PN結二極管工藝流程ppt課件

1、PN結二極管的制備結二極管的制備 主要內容：主要內容：PN結二極管的制備結二極管的制備（0準備準備p-Si 1 1、制備單晶硅片、制備單晶硅片2 2、硅片表面的化學清洗、硅片表面的化學清洗PN結二極管的制備結二極管的制備(1) 氧化氧化問題：問題： 1、為什么要雙面氧化？、為什么要雙面氧化？ 2、氧化層的厚度需要大于設計的厚度，為什么？、氧化層的厚度需要大于設計的厚度，為什么？PN結二極管的制備結二極管的制備(2) 涂膠涂膠問題：問題：1 1、涂膠過程、涂膠過程2 2、光刻膠分類，作用，常用的光刻膠？、光刻膠分類，作用，常用的光刻膠？3 3、涂膠后，曝光前，對光刻膠加固的過程是什么工藝、涂膠后

2、，曝光前，對光刻膠加固的過程是什么工藝PN結二極管的制備結二極管的制備Mask 1黑色部分都是不透光的，中間的白色部分是做擴散的位置。Mask的剖面圖PN結二極管的制備結二極管的制備（3曝光曝光問題：問題：1 1、光刻的作用？、光刻的作用？2 2、圖中使用的是正膠，如果用負膠如何修改工藝？、圖中使用的是正膠，如果用負膠如何修改工藝？PN結二極管的制備結二極管的制備（4顯影顯影問題：問題： 1、什么是顯影工藝？、什么是顯影工藝？ 2、顯影液選擇的注意事項。、顯影液選擇的注意事項。PN結二極管的制備結二極管的制備（5腐蝕腐蝕問題：問題：1 1、腐蝕分為哪兩種形式，各有什么特點？、腐蝕分為哪兩種形式

3、，各有什么特點？2 2、選用腐蝕液要注意什么？、選用腐蝕液要注意什么？PN結二極管的制備結二極管的制備（6去膠去膠1 1、通常用什么方法去膠？、通常用什么方法去膠？問題：問題：PN結二極管的制備結二極管的制備（7雜質擴散雜質擴散1 1、硅片要經(jīng)過適當?shù)那逑春?、硅片要?jīng)過適當?shù)那逑春? 2、應該擴散什么雜質、應該擴散什么雜質3 3、雜質擴散源有哪些、雜質擴散源有哪些4 4、以液態(tài)擴散源簡要說一下擴散的化學原理、以液態(tài)擴散源簡要說一下擴散的化學原理5 5、這只是雜質的預淀積。、這只是雜質的預淀積。問題：問題：PN結二極管的制備結二極管的制備(8)驅入驅入在未被氧化層保護的區(qū)域形成了在未被氧化層保護

4、的區(qū)域形成了n+-pn+-p結。結。 （n+n+中的中的“+”+”號表示高摻雜）號表示高摻雜）問題：問題：PN結二極管的制備結二極管的制備（9金屬化金屬化1 1、金屬化的目的？、金屬化的目的？2 2、淀積金屬薄膜有幾種方法？、淀積金屬薄膜有幾種方法？3 3、（低于或等于、（低于或等于500oC500oC退火來改善金屬層退火來改善金屬層 與硅之間的歐姆接觸。與硅之間的歐姆接觸。 問題：問題：PN結二極管的制備結二極管的制備(10)涂膠涂膠目的：通過光刻去除擴散結區(qū)域之外的多余的金屬薄膜。目的：通過光刻去除擴散結區(qū)域之外的多余的金屬薄膜。PN結二極管的制備結二極管的制備Mask 2Mask黑色部分都是不透光的，四周的白色部分是刻蝕金屬的位置。Mask的剖面圖問題：可不可以用問題：可不可以用Mask1？PN結二極管的制備結二極管的制備(11)曝光曝光mask2板板問題：問題：如果采用負膠，如何修改掩膜板如果采用負膠，如何修改掩膜板Mask2Mask2？PN結二極管的制備結二極管的制備(12)顯影顯影問題：顯影液的選擇問題：顯影液的選擇PN結二極管的制備結二極管的制備(13)腐蝕腐蝕1 1、此次腐蝕的目的？、此次腐蝕的目的？2 2、腐蝕液的