檢測設備宕機處理

1、頁碼：第1頁，共1頁檢測設備宕機處理規(guī)范頁碼：第1頁，共2頁檢測設備宕機處理規(guī)范1、目的確保產(chǎn)品在檢測設備異常期間，得到及時有效的檢測，從而保證產(chǎn)品質(zhì)量。2、適用范圍適用于所有在線、離線檢測設備。3、部門職責3.1生產(chǎn)部：按照規(guī)定執(zhí)行使用部門職責。3.2質(zhì)量部：.負責掛牌和對應應急預案以及檢測設備異常處理行動方案的監(jiān)控和播報， 在責任部門交付后進行驗證，判斷合格，給予復機批準。.按照規(guī)定執(zhí)行使用部門職責。.監(jiān)督此文件標準化執(zhí)行。3.3工藝部：接到使用部門通知，負責第一時間到現(xiàn)場與設備部負責人同時進行問題排查。 若確認是由于軟件原因造成的異常，由工藝部進行排查，排查完畢后在檢測設備宕 機、屏蔽/

2、復機記錄單中填寫原因、措施、處理結(jié)果，處理完畢后交付給使用部門；3.4設備部：接到使用部門通知，負責第一時間到現(xiàn)場與工藝部負責人同時進行問題排查， 若確認是由于硬件原因造成異常的，由設備部填寫原因、處理結(jié)果，處理完畢后、交付使用 部門。3.5通用職責：3.5.1使用部門：發(fā)現(xiàn)自己使用的檢測設備異常（不工作或測試異常）后，第一時間通知，并填寫檢測設備宕IPQC相應責任部門負責人（可參照檢測設備宕機責任部門表）機、屏蔽/復機記錄單。測試設備宕機維護責任部門崗位NO.檢測設備責任部門硅片檢驗1GP-Waf-Q工藝/設備2Semilab-WMT工藝/設備3Nan o-D/MCI-100工藝/設備前清洗

3、4反射率測試儀工藝/設備擴散5Semilab-SHR工藝/設備6Napson工藝/設備后清洗7GP邊阻測試儀設備8電子天平設備PECVD9GP-Col-Q工藝/設備10膜厚折射率測試儀工藝/設備絲網(wǎng)印刷11電子天平設備分檢12GP-Cell-Q-FS/Manz 分色工藝/設備13GP-Cell-Q-RS工藝/設備14在線EL設備15離線EL設備16金相顯微鏡工藝/設備可靠性17衰減箱設備18臥式拉力機設備溫濕度19液晶大屏溫濕度計質(zhì)量-計量3.5.2異常原因排查超過 60min，現(xiàn)場的工藝監(jiān)控，責任部門根據(jù)此文件給出應急預案給出，相應部門 按照預案執(zhí)行（若文件未涉及）。3.5.3若需要屏蔽某處

4、在線檢測設備，申請屏蔽部門必須提出申請，填寫檢測設備宕機、屏蔽/復機記錄單，交予工藝進行審核，審核通過后將表單交給IPQC,由責任部門進行實施屏蔽。3.6使用部門定義：生產(chǎn)部：所有在線檢測設備（安置在生產(chǎn)設備內(nèi)的檢測設備），稱重天平，邊阻測試儀；質(zhì)量部：離線檢測設備，包括Napson、橢偏儀、反射率測試儀，離線EL測試儀，臥式拉力機，溫濕度計，光衰減箱。頁碼：第3頁，共4頁檢測設備宕機處理規(guī)范相關(guān)記錄4、處理流程檢測設備宕機處理流程責任部門要求1. 第一時間通知責1.使用部門任部門和質(zhì)量部巡檢和設備部到現(xiàn)場排查開具檢測設備宕機、2.工藝部/設屏蔽/復機記錄單備部2. IPQC到場掛牌3.質(zhì)量部

5、3.工藝/設備同時到4.工藝部/設場進行排，查判斷是否是備部檢測設備軟件問題，若 是，工藝部進行調(diào)試解 決，若是非檢測設備軟件 問題由設備部進行解決， 產(chǎn)線按照本文件規(guī)定預 案指向相關(guān)測試5.設備部4.設備部給出解決措施并調(diào)試6. 質(zhì)量部7質(zhì)量部檢測設備宕機、屏蔽復機記錄單質(zhì)量部巡檢接到通知 到場進行驗證，驗證 方法：利用多片二級 樣片進行測試，分析 標值與測試值的差； 判定標準：最大極差 小于容差，判定合格6.確認調(diào)試完成后，IPQC掛正常牌回復生 產(chǎn)頁碼：第4頁，共6頁檢測設備宕機處理規(guī)范相關(guān)記錄檢測設備屏蔽處理流程責任部門1. 工藝部2. 生產(chǎn)部3. 設備部4.工藝部5.責任部門按 照復

6、機計劃進行改善6.質(zhì)量部7.質(zhì)量部要求非檢測設備宕機需要 屏蔽檢測設備時要求屏蔽部門填寫表 單，進行屏蔽申請。要 求申請部門將：屏蔽原 因、預案以及復機方案 和日期填寫清楚，交給 工藝評審工藝部對屏蔽申請進 行審核，審核完工藝將 記錄單交給IPQC質(zhì)量部巡檢到場掛牌（屏蔽牌）驗證取消屏蔽后是否 正常檢驗。驗證方法: 利用多片二級樣片進 行測試，分析標值與 測試值的差；判定標 準：最大極差小于容 差，判定合格IPQC掛正常牌恢復生 產(chǎn)檢測設備宕機、屏蔽/復機記錄單頁碼：第1頁，共7頁檢測設備宕機處理規(guī)范5、宕機預案相關(guān)測試設備異常應急預案崗位NO.檢測設備異 常應急預案測試方法和 頻率硅片檢驗1

7、GP-Waf-Q測試 異常 或故 障無 法正 常工 作由生產(chǎn)人工全檢預案中未提 及的，按照最新的控制計劃要求執(zhí)行2Semilab-WMT3Nan o-D/MCI-100前清洗4反射率測試儀單/多晶反射率測試儀(AudioDev)共有2臺，每車 間一臺，如有一臺出現(xiàn)異常， 由清洗工藝、生產(chǎn)、質(zhì)量按參 照控制計劃流程文件中的 測試方法和頻率輪流到另一 車間測試，如兩臺測試儀同時 出現(xiàn)異常，則以減薄量為工藝 調(diào)整的主要參考基礎。擴散5Semilab-SHR在線Semilab測試儀每臺擴散 爐對應一臺，共十六臺。如在 線測試儀無法使用，生產(chǎn)人員 對該機臺對應的擴散爐管進 行測試，每管抽測4pcs (確

8、保 每盒抽測1pcs)，采用 5poi nt 測試模型，并在流 程卡做好記錄抽測方阻數(shù)值 和對應爐管管號。詳見工藝 規(guī)程6Napson1#車間3臺，10#車間1臺， 共4臺，1#車間Napson故障， 故障線別的測試在1#車間正 常Napson機臺進行測試；若 1#車間機臺均故障，將10#車 間機臺移至1#車間，所有測試 在此機臺上完成；若10#車間 機臺故障，移一臺1#車間正常 的機臺到10#車間進行測試。 機臺故障后，使用部門必須及 時報修。頁碼：第1頁，共8頁檢測設備宕機處理規(guī)范后清洗7GP邊阻測試儀GP邊緣電阻測試儀共有 3臺， 1#車間兩臺，10#車間一臺， 如有個別出現(xiàn)異常，則由生

9、產(chǎn) 人員按常規(guī)比例使用其他機 臺進行抽測，如均出現(xiàn)異常， 則減薄量和目測刻蝕效果為 工藝調(diào)整的主要參考基礎。8電子天平每車間一臺電子天平，共2臺 電子天平，若故障，由生產(chǎn)物 料領(lǐng)取備用電子天平，放置到 線上替換故障天平，并及時保 修故障電子天平。PECVD9GP-Col-Q1-4線在線GP solor測試儀， 母臺 PE對應 臺，共八臺， 任何一臺出現(xiàn)問題即全部由 生產(chǎn)員工手工挑選鍍膜后返 工片。10膜厚折射率測試儀AudioDev折射率測試儀， AudioDev反射率測試儀各有 兩臺（同前清洗）每車間一臺， 如有一臺出現(xiàn)異常，由IPQC 生產(chǎn)、工藝一起按常規(guī)比例到 另一個車間進行抽測（每個部

10、 門每班一臺）絲網(wǎng)印刷11電子天平每兩條線一臺電子天平，共 5 臺電子天平，若故障，由生產(chǎn) 物料領(lǐng)取備用電子天平，放置 到線上替換故障天平，并及時 報修故障電子天平。分檢12GP-Cell-Q-FS/Ma nz分色出現(xiàn)機臺故障，由FQC進行人 工分色13GP-Cell-Q-RS由于GP-Cell-Q-RS控制電池 片的疋位，右出現(xiàn)故障，必須 整機停機，電池片由生產(chǎn)離線 進行效率測試，然后由FQC1 行顏色分類。14在線EL在線EL測試儀，L3-6線每條 線一臺，共四臺，若出現(xiàn)故障 由FQCS照150片/時/線的頻 率進行抽測。頁碼：第1頁，共10頁檢測設備宕機處理規(guī)范15離線EL離線EL測試儀

11、，1#車間3臺， 10#車間2臺，共5臺；若一 臺故障，離線EL的抽測量由 其余完好機臺完成，成批出現(xiàn) 的EL不良，先隔離入庫，再 由FQC安排全檢驗；設備部對 故障機臺進行修復；出現(xiàn)兩臺 機及以上的離線EL故障時， 由使用部門組織相關(guān)部門會 議決定在檢測設備修復期間， 如何處理在線產(chǎn)品的 EL測試 安排16金相顯微鏡線寬線高測量，奧林巴斯金相 顯微鏡共2臺，每車間一臺， 如1#或10#車間機臺出現(xiàn)異 常，反饋當班工藝員在好的機 臺測試線寬線咼，如所有機臺 出現(xiàn)異常則以印刷濕重為工 藝調(diào)整的主要參考基礎。電池可靠 性分析17衰減箱光衰減箱，每車間一臺，若其 中一臺損壞，則衰減到另外一 臺衰減箱

12、進行；若兩臺衰減箱 都損壞，應急措施：將電池片 送至尚德進行衰減；光衰減箱損壞，使用部門及時報修18臥式拉力機臥式拉力機，1#車間一臺，10# 車間一臺；若其中一臺故障，拉力測試在另外一臺臥式拉 力機上測試；若兩臺同時故 障，拉力測試用指式拉力機或 數(shù)顯拉力機完成；臥式拉力機故障后，使用部門及時報修溫濕度19溫濕度計液晶大屏溫濕度計，1#車間12 個，10#車間6個，若有部分 或全部損壞，則對應損壞位置 使用毛發(fā)溫濕度計（備用 40 只）；損壞的溫濕度計由計量 負責報修5.1如遇以上未涉及的檢測設備異常，由當班工藝組織質(zhì)量/生產(chǎn)/設備部各班長，現(xiàn)場協(xié)商制定出對產(chǎn)品工藝監(jiān)控的應急預案，預案由工藝填寫在檢測設備宕機、屏蔽/復機記錄單中，若檢測設備處理異常超過12小時，工藝部編制臨時文件，