微電子制造和封裝技術(shù)發(fā)展

1、    微電子制造和封裝技術(shù)發(fā)展    王洋摘要：微電子技術(shù)作為當(dāng)今工業(yè)信息社會的重要技術(shù)之一，是電子信息產(chǎn)業(yè)的“心臟”。而半導(dǎo)體集成電路技術(shù)的迅速進(jìn)步和發(fā)展是微電子技術(shù)的重要標(biāo)志。多年來，隨著我國對微電子技術(shù)的重視和積極布局投資，加上社會創(chuàng)新發(fā)展的良好氛圍，我國的微電子技術(shù)得到了迅速的發(fā)展和進(jìn)步。目前，我國生產(chǎn)的集成芯片已廣泛應(yīng)用于射頻通信、雷達(dá)電子、數(shù)字多媒體處理器等領(lǐng)域。但總體而言，我國ic核心基礎(chǔ)元器件的研發(fā)水平和制造能力與較早發(fā)達(dá)國家相比還有一定差距。只有不斷積極安排，完善創(chuàng)新體系，才能逐步與世界先進(jìn)水平接軌。集成電路技術(shù)包括電路設(shè)計、制造工藝

2、、封裝和測試等幾大技術(shù)系統(tǒng)，隨著集成電路產(chǎn)業(yè)的深入發(fā)展，制造和封裝技術(shù)已成為微電子產(chǎn)業(yè)的重要支柱。本文將對微電子制造與封裝技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用進(jìn)行簡要的描述和研究。關(guān)鍵詞：微電子制造;封裝技術(shù);發(fā)展引言隨著電子產(chǎn)品高度集成化、小型化和高性能的發(fā)展趨勢，對微電子技術(shù)的要求也越來越高。微電子技術(shù)作為信息社會的重要支柱產(chǎn)業(yè)，發(fā)揮著越來越重要的作用。以集成電路制造和封裝技術(shù)為核心的微電子技術(shù)的發(fā)展是其發(fā)展的關(guān)鍵。本文簡要論述了微電子制造與封裝技術(shù)的發(fā)展歷程、技術(shù)現(xiàn)狀和發(fā)展方向。只有繼續(xù)積極布局和推動微電子技術(shù)的發(fā)展，我國才能在信息社會中處于領(lǐng)先地位。1微電子制造技術(shù)集成電路制造工藝主要可以分為材料工藝和半

3、導(dǎo)體工藝。材料工藝包括各種圓片的制備，包括從單晶拉制到外延的多個工藝，傳統(tǒng)si晶圓制造的主要工藝包括單晶拉制、切片、研磨拋光、外延生長等工序，而gaas的全離子注入工藝所需要的是拋光好的單晶片（襯底片），不需要外延。半導(dǎo)體工藝總體可以概括為圖形制備、圖形轉(zhuǎn)移和擴(kuò)散形成特征區(qū)等三大步。圖形制備是以光刻工藝為主，目前最具代表性的光刻工藝制程是28nm。圖形轉(zhuǎn)移是將光刻形成的圖形轉(zhuǎn)移到電路載體，如介質(zhì)、半導(dǎo)體和金屬中，以實(shí)現(xiàn)集成電路的電氣功能。注入或擴(kuò)散是通過引入外來雜質(zhì)，在半導(dǎo)體某些區(qū)域?qū)崿F(xiàn)有效摻雜，形成不同載流子類型或不同濃度分布的結(jié)構(gòu)和功能。從歷史進(jìn)程來看，硅和鍺是最早被應(yīng)用于集成電路制造的半

4、導(dǎo)體材料。隨著半導(dǎo)體材料和微電子制造技術(shù)的發(fā)展，以gaas為代表的第二代半導(dǎo)體材料逐漸被廣泛應(yīng)用。直到現(xiàn)在第三代半導(dǎo)體材料gan和sic已經(jīng)憑借其大功率、寬禁帶等特性在迅速占據(jù)市場。在這三代半導(dǎo)體材料的迭代發(fā)展中，其特征尺寸逐漸由毫米縮小到當(dāng)前的14納米、7納米水平，而在當(dāng)前微電子制造技術(shù)的持續(xù)發(fā)展中，材料和設(shè)備正在成為制造能力提升的決定性因素，包括光刻設(shè)備、掩模制造技術(shù)設(shè)備和光刻膠材料技術(shù)等。材料的研發(fā)能力、設(shè)備制造和應(yīng)用能力的提升直接決定著當(dāng)下和未來微電子制造水平的提升?？傊苿游㈦娮又圃旒夹g(shù)發(fā)展的動力來自于應(yīng)用設(shè)計需求和其自身的發(fā)展需要。從長遠(yuǎn)看，新材料的出現(xiàn)帶來的優(yōu)越特性，是帶動微電

5、子器件及其制造技術(shù)的提升的重要表現(xiàn)形式。較為典型的例子是gan半導(dǎo)體材料及其器件的技術(shù)突破直接推動了藍(lán)光和白光led的誕生，以及高頻大功率器件的迅速發(fā)展。作為微電子器件服務(wù)媒介，信息技術(shù)的發(fā)展需求依然是微電子制造技術(shù)發(fā)展的重要動力。信號的生成、存儲、傳輸和處理等在超高速、高頻、大容量等技術(shù)要求下飛速發(fā)展，也會持續(xù)推動微電子制造技術(shù)在加工技術(shù)、制造能力等方面相應(yīng)提升。微電子制造技術(shù)發(fā)展的第二個主要表現(xiàn)形式是自身能力的提升，其主要來自于制造設(shè)備技術(shù)、應(yīng)用能力的迅速發(fā)展和相應(yīng)配套服務(wù)材料技術(shù)的同步提升。2微電子封裝技術(shù)微電子封裝的技術(shù)種類很多，按照封裝引腳結(jié)構(gòu)不同可以分為通孔插裝式和表面安裝式。通常

6、來說集成電路封裝技術(shù)的發(fā)展可以分為三個階段：第一階段，20世紀(jì)70年代，當(dāng)時微電子封裝技術(shù)主要是以引腳插裝型封裝技術(shù)為主。第二階段，20世紀(jì)80年代，smt技術(shù)逐漸走向成熟，表面安裝技術(shù)由于其可適應(yīng)更短引腳節(jié)距和高密度電路的特點(diǎn)逐漸取代引腳直插技術(shù)。第三階段，20世紀(jì)90年代，隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展以及集成電路技術(shù)的不斷進(jìn)步，對于微電子封裝技術(shù)的要求越來越高，促使出現(xiàn)了bga、csp、mcm等多種封裝技術(shù)。使引腳間距從過去的1.27mm、0.635mm到目前的0.5mm、0.4mm、0.3mm發(fā)展，封裝密度也越來越大，csp的芯片尺寸與封裝尺寸之比已經(jīng)小于1.2。目前，元器件尺寸已日益逼近極限

7、。由于受制于設(shè)備能力、pcb設(shè)計和加工能力等限制，元器件尺寸已經(jīng)很難繼續(xù)縮小。但是在當(dāng)今信息時代，依然在持續(xù)對電子設(shè)備提出更輕薄、高性能的需求。在此動力下，依然推動著微電子封裝繼續(xù)向mcm、sip、soc封裝繼續(xù)發(fā)展，實(shí)現(xiàn)ic封裝和板級電路組裝這兩個封裝層次的技術(shù)深度融合將是目前發(fā)展的重點(diǎn)方向。芯片級互聯(lián)技術(shù)是電子封裝技術(shù)的核心和關(guān)鍵。無論是芯片裝連還是電子封裝技術(shù)都是在基板上進(jìn)行操作，因此這些都能夠運(yùn)用到互聯(lián)的微技術(shù)，微互聯(lián)技術(shù)是封裝技術(shù)的核心，現(xiàn)在的微互聯(lián)技術(shù)主要包含以下幾個：引線鍵合技術(shù)，是把半導(dǎo)體芯片與電子封裝的外部框架運(yùn)用一定的手段連接起來的技術(shù)，工藝成熟，易于返工，依然是目前應(yīng)用最

8、廣泛的芯片互連技術(shù);載體自動焊技術(shù)，載體自動焊技術(shù)可通過帶盤連續(xù)作業(yè)，用聚合物做成相應(yīng)的引腳，將相應(yīng)的晶片放入對應(yīng)的鍵合區(qū)，最后通過熱電極把全部的引線有序地鍵合到位置，載體自動焊技術(shù)的主要優(yōu)點(diǎn)是組裝密度高，可互連器件的引腳多，間距小，但設(shè)備投資大、生產(chǎn)線長、不易返工等特性限制了該技術(shù)的應(yīng)用。倒裝芯片技術(shù)是把芯片直接倒置放在相應(yīng)的基片上，焊區(qū)能夠放在芯片的任意地方，可大幅提高i/o數(shù)量，提高封裝密度。但凸點(diǎn)制作技術(shù)要求高、不能返工等問題也依然有待繼續(xù)研究，芯片倒裝技術(shù)是目前和未來最值得研究和應(yīng)用的芯片互連技術(shù)?？傊?，微電子封裝技術(shù)經(jīng)歷了從通孔插裝式封裝、表面安裝式封裝、窄間距表面安裝焊球陣列封裝

9、、芯片級封裝等發(fā)展階段。目前最廣泛使用的微電子封裝技術(shù)是表面安裝封裝和芯片尺寸封裝及其互連技術(shù)，隨著電子器件體積繼續(xù)縮小，i/o數(shù)量越來越多，引腳間距越來越密，安裝難度越來越大，同時，在此基礎(chǔ)上，以及高頻高密度電路廣泛應(yīng)用于航天及其他軍用電子，需要適應(yīng)的環(huán)境越來越苛刻，封裝技術(shù)的可靠性問題也被擺上了新的高度。結(jié)束語如果說集成電路設(shè)計是微電子產(chǎn)業(yè)的大腦，那么其制造和測試技術(shù)就是微電子產(chǎn)業(yè)的支柱。作為國家和社會各界的微電子集成電路產(chǎn)業(yè)高度重視，積極布局，集成電路制造和包裝技術(shù)在中國是越來越強(qiáng)大的同時，對微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展進(jìn)入內(nèi)核和強(qiáng)有力的支持，并體現(xiàn)了科學(xué)和技術(shù)的力量在中國的指導(dǎo)下先進(jìn)行業(yè)蓬勃發(fā)展的驅(qū)動力。簡而言之，在時代的科學(xué)技術(shù)作為第一生產(chǎn)力，微電子技術(shù)作為現(xiàn)代信息社會的重要基礎(chǔ)和核心產(chǎn)業(yè)，將占領(lǐng)時代的高點(diǎn)，并繼續(xù)堅定不移地推動微電子技術(shù)的發(fā)展和進(jìn)步，是實(shí)現(xiàn)現(xiàn)代化的唯一途徑。因此，微電子技術(shù)將在當(dāng)前和未來對推動社會進(jìn)步發(fā)揮不可替代