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1會計學(xué)pecvd質(zhì)量檢驗(yàn)員培訓(xùn)質(zhì)量檢驗(yàn)員培訓(xùn) 由于在擴(kuò)散過程中,硅片的所有表面(包括邊緣)都將不可避免地擴(kuò)散上磷。PN結(jié)的正面所收集到的光生電子會沿著邊緣擴(kuò)散有磷的區(qū)域流到PN結(jié)的背面,而造成短路,所以要通過刻蝕去除邊緣的擴(kuò)散層。反應(yīng)室的氣體被等離子體分離成可化學(xué)反應(yīng)的元素 2、這些元素擴(kuò)散并吸附擴(kuò)散并吸附在硅片表面 3、這些元素在硅表面上進(jìn)行表面擴(kuò)散表面擴(kuò)散,直到發(fā)生反應(yīng)反應(yīng) 4、反應(yīng)生成物解吸解吸,離開硅片并排放 ocscpmpmVIVIFF inocscinmPVIFFPPEff 252236ClO2P3O4POClPSiOSiOP4552252 O2HSiF4HFSiO242SiFH2HFSiF624O2HSiFH6HFSiO2622 cos21cos2212221212221rrrrrrrrRnnnnr001sisinnnnr002nd04202020)(sisinnnnnnRsinnn0 sinnn035. 29 . 34 . 1 ocscpmpmVIVIFF inocscinmPVIFFPPEff
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