PVD真空鍍膜機(jī)作業(yè)指導(dǎo)書

1、pvd真空鍍膜機(jī)作業(yè)指導(dǎo)書 pvd真空鍍膜機(jī)作業(yè)指導(dǎo)書 一開機(jī) 1. 檢查水路是否暢通，確定冷卻塔、激進(jìn)泵是否正常工作（水壓需達(dá)到0.4mpa以上）。 2. 檢查氣路是否暢通，確定空壓機(jī)是否正常工作（氣壓需達(dá)到0.5mpa）。 3開啟電源開關(guān)，打開開機(jī)、維持泵開關(guān)，待真空計(jì)的熱偶計(jì)讀數(shù)在10pa以下時(shí)，打開集中泵溫控儀1、2，集中泵1、2四個(gè)開關(guān)。即集中泵升溫（大約1小時(shí)左右）。 4. 距加熱時(shí)間約10分鐘左右，開啟低溫捕集器，待6分鐘冷卻時(shí)間過后，按f1啟動(dòng)低溫捕集器。待溫控儀上的設(shè)定溫度達(dá)到時(shí)，即可正常生產(chǎn)操作。 二生產(chǎn)操作 1. 確定真空室內(nèi)膜料、離子源燈絲、工件架已按要求放置完畢。 2

2、. 開啟粗抽泵，將抽氣手自動(dòng)檔切換至自動(dòng)檔，打開自動(dòng)抽氣開關(guān)，待真空室大門吸合即可。 3. 當(dāng)羅茨泵自動(dòng)開啟時(shí)，按低溫捕集器f2，開啟捕集器制冷功能。 4. 此操作應(yīng)工藝的不同而有較大的變化，此處不一一詳述，即為口述。 5. 工藝完成后，關(guān)閉電子槍、離子源（必需先歸零燈絲電 流，再關(guān)電源）等開關(guān)，打開自動(dòng)充氣開關(guān)，待精抽閥閉合后，將抽氣手自動(dòng)檔切換至手動(dòng)檔（此處必需留意除維持泵、集中泵、粗抽泵、開機(jī)這四個(gè)開關(guān)是按下去的外，其他開關(guān)都不行按下，以免操作失誤造成集中泵暴露大氣！），按捕集器f3，開啟回溫功能，待低溫捕集器溫度回溫到30攝氏度以上，打開充氣閥，待真空室門打開，關(guān)閉充氣閥。（注：自動(dòng)抽氣與自動(dòng)充氣開關(guān)嚴(yán)禁混淆） 6. 以上循環(huán)，即為正常操作流程。 三停機(jī) 1. 將真空室門吸合，抽至肯定真空，關(guān)閉除停機(jī)開關(guān) 的全部開關(guān)。（注：此停機(jī)開關(guān)，正常生產(chǎn)中嚴(yán)禁開啟） 2. 待真空鍍膜機(jī)冷卻一小時(shí)后，方可關(guān)閉電源，空壓機(jī)， 冷卻塔，激進(jìn)泵。 注：以上全部操作必需嚴(yán)格執(zhí)行，未經(jīng)允許 不行更改，若應(yīng)操作失誤造成鍍膜機(jī)受到損壞，影響等因素，操作員將擔(dān)當(dāng)相應(yīng)責(zé)任。 警告:本機(jī)器有多處高壓變壓器，電壓高