曝光工序培訓(xùn)教材

1、曝光工序培訓(xùn)教材修訂修訂日期單號修訂內(nèi)容摘要頁次版次修訂審核批準(zhǔn)2011/03/30/系統(tǒng)文件新制定4a/0/更多免費(fèi)資料下載請進(jìn)：好好學(xué)習(xí)社區(qū)批準(zhǔn)：審核：編制：曝光工序培訓(xùn)教材曝光工序的生產(chǎn)過程進(jìn)含 : 穿戴、檢查、清潔、貼膜、除塵、對位、曝光、產(chǎn)品的搬運(yùn)及存放、菲林的使用、 pet的使用、干膜的搬運(yùn)及存放；工序流程：穿戴檢查清潔準(zhǔn)備工作貼膜除塵對位曝光作業(yè)完清理方面的內(nèi)容為員工操作培訓(xùn)和日常操作依據(jù)。第一章培訓(xùn)程序1.0目的：對生產(chǎn)部員工的培訓(xùn)內(nèi)容及培訓(xùn)程序作出具體規(guī)定，以確保對所從事生產(chǎn)的工作人員都在上崗前接受適當(dāng)培訓(xùn)，并達(dá)到要求。2.0范圍：3.0典邦公司生產(chǎn)部所有員工（不含管理人員，

2、但包括組長）內(nèi)容：。3.1 新進(jìn)公司員工的培訓(xùn)。3.1.1 培訓(xùn)內(nèi)容：a、公司簡介、員工手冊及廠紀(jì)廠規(guī)。 （人事部負(fù)責(zé)）b、安全教育。（生產(chǎn)部負(fù)責(zé)）c、產(chǎn)品簡介及工藝流程。 （班長負(fù)責(zé)）d、崗位要求及操作規(guī)程（各工序自備教材，班長、組長負(fù)責(zé)）3.1.2 培訓(xùn)過程及考核方式：新員工第一天由人事部培訓(xùn)3.1.1中 a 項(xiàng)，之后進(jìn)行b、c、d 項(xiàng)培訓(xùn)崗位實(shí)際操作，培訓(xùn)結(jié)束即進(jìn)行考核（分為理論考核/ 操作考核），理論考核為筆試，操作考核為現(xiàn)場操作。對于考試合格者，發(fā)出上崗合格證， 人事部記錄備案，考試不合格者，部門提供相關(guān)資料將此員工退回人事部處理。上崗證經(jīng)過塑，置于員工工作的工位處。3.1.3 新員

3、工上崗前不滿1 個月，不允許調(diào)換崗位、工序。特殊情況，需報部門主管級以上人員批準(zhǔn)方可，但也需接受新崗位前培訓(xùn)。3.2 在崗員工培訓(xùn)：3.2.1 培訓(xùn)內(nèi)容：a、培訓(xùn)內(nèi)容：新產(chǎn)品工藝培訓(xùn)； b、新設(shè)備使用培訓(xùn)；c、崗位要求及操作規(guī)程；d、其它培訓(xùn)（現(xiàn)場管理、品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)等培訓(xùn)）；3.2.2 培訓(xùn)過程：以上培訓(xùn)需由班長先作出培訓(xùn)計劃（按上述培訓(xùn)內(nèi)容），必要時組織并聯(lián)絡(luò)其它部門相關(guān)人員進(jìn)行。3.2.3 考核方式：所有培訓(xùn)（有培訓(xùn)計劃）均需進(jìn)行考核，考試分理論及操作（理論為筆試、操作為現(xiàn)場考核） ，由培訓(xùn)者統(tǒng)一出試題，對培訓(xùn)不合格者再進(jìn)行培訓(xùn)。對連續(xù)二次培訓(xùn)不合格者作停薪、停職培訓(xùn)，并取消上崗資格。3.3

4、轉(zhuǎn)崗培訓(xùn)：所有員工在換崗位、工序、晉升/ 降級的或離開工序崗位超過3 個月，均被視為該工序新員工， 此等員工均需在規(guī)定的時間內(nèi)通過新工序上崗前的相關(guān)要求培訓(xùn)。附錄：上崗證1. 目的：第二章工藝簡介第一節(jié)貼干膜將感光膜通過一定的壓力、溫度粘貼于基材上2. 物料及設(shè)備鉆孔后的基材、干膜（按產(chǎn)品尺寸定） 、異丙醇、酒精、貼膜機(jī)（xrl-240）、刀片。3. 工藝流程開機(jī)-裝干膜 -貼干膜切斷第二節(jié)曝 光1. 目的利用干膜的光敏作用，將產(chǎn)品線路圖形由底片轉(zhuǎn)移到基材上2. 物料及設(shè)備2.1 貼過干膜的基材、工作菲林、單面透明膠帶。2.2 曝光機(jī)、放大鏡（ 15x）、除塵輥輪、刀片、無塵紙、酒精3. 工藝

5、流程開機(jī)-設(shè)定能量 -裝菲林 -趕氣-曝光分離第三章 操作規(guī)范本章主要講述如何操作才可以保質(zhì)保量的生產(chǎn)出產(chǎn)品，從而達(dá)到客戶的要求，也就是把不統(tǒng)一的動作過程分析，研究制訂出統(tǒng)一的動作、方法、并把這一系列的過程中各種行為作統(tǒng)一要求，叫操作規(guī)范。第一節(jié)貼干膜一、作業(yè)目的 :將感光膜通過一定的壓力、溫度粘貼于基材上便于曝光.二、操作方法1 準(zhǔn)備工作 ：貼膜壓輥的清潔 :壓輥清潔只能用無塵紙蘸異丙醇擦, 嚴(yán)禁使用硬、 尖銳物體擦及碰撞壓輥。每班生產(chǎn)前清潔一次, 更換干膜時清潔一次；如果在生產(chǎn)過程中，在貼板的范圍內(nèi)粘有干膜、異物應(yīng)立即擦輥清除。. 要隨時保持壓輥干凈 , 有異物、干膜要立即清除， 但在貼膜

6、過程中，干膜邊緣（不在板的范圍內(nèi)）沾在壓輥上的干膜可以在換膜時擦。在擦輥時，壓輥不能轉(zhuǎn)動。2. 作業(yè)方法及步驟2.1 打開機(jī)器電源開關(guān)2.2 打開氣閥開關(guān)2.3 旋轉(zhuǎn)氣壓調(diào)節(jié)閥，調(diào)整壓力見參數(shù)- 雙面板： 55-60psi; 單面板： 40± 2psi; 鏤空板： 45± 2psi;2.4 按下 powe開r 關(guān)2.5 打開 heat開關(guān)設(shè)定溫度。單面板貼膜上壓輥設(shè)定值為110，允許范圍為100至 120，下壓輥設(shè)定值為40，允許范圍為 35至 70。雙面貼膜上下壓輥設(shè)定值為110，允許范圍為 100至 120。有特殊要求見 作業(yè)指示流轉(zhuǎn)卡。（單面板背靠背合在一起貼膜；復(fù)合

7、雙面板及35um 銅雙面板雙面同時貼膜， 18um銅雙面板兩塊板合在一起貼，中間放pet；鏤空板背靠背合在一起貼膜中間放 pet）2.6 將干膜裝上機(jī)器。2.7 調(diào)整擋板寬度與干膜同寬。2.8 旋轉(zhuǎn) speed旋鈕, 根據(jù)作業(yè)指示流轉(zhuǎn)卡 要求，調(diào)整速度范圍， 允許范圍為 1.2-3.5英尺/ 分鐘。（雙面同時貼單面板： 2.5 ± 0.3 英尺/ 分鐘，雙面板：1.5 ±0.3 英尺/ 分鐘）。2.9 將 air switch打至 on位置, 使兩熱壓輥壓緊。2.10 按下 drive,開始轉(zhuǎn)動上下熱壓輥送入要貼膜的基材。2.11 貼膜后將產(chǎn)品用刀片切斷, 要求板邊切斷處整

8、齊無干膜毛刺。第二節(jié)曝光一、目的 ：利用干膜的光敏作用，將產(chǎn)將產(chǎn)品線路圖形由底片轉(zhuǎn)移到基材上，得到所需的線路。二、操作方法：1 準(zhǔn)備作業(yè)1.1 室內(nèi)保持溫度 21±3，濕度 60%±15%的范圍1.2 確認(rèn)冷卻水已開啟1.3 曝光機(jī)抽真空正常1.4 曝光架清潔無異物1.5 工作臺清潔無異物1.6 準(zhǔn)備好菲林及貼膜后的產(chǎn)品2作業(yè)方法及步驟2 .1 對菲林2.1.1 檢查菲林無缺陷、劃傷、異物，菲林號與產(chǎn)品的作業(yè)指示流轉(zhuǎn)卡規(guī)定編號是否一致。2.1.2 將菲林的四角非產(chǎn)品處開約5mm×15mm小窗口 , 透明膠帶貼在菲林的光面的小窗口處。2.1.3 將產(chǎn)品平鋪于作業(yè)臺面

9、上, 菲林藥面朝向產(chǎn)品干膜面, 以定位孔和產(chǎn)品上小孔為基準(zhǔn)將二者對正。2.1.4 確認(rèn)偏差在公差范圍內(nèi)。2.2 曝光2.2.1 合上總電源開關(guān)。1 概述2.2.2 大約 2-3 分鐘后按下 powe開r 關(guān), 將機(jī)器預(yù)熱 4 分鐘。2.2.3 根據(jù)作業(yè)指示書上要求設(shè)定曝光能量 , 測試曝光尺（曝光尺使用 6 個月需更換，記錄開始使用日期） 。干膜板 21 級曝光尺 7-9 格（蓋膜）綠油板 21 級曝光尺 9-11 格（露銅）。曝光板須放置在離曝光框架四周至少 5 厘米處，盡量放在中央。2.2.4 打開真空框架蓋。2.2.5 將對好菲林的產(chǎn)品放入框架的工作面上。2.2.6 合上真空框架蓋 ,

10、真空開始啟動 , 同時用趕氣轆推趕空氣，先左右來回 68次，再前后來回 6 8 次，真空度要求 25inhg 。2.2.7 真空框架 mylayer 膜抽真空平展 , 確認(rèn)菲林與基材無移位 , 按下 go鍵, 框架連同產(chǎn)品進(jìn)入機(jī)器內(nèi) , 開始曝光。2.2.8 另一架出來重復(fù)步驟 4.2.4 至步驟 4.2.7 。2.2.9 曝光完成后 , 按下 go鍵, 曝光的框架出來 , 而未曝光的框架進(jìn)入機(jī)器內(nèi)部, 自動曝光。2.2.10 將工作菲林與曝光完畢的產(chǎn)品分離, 已曝光板須放置15 分鐘以上， 經(jīng)顯影檢查, 首板合格后才能批量生產(chǎn)。2.2.11 全部作業(yè)完畢后將產(chǎn)品按lot及生產(chǎn)指示書送入下一工

11、程。第四章各崗位作業(yè)要求第一節(jié)車間要求使操作規(guī)范化，從而達(dá)到提高效率和產(chǎn)品的合格率特對車間作了清潔、人員進(jìn)出、防塵服管理、凈化間管理等作了具體要求。2 環(huán)境清潔2.1 凈化室內(nèi)打掃衛(wèi)生，必須按要求著裝，風(fēng)淋進(jìn)入。2.2 打掃衛(wèi)生不允許用吸塵器、拖把、掃帚此類工具，應(yīng)使用無塵布，除塵滾等。2.3 每天每班上班后工作前，必須對地面、墻壁門窗、工作臺、機(jī)器設(shè)備、物料架、風(fēng)淋們、傳遞窗等處由上到下、由里向外進(jìn)行清潔。2.4 工作過程中，對于材料、工裝夾具、工作臺等處的清潔方式及頻次按相關(guān)工藝文件要求進(jìn)行。2.5 生產(chǎn)過程中的邊料、廢料，嚴(yán)禁亂扔亂放，應(yīng)放入專用廢料桶（箱）內(nèi)。2.6 工作過程中如發(fā)現(xiàn)環(huán)

12、境不符合要求，必須立即停產(chǎn)清潔。2.7 過濾器、回風(fēng)口等處過濾網(wǎng)，由設(shè)備部指定專人每月月底前清潔一次，并作記錄； 風(fēng)淋門每半年有設(shè)備部清潔一次。2.8 風(fēng)淋門粘塵墊，每天每班揭換一次。2.9 凈化室外更衣室衛(wèi)生，每天每班上班前，由班組安排值日人員對衣鞋柜（內(nèi)外）、地面、門窗、墻壁進(jìn)行清潔。3.0 凈化室的要求3.1 人員進(jìn)出3.1.1 所有進(jìn)入凈化室人員必須在凈化室外更衣室內(nèi)更換防塵服、帽、鞋及口罩經(jīng)風(fēng)淋后方可進(jìn)入。3.1.2 穿防塵服要求：3.1.2.1 穿防塵服時，嚴(yán)禁頭發(fā)外露（長頭發(fā)女工必須用發(fā)夾等用具固定頭發(fā)）；3.1.2.2 防塵服、帽、鞋等處拉鏈要完全拉上，鈕扣要系好，不允許內(nèi)衣外

13、露；3.1.2.3 凈化室作業(yè)人員不允許留長指甲，不允許涂口紅，涂指甲油，搽胭脂等；工作時必須按工藝要求戴指套。3.1.3 風(fēng)淋室吸塵每次只允許一人。3.1.4 相關(guān)人員不得擅自更改吸塵時間設(shè)定。3.1.5 吸塵時，防塵服要對準(zhǔn)吹風(fēng)口，不停拍打旋轉(zhuǎn)，吸塵結(jié)束2-3 秒后才能開門進(jìn)入進(jìn)化間。3.1.6 進(jìn)出凈化室人員均要隨手關(guān)好風(fēng)淋門，嚴(yán)禁敞開或半開風(fēng)淋門。3.1.7 進(jìn)入凈化室內(nèi)人員，不允許有打開防塵服拉鏈、摘掉帽子、挽起袖子等可能給凈化室?guī)砦廴镜男袨椤?.1.8 上班時間內(nèi)，凈化室內(nèi)工作人員一般半個工作日允許外出一次（公事除外），其他時間無充分理由不得隨意外出。3.1.9 凈化室內(nèi)外傳遞信

14、息，可以通過對講電話進(jìn)行，一般情況下嚴(yán)禁隨意進(jìn)出或?qū)﹂_周轉(zhuǎn)窗傳遞信息。3.1.10 外班組人員一般不允許進(jìn)入凈化室，如工作需要，必須經(jīng)主管以上人員同意， 并按要求著裝。3.1.11 公司其他部門與凈化室有關(guān)人員進(jìn)入凈化室，必須按要求著裝，并遵守凈化室規(guī)章制度。3.1.12 外來人員進(jìn)入凈化室，必須經(jīng)相關(guān)人員同意，并按要求著裝。3.2 防塵服管理3.2.1 防塵服、帽、鞋必須在更衣室內(nèi)更換，換好后不允許穿著走出更衣室。3.2.2 防塵服、帽、鞋每周必須清洗一次，由班組長確認(rèn)并做相應(yīng)記錄。3.2.3 防塵服、拉鏈、紐扣有損壞或破損，必須馬上進(jìn)行修理或申請更換。3.3 物料進(jìn)出3.3.1 進(jìn)入凈化室

15、物料，必須是具備以下條件之一：3.3.1.1 生產(chǎn)材料3.3.1.2 生產(chǎn)用輔助材料3.3.1.3 生產(chǎn)工具3.3.1.4 管理文件、工藝文件、生產(chǎn)記錄、品質(zhì)記錄等（注：紙箱、紙周轉(zhuǎn)箱、未經(jīng)清潔鉆孔墊板、茶杯等可能對凈化間環(huán)境造成污染的物品嚴(yán)禁進(jìn)入）3.3.2 凡進(jìn)入凈化間的物料，都必須在凈化間外面用適當(dāng)?shù)姆绞角鍧嵑蟛拍苓M(jìn)入。3.3.3 物料進(jìn)出凈化間，必須按規(guī)定的通道傳遞：體積較小必須通過傳遞窗進(jìn)出；體積較大經(jīng)允許可以通過風(fēng)淋門進(jìn)出。3.3.4 凈化間生產(chǎn)廢料、邊料必須用塑料袋存放運(yùn)出（不宜將廢料箱搬進(jìn)搬出，避免由廢料箱將污染物帶入） 。3.4 凈化間管理3.4.1 各責(zé)任班長為所轄凈化間稽

16、查員，負(fù)責(zé)凈化間日常管理。第二節(jié)產(chǎn)品拿取、搬運(yùn)、存放1拿?。航嚯x移動或看板要雙手拿板的對角或放在墊板上。把板翻過來要雙手拿板的長邊兩角。嚴(yán)禁單手拿板。2 . 搬運(yùn)：搬運(yùn)時板一定要放在墊板上或托盤里，墊板或托盤不能小于板的大小，用墊板每次最多只能搬運(yùn) 100pnl（即二個 lot），用托盤時，上面的托盤底不能壓到下托盤里的板，每次搬運(yùn)時最多只能搬運(yùn)三個托盤。3 . 存放：存放的板每疊不能超過三個lo（t 即 150pnl），且擺放整齊。油墨板只能每 lo（t 即 50pnl）一疊放置。未曝光的干膜板放置不能超過24 小時，已曝光的干膜板放置不能超過48小時；貼膜之后至少放置15 分鐘才能曝光，

17、曝光之后至少放置15 分鐘才能顯影。油墨板在曝光房至顯影完之間的放置時間不能超過96 小時；超過以上規(guī)定時間需做實(shí)驗(yàn)來決定其做法。第三節(jié)貼干膜1. 貼膜作業(yè)指導(dǎo)書要在預(yù)熱過程中準(zhǔn)備好合格的pet，pet的使用：1.1 合格 pet標(biāo)準(zhǔn)：表面平整干凈， 無劃傷、折痕、皺折、凹坑，無任何臟物、異物、膠跡、干膜，邊緣平齊。在生產(chǎn)中只有合格的pet才能使用。1.2 pet的清潔：只能用酒精、無塵紙及過顯影機(jī)清潔，不能用刀片、手指刮。每班在使用前要過顯影機(jī)清潔一次， 如沒有清除干凈， 再用無塵紙蘸酒精擦干凈。 在作業(yè)過程中要保持 pet干凈，如粘上干膜、臟物等要立即清除。否則不能使用。1.3 拿 pet

18、要同拿板一樣，要雙手拿，放在墊板上搬運(yùn)，嚴(yán)禁單手拿pet；在作業(yè)過程中傳送 pet要放在墊板傳送。每張pet使用 1000 次需更換。記錄 pet使用次數(shù)。1.4 貼膜用的 di 水， di 水要求：貼膜用的 di 水必須清澈干凈不能有任何目視可見的灰塵、銅碎等物體，如有應(yīng)立即更換 di 水； di 水每 2 小時更換一次。1.5 裝干膜：查看所要貼膜板的lot卡, 根據(jù)板的尺寸 , 確定干膜的尺寸。選取干膜尺寸的原則：干膜的尺寸與板的尺寸最接近的一種，干膜的尺寸應(yīng)比板尺寸小的優(yōu)先使用， 但不能小于 5mm。雙面貼膜時上、下壓輥上的干膜尺寸要一樣。由一個人拿干膜，另 一個人把輥輪放入干膜筒中，

19、 然后放在貼膜機(jī)的固定位置，調(diào)節(jié)好位置， 并把兩端的固定銷扭緊固定干膜；把干膜上的保護(hù)膜固定在剝離輥上，干膜平整地貼在濕的pet上，然后把 pet穿過兩壓輥，使干膜平整地貼在壓輥上。如果是雙面貼膜，上下的干膜要對齊。把檔板的寬度調(diào)節(jié)與干膜同寬。1.6 除塵：把剛撕開的膠筒用手擦幾下, 然后用一只手按住板的一端, 另一手拿膠筒柄在板上滾過 , 用力要均勻。板的兩面都要除塵，且每個地方都要除到，每除塵10-15pnl要把舊的一層膠撕掉。板寬小于160mm每面至少滾二下，在160260mm每面至少滾三下，在于 260-350mm每面至少滾 4 下。經(jīng)過除塵的板， 板面上能有任何灰塵、 膠跡、干膜碎，

20、否則要重新除塵。2 . 貼膜注意事項(xiàng) :2.1 在把板放入水中和從水中拿出都要特別小心，不能造成板折。2.2 pet 應(yīng)與板的規(guī)格一樣，不能用比板大或比板小的pet墊板貼膜。如有特殊情況每次必需要工序工程認(rèn)可才能用比板大pet貼膜。2.3 在割膜或其它用刀工作過程中， 刀距壓輥至少 15cm，且刀的運(yùn)動方向不能向著壓輥。在不貼膜時 , 壓力開關(guān)打到關(guān)的位置。2.4 在貼膜時，必須先做首板，首合格才能量產(chǎn)。每lot、每卷干膜、每次開始作業(yè)前三張割膜人員必需仔細(xì)檢查貼膜板是否合格，如不合格要調(diào)節(jié)至合格才能量產(chǎn)。合格標(biāo)準(zhǔn): 板面平整、無皺折、無壓坑、無異物、無氧化、無氣泡、無干膜皺等不良現(xiàn)象。在貼膜

21、過程中要隨時檢查， 每十張板要仔細(xì)檢查一次。 放板人員隨時檢查板面是否合格，不合格的板要經(jīng)過處理合格才貼膜；板面合格標(biāo)準(zhǔn)：板面平整干凈，無臟物，無氧化，無異物灰塵，無皺折，無膠跡，無干膜碎，無凹（壓）坑等不良現(xiàn)象。第四節(jié)曝光1 . 準(zhǔn)備工作：1.1 按設(shè)備操作規(guī)程開機(jī)，并清潔；根據(jù)lot卡和相關(guān)規(guī)定的要求，確定相應(yīng)的曝光參數(shù)和曝光方式（單面曝光、雙面曝光）。 油墨板只能在8000kw的曝光機(jī)上曝光。最小線距小于或等于0.1mm的板只能在 5000kw的曝光機(jī)上曝光。線路較密或較細(xì)的一面放在玻璃上。單面曝光只能開單燈。板距框架邊緣至少5cm。1.2 根據(jù) lot卡要求，準(zhǔn)備所需要的菲林（即菲林上

22、的產(chǎn)品號、版本號與lot卡上的產(chǎn)品號、版本號一致）并清潔檢查，更換固定膠紙；根據(jù)菲林合格標(biāo)準(zhǔn)確定菲林是否合格， 合格才能使用。準(zhǔn)備已除塵干凈的板。1.2.1 菲林的使用1.2.2.1 菲林合格標(biāo)準(zhǔn)：菲林表面干凈，無任何臟物、膠跡、黑點(diǎn)、異物等現(xiàn)象，線路沒有開、短路、缺損、劃傷、折皺、藥面損壞透光、保護(hù)起泡等不良現(xiàn)象。1.2.2.2 菲林的清潔：菲林在開始使用時先要用菲林清潔劑、無塵紙、防靜電除塵滾清 潔干凈。清潔方法是： 先把菲林平放在已清潔干凈平整的臺面上，倒適當(dāng)?shù)姆屏智鍧崉┰诜屏稚喜⒘⒓从脽o塵紙擦，再用防靜電除塵滾滾一次（兩面都這樣清潔）； 除塵滾先在粘膠除塵干凈， 才能滾菲林，每滾一次菲

23、林除塵滾要在粘膠上除塵一次。在作業(yè)過程中，單面板（包括鏤空板）每張使用3 次要用防靜電除塵滾清潔一次，雙面板每張使用 2 次要清潔一次，每張使用10 次要用菲林清潔劑和除塵滾清潔一次。有特殊要求的按相關(guān)規(guī)定清潔。1.2.2.3 菲林的拿、存放：在操作過程中嚴(yán)單手拿菲林， 要用雙手拿菲林， 并戴手指套；菲林不能碰尖銳的東西， 不能使菲林打折； 不能與任何東西產(chǎn)生磨擦。使用完應(yīng)立即放回專用的菲林袋中， 不能放在工作臺面和曝光機(jī)里。如三天以上不會使用的菲林應(yīng)放回工程部保存。當(dāng)曝光完后，把板與菲林同時拿出；平放在臺面上，用一只 手按住板， 另一只手把菲林拿下。 嚴(yán)禁一只手拿板， 另一只手拿菲林在空中把

24、菲林拿下及在曝光機(jī)框中把菲林拿下。1.2.2.4 菲林的檢查：把清潔好的菲林在光桌上目視檢查, 如有疑點(diǎn)的地方要用10 倍的目鏡觀看。根據(jù)合格標(biāo)準(zhǔn)判斷是否合格，只有合格菲林才能使用；如是沒清潔干凈要再清潔，直到干凈為止；如是線路開、短路、缺損、劃傷、折皺、保護(hù)膜起泡等不良現(xiàn)象，應(yīng)給工程部修理或報廢。每個lot都要檢查一次。1.2.2.5 每張菲林都要做使用次數(shù)記錄, 達(dá)到要求次數(shù)一定要更換。1.3 對位：雙面板和鏤空對位： 把已除塵和合格的菲林才能對位。先把板一個角具有兩個對位孔的邊靠近自已， 然后雙手拿菲林對準(zhǔn)一個角的定位孔，并固定， 再把其它三個角的定位孔對準(zhǔn)并固定，用10 倍的目鏡檢查四

25、周的定位孔和板中的產(chǎn)品是否對準(zhǔn)，如沒有對準(zhǔn)要調(diào)整對準(zhǔn)，才能曝光；當(dāng)四周孔與產(chǎn)品不相符時以產(chǎn)品對準(zhǔn)為標(biāo)準(zhǔn)。單面板對位：把檢 查合格的菲林用3m膠帶固定在框架內(nèi)，把藥面朝框架內(nèi)，把板平整地放在菲林上，且 與菲林對齊，干膜面對著菲林。菲林的藥面要對著板面。判斷藥面的方法：把菲林平放在桌面上，當(dāng)菲林上的字是正常狀態(tài)， 菲林靠桌面那面是藥面； 用刀片刮有黑色的地方， 如果刮跡透光則該面是藥面， 不透光則另一面是藥面。 已對好的板， 菲林在板上要平整， 不能有鼓起現(xiàn)象， 固定膠要按緊。 每張菲林至少有四個固定位，固定位開窗及所貼膠紙都不能到產(chǎn)品中。 lot號也不能貼到產(chǎn)品中。1.4 曝光框架的清潔：先把酒

26、精或菲林清潔劑倒適量在mylar膜和玻璃上， 然后用無塵紙擦， 擦干凈之后再用防靜電除塵滾清潔一次； 再檢查是否清除干凈， 如不干凈要再清潔一次， 直到干凈為止。在 mylar膜和玻璃上不能有灰塵、黑點(diǎn)、膠跡、干膜碎、油墨、膠紙等異物；并在作業(yè)過程中要保持干凈， 隨時檢查不能有以上的異物，如有要立即清除。 每曝光 2 次要用除塵滾全面清潔一次，每曝光10 次用菲林清潔劑清潔和除塵滾清潔一次；并仔細(xì)檢查是否干凈，如不干凈要繼續(xù)清潔，直到干凈為止。在作業(yè)過程中必需保持工作臺面干凈、整潔，不能有任何臟物、異物、膠跡并每隔2 小時用酒精、無塵紙、除塵滾全面清潔一次。1.5 檢查工具設(shè)備是否完好，如：趕

27、氣輥、防靜電除塵輥、菲林、mylar膜、貼膜壓輥、pet等。所需的物料工具是否足夠齊全.2 曝光注意事項(xiàng)2.1 工作時要戴手指套或手套，遵守手指套管理規(guī)定。2.2 菲林開窗貼透明膠時 , 開窗貼膠處應(yīng)遠(yuǎn)離產(chǎn)品，特別要注意綠油菲林、碎菲林開窗貼透明膠時不可貼在焊盤上。2.3 工作菲林工作面 ( 藥面) 與基材貼合在一起。2.4 對孔時要仔細(xì) , 認(rèn)真, 要用 15x 放大鏡對產(chǎn)品上的關(guān)鍵孔檢查。2.5 室內(nèi)保持清潔 , 遵守凈化室管理規(guī)定 。2.6 每次曝光前都要用除塵滾輪清潔曝光膜, 粘去細(xì)小灰塵及異物。2.7 定時清理脫落的透明膠, 防止粘到產(chǎn)品上或菲林上。2.8 產(chǎn)品及菲林都要輕拿輕放,

28、不要用力拉伸菲林 , 不能用銳利的物品劃傷菲林。2.9 用趕氣轆協(xié)助吸真空時, 注意不要將菲林與產(chǎn)品推錯位, 如發(fā)現(xiàn)應(yīng)停止曝光作業(yè), 重新將產(chǎn)品與菲林對正再繼續(xù)曝光。2.10 如產(chǎn)品與菲林對不上 , 通知工程師處理 , 如為變形 , 可將菲林剪開作業(yè)。2.11 除塵滾輪每個 lot產(chǎn)品更換一次膠紙。2.12 曝光框 mylayer 膜正常生產(chǎn) 1 個月更換一次。若劃破或皺折需及時更換并做記錄。2.13 曝光燈正常作業(yè)時間達(dá)到1000-1200 小時需更換，如需延長使用需經(jīng)工程部確認(rèn)， 每個月需用合格能量計測量曝光機(jī)能量均勻分布，穩(wěn)定性情況并評估是否正常，如有異常需調(diào)整合格方可使用（設(shè)備部負(fù)責(zé)）

29、。第五章工藝參數(shù)第一節(jié)貼干膜1. 貼膜機(jī)工藝參數(shù)：壓力參數(shù) - 雙面板： 55-60psi; 單面板： 40±2psi; 鏤空板： 45±2psi; 單面板貼膜上壓輥設(shè)定值為 110，允許范圍為 :100 至 120，下壓輥設(shè)定值為 40，允許范圍為 35至 70。雙面貼膜上下壓輥設(shè)定值為110，允許范圍為100至 120。速度范圍，允許范圍為 1.2-3.5英尺/ 分鐘。（雙面同時貼單面板： 2.5 ±0.3 英尺/ 分鐘，雙面板：1.5 ± 0.3 英尺/ 分鐘）第二節(jié)曝光干膜板 21 級曝光尺 7-9 格（蓋膜）綠油板21 級曝光尺 9-11 格（

30、露銅） 真空度要求 25inhg第六章品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn) 第一節(jié)露光工序檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)序號檢驗(yàn)內(nèi)容缺陷描述檢驗(yàn)工具判定標(biāo)準(zhǔn)1 來料不良板面存在影響巾膜質(zhì)量的缺陷目視1. 板面清潔 , 平整, 干燥 ok2. 無目視明顯可見的劃痕 , 凹坑, 氧化( 點(diǎn)),銅粒( 雜質(zhì)) 粗糙鍍層油跡ok,否則 ng2 起皺帖膜后干膜未平整的緊貼板面, 表面出現(xiàn)皺折3 氣泡帖膜后干膜與板面之間存在空氣4 夾雜物貼膜后, 干膜與板面之間存在雜物帖膜后 , 干膜未完全覆蓋板目視1. 產(chǎn)品( 空中) 區(qū)域內(nèi) ng目視2. 非產(chǎn)品區(qū)域內(nèi)且不會影響到產(chǎn)品、影響曝光和后工序質(zhì)量ok,否則 ng目視1. 產(chǎn)品區(qū)域內(nèi) ng5 針孔面, 有一處

31、或多處存在點(diǎn)狀露銅目視2. 非產(chǎn)品區(qū)域內(nèi) ok檢測類別測試工具檢驗(yàn)依據(jù)1外觀和表面狀態(tài)目檢、 x4 放大鏡確認(rèn)ipc6202， class22尺寸測量螺旋測微器、 x40 目鏡、 x15 目鏡、二次元測定機(jī)客戶圖紙6劃傷貼膜后 , 覆蓋在板面的干膜被機(jī)械劃傷目視ng7附著力差貼膜后, 干膜和板面粘結(jié)不牢固目視ng第二節(jié)成品檢驗(yàn)規(guī)范1.1 測試目的：為保證所規(guī)定出的測試項(xiàng)目能含概產(chǎn)品要求，確?？蛻魸M意。2.1 檢測類別 &測試工具：3.0 尺寸檢測：3.1 插件孔徑1)-7): 7- 1.20 ± 0.05mm；8): 1-0.8 ±0.05mm；3.2安裝孔徑9):

32、 1-1.05 ±0.05m; 10): 1-2.00 ± 0.05mm；11)-12): 2- 1.30 ±0.05mm；13): 1- 2.60 ± 0.05mm; 14): 1-1.20 ±0.05mm;3.3安裝槽長15): 2.50x1.0± 0.05mm；16): 1.8x1.4± 0.05mm; 17): 1.70x1.33±0.05mm;3.4手指長度18): 1.60±0.30mm； 手指總寬度 19): 9.05± 0.05mm3.5手指幅20): 0.65±0.05mm； 手指中心距21): 1.20±0.05mm3.6 導(dǎo)線幅22): 0.24±0.05mm； 導(dǎo)線間距23): 0.17±0.05mm3.7焊盤直徑24)-31): 8-1.60 ±0.05mm.3.8開窗孔徑32)-36）:5- 2.10 ± 0.05mm； 37)-38）: 2- 2.30 ± 0.05mm； 39):1- 2.20 ± 0.05mm4