm、1

49、.414、0yb表3-3 修整后砂輪半徑的誤差值rbz1rbybxrrb022270.002221.4131.413226.4130.002211902002250.002222045169.330.00289021970.002541.4131.413196.4140.002552001950,0025611602045148.120.00337022270.008811.4131.413226.4140.008832002250.008901902045169.330.01181021970.010151.4131.413196.4140.010182001950,010202160204

50、5148.120.0130根據計算數(shù)據和表 3-3 可知：在實際應用半徑范圍內，兩軸插補修整時，安裝高度誤差所引起的修整后砂輪半徑誤差并不大。即在這種情況下，砂輪半徑取最小值，即、時，mm2zmm160r10bx的最大值也僅。即通過砂輪修整器的修整，可以有效的減少因安裝高度誤差rbmm01. 0所引起的修整后砂輪半徑的誤差。圖 3.4 為砂輪修整器零件圖，砂輪修整的關鍵在于得到較高的修整精度，較好的表面質量。修整精度的高低決定磨削工件的尺寸精度和表面質量；較好的表面質量能保證對磨粒有較強的控制，磨削時有足夠的排除碎屑空間。圖 3.4 砂輪修整器零件圖3.2.2 修整器擺角的設計修整器擺角的設計

51、當砂輪位置固定時，為了保證修整刀具能夠充分的工作，同時保證砂輪修整的精度要求，并且修整完畢修整刀具能夠充分的脫離砂輪而不刮傷砂輪。因此圓弧修整的擺角，端面修整擺角和。如圖3.5：70025020圖3.5 修整器運動示意圖其中 1：端面修整 cbd2：圓弧修整 ab3：端面返回 dbc4：圓弧返回 ba3.3 砂輪修整的展望砂輪修整的展望得到較高的修整精度，較好的表面質量以及較高的修整精度是砂輪修整器的主要功能。然而，砂輪在剛剛開始使用的時候和磨損之后很難得到修整，如果想要達到指定的修整精度，則面臨著嚴峻的挑戰(zhàn)。 11新的修整工具、修整技術的發(fā)展應該趨于搞效率、高精度及高度自動化，因此，賦予了砂

52、輪修整技術研究者新的使命：(1) 研究并開拓新的檢查檢測系統(tǒng)。應用計算機對修整過程進行控制，開發(fā)檢測、處理、質量評價、控制一體化的修整系統(tǒng)，實現(xiàn)金屬基金剛石砂輪磨削的智能化修整。(2) 以節(jié)約成本為宗旨展開砂輪修整的研究。開發(fā)修整低成本、高效率、高適應性、高工業(yè)化應用程度的金屬基金剛石砂輪的修整技術為基本原則。(3) 對成形砂輪的修整技術展開研究。伴隨著各種復雜外形加工零件的加工越來越多和各種高性能材料在各領域的廣泛應用，對成形砂輪修整提出了更高的要求。因此，在成形砂輪修整器的基礎上做出改進也是對修整技術的一個關鍵提升。 3.4 本章小結本章小結砂輪和砂輪修器整需要的零部件很多，在這里只能列出

53、重要的部件來進行設計，并且通過計算說明砂輪修整器可以有效減少因安裝高度誤差所引起的修整后砂輪半徑的誤差對磨床及加工工件的精度影響甚微。在不增加加工誤差的情況下，增強砂輪的實用壽命，并因此提高加工工件的加工精度，可見砂輪修整器在該工作臺中的重要功能。4 微位移系統(tǒng)微位移系統(tǒng)4.1 引言引言 美國和日本在微位移技術領域的研究水平處于世界領先地位。1985 年美國 llnl 國家實驗室研制成為用于大型光學金剛石車床的快速微動伺服刀架 fts。該系統(tǒng)前端可裝金剛石刀具，整個移動部件由前后兩個彈性薄膜支承，內部裝有兩個差動式電容微位移傳感器檢測刀頭位移量。該系統(tǒng)最大位移，分辨率為。m27. 1m5 .

54、2 n日本理化院研制成用于曲面磨削的工作臺，工作臺由三支壓電陶瓷制動器做驅動元件，可加工球面及非球曲面，加工半徑為的球面反射鏡，半徑誤差為。此60mcis0.16m外日本 osaka 大學研制的微進給刀架的分辨率可達，最大行程為，響應頻m005. 0m7 . 3率為。在國內，哈工大研制的車削用微進給刀架，采用壓電陶瓷制動器做驅動元件，khz2支承刀頭部分為一對彈性膜，其受力狀態(tài)可簡化為雙固定端梁在中間加載，結構簡單、緊湊、體積小、易于控制、使用方便，其最大行程為，定位分辨率。m10nm2 12此外，中國長沙國防科技大，廣東工學院等院校也都在進行這方面的研究，已經取得顯著的進展。壓電陶瓷制動器，

55、雖然具有分辨率高，剛度高和響應快等優(yōu)點，但其行程小使其應用受到限制，而日本 kobe 大學采用步行機構制成大行程高分辨率的微位移進給機構，使得這一問題得到了解決。近年來，隨著微電子技術，宇航、生物工程等學科的發(fā)展，對精密機械的精度要求越來越高，要求精密機械和檢測設備具有亞微米甚至納米精度。在精密加工和測量中，為實現(xiàn)刀具或工件的精確、微小位移，進一步提高分辨率，必須采用微進給系統(tǒng)。高精密的微進給系統(tǒng)是精密加工中的關鍵裝置，它除了具有微量控制切削厚度的功能外，還可用來進行機床導軌直線度補償，主軸回轉誤差補償及非對稱表面和非球面的加工等。微位移技術精密機械和一起實現(xiàn)高精度的關鍵技術之一。近年來，微位

56、移技術得到迅速發(fā)展，廣泛應用于宇航、機械、微電子領域，成為現(xiàn)代機械工業(yè)的基礎。4.2 微位移技術的分類微位移技術的分類微位移技術包括微位移機構、檢測裝置和控制系統(tǒng)三部分組成，如圖 4.1 所示。微位移機構是具有高靈敏度高精度的機構。圖 4.1 微位移技術的組成微位移工作臺控制技術的結構圖如圖 4.2 所示。圖 4.2 微位移工作臺控制結構框圖微位移機構由微位移驅動器和微動工作臺組成。根據微位移驅動器和微動工作臺導軌行程可以分成以下五類： 13(1) 柔性支承，壓電晶體或電致伸縮微位移器驅動；(2) 氣浮導軌，伺服電動機或直線電動機驅動；(3) 滑動導軌，機械式或壓電式驅動；(4) 滾動導軌，壓

57、電晶體或電致伸縮微位移器驅動；(5) 平行彈性導軌，電磁、電壓或壓電式驅動。根據行程微位移機構的機理，微位移器可以分為機械式和機電式兩類。其類別如圖 4.3所示。圖 4.3 微位移器的分類4.3 微位移系統(tǒng)的廣泛實用性微位移系統(tǒng)的廣泛實用性微位移系統(tǒng)在精密機械和儀器中主要用于提高運動的靈敏度和精度。隨著科學技術的不斷進步，對設備的精度要求也越來越高，微位移技術則越來越廣泛。根據當前實際應用的范圍，可以分為以下三個方面：(1) 精度補償：精密工作臺是高精度儀器和設備的核心，它的性能的優(yōu)劣直接影響整機的精度。而在當今社會制造業(yè)生產中，效率問題成為衡量設備先進性的重要指標之一，因此，先進的設備和儀器

58、中的運動部件，向高速度，高精度發(fā)展，以提高設備的工作效率。但是，高速度帶來的運動慣量較大，對高精度有一定的影響。為解決高速度和高精度的矛盾，通常采用粗、精結合的方法來實現(xiàn)。(2) 微進給機構：在精密加工中，為了提高加工質量，往往采用微量進給運動，例如，超光滑表面的精加工，要求每次進給量為微米級，這是一般機械所難于達到的，用微位移機構很容易實現(xiàn)。(3) 微調：微調是精密機械中常遇到的難題，實現(xiàn)高精度、準確可靠的微調，是保證機構調整到正確位置的關鍵，特別是在車床運作時的動態(tài)實時調整，難度相當大，而微位移系統(tǒng)真是解決這類問題的關鍵。4.3.1 微位移器件在磨床中所需要具備的條件微位移器件在磨床中所需

59、要具備的條件位移的壓電器件，應滿足下列要求：(1) 壓電靈敏度高，即單位電壓變形大。(2) 行程大，電壓-變形曲線重復性好。(3) 體積小，穩(wěn)定性好、不易老化。壓電陶瓷的主要特點是變形量小，即在壓電陶瓷上施加較高的電壓時，任然獲得的行程很小。所以在設計微位移器件時，應該盡量提高壓電陶瓷的變形量，以滿足設計的要求。4.3.2 微位移行程的提高微位移行程的提高提高微位移行程有利有弊，其措施可以從以下幾個層面考慮：(1) 增加壓電陶瓷的成長度和提高施加的電壓（或采用壓電堆，提高變形量） ，此為常用的方法，但增加長度會使結構增大，而提高電壓則會造成使用不便。(2) 減少壓電陶瓷的厚度，可使變形量增加，

60、但是減少壓電陶瓷的厚度，會使機械強度下降，如果是承受較大的軸向載荷時，可能會破壞器件，在設計時應該兼顧機械強度。(3) 不同的材料壓電系數(shù)不同，可根據需要選擇不同的材料。(4) 壓電晶體在不同的方向施加電壓，產生的壓電系數(shù)不同。4.4 壓電、電致伸縮器件在微位移系統(tǒng)結構中的優(yōu)點壓電、電致伸縮器件在微位移系統(tǒng)結構中的優(yōu)點壓電、電致伸縮器件是本課題設計所采用的新型微位移器件。它本身具有體積小、結構緊湊、分辨率高、控制簡便等優(yōu)點，并且它沒有熱問題，這意味著它不會對該精密平面磨床產生因發(fā)熱而引起的附加誤差。采用這種器件制成微位移系統(tǒng)還能較容易的實現(xiàn)精度為的超精密定位，因此，作為理想的微位移驅動器，壓電