PN結(jié)二極管工藝流程ppt課件

1、PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備 主要內(nèi)容：主要內(nèi)容：PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備（0準(zhǔn)備準(zhǔn)備p-Si 1 1、制備單晶硅片、制備單晶硅片2 2、硅片表面的化學(xué)清洗、硅片表面的化學(xué)清洗PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備(1) 氧化氧化問(wèn)題：?jiǎn)栴}： 1、為什么要雙面氧化？、為什么要雙面氧化？ 2、氧化層的厚度需要大于設(shè)計(jì)的厚度，為什么？、氧化層的厚度需要大于設(shè)計(jì)的厚度，為什么？PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備(2) 涂膠涂膠問(wèn)題：?jiǎn)栴}：1 1、涂膠過(guò)程、涂膠過(guò)程2 2、光刻膠分類，作用，常用的光刻膠？、光刻膠分類，作用，常用的光刻膠？3 3、涂膠后，曝光前，對(duì)光刻膠加固的過(guò)程是什么工藝、涂膠后

2、，曝光前，對(duì)光刻膠加固的過(guò)程是什么工藝PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備Mask 1黑色部分都是不透光的，中間的白色部分是做擴(kuò)散的位置。Mask的剖面圖PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備（3曝光曝光問(wèn)題：?jiǎn)栴}：1 1、光刻的作用？、光刻的作用？2 2、圖中使用的是正膠，如果用負(fù)膠如何修改工藝？、圖中使用的是正膠，如果用負(fù)膠如何修改工藝？PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備（4顯影顯影問(wèn)題：?jiǎn)栴}： 1、什么是顯影工藝？、什么是顯影工藝？ 2、顯影液選擇的注意事項(xiàng)。、顯影液選擇的注意事項(xiàng)。PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備（5腐蝕腐蝕問(wèn)題：?jiǎn)栴}：1 1、腐蝕分為哪兩種形式，各有什么特點(diǎn)？、腐蝕分為哪兩種形式

3、，各有什么特點(diǎn)？2 2、選用腐蝕液要注意什么？、選用腐蝕液要注意什么？PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備（6去膠去膠1 1、通常用什么方法去膠？、通常用什么方法去膠？問(wèn)題：?jiǎn)栴}：PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備（7雜質(zhì)擴(kuò)散雜質(zhì)擴(kuò)散1 1、硅片要經(jīng)過(guò)適當(dāng)?shù)那逑春?、硅片要?jīng)過(guò)適當(dāng)?shù)那逑春? 2、應(yīng)該擴(kuò)散什么雜質(zhì)、應(yīng)該擴(kuò)散什么雜質(zhì)3 3、雜質(zhì)擴(kuò)散源有哪些、雜質(zhì)擴(kuò)散源有哪些4 4、以液態(tài)擴(kuò)散源簡(jiǎn)要說(shuō)一下擴(kuò)散的化學(xué)原理、以液態(tài)擴(kuò)散源簡(jiǎn)要說(shuō)一下擴(kuò)散的化學(xué)原理5 5、這只是雜質(zhì)的預(yù)淀積。、這只是雜質(zhì)的預(yù)淀積。問(wèn)題：?jiǎn)栴}：PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備(8)驅(qū)入驅(qū)入在未被氧化層保護(hù)的區(qū)域形成了在未被氧化層保護(hù)

4、的區(qū)域形成了n+-pn+-p結(jié)。結(jié)。 （n+n+中的中的“+”+”號(hào)表示高摻雜）號(hào)表示高摻雜）問(wèn)題：?jiǎn)栴}：PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備（9金屬化金屬化1 1、金屬化的目的？、金屬化的目的？2 2、淀積金屬薄膜有幾種方法？、淀積金屬薄膜有幾種方法？3 3、（低于或等于、（低于或等于500oC500oC退火來(lái)改善金屬層退火來(lái)改善金屬層 與硅之間的歐姆接觸。與硅之間的歐姆接觸。 問(wèn)題：?jiǎn)栴}：PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備(10)涂膠涂膠目的：通過(guò)光刻去除擴(kuò)散結(jié)區(qū)域之外的多余的金屬薄膜。目的：通過(guò)光刻去除擴(kuò)散結(jié)區(qū)域之外的多余的金屬薄膜。PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備Mask 2Mask黑色部分都是不透光的，四周的白色部分是刻蝕金屬的位置。Mask的剖面圖問(wèn)題：可不可以用問(wèn)題：可不可以用Mask1？PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備(11)曝光曝光mask2板板問(wèn)題：?jiǎn)栴}：如果采用負(fù)膠，如何修改掩膜板如果采用負(fù)膠，如何修改掩膜板Mask2Mask2？PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備(12)顯影顯影問(wèn)題：顯影液的選擇問(wèn)題：顯影液的選擇PN結(jié)二極管的制備結(jié)二極管的制備(13)腐蝕腐蝕1 1、此次腐蝕的目的？、此次腐蝕的目的？2 2、腐蝕液的