日本超聲電機(jī)的產(chǎn)業(yè)化,應(yīng)用和發(fā)展

1、| 維普資訊 h ttp:/第19卷第I1999年0月Journal of VibrationMeasuremcni & DiagnosisV專家論壇*日本超聲電機(jī)的產(chǎn)業(yè)化、應(yīng)用和發(fā)展趙淳生.査朝東南京伉空航天大學(xué)超聲電機(jī)研究中心 南,210016)MM 敘述了 口車翩聲電機(jī)的產(chǎn)業(yè)憂現(xiàn)狀、皿用研究和新型超聲電機(jī)的雄厲悄況.大最實(shí)例充分 跡明；日本超聲電機(jī)茜術(shù)處于世界的前列.在逮牛技術(shù)頓找國(guó)與日本澗有很丸的差距.文中分 析了產(chǎn)生送個(gè)羞距的原® 并握出了迅連it端小這個(gè)差距前有效爲(wèi)控.堆后總結(jié)出我風(fēng)退'須蜒力 跟上世界趨聲電機(jī)技術(shù)的發(fā)展歩伐，井且娶在短擁內(nèi)達(dá)到與日半趨聲電

2、機(jī)技術(shù)相同的水平的結(jié) 論._g聲電國(guó)更纜電卑蘭業(yè)化日車 中圖分類號(hào) TM356TM359, 6引書19&8年10月筆者出席了日本他舍市百開的L998IEEE國(guó)際超聲學(xué)會(huì)儀，發(fā)表了題為記使 用棒形振子縱向和彎曲模態(tài)的大推力直線型超聲電機(jī)的研究"的學(xué)術(shù)論文*為宴地了解日本超 聲電機(jī)的研究和應(yīng)用的韻新動(dòng)態(tài)，在會(huì)議期間和會(huì)玫之后，筆者做了為期兩周的參觀考察，同 日本趙聲電機(jī)學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界進(jìn)行了廣眨的接融，走訪了東京大學(xué)(Th亡University of Tokyo)、東京工業(yè)大學(xué)(丁ohyo In&tflute of TecLnclogy) * 111形大學(xué)(Yamagata

3、 University 、愛 知工業(yè)大學(xué)Aichi lns>titu University).北大學(xué)(ToLok University)>東北工業(yè)大學(xué)(Ta boku Institute of Technology)等 6 腑高校和佳能(Canon Inc. 新生:工業(yè)公司(Shinsci Eo* )、精 匸公詞 <S4?iko Instruments Inc.)、本參電子公司("Honda Electronics Co.)等 4 家企 業(yè)，這些商校和企業(yè)代表了當(dāng)前日本超聲電機(jī)的研究、產(chǎn)業(yè)和應(yīng)用的實(shí)際水平。訪問期間，同 上羽、富川、指田“內(nèi)野、高野、鈴木加藤、黑澤、

4、中村等一批從事超聲電機(jī)研究的著名學(xué)者、教 授、專家進(jìn)行了深人的文談.對(duì)日本超聲電機(jī)技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化、應(yīng)用和發(fā)展有了一個(gè)比較全面的 了解"1日本超聲電機(jī)產(chǎn)業(yè)化的現(xiàn)狀最近十年在H本超聲電機(jī)已進(jìn)人實(shí)用化的商業(yè)應(yīng)用階段，環(huán)形行波型和捧形行潑型電 0E自總科學(xué)基金資剛項(xiàng)目(編號(hào)搐盯750我匚牧笹巳期J卿慶0B酩*l齊動(dòng)、測(cè)試與逡斷第19卷機(jī)已大批量生產(chǎn)，最近再一種駐波型電機(jī)也投入批量生產(chǎn)。塊聲電機(jī)實(shí)用化的范圍.目前局限 于短時(shí)工作的、柄度高的以及應(yīng)用于某種特定功能的機(jī)器或領(lǐng)域中n口本繪早開始超聲電機(jī)產(chǎn)業(yè)化的是新生工業(yè)公司的指田年生(T.Sashida)先生。他從 1974年起就開展超聲作動(dòng)器的研究

5、“ 1981年在“日本第三屆小型馬達(dá)會(huì)円上，他宣布行波型超 丙電機(jī)在日車首次研制成功。此后他不斷進(jìn)行實(shí)用性開發(fā)于1胎6年實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化“又經(jīng)過 多年的提高性能和可靠性研究，已成功地開發(fā)出成本較低耳便于推廣普及的產(chǎn)品。目前，新生 工業(yè)公司超聲電機(jī)生產(chǎn)規(guī)模為20萬臺(tái)/年a新生工業(yè)公司已開發(fā)和應(yīng)用的超聲電機(jī)產(chǎn)品系列有：0列標(biāo)準(zhǔn)型、030標(biāo)準(zhǔn)型、町裝入機(jī) 器的通用型、轎車頭靠專用型、槻式屏幕自功開朋專埔型、超小型機(jī)器人專用型、超小型轉(zhuǎn)臺(tái)專 用型、單鎮(zhèn)頭相機(jī)自動(dòng)聚焦專用型*核磁共JgtMRI-CT)專用型、帯編碼器的高精度定位或速 度控制專用型、核電站細(xì)管修復(fù)專用型、不使用磁性材料的非磁型。據(jù)新生工業(yè)公司

6、1997年的統(tǒng)計(jì)齋料，超聲電機(jī)在日本實(shí)際應(yīng)用數(shù)量見表X為協(xié)調(diào)各企業(yè)超聲電機(jī)的發(fā)展，日 本現(xiàn)已成立了妞聲電機(jī)聯(lián)堵會(huì)“聯(lián)絡(luò)會(huì) 鍛員單隹有：佳能公司、新生工業(yè)公司* 精工公司、尼康公司.Fukoku公司、本 多電子公司、松下曜器產(chǎn)業(yè)公司等。日本超聲電機(jī)生產(chǎn)技術(shù)水平垠高 的企業(yè)是隹能公司。該公司把超聲電機(jī) 用于照相機(jī)的聚焦機(jī)構(gòu)中已有10年的 業(yè)績(jī)"現(xiàn)在已有37種埜號(hào)的照相機(jī)安應(yīng)用領(lǐng)域應(yīng)用救童/萬臺(tái)光學(xué)機(jī)器【黒相機(jī)尊)500轎車(座椅等20荊密機(jī)器(不表等30航空設(shè)備(05權(quán)處理等)1產(chǎn)業(yè)機(jī)器(XY定位儀、機(jī)芻人曙20住宅設(shè)冬(百葉窗、窗簾等2« I新生工業(yè)公祠19S7年的城計(jì)藪搖裝

7、了超聲電機(jī).該公可投入近10億日元建了一條趙聲電機(jī)自動(dòng)化生產(chǎn)線*每月能生產(chǎn)超聲電 機(jī)20-40萬臺(tái)=超聲電機(jī)以其髙精度和快速胸磁使得照相機(jī)快速聚憔成為可能.該公司便用的超聲電機(jī)有兩種：內(nèi)徑50 mm的圓環(huán)形行波電，如圖1佃、所示；直徑10 mtn的短柱形行波電機(jī)如圖1(b)所示。前者能將鎮(zhèn) 頭等光學(xué)系統(tǒng)蚩于其中，實(shí)現(xiàn)快 速聚焦和低噪音工作后者采用 Langevin振子型結(jié)構(gòu)大大改善 了工藝性*提高了可靠性'同時(shí)也 降低了成本。除隹能公司以夕卜尼康公岡 杓相機(jī)也釆用了超聲電機(jī)。酉格 瑪公可莊大口徑望遠(yuǎn)鐫上采用了 超聲電機(jī)。精工公司開始進(jìn)行超聲電機(jī)(a)(b)圖I佳能公司生產(chǎn)的用于照相機(jī)的

8、超聲電機(jī)加開發(fā)是在19粛年，1991年安裝了 01Q mni行波超聲電機(jī)作為振動(dòng)報(bào)時(shí)的指針式石英表在 世界各地出售*同時(shí)，該公司用兩個(gè)超聲電機(jī)直接駅動(dòng)的機(jī)器人在精密工程學(xué)會(huì)競(jìng)賽中連續(xù)3 年取勝。為了降低成本、簡(jiǎn)化昭動(dòng)電路昭年起精工公司開始發(fā)展駐波型單相驅(qū)動(dòng)徽型超聲| 維普資訊 h ttp:/1期趙厚生聲：日本超聲電機(jī)的產(chǎn)業(yè)化、應(yīng)用和枝展電機(jī)亠其中規(guī)格為08 mmX4,5 mm的超聲電機(jī)用于手表振動(dòng)報(bào)警，如圖2")所示曲于超聲 電機(jī)不帶磁性它不會(huì)于擾手表指針的轉(zhuǎn)動(dòng)*從而不影有手表的準(zhǔn)確性.以后瓦開發(fā)出直徑僅 4.5 mm的超聲電機(jī)用于手表口歷盤的礎(chǔ)動(dòng)如圖朗時(shí)所示*該墜手表于1998年正

9、式投人批aCb)©2 精工公司生產(chǎn)的用于手衷的超蘆電機(jī)量生產(chǎn)+月產(chǎn)如萬個(gè)*除用于手表報(bào)警和自動(dòng)日丹外* 該公可生產(chǎn)的微型翅聲電機(jī)還可用 于手表時(shí)針和分針駆動(dòng)、小型便攜式 信息機(jī)器、檢測(cè)儀器、醫(yī)療儀陸、電子 娛樂裝置和繼型機(jī)器人等.本多電子公司生產(chǎn)的超聲電機(jī) 用于粉料輸送機(jī)匸5粗料輸送機(jī)是利 用超聲電機(jī)的橢岡運(yùn)動(dòng)原理，實(shí)現(xiàn)高 精度地定流量，定兩種控制模式運(yùn)送粉料該裝置的夷岀優(yōu)點(diǎn)是：定流u)超聲電機(jī)安韭熬位(b座椅頭靠調(diào)節(jié)裝置圖3豐田仝司將超聲電機(jī)用丁戰(zhàn)車上的座椅吐幕量和定址容易精度奇、可遠(yuǎn)距離桂 制、自動(dòng)運(yùn)行和無噪音等.此外.豐田公司已在出口到美國(guó) 的汽車反光鏡、方向盤和座椅頭靠應(yīng) 用

10、了超聲電機(jī)匚圖3為用于座椅頭靠 妁超聲電機(jī)及其裝置"而且在該公司策劃下T又新成立一家公司專門生產(chǎn)邦提拱豐田汽車所需的超聲電機(jī)?，F(xiàn) 在該公詞正在開始生產(chǎn)力矩為2 Nm的超聲電機(jī)*將用于小轎車上窗門玻 璃的升降裝置*2日本超聲電機(jī)的應(yīng)用研究由于超聲電機(jī)具有許農(nóng)獨(dú)特的性能冷艮高的功率密度、低速大力矩、響應(yīng)快控制性能好s 能斷電自鎖、與磁場(chǎng)無緣、噪聲小等等。在日本除上述單位針對(duì)自己的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⒊曤姍C(jī)進(jìn) 行產(chǎn)業(yè)化外*更審的單位正在進(jìn)行超聲電機(jī)的應(yīng)用研穽.擴(kuò)大超芮電機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域，例如”愛知 工業(yè)大學(xué)加藤厚生(A.Kato)教授應(yīng)用新生工業(yè)公司生產(chǎn)的URS-殆型趙聲電機(jī)對(duì)人遺手進(jìn) 行控制，如圖4

11、所示"山形大學(xué)爲(wèi)川文朗Y. Tomlkawa)教授將超聲電機(jī)應(yīng)用于微型機(jī)器人. 如圖5所示.歩觀訪問時(shí)筆者看到-只要用手電簡(jiǎn)照射該機(jī)器人r通過光電轉(zhuǎn)換就可以開動(dòng)藏 在機(jī)器人內(nèi)部的徹型超聲電機(jī)，使機(jī)器人朝著電簡(jiǎn)照射的方向走來.東京工業(yè)大學(xué)精密與智能 實(shí)驗(yàn)室(Precision and Tnteliigenc亡Lab.；正把超聲電機(jī)放在真空罩內(nèi)做環(huán)境試驗(yàn)如圖6盯所 示*其真空度有二種規(guī)格Fa.r10-EPa.此外.該實(shí)驗(yàn)室還對(duì)旋轉(zhuǎn)型弼直線型趙聲電 機(jī)做耐久性試驗(yàn)”據(jù)介紹一臺(tái)縱扭復(fù)倉(cāng)型超聲電機(jī)的累積工作吋闔已枚達(dá)5 000 h_圖積b|維普贄訊 nnp:4振動(dòng)、測(cè)試與診斷笫19卷圖4翅聲電

12、機(jī)用于人造手的控制圖$超聲電機(jī)用于獄型扒器人(a>(b)圖6東克工業(yè)大學(xué)對(duì)超聲韭機(jī)做真空環(huán)境試蘊(yùn)和耐久性試驗(yàn)為直線型超聲電機(jī)帶載荷耐久性試 驗(yàn)。從圖上看出試驗(yàn)往復(fù)籾數(shù)已達(dá) 74 89Q Ut.特別值得提出的是，筆者看到一 份關(guān)于1991 1993年日本超聲電機(jī) 應(yīng)用專利統(tǒng)計(jì)表，共98項(xiàng)，涉及鳳 朗、自動(dòng)門、機(jī)器人、微動(dòng)臺(tái)、控制閥、 光偏向器、圖像輸人裝置、指示裝置、 X-Y定位儀、磯盤驅(qū)動(dòng)裝燮、家電產(chǎn)品等°選取1993年的一部分專利列董2期93年日本有關(guān)翅聲電機(jī)應(yīng)用專利統(tǒng)卄專利號(hào)超聲電機(jī)的應(yīng)用開蓋應(yīng)用公同4139機(jī)床的被加工物設(shè)置裝置三菱庖丸公司33877切換閥島津制作所381

13、71減速機(jī)構(gòu)內(nèi)置的超聲電機(jī)東洋電機(jī)制造公司73145用超聲電機(jī)的小型移動(dòng)裝置SEIKO電子工業(yè)公司126518懺動(dòng)裝置及其信息存儲(chǔ)、讀出裝童Canon公司147821記錄最輸送輕置島津制作所1841S5XYX作臺(tái)裝置奧林巴斯光學(xué)工業(yè)公司25S453桌面穽動(dòng)裝置Canon電子1公可278870媒體輸送裝置沖也氣工業(yè)公司272038國(guó)編織機(jī)用圧電式選針裝畫Work r>aia Service 公司275876憐卻裝置田14電機(jī)制件所2944SI圖俾記錄裝負(fù)及其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)SE1KL）埜司296227球牧毎的角度變換裝置川埼直工業(yè)公司325475卡片型煤幷記錄胖TDK公司340141移動(dòng)機(jī)器人富士

14、通金司344763超高直空用超聲電機(jī)驅(qū)動(dòng)裝量日本電子工程公岡i第1期趙淳生等：日本超聲電機(jī)的產(chǎn)業(yè)化、旋用和發(fā)展53新型超聲電機(jī)在日本的發(fā)展除了產(chǎn)業(yè)化和應(yīng)用研究之外日本的另一于特點(diǎn)是*繼續(xù)發(fā)展新型超聲電機(jī)"（1）大力矩超聲電機(jī)針對(duì)機(jī)器人的要求，日本正在研究大力矩趙聲電機(jī)。在東京工業(yè)大學(xué)精密與智能實(shí)驗(yàn)室 （Precision and Intelligence Lab. >開發(fā)f 40 Nm的縱扭復(fù)合型超聲電機(jī)叫 該實(shí)驗(yàn)室還在研 究力矩可達(dá)100 Nm的超聲電機(jī)口據(jù)介紹研制大力矩超聲電機(jī)的關(guān)謹(jǐn)在于找到較好的摩擦材 料和適合的預(yù)壓韓簧。（2）（微）小型超聲電機(jī)針對(duì)微型機(jī)械，日本正在開發(fā)

15、（微）小型超聲電機(jī)。東京大學(xué)黑澤宴CM. Kurosawa）教授已 研制出旋轉(zhuǎn)型微型超聲電機(jī)其定子外徑為L(zhǎng)4 mm,內(nèi)徑1. 2 長(zhǎng)5 mm. 6 厚的 PZT那膜用于滋發(fā)柱體的彎曲振動(dòng)，轉(zhuǎn)速為6&0 r/min,堵轉(zhuǎn)力矩為乩7 Nm,疆動(dòng)電壓為20 弋十薄膜化的壓電材料是邃電機(jī)的關(guān)鍵"（3）直線型超聲電機(jī)針對(duì)計(jì)算機(jī)軟盤、光盤和硬盤掘動(dòng)裝置，日本一醱大學(xué)里正在研究一種微型的、能精確控 制的（精度達(dá)微米或納米級(jí)）直線型超聲電機(jī)。圖7為東北工業(yè)大學(xué)奇野剛浩（T. Takano）教授 正在調(diào)試的小型直線超聲電機(jī)。該電機(jī)動(dòng)子長(zhǎng)約50 mm,寬15 mtn*厚6 mma無載荷速度達(dá) 2

16、6 cm/si位胃分辨力達(dá)1 pm,（4）聲表面逋趨聲電機(jī)聲表面波（如Raykigh波）是在介質(zhì)表層傳播的一種離頻波.其頻率可達(dá)100 MHz以上。 由于壓電裝這的能量密度基本上是與其工作頻率成正比，所以利用在髙頻工柞的表面波來懺 直線型超聲電機(jī)可以期望莪得優(yōu)越的性能、如大的輸朗力、高的速度、厘米級(jí)的畏行程、高的能 量密度、容易自鎖和高的位移分辨率圖8為東京大學(xué)黑澤實(shí)教授研制的直線型聲表面披超聲 電機(jī)。其動(dòng)子尺寸為4 mm X4 mm < 0. 3 mm*工作頻率為9. 6 MHz,振幅僅1020 nm*最大 速度6 7 nV最大推力0. 45 N,涉進(jìn)運(yùn)動(dòng)分辨率為5 nmoU1 7 東

17、北工業(yè)大學(xué)正在研制的立線型電機(jī)K 8車崩大學(xué)正住研制的聲表而波型直線電機(jī)<5）非接軸式趙聲電機(jī)目前流行的超聲電機(jī)都是依靠定子和轉(zhuǎn)子之間的摩擦來獲得力矩的"顯然摩擦?xí)苟ㄗ?和轉(zhuǎn)子磨損*從而使超聲電機(jī)的壽命受到限制°最近幾年?yáng)|京工業(yè)大學(xué)上羽貞行（S* Ueha）教 授和山形大學(xué)鈴木勝義CKSuxukDifc授都在研究非'接觸式超聲電機(jī)。這種電機(jī)定子和轉(zhuǎn)子不| 維普資訊 h ttp:/6垣動(dòng)、劇試與謬斬第H卷直接接觸它們之閭隔著層空氣或是液體介質(zhì)，目前這種電機(jī)已經(jīng)能夠旋轉(zhuǎn)、力矩極小.運(yùn)動(dòng) 機(jī)拯衙待研究"圈9為山形尢學(xué)研制中的非接觸式超聲電機(jī)群。f站三自由

18、度超聲電機(jī)通常的超聲電機(jī)是一個(gè)自由度（旋轉(zhuǎn)或平移兒針對(duì)機(jī)器人關(guān)節(jié)作爹自由度運(yùn)動(dòng)的需要*日 本已育些單位在研究多自由度或三自由度超聲電機(jī)。圖10為東泉工業(yè)大學(xué)精密與智能實(shí)驗(yàn)室 正在試驗(yàn)中的三自由度超聲電機(jī)。® 9 山形大學(xué)止在研制中的圖丨0 罪京工業(yè)大學(xué)1E在試螫屮的非桂融式趨聲電機(jī)群三自由度謹(jǐn)轉(zhuǎn)摩超聲電機(jī)當(dāng)然+隨著這些新盤趙聲電機(jī)的發(fā)展，電機(jī)的運(yùn)動(dòng)機(jī)理、數(shù)學(xué)模型、壓電材斜和摩擦材料以 及控制技術(shù)的硏究*也都在平斷深人之屮，這里就不掘述了.4加速發(fā)展我國(guó)的超聲電機(jī)技術(shù)通過參觀訪問，筆者巳渭楚地看到匸無論是超聲電機(jī)的產(chǎn)遊化十或是超聲電機(jī)的應(yīng)用研究、 還是贛型超聲電機(jī)的發(fā)展.日本都處于世黑

19、領(lǐng)先地位H盡管我國(guó)從豹年代開怡就有一些單位 從事超聲電機(jī)的研究.但至今我國(guó)和日本的差距仍然很犬.球近幾年，我國(guó)從事超聲電機(jī)研究 的單位越來越多個(gè)別單憧已有成功的產(chǎn)品甚至也開始在某些領(lǐng)域拭用，但仍未形成產(chǎn)業(yè)化. 未進(jìn)入商業(yè)化應(yīng)用問題究竟在專里?筆者認(rèn)為：（1）超聲電機(jī)的發(fā)展商未受到政時(shí)有關(guān)部門的重視，投資太少因而研究超聲電機(jī)的力 量（包括人力、物力）單障7“）國(guó)內(nèi)壓電陶蹩酣摩擦林料性館尚不能達(dá)郅超聲電機(jī)的要求.而且目前還沒有專門研 究單位配合研究這些材料IU）各研究單位之間缺乏交流和溝通.分散箱為啟疽勞動(dòng).進(jìn)展很慢：C41沒有人開發(fā)直幣市場(chǎng)°日本有關(guān)專家預(yù)言，汨世紀(jì)將足超蘆電機(jī)廣泛應(yīng)用

20、的時(shí)代.口本正在實(shí)現(xiàn)一個(gè)雄心埶勃 的超聲電機(jī)研究秫應(yīng)用計(jì)劃亠美國(guó)*德國(guó)、法國(guó)、英國(guó)等都不甘落后，他們已經(jīng)或正在投人大批的人如物力幵發(fā)超聲電 機(jī)*努為追趕日本超聲電機(jī)技術(shù).以美國(guó)為例僅Pennsylvania州立大學(xué)在1994-1998年投資 1*5億美元從事超聲電機(jī)研兗.早在1曲4年美國(guó)有關(guān)研究報(bào)吿就預(yù)計(jì)在不遠(yuǎn)的將來.超聲| 維普資訊 h ttp:/第1期趙淳生籌，日本超聲電機(jī)的產(chǎn)業(yè)化、應(yīng)用和霍展電機(jī)將可能飆代全部的小型傳統(tǒng)電機(jī)。美國(guó)年產(chǎn)翅聲電機(jī)將達(dá)10億臺(tái)"事實(shí)上，這幾年美國(guó) 的一些公司已開始批量生產(chǎn)趙聲電機(jī)如Allid Signal公詞批量生產(chǎn)旋轉(zhuǎn)型超聲電機(jī)供給美 國(guó)軍方使用,A

21、nora3公司批董生產(chǎn)直線型斜聲電機(jī)供給信息產(chǎn)業(yè)領(lǐng)載便用面對(duì)日本及全球蓬勃發(fā)展的超甫電機(jī)形勢(shì)，我們不應(yīng)消極等待著若干年后應(yīng)用別國(guó)的產(chǎn) 品而應(yīng)把握現(xiàn)在積極發(fā)展擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超聲電機(jī)亠因?yàn)椤笆澜缟嫌行┳钕冗M(jìn)的技術(shù)星 買不來的J我們應(yīng)誄而且有能力、有基礎(chǔ)趕上世界超聲電機(jī)的發(fā)展步伐，跟蹤這一世界先進(jìn)科 技前沿大力發(fā)展我國(guó)的超聲電機(jī)技術(shù)，迅速綢小與日本超聲電機(jī)技術(shù)的差距犀快地開拓國(guó) 內(nèi)超聲電機(jī)應(yīng)用市場(chǎng)，緞而打人國(guó)際市場(chǎng).國(guó)家白然科學(xué)基金委員會(huì)十分敏銳地看到超聲電機(jī)技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用前景近幾年來工 程和材料科整部、信息科學(xué)部都貿(mào)助了一些單位從事這 領(lǐng)域的研究“最近，國(guó)家自然科學(xué)基 金委員會(huì)工程和材料科學(xué)

22、部委托南京航空航天大學(xué)趙聲電機(jī)研究中心發(fā)出通知；輅在今年5 月34日在南京航空朋天大學(xué)石開首次會(huì)國(guó)趙聲電機(jī)技術(shù)研討會(huì)占展示全國(guó)各單悅的研究 成果，交流工作經(jīng)驗(yàn)，對(duì)我國(guó)發(fā)虛趙再電機(jī)"發(fā)表怠見和建血并為國(guó)家自然科學(xué)墓金委員會(huì)在 該領(lǐng)域資助策略的制定提供依據(jù)口屆時(shí)來自全國(guó)該領(lǐng)域的專家、學(xué)者、教授和研究工作者將聚 集一堂廣眨玄流，探入探討，找出一條迅速發(fā)展我國(guó)超聲電機(jī)技術(shù)的有敢途徑-乘著會(huì)議的東 風(fēng)我國(guó)趙聲電機(jī)研究、發(fā)展和產(chǎn)業(yè)化必將出現(xiàn)新的起色呈現(xiàn)一個(gè)赫新的局面1參 雋 宜 就1 Tais ana- TTonsilsawa Y. Characteristics of a power srap

23、plyi ng device ussi 叫j flexural progressive waves in a Jo&sy uHrasan ic transmissnioTi floe lo 二 Pnxieeclingsj of World Co Tigress on U£trasoiiic3R Japan T J 997, 39 402 SaLlonobu JTTorii NNakajnura K et Const ruction ef megatarque hybrid transducer type ultrasonic eo- tor. Jpfir J< AppL Phys«1996ilSS ：5038 50413 Mot it a T> Kurosawa M Higuchi T- A micro ulfraonic motor fabricated by hydrothermAl method. 1998 IE EE loternE&tioaal Ultrasonics Sympoaiuni, Japao-r 19984 KarowA M »Chiba M ? Hiouchi T. EvAluafioEi ©f si surface acotistic w.iive motor with mu I ti