DSP實(shí)現(xiàn)雙面光刻底面對準(zhǔn)系統(tǒng)中的(精)

1、DSP賣現(xiàn)雙面光刻底面對準(zhǔn)糸統(tǒng)中的圖像采集與處理柯學(xué).羅正全（中 3 科竽就尢電技未硏尤圻 0 川#610209）豪：6陽邇1街丸制葉*繪忌的屋上.*論遑T4何制黒 Z 址行IB似熹 以賞観*為尢的高卅4t*MU關(guān): 勵(lì)紋：$Mt4/rs；甘;林憶中圈分4：TN3O5.7文幢SBh A文車J：I67M776 （2000 O3-COM-O3Using DSP to achieve image acquisition andprocessing in the bottom side alignment systemKE X*. LUO Zbmf( (-quAnIMMMUTYg，細(xì)vmr .OMWW

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3、時(shí)權(quán)時(shí)衡 產(chǎn)生第因槍*變賂引直釣尢質(zhì)ft下絳的形響； 另外.由十采用 （XU技術(shù).DSP技術(shù).itwmtt札方式上fils文的擺高2底面對準(zhǔn)果統(tǒng)結(jié)構(gòu)與殊理底面吋秦統(tǒng)結(jié)構(gòu)的尤學(xué)WJiftmL其中的feltSM明尢様、分光.成*WttMhtt背先.在放樣片前由CCD吋俺左右標(biāo)記盧律iiitnsPfB卡采回習(xí)Z V4K314 fl _電子技術(shù)2004M3M屮用 L后送人悴算機(jī)保“；然后.故上樣斤. 的財(cái)冷杯記.同繹俊杯記通過采 鼻由計(jì)算機(jī)保療.此時(shí)整辦保存的梵*左右杯記. 樣片底面對催低記用帕町以計(jì)W A.V. “；危.MxvsX、so.由計(jì)鼻機(jī)作主機(jī)、MCU作從機(jī)點(diǎn)押銅魁模樣片購冷臺第趴Y. 0

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6、電材林的険大.初料分曲2月2H發(fā)表了這所大學(xué)事學(xué)科 材輯研克咿心授的這一険X.仟發(fā)兵It授介第.侄電現(xiàn)弘是( (!( f矣育定厶體一電體叩的獨(dú)材效應(yīng)。圧電材料&AHU電場時(shí)產(chǎn)生伸8覽形.相反住IklDlE力時(shí) 產(chǎn)生電壓.利用這幷牧應(yīng)可制作電貯與機(jī)績施吃低應(yīng)足AHra并行處理若片DSP(fburc與DSP之佝采用主從工作方式.二?？梢圆⑿懈?理.因此.為rMhLMM度丈時(shí)4SI的需 用了二統(tǒng)豪丘分 n 另外.U、AK. M的檢 側(cè)箱廈H接影機(jī)麻饒對腫的廈雜性以從桶度. 所以對盧豪筑屮的圖“柔與處尺豎取圖比酬技*tHR9C的挽術(shù)之一.采用與處理不僅縫左eft復(fù)雜H注.弟且住足個(gè)系 統(tǒng)檢MMKV求.(實(shí)聘、可拿性 考文：UitM U可凡 R 鬢術(shù)憲JJ電-fT*t * TOO. (sl-.U AR- WOflWWM*)分命*比：J1電#丫4ea. m. ) )i e .! 貝*J) !術(shù).2Q (,忡介：R WtWKt： 0為偌Mi左！覽子巧換的.任*攜式電話.打印機(jī)以尺尖fll技術(shù)的！IMIfilil俺衿方鉗了廣泛應(yīng) 用.仮這并傳通匝電效應(yīng)的電致査影很小.Mrt用.并且tifr廣泛便用的壓電 材料由f*WU的