GX-WI-SC-001 A0干膜部作業(yè)指導書

1、GX贛州廣興電子電路有限公司GANZGOU GUANGXIN ELECTRONIC CIRCUIT CO.,LTD.文件編號:制訂日期:版 本:頁 碼:GX-WI-SC-0012014-10-5A0第5 頁共5 頁文 件 名 稱干膜部作業(yè)指導書修 改 記 錄制/修訂頁次版次修 改 內 容制/修訂日期共6頁A0新制定2014-10-05受 控 文 件 保 管 記 錄分發(fā)號會簽單位簽 名 欄日 期作 廢 文 件 回 收 記 錄文件份數回收時間銷毀人銷毀時間01總經理室02管理者代表03行 政 部04財 務 部05業(yè) 務 部06品 管 部07生 產 部08工 程 部09采 購 部10PMC 部簽署欄

2、編制:審核:批準:受控章日期:日期:日期:1.目的將底片的線路圖像轉移到覆銅板上，形成一種抗蝕或抗電鍍的掩膜圖像.2.適用范圍干膜部所有員工.3.質量要求3.1干膜厚度均勻，無起皺現象及干膜與板面結合力良好；3.2干膜底無雜物、無氧化、污跡；3.3曝光、顯影后，干膜板無曝光過度、曝光不良、顯影不凈等不良現象；3.4其他要求參見干膜線路轉移檢驗標準.4.工藝環(huán)境及要求 4.1干膜車間照明燈為安全黃光燈； 4.2室內溫度：18-24,相對濕度：50-70%； 4.3進入凈化房必須穿工鞋；5.操作條件 5.1前處理磨板機、顯影機操作條件：序號磨板機1名稱規(guī)格2酸洗缸的容積150L-200L3酸洗缸開

3、缸比例2%-3%硫酸溶液4酸洗缸換缸周期每12小時一次5循環(huán)水洗壓力1 -2kg/cm26烘干溫度90±57機器輸送速度2.5-5m/min8磨痕寬度15mm±5mm5.2干膜貼膜機操作條件：壓轆壓力5.5±0.5kg/cm2壓轆溫度100-130輸送速度1.0-2.0m/分5.3曝光機操作條件：抽真空強度-650 Hg曝光強度(能量)21級曝光尺的曝光級數為6-9級曝光燈能量旭化城干膜120-150mj/cm2長興干膜80-130mj/cm2濕膜250-350mj/cm2 5.4其他 5.4.1黃菲林曝光次數應800次； 5.4.2氨水機的顯影溫度為60-70.

4、6.作業(yè)流程6.1流程圖磨板貼膜靜放對位曝光靜放顯影檢查6.2生產前準備 6.2.1前處理磨板機 6.2.1.1檢查磨板機的酸洗缸藥水是否需要更換; 6.2.1.2檢查各噴咀是否暢通; 6.2.1.3檢查藥水洗、各循環(huán)水洗的壓力是否與使用要求相符; 6.2.1.4檢查吹干段發(fā)熱線及鼓風工作是否正常; 6.2.1.5輸送及整個機器運轉是否正常.6.2.2壓模機 6.2.2.1檢查壓膜機是否有刮傷、缺口、殘膠,并用90%以上的甲醇清潔表面; 6.2.2.2檢查氣壓是否足夠; 6.2.2.3檢查機器運轉是否正常. 6.2.3曝光機 6.2.3.1檢查曝光機的循環(huán)水是否在規(guī)定范圍內; 6.2.3.2檢

5、查真空盤膠膜是否有破損、漏氣，曝光機是否正常. 6.2.4顯影機 6.2.4.1檢查酸洗缸藥水是否需要更換; 6.2.4.2檢查各個噴咀是否暢通; 6.2.4.3檢查藥水洗、各循環(huán)水洗的壓力是否與使用要求相符; 6.2.4.4檢查吹干段發(fā)熱線及鼓風工作是否正常; 6.2.4.5輸送及整個機器運轉是否正常. 6.3生產操作 6.3.1前處理 6.3.1.1將各水缸洗凈,加滿自來水至水位線; 6.3.1.2酸洗缸加水至水位線的3/4處,小心倒入4.5-6L硫酸,然后加水至滿刻度; 6.3.1.3打開自來水清洗球閥; 6.3.1.4打開電源開關,觸摸人機界面出現主畫面,開啟啟動按鈕; 6.3.1.5

6、依次輸入酸洗、循環(huán)水洗、上下磨轆、搖擺、循環(huán)水洗、鼓風機、發(fā)熱線等開關; 6.3.1.6調校溫度控制至所需溫度; 6.3.1.7調校速度控制至所需速度; 6.3.1.8調校磨轆壓力,使磨痕寬度在15±5mm之間; 6.3.1.9每次磨厚度不同的板,都需要調整磨轆壓力,而調校后要試磨刷3塊板,檢查是否干凈才可正式磨板; 6.3.1.10檢查控制面板上的低水位、門掣等各故障指示燈在運作過程中是否亮起，若有則將問題處理好后重新開機運轉. 6.3.2貼膜 6.3.2.1根據待貼板的外形尺寸,量出所需尺寸的干膜; 6.3.2.2將所需尺寸的干膜正確地裝在壓膜機上; 6.3.2.3調好固定檔板的

7、位置,固定好檔板鏍絲; 6.3.2.4打開電源以及氣壓閥門開關,啟動溫控開關,開始對壓轆進行升溫,溫度控制在100-120之間; 6.3.2.5調好壓轆壓力,壓力控制在5.5±0.5kg/cm2之間; 6.3.2.6檢查磨過的板是否有氧化等其他不良現象,將檢查合格的板平放在壓膜機輸送輪上進行壓膜作業(yè); 6.3.2.7壓膜作業(yè)過程中,板與板之間的距離間隔在3-5mm; 6.3.2.8在壓膜機的輸出口,把貼好膜的板用小刀割開,并把多余的膜邊切除,將板插在鐵排上靜放10-15分鐘,然后收板放置在待曝光區(qū)并遮光貯存; 6.3.2.9貼好膜待曝光的板存放時間不能超過24小時. 6.3.3濕膜

8、6.3.3.1濕膜操作員必須戴手指套; 6.3.3.2每款生產板均需做試板,檢查孔是否進油、油墨太薄，油墨進孔壓力大造成，應減小壓力,油墨太薄調校油刀與涂布轆之間距離,待正常為止,要求涂出板面平整且無油墨進孔; 6.3.3.3涂布轆每天清洗一次,清洗干凈直至看不見轆上有油墨為止; 6.3.3.4烘板,第一面烤5-10分鐘,第二面烤15-20分鐘,單面板烤25分鐘，將爐溫設定在75,時間按需要調節(jié),焗爐每天保養(yǎng)一次,用洗衣粉和清水清洗爐內各部位,然后升溫至150烘烤30分鐘，待冷卻后方可烤板. 6.3.4對位 6.3.4.1由菲林檢查員將待生產板所需菲林檢查好,交于對位人員; 6.3.4.2對位

9、人員注意菲林正反面,膠紙一定不能貼反,且用紅膠封住打孔位,防止干膜碎裂; 6.3.4.3對位時留意圖形反向,一般以最小孔為標準,不能有破孔現象,如有及時詢問當班班長,確認后方可作業(yè),對線路較密的板,對位員應每對3-5中張清洗菲林一次(如工程部有特殊注明,按標示孔對位); 6.3.4.4菲林檢查員,必須做到對位員每對20中張檢查菲林一次,防止垃圾、黃點、擦花造成洗板，減少部門洗板，降低不良率. 6.3.5曝光 6.3.5.1曝光員開工第一時間應清潔曝光盤和自身清潔,并將曝光尺定在6-9格; 6.3.5.2曝光員主要是曝光機在抽真空時輔助趕氣,即將對好位的板放到曝光盤中打開吸氣開關待吸氣,當吸氣強

10、度達到90%以上時,開始趕氣,然后打開輸送開關進行曝光(注意每曝5-10中張必須清潔爆光玻璃及曝光膜,防止垃圾造成洗板); 6.3.5.3曝光后的板需靜放15分鐘后方可顯影. 6.3.6顯影 6.3.6.1將各水缸洗凈,加滿自來水至水位線; 6.3.6.2顯影缸加水至標準水位線處,按比例添加無水碳酸鈉或碳酸鉀,使?jié)舛冗_到規(guī)定標準; 6.3.6.3打開自來水清潔閥門; 6.3.6.4打開電源總開關,開啟啟動按紐; 6.3.6.5依次開啟輸送、顯影(1、2)、顯影加熱、加壓水洗(1、2、3、4)、清水洗、強風吹干、熱風吹干等開關; 6.3.6.6調校溫度控制至所需溫度; 6.3.6.7調校速度控制

11、至所需速度; 6.3.6.8將已曝光待顯影的板撕掉保護膠膜后放在顯影機傳送帶上,進行顯影作業(yè); 6.3.6.9檢查顯影后的板是否有顯影不凈、顯影過度等不良現象,需檢驗合格后方可批量生產; 6.3.6.10生產過程中,注意檢查控制箱面板上的低水位、門掣等各故障指示燈在運作過程中是否亮起，若有則將問題處理好后重新開機運轉. 6.3.7檢查 6.3.7.1將顯影后的板放到檢查臺上檢查; 6.3.7.2檢查干膜板有無曝光過度、曝光不良、顯影過度等不良現象; 6.3.7.3其他要求參見干膜線路轉移檢驗標準； 6.3.7.4檢查合格的板,放在待抽驗區(qū),待IPQC抽檢合格后,方可轉入下工序. 6.4生產后處理 6.4.1磨板機 6.4.1.1放完板后,分別按下各個停止鍵,關掉電源總工關和自來水閥門; 6.4.1.2下班前,打開所有缸的放水閥門,并清洗所有水缸及過濾網. 6.4.2壓膜機、曝光機 6.4.2.1壓完板后或下班前,按下壓膜機溫度控制開關、電源總開關以及關閉氣壓閥門，清潔機器表面; 6.4.2.2下班前,分別