各種硅片不良的解決方案65579

1、各種硅片不良的解決方案（要求至精）-o斷線：如何讓預(yù)防斷線；斷線后如何處理（m&b。ntc hct）把損失降低到 最少二。硅片崩邊。線式崩邊點(diǎn)式崩邊倒角崩邊三。厚薄不均：一個(gè)角偏薄，厚薄不均四。線痕：密集線痕亮線線痕五?；ㄎ燮好撃z造成的花污片清洗造成的花污片接卜來我將對(duì)以上五種關(guān)鍵不良做從5m1e6個(gè)方面做詳細(xì)的分析預(yù)防善后等。具體是什么參數(shù)比如0.10鋼線要求瞬間破斷力多少？ 1200# 1500# 2000#碳化硅的 顆粒圓形度粒徑大小要求黏度張力要求多少等我在這里就不提供了大家去按 照這個(gè)方向去找對(duì)策做計(jì)劃（p）,做好可量化的點(diǎn)檢表（d）,主管親口抓班長去督 導(dǎo)（c）,總結(jié)檢查

2、的結(jié)果進(jìn)行處理，成功的經(jīng)驗(yàn)加以肯定并適當(dāng)推廣、標(biāo)準(zhǔn)化；失 敗的教訓(xùn)加以總結(jié)，以免重現(xiàn)，未解決的問題放到下一個(gè)pdca循壞（a）。斷線善后處理首先做好斷線記錄（斷線時(shí)間、機(jī)臺(tái)號(hào)、部位、切深）留好線頭1 查明斷線原因及斷線情況，2急吋上報(bào)，未經(jīng)同意，不得私自處理。-3 處理流程：1 在出線端斷線，寬度不超過10毫米的直接拉線切割2切深w60mm屮部或進(jìn)線端斷線，以30mm/min直接升起，迅速布線，8000流量 砂漿沖洗，沖片時(shí)在線網(wǎng)上鋪上無塵紙，沖開粘在一起的片子后，迅速把晶棒降到 距線網(wǎng)2mm處，然后以10mm/mi n的進(jìn)給認(rèn)真仔細(xì)的“認(rèn)刀j 3.中部或進(jìn)線端斷線，切深在 50mm80mm之

3、間的，以10mm/min的速度升料到距進(jìn)刀處30-40毫米,，停止。線速調(diào)到2m/s,以2%走線1cm,以調(diào)平線網(wǎng)，停止。打開砂漿8000流量均勻沖片 to把品棒兩側(cè)的線網(wǎng)小心的剪掉（剪時(shí)要用手捏著），留出3-4厘米的線頭,另一端 不剪（進(jìn)線端冇線網(wǎng)的一定要保留該部分線網(wǎng),以便重新布線剪兩側(cè)線網(wǎng)時(shí)一定要 用手或其他夾緊物，夾緊預(yù)留的線網(wǎng)頭）布線網(wǎng)，重新切割。4進(jìn)線端或中部斷線切深 超過80mm的視情況能認(rèn)刀的就認(rèn)刀否則就反切或直接拉線正向切割。4進(jìn)線端斷線，第一次斷線，切深在80mm.1換掉放線輪，用一個(gè)空的收線輪來代替。 以低于原2n （左19和右21）的張力，切割線方向改為:右，其他參數(shù)不

4、變，手動(dòng)2m/s 的線速走1m,不要開砂漿。2把晶棒提升至3040mm處，重新對(duì)接焊線，焊線時(shí)要 焊接均勻，焊接點(diǎn)的點(diǎn)徑要和線徑相同。經(jīng)15n的線速走線300 00米，改張力 為自動(dòng)切割的張力，每秒1米，不開沙漿，走到出線端5米時(shí)，把張力改為15n,待 線頭在收線輪上繞23圈，改冋原來的張力。把晶棒壓到斷線位置誤差在 0.05mm,打開砂漿。以1m/s速度的20%,走上1m,經(jīng)班長確認(rèn)無誤后進(jìn)行切割。5經(jīng)上環(huán)節(jié)中必須處理好線網(wǎng)（其中包括，碎片、膠條、沙漿顆粒）在升晶棒前， 把膠條去掉，上升速度為每分鐘10mm,上升過程中如夾線，不可用手去摸，只能用 手動(dòng)輕微探扌恩一下，把線網(wǎng)走平。6認(rèn)線前5m

5、/s的速度走線100m,在不松開張力的情況下，停止走線，然后以 10mm/min u刀，要一次性認(rèn)進(jìn)。7.反向切割設(shè)置修改：進(jìn)給降低1個(gè)百分點(diǎn)，線速降低1m/s,流量增加300kg/h。8線頭編號(hào)方法:年+川+日+方冶號(hào)+第兒次斷線數(shù).例如:080501-20-019 請(qǐng)工序稍查人員按照此標(biāo)準(zhǔn)做巡檢崩邊問題問題點(diǎn)：粘膠面崩邊異?，F(xiàn)象：脫膠后，在方棒兩頭的硅片粘膠面呈現(xiàn)邊沿發(fā)亮，硅層呈線式脫落崩邊，及距粘膠面0.1mm處線式崩邊。脫膠和清洗吋觀察不到崩邊，檢驗(yàn)吋能發(fā)現(xiàn)崩邊。原因分析：一開方進(jìn)給不穩(wěn)，外圓刀鋸轉(zhuǎn)速不穩(wěn)，刀鋸金剛砂層質(zhì)量不好，造成刀痕過重，方 棒表面刀紋不平，凹凸起伏，隱型損傷（指的

6、是鋸開方）線開方損傷可忽略二方棒溫度低，膠在凝固時(shí)的高溫反應(yīng)熱，破壞了粘膠面的硅層結(jié)構(gòu)三硅片預(yù)沖洗水溫低于xx度，脫膠水溫低于xx度，膠層未完全軟化時(shí)員工就用 手把硅片用力作倒。四由于采用的是小槽距大線徑，不可避免會(huì)在出刀時(shí)造成硅片向阻力小的一方的傾 斜，方棒兩頭的硅片受到的阻力最小，造成兩個(gè)棒子四個(gè)頭部近32毫米長度內(nèi)的 硅片出現(xiàn)崩邊五粘接劑太碩（不便說出碩度系數(shù)），在鋼線出硅棒粘膠面的瞬間，破壞了硅層。預(yù)防措施：一.脫膠，經(jīng)過控制脫膠的規(guī)范操作，即使前道工序已經(jīng)對(duì)方棒表面產(chǎn)生不良影響, 經(jīng)過優(yōu)化粘膠方式和手法，也要把損失降低到最低點(diǎn)。在目前的設(shè)備配置前提下， 嚴(yán)格要求脫膠工"45

7、-50度溫水,浸泡25分鐘匸，聯(lián)系設(shè)備部，做硅片隔條，降低 硅片倒伏時(shí)的傾度。二嚴(yán)格控制方棒超蘆池的水溫在40度，超聲到粘膠的時(shí)間間隔控制在2小時(shí)內(nèi)，粘 膠房的溫度控制在25度,濕度不超過50%o三對(duì)開方機(jī)進(jìn)行一次進(jìn)給和轉(zhuǎn)速校正，開方后的方棒經(jīng)打磨后再滾圓。并請(qǐng)?jiān)O(shè)備部 做出設(shè)備三級(jí)維護(hù)計(jì)劃書。做定期維護(hù)保養(yǎng)-四.“分線網(wǎng)'，硅片切割:方棒兩頭各留出2mm不切割，減少切割過程屮硅片向兩側(cè)“分 叉,.另外一種辦法：做一個(gè)可調(diào)試擋板系統(tǒng)，擋住方棒兩頭，防止硅片“分叉"崩邊。 五，采用線開方和磨面機(jī)，有條件的最好腐蝕一下。更換粘接力強(qiáng)但硬度適中的粘 接劑善后處理：磨砂玻璃和1700#碳化硅按一定的水分比例選擇某種手勢，力度，角 度磨掉在邊長要求范圍內(nèi)的崩邊（標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書）硅片厚薄不均預(yù)防措施一.tv偏大或偏?。焊鶕?jù)客戶要求片厚，計(jì)算出最佳成本/質(zhì)量的槽距，鋼線，碳化 硅，砂漿密度。-.ttv15mm的硅片占比超過0.62%，屬丁異常。對(duì)丁一次切割的單位，應(yīng)增加 導(dǎo)向條（部位不提供），兩次切割的單位最好把導(dǎo)輪（主轆）槽距改一下或第二次切 割時(shí)砂漿流量增大500公斤/小時(shí)（5l/min）或多更換20公斤砂漿。三硅片的進(jìn)刀處的進(jìn)線端（角）偏薄或偏厚，應(yīng)修改進(jìn)刀