ZSXPrimusIIMaintenanceChapter0001

1、第1章儀器概況1. 1.儀器概況1. 1. 儀器概況 11.1 產(chǎn)品配置 11.2 各部分名稱及規(guī)格 21.2.1 光譜儀主單元 2a.自動樣品交換器（ASC） 2b.樣品室 2c.樣品臺 2d.分隔器（選項） 3e.光學(xué)系統(tǒng) 3e.1初級X射線濾光片 3e.2視野光欄 3e.3衰減器 4e.4準(zhǔn)直器 4e.5測角儀 4e.6晶體交換器 5e.7接收準(zhǔn)直器 6e.8探測器 6f.探測器氣體系統(tǒng) 6g. 真空系統(tǒng) 6h.恒溫器 71.2.2 電子電路單元 8a.脈沖高度分析器 8b.探測器高壓電源 8c.計數(shù)電路 8d.序列控制電路 81.2.3 X 射線發(fā)生器單元 9a. X射線發(fā)生器 9b.

2、 X射線管 101.2.4 熱交換器單元 101.2.5 計算機系統(tǒng)（數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)） 11a. 計算機 11b. 顯示器 11c.打印機 111.3組件描述 12i-11.3.1 主要組件和排列 12ZSX Primus II Maintenance Manual第1章儀器概況1.3.2 光譜儀主單元 13a.電源 13a.1 斷路器 13a.2電源開關(guān) 15b.真空系統(tǒng) 15c.自動壓力控制(APC) 20d.探測器氣體系統(tǒng) 21e.恒溫器 24f. 故障安全系統(tǒng) 251.3.3 X 射線發(fā)生器 291.3.4 熱交換器 311.3.5 自動樣品交換器 (ASC48) 34a. XY 驅(qū)動單

3、元 35b. ASC 卡盤 35c.關(guān)門傳感器 35d.抽屜位置傳感器 35e.樣品盤 35f.樣品盤支架傳感器 351.4安全測量與有關(guān)法律和法規(guī) 36i-2 ZSX Primus II 維護(hù)手冊第1章儀器概況1.1產(chǎn)品配置以下顯示該設(shè)備的配置和附件X-射線指示-分析室-光學(xué)系統(tǒng)-恒溫器-樣品室-樣品臺-樣品室上舉-電器設(shè)備抽真空系統(tǒng)RigolcuZSX Primus II 維護(hù)手冊1-1第1章儀器概況1.2各部分名稱及規(guī)格1.2.1 光譜儀主單元a.自動樣品交換器（ASC）自動樣品交換器（ASC）是用于自動分析一個以上樣品的裝置。它是由 最多放置48個樣品的轉(zhuǎn)塔、樣品傳送、預(yù)抽真空室組成的

4、。樣品轉(zhuǎn)塔是 一個X-Y工作臺系統(tǒng)，為了便于樣品裝載/卸載，工作臺設(shè)計成可以拉出 的。裝載在轉(zhuǎn)塔中的樣品由傳送機傳送到樣品入口處，進(jìn)入預(yù)抽真空室， 然后再進(jìn)入樣品室進(jìn)行分析。樣品分析完成后，樣品返回樣品轉(zhuǎn)塔的原始 位置。 X-Y工作臺系統(tǒng)（預(yù)裝了抽屜型的樣品盤4盤） 最多裝載48個樣品（12個樣品/盤x 4盤） 應(yīng)用了在蓋子打開時停止運行的安全裝置b.樣品室樣品室配有樣品上舉裝置、用于樣品傳送到分析位置的內(nèi)部轉(zhuǎn)塔和分 析后拿出樣品的取樣器。 樣品入口 ：大氣鎖定型 內(nèi)部樣品轉(zhuǎn)塔2位置 樣品大小：51mm X 30m崎（最大） 樣品支撐水平，分析表面向上 樣品轉(zhuǎn)動有效時，30轉(zhuǎn)/分鐘C.樣品臺樣

5、品臺配備一個樣品轉(zhuǎn)動機構(gòu)和一個 r- 9驅(qū)動機構(gòu)。樣品轉(zhuǎn)動機構(gòu)在測量時使樣品按 30 rpm （每分鐘30轉(zhuǎn)）的速度旋轉(zhuǎn)1-2 ZSX Primus 維護(hù)手冊Rigolci第1章儀器概況r- 0定位機構(gòu)除了可以使樣品按 30rpm的速度旋轉(zhuǎn)外，還可以在使用 小直徑視野光欄時將樣品移動到 X射線輻照強度最高的測量位置。因此， 當(dāng)系統(tǒng)配備點分析和樣品觀測功能時，可以分析樣品上的任意小位置，并 可對整個樣品進(jìn)行分布分析測量。d.分隔器（選項）分隔器安裝在樣品室和分析室之間，用來執(zhí)行氯氣的有效充灌.e.光學(xué)系統(tǒng)e.1初級X射線濾光片為了提高分析光譜的探測靈敏度，初級 X射線濾光片安裝在X射線 管與樣品

6、之間，其作用是減輕X射線管特征線對被測譜線的重疊干擾， 并 減輕X射線管產(chǎn)生的不必要的背景輻射。初級X射線濾光片是一個帶有6個停止位置的可變裝置。其中4個位置用 于濾光片（4種濾光片材料），另兩個用于開放位（Open） 0No.材料（厚度）X射線管應(yīng)用1開放2開放3Zr (150 m)Rh分析Cd- K a時消除Rh-Ka。14Cu (40 Nm)Rh分析 Pb-L a , As-K a。5Ti (20 km)Cr, W, Rh分析 Cr, Co, Fe, Zn 。6Al (25 Pm)Rh分析Cd-La時消除Rh-L a。e.2視野光欄X射線管產(chǎn)生的X射線不僅照射分析樣品表面，同時也照射樣品

7、面罩 和樣品盒。樣品面罩和樣品盒也會產(chǎn)生其構(gòu)成材料的熒光 X射線和散射X 射線。如果這些X射線進(jìn)入探測器，分析精度就會降低。該設(shè)備配備了視野光欄，可以屏蔽掉樣品面罩、樣品盒等產(chǎn)生的X射 線，使僅由樣品產(chǎn)生的X射線被探測，并能做分布分析 。視野光欄是一個帶有8停止位的可變裝置，其中6個用于不同尺寸，一個 用于衰減器，另一個用于分隔器（選項）。用于r- 8樣品臺的8位置型? 小35mm小30mm *1、小20mm小10mm小1mm小0.5mmKl里子光欄*1:美國使用小28mm?衰減器?分隔器（選項）RigolcuZSX Primus II 維護(hù)手冊 1-3第1章儀器概況e.3衰減器在考慮分析精度

8、和漏計數(shù)兩種因素時，衰減器用于得到最佳的 X射線強 度，衰減器附加在視野光欄上，只可以在30mmi勺視野光欄(28mm時使用。衰減比：1/10e.4準(zhǔn)直器樣品受X射線管產(chǎn)生的初級X射線照射時，會在所有方向產(chǎn)生熒光 X 射線和散射X射線。準(zhǔn)直器安裝在樣品和分析晶體之間，使某一方向的X射線通過并到達(dá)晶體。準(zhǔn)直器由一些平行排布的薄片組成，這些薄片平行 于X射線取出方向，從而抑制垂直發(fā)散度、提高角度分辨率。有3個位置用于安裝準(zhǔn)直器，可從高分辨率準(zhǔn)直器、標(biāo)準(zhǔn)型準(zhǔn)直器和 高靈敏度準(zhǔn)直器中選擇一個作為預(yù)先安裝在預(yù)定位置。高分辨率準(zhǔn)直器薄片間的距離最小，用于對非常靠近的譜線的分光。標(biāo)準(zhǔn)型準(zhǔn)直器用于測量普通的重

9、元素和輕元素。高靈敏度準(zhǔn)直器薄片間的距離最大，用于測量易被X射線通道等吸收 的超輕元素。準(zhǔn)直器是一個帶3停止位的滑動裝置。三種類型準(zhǔn)直器如下： 高分辨率準(zhǔn)直器：S2 標(biāo)準(zhǔn)型準(zhǔn)直器 ：S4 超輕元素用準(zhǔn)直器：S8e.5測角儀測角儀由改變分析晶體角度的8軸、改變探測器角度的 28軸構(gòu)成 (流氣式正比計數(shù)器和閃爍計數(shù)器)。每個軸都可以獨立驅(qū)動。由于8軸和28軸可以獨立驅(qū)動，因此可以用閃爍計數(shù)器和正比計數(shù)器對 同一個LiF(200)晶體衍射的X射線進(jìn)行計數(shù)。 驅(qū)動方式：步進(jìn)馬達(dá) 掃描角度范圍(2- 9)閃爍計數(shù)器：5 - 118 度流氣式正比計數(shù)器：13 - 148 度 掃描速度：最大1400度(2

10、8)/分 掃描寬度:2/1000, 1 /100, 2 /100, 5/100, 1 /10 ( 連續(xù)掃描速度：0.1 - 240 ( 度/分) 角度的重復(fù)性：小于+/-0.0005 ( 度)1-4 ZSX Primus 維護(hù)手冊Rigolci第1章儀器概況e.6晶體交換器雙向轉(zhuǎn)動式10位晶體交換器可從下表中選擇最多10塊分析晶體:晶體測定元素范圍備注LiF(200)22Ti - 92U標(biāo)準(zhǔn)Ge(111)15P - 20CaPET13Al - 22RX258。- 12MgLiF(220)24Cr - 92U選項RX414SiRX915P, 16S, 17CIRX358。, 9F, 11Na,

11、12MgRX407N, 8。RX457NRX615B, 6cRX755BRX804BeRX61F6cZSX Primus II 維護(hù)手冊 1-5第1章儀器概況e.7接收準(zhǔn)直器接收準(zhǔn)直器安裝在探測器的前部，其作用是提高分析光譜的角度分辨率和 信號/噪音比。閃爍計數(shù)器配有高分辨率準(zhǔn)直器，流氣式正比計數(shù)器配有 高靈敏度準(zhǔn)直器。 用于閃爍計數(shù)器的準(zhǔn)直器：S2-1.5S 用于流氣式正比計數(shù)器的準(zhǔn)直器：S4-S4 sube.8探測器有兩種類型，即閃爍計數(shù)器和流氣式正比計數(shù)器。通常，閃爍計數(shù)器用于測量波長比0.366nm短的元素，正比計數(shù)器用于測 量波長比0.154nm長的元素。流氣式正比計數(shù)器配備有芯線清

12、潔機構(gòu)和氣體密度穩(wěn)定裝置。 閃爍計數(shù)器用于測量22Ti92U 流氣式正比計數(shù)器用于測量4Be31Zn配備芯線清潔機構(gòu)和氣體密度溫度裝置，以抵消氣體溫度和氣壓變 化引起的氣體密度變化。f.探測器氣體系統(tǒng)流氣式正比計數(shù)器需要PR （P-10氣體）氣體以固定的流速流過。運行中 流速一直顯示在 計算機顯示板的屏幕中。一般是不需要調(diào)節(jié)的。 流速：5 mL/ 分.A開放至大氣流速控制閥 過濾器（針閥）氣體 密度穩(wěn) 流速傳感器7EWg.真空系統(tǒng)帶有兩個機械旋轉(zhuǎn)泵的高速抽真空系統(tǒng)， 配備有自動壓力控制系統(tǒng)（APC。APC 通過用變頻器控制旋轉(zhuǎn)泵的轉(zhuǎn)速使分析室的真空度保持恒定。使用APCM,不會因真空度的變化而

13、使X射線強度變化，即使非常輕的元素也可進(jìn)行穩(wěn)定分析。 此外，粉末樣品分析附件是本儀器的一個選購項， 它可以防止粉末樣品的散失1-6 ZSX Primus 維護(hù)手冊Rigolci第1章儀器概況對真空系統(tǒng)的污染。 雙真空泵的抽真空系統(tǒng)帶有自動真空壓力控制系統(tǒng)和緩慢抽真空方式真空泵：用于主真空和輔助真空直聯(lián)式機械油旋轉(zhuǎn)泵162 L/分.（60Hz）, 135 L/分.（50Hz）配備泵油回流防止機構(gòu)真空計：主、輔真空系統(tǒng)各配備一個皮氏真空計 真空管標(biāo)準(zhǔn)：0.5m （主真空用），1m （輔助真空用）h.恒溫器恒溫器的作用是保持光譜儀的溫度恒定。當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)的溫度變化時，分 析晶體的d間距（晶格距離）和準(zhǔn)

14、直器的金屬片距離等也會發(fā)生變化，從而 引起X射線強度變化。因此，晶體室中的溫度必須保持恒定。恒溫器由一個電熱調(diào)節(jié)器、一個加熱器和一個風(fēng)扇構(gòu)成，從而保持溫度恒定 控制溫度36.5 +/-0.5 C （光譜儀內(nèi)），+/-0.12（分析室）ZSX Primus II 維護(hù)手冊1-7第1章儀器概況1.2.2 電子電路單元a.脈沖高度分析器探測到的信號中包括高次X射線線信號和電噪聲，它們會降低分析精度, 由于探測器輸出信號的脈沖高度正比于入射 X射線的能量，因此脈沖高度分 析器可以用電學(xué)方法對信號進(jìn)行甄別。采用兩個脈沖高度分析器，一個用于 閃爍計數(shù)器，另一個用于流氣式正比計數(shù)器。b.探測器高壓電源閃爍計

15、數(shù)器和流氣式正比計數(shù)器探測 X射線時需要高壓電源供電。本儀 器中，閃爍計數(shù)器和流氣式正比計數(shù)器的擁有各自獨立的高壓電源。它們的輸出電壓范圍分別為： 閃爍計數(shù)器電壓范圍：500 - 1000V 流氣式正比計數(shù)器電壓范圍：1250 - 2500VC.計數(shù)電路系統(tǒng)有兩種獨立的計數(shù)電路。在校正計算的同時進(jìn)行別的計算處理。這些計數(shù)器具有用于定時計數(shù)的內(nèi)置計時器和用于掃描測量的內(nèi)置閉環(huán)電路。 計算處理：漏計數(shù)校正脈沖高度漂移校正2 9脈沖高度聯(lián)鎖 最大計數(shù)范圍264-1個計數(shù) 測量綜合時間：定量分析 :1 - 999秒步進(jìn)掃描 ：0.1 - 9.9秒d.序列控制電路序列控制由32位微處理器構(gòu)成。該電路從外

16、部數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)接收命令，用以控制測角儀、樣品室等的馬達(dá)、 并控制X射線發(fā)生器等。1-8 ZSX Primus 維護(hù)手冊Rigolci第1章儀器概況1.2.3 X射線發(fā)生器單元a. X射線發(fā)生器X射線發(fā)生器為X射線管提供高壓供電，并保持電壓和電流的穩(wěn)定。該單元安 裝在光譜儀中。連續(xù)輸出功率管電壓（正）電流控制模式4kW20 - 60kV2.5 - 150mA高頻方式額定管電壓和管電流60kV, 150mA根據(jù)X射線管型號不同，最大管電流不同。 穩(wěn)定性電源輸入變動為+/-10%時，電壓和電流的變動均小于 +/-0.005% 保護(hù)電路二次冷卻水異常檢測系統(tǒng)（水溫，電導(dǎo)率，流量，水壓，水位等）X-ra

17、y報警燈斷路檢測系統(tǒng)管電壓漏電檢測系統(tǒng)過電壓限制系統(tǒng)低電壓限制系統(tǒng)管電流限制系統(tǒng) 設(shè)定值由計算機設(shè)定。X-射線管電壓20 - 60KV （間隔為 1kV）X-射線管電流2 - 150mA （間隔為 1mA過載限定設(shè)置3kW/4kW自動切換ZSX Primus II 維護(hù)手冊 1-9第1章儀器概況警報指示機殼打開，連鎖異常X射線指示燈損壞X射線發(fā)生器異常低電壓過載漏電流異常燈絲損壞管電流異常過電流水壓異常，水流量異常，水位異常，水溫異常，水質(zhì)異常b, X射線管端窗型RH靶X射線管端窗型單靶：Rh (3kW)薄窗靶： Rh (3kW, 4kW) 小面積分析靶：Rh (4kW)1.2.4 熱交換器單

18、元為X射線管提供冷卻水配備了冷卻水裝置以及循環(huán)去離子水。循環(huán)去離子水法，由離子交換樹脂確定水質(zhì)和電阻率外部初級冷卻水溫度：小于30 C水壓：0.294 - 0.49 MPa水流：大于5 L/分(在水溫小于301 時)1-10 ZSX Primus 維護(hù)手冊Rigolci第1章儀器概況1.2.5 計算機系統(tǒng)（數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)）a.計算機配有PC/AT兼容機。它是由CPU存儲器、硬盤、軟驅(qū)、CD-R/W可讀寫、鼠標(biāo)、鍵盤等組成。Windows XP操作系統(tǒng)，LAN, WAN網(wǎng)絡(luò)配置。b.顯木器把如測量條件設(shè)置、對話框等顯示到操作屏幕上。c.打印機用于打印分析結(jié)果和測量條件列表。A4規(guī)格彩色打印機ZSX

19、 Primus II 維護(hù)手冊1-11第1章儀器概況1.3組件描述本節(jié)將對ZSX PrimusII的主要組件的名稱和功能進(jìn)行說明。1.3.1 主要組件和排列主要組件和排列如下:X-射線指示燈電源開關(guān)熱交換器熱交換器真空泵（2臺）X-射線發(fā)生器電源箱（電源）-樣品室-樣品塔-光學(xué)系統(tǒng)-恒溫器真空系統(tǒng) （雙泵系統(tǒng)）-分析室-光學(xué)系統(tǒng)-恒溫器自動樣品交 換器（ASC）；管:線:射 :X樣品室上舉斷路器開關(guān)1-12 ZSX Primus 維護(hù)手冊第1章儀器概況1.3.2光譜儀主單元a.電源a.1斷路器斷路器位于光譜儀右后角主真空泵變頻器恒溫器斷路器ELB2 單相 200V 10AX-射線發(fā)生器電源連接

20、端子TM1光譜儀斷路器NFB1 三相 200V 10A主斷路器ELB1 三相 200V 40A連接板輔助真空泵繼電器 TH1RigolcuZSX Primus II 維護(hù)手冊1-13第1章儀器概況 主斷路器當(dāng)該斷路器開啟時，光譜儀斷路器、恒溫器斷路器和X射線發(fā)生器得到200V 的電源供電。 恒溫器斷路器當(dāng)該斷路器開啟時，恒溫器得到200V的電源供電，并開始工作。(主電源 斷路器必須開啟)。 光譜儀斷路器當(dāng)該斷路器開啟時，光譜儀得到 200V的電源供電。 X射線發(fā)生器電源接線端子與X射線發(fā)生器電源線連接。 連接器面板熱交換器連接器(WP)與X射線發(fā)生器的熱交換器電源連接器連接。主真空泵連接器(R

21、PA)與主真空泵電源連接器連接。預(yù)真空泵連接器(RPI)與預(yù)真空泵連接器連接。 指示燈電源指示燈電源接通時，電源指示燈亮。恒溫器電源指示燈恒溫器斷路器接通時，該指示燈亮。恒溫器加熱器指示燈恒溫器加熱器工作時，該指示燈亮。1-14 ZSX Primus 維護(hù)手冊Rigolci第1章儀器概況a.2電源開關(guān)電源開關(guān)安裝在儀器的前面板的右側(cè)開啟電源開關(guān)按下此開關(guān)時，整個系統(tǒng)被開啟。電源關(guān)閉開關(guān)按下此開關(guān)時，整個系統(tǒng)被關(guān)閉。備注：恒溫器的電源不與上述電源控制連鎖。b.真空系統(tǒng)為避免空氣對X射線的吸收引起的強度降低，測量可以在真空中進(jìn)行。 真空系統(tǒng)配備有自動壓力控制（APC系統(tǒng)和慢抽真空系統(tǒng)，它由機械泵、

22、 真空閥和放氣閥的閥單元、樣品準(zhǔn)備室、樣品室、分光室、皮氏計和分光 室壓力傳感器構(gòu)成。另外，除了以下顯示的標(biāo)準(zhǔn)真空系統(tǒng)外，充氮氣系統(tǒng) （選項）用于其它不同的分析目的和方法?？刂七@些真空系統(tǒng)的真空閥門 集成在閥裝置中，安裝在儀器主單元里。標(biāo)準(zhǔn)真空系統(tǒng)和充氯氣系統(tǒng)（選項）示意圖如下：ZSX Primus II 維護(hù)手冊1-15第1章儀器概況標(biāo)準(zhǔn)真空系統(tǒng)1-16 ZSX Primus 維護(hù)手冊第1章儀器概況帶氮氣充氣裝置和分隔器的真空系統(tǒng)裝載鎖室充氨氣閥門LHF氨氣慢速閥門-p HLF氨氣轉(zhuǎn)變閥門HFC分析室放氣閥ALNOAPC調(diào)節(jié)閥PCV分析室真空計APGG分析室PTT分隔器主室手動放氣閥主室環(huán)境

23、壓力檢測開關(guān)MPSL充氨氣旁路閥HBP主室抽真空閥MV油逆向保護(hù)閥PLV真空泵1（變頻控制）MRP裝載鎖室真空計LPG快速放氣閥I底產(chǎn)慢速放氣閥J, LSL裝載鎖一室快速抽真空閥LFV樣品室自動壓力控制閥樣品室環(huán)境 壓力檢測開 關(guān)SPS粉末樣品過 濾器（選項）僅樣品室抽真空閥SV自動壓力控制閥真空泵2LRP慢速抽真空閥LSZSX Primus II 維護(hù)手冊1-17第1章儀器概況抽真空管道系統(tǒng)組件裝載鎖室(L.L.C.)樣品室分析室樣品室和分析室統(tǒng)稱為主室1-18 ZSX Primus 維護(hù)手冊標(biāo)準(zhǔn)真空系統(tǒng)名稱符號規(guī)格快速抽真空閥LFVVCW41-5G-10-06-A-X35慢速抽真空閥LSV

24、VDW31-5G-2-01-A-X22主室抽真空閥MVVCW41-5G-10-06-A-X351快放氣閥LFLVDW31-5G-2-01-A-X22慢放氣閥LSLVDW31-5G-2-01-A-X22分析室放氣閥ALVDW31-5G-2-01-A-X22APC調(diào)節(jié)閥PCVVDW31-5G-2-01-A-X22泵油回流防護(hù)閥PLVVCW22-5G-2-01-A-X35裝載室真空計PGL6480-2001CS分析室真空計PGA6480-2001CS主室壓力檢測開關(guān)MAPZSE30-01-25-M旋轉(zhuǎn)泵1MRP8994-3501CS旋轉(zhuǎn)泵2LRP8994-3502CS(2)氨氣充氣裝置(帶分隔器)真

25、空系統(tǒng)名稱符號規(guī)格樣品室抽真空閥SVVCW41-5G-4-03-A-X35裝載鎖室充氨氣閥LHFVDW31-5G-2-01-A-X22充氨氣轉(zhuǎn)換閥HFCVX3324V-02-5G慢速充氮氣閥HLFVDW31-5G-2-01-A-X22充氨氣旁路閥HBPVCW41-5G-10-04-A-X35分隔器PTT8973-0048樣品室壓力檢測開關(guān)SAPZSE30-01-25-M第1章儀器概況預(yù)抽真空管(LRP)主抽真空管(MRP)光譜儀前面板裝載鎖室真空計 (PGL)裝載鎖室(樣品入口)抽真空系統(tǒng)(Left Side of Spectrometer Main Unit)ZSX Primus II 維護(hù)

26、手冊1-19第1章儀器概況c.自動壓力控制(APC)自動壓力控制(APC的作用是保持樣品室和分析室的真空度穩(wěn)定。 原理如下：皮拉尼真空計分析室目標(biāo)真空度（13Pa時,大約為1.12V ）I/O板上的真空度檢測電路將皮氏計檢測到的真空條件轉(zhuǎn)換為電信號 D/A轉(zhuǎn)換器將計算機設(shè)置的目標(biāo)真空度轉(zhuǎn)換為電信號。自動壓力控制對兩個電信號進(jìn)行比較，探測其差別，并將其輸入到變 頻器中，從而控制機械泵的轉(zhuǎn)速。這樣，測量室和分光室的真空度就被保 持在目標(biāo)真空度。1-20 ZSX Primus 維護(hù)手冊Rigolci第1章儀器概況d.探測器氣體系統(tǒng)本系統(tǒng)使用流氣式正比計數(shù)器探測輕元素。在計數(shù)器中流通PR氣體（P-10

27、氣體，90 %氮氣、10%甲烷氣）作為探測器工作氣體。下面是探測器氣體的框圖：P-10氣瓶 P-10氣流調(diào)節(jié)閥用于控制流氣正比計數(shù)器的 P-10氣體流速，通常不必調(diào)節(jié)，然而，如果需 要，可監(jiān)控計算機屏幕中的真空顯示，通過調(diào)節(jié)該閥來調(diào)整流速。由于計算機屏幕顯示的是流速平均值，在調(diào)節(jié)時要求慢速操作。 P-10氣體流速傳感器用于檢測氣體流量，轉(zhuǎn)換為電信號并在計算機中顯示出來。 He氣流量計（選項）用于調(diào)節(jié)He氣的流量只有當(dāng)系統(tǒng)配備有充氯氣機構(gòu)選購項時，才安裝此流量計。.RigolcZSX Primus II 維護(hù)手冊1-21第1章儀器概況光譜儀中心前面板底部 P-10 氣體連接口PR氣體連接口安裝在

28、儀器的背面中間位置，用于向儀器主機提供P-10氣體。 氣體密度穩(wěn)定器(GDS)使用流氣式正比計數(shù)器時，輸出脈沖的氣體放大倍數(shù)與氣體密度有關(guān)。當(dāng) 氣體密度變化1%時，氣體放大倍數(shù)大約變化6%。由于氣體密度會隨大氣壓和氣體溫度變化，因此必須采取措施使密度不隨 這些因素變化。本儀器采用氣體密度穩(wěn)定器(GDS)保持氣體密度恒定。 金屬過濾器金屬過濾器的作用是除去PR氣體中的灰塵等。1-22 ZSX Primus 維護(hù)手冊Rigolci第1章儀器概況P-10氣體連接口（連接PR氣瓶）金屬過濾器He氣連接口（只有當(dāng)系統(tǒng)配備充氮氣 機構(gòu)選購項時才安裝）光譜儀后部P- 10氣流調(diào)節(jié)鈕（通常不 必調(diào)節(jié)）P-10

29、氣體管道氣體密度穩(wěn)定器（GDS）光譜儀左部ZSX Primus II 維護(hù)手冊 1-23第1章儀器概況e.恒溫器如果光譜儀內(nèi)光學(xué)系統(tǒng)的溫度發(fā)生變化，就難以進(jìn)行準(zhǔn)確分析。特別是， 如果分析晶體的D-間隔（晶格）因溫度變化而變化，造成光譜的探測角度改 變，從而使X射線強度變化。本儀器配備了保持光譜儀內(nèi)溫度恒定的機構(gòu)。 該機構(gòu)對光譜儀內(nèi)的溫度進(jìn) 行監(jiān)測，并根據(jù)溫度情況打開或關(guān)閉加熱器。恒溫器的工作原理如下：由電熱調(diào)節(jié)器探測到的光譜儀內(nèi)的溫度被電源架中的溫度控制器轉(zhuǎn)換為電信號。同時溫度控制器產(chǎn)生一個對應(yīng)于參考溫度 36.5七的電信號。溫度控制器對兩 個電信號進(jìn)行比較，當(dāng)光譜儀內(nèi)的溫度低于參考溫度時開啟

30、加熱器，當(dāng)光譜儀內(nèi) 的溫度與參考溫度相同時關(guān)閉加熱器。這樣，光譜儀內(nèi)的溫度就被保持在參考溫 度。加熱器加熱器安裝在光譜儀的左面。加熱器中有一個風(fēng)扇使熱空氣在光譜儀中流通，還用一個熔斷絲防止光譜儀過 熱。1-24 ZSX Primus 維護(hù)手冊Rigolci第1章儀器概況f.故障安全系統(tǒng)本儀器產(chǎn)生X射線，可能會出現(xiàn)X射線輻照事件。為產(chǎn)生X射線，本儀器還產(chǎn) 生高壓，因此存在電擊的危險。為防止上述事故的發(fā)生，本儀器配備有如下自動防故障設(shè)備：X射線指示燈X射線指示燈安裝在儀器的頂部。當(dāng)X射線開啟時，該指示燈點亮。當(dāng)該指示燈損壞時（燈絲斷裂，等松散， 電線斷開等等），X射線不能被開啟。如果在X射線開啟時

31、該指示燈損壞，X 射線會自動關(guān)閉。X射線指示燈ZSX Primus II 維護(hù)手冊 1-25第1章儀器概況防護(hù)X射線的安全開關(guān)光譜儀的X射線防護(hù)開關(guān)分成兩種類型。一種是確定所有面板是否裝好，另一中檢查測量室周圍X射線的密封是否完全。如果任意面板未安裝好，可能會發(fā)生 X射線泄露。因此，當(dāng)前左蓋或上左 蓋未安裝好時，X射線就不能開啟，如果X射線開啟時有一個面板打開，X 射線就迅速自動關(guān)閉。有4個開關(guān)檢測樣品測量操作中的密封情況。以下任何情況X射線都不能開啟：-樣品室或入口蓋不在正確位置。-ASC卡盤和樣品入口處的升降器的檢測開關(guān)沒有接通。并且在X射線產(chǎn)生期間以上任意開關(guān)異常，X射線將立刻關(guān)閉。這些

32、開關(guān)的位置顯示如下：蓋板探測開關(guān)1-26 ZSX Primus 維護(hù)手冊Rigolci第1章儀器概況前左下蓋板探測開關(guān)樣品室蓋探測開關(guān)入口上舉機構(gòu)探測開關(guān)ASC卡盤ASC卡盤探測開 關(guān)Detection Switch入口蓋探測開關(guān)RigolcZSX Primus II 維護(hù)手冊 1-27第1章儀器概況 X-光管檢測系統(tǒng)如果X光管離開正確的位置，或高壓電纜沒有與 X關(guān)管連接，存在X 射線泄露和高壓電擊危險。因此，開啟 X射線時，高壓電纜和X光管必須 與X光管入口周圍的插座正確連接。高壓電纜探測連接器X光管類型探測連接器1-28 ZSX Primus 維護(hù)手冊Rigolci第1章儀器概況1.3.3

33、 X射線發(fā)生器各單元的名稱和功能PSFLTX射線發(fā)生器異常時紅燈亮。*1LEAK；漏電流異常時紅火鳧。*1FIL OPEN燈絲斷時紅火鳧。*1TCL管電流太大時紅火鳧。*1LVL管電壓太低時紅燈亮。*11：燈保持亮，直到復(fù)位操作清除CPU RUNX射線發(fā)生器中的CPUE常時綠燈閃。REDYCPUfe轉(zhuǎn)燈閃亮?xí)r綠燈亮。X-Ray ONX射線打開時紅燈亮。ARC吮時放電和輸出下降時紅燈亮。*2FEEDBACK ERRX射線開啟時管電壓和管電流相對參 考值的比較反饋異常時紅燈亮。*1*2:燈保持亮，直到復(fù)位操作清除kVMR (Red)光管的基準(zhǔn)電壓：大約 6V/60kVmAMR (Red)光管的基準(zhǔn)

34、電流：大約6V/150mAkVMF (Red)管電壓反饋：大約6V/60kVmAMF (Red)管電流反饋：大約6V/150mAFCMF (Red)燈絲電流檢測ACOM監(jiān)控端共用地(Black)INTLK連鎖正常時綠燈亮。ZSX Primus II 維護(hù)手冊 1-29第1章儀器概況向I連接一個警告燈(6V, 50mA的白熾燈或兩個連 接在一起的發(fā)光二極管)燈絲道！管燈絲電纜-MHP5LSJ-ISIIXII.HP 23 甲I-1 |巖|.I二0連鎖腳1-2:電磁開關(guān)“編出腳3-4:電磁開關(guān)“b輸出腳5-6 :用于互鎖信號輸入連接器規(guī)格：350781-1 (AMP) 6P腳規(guī)格：350547-7后

35、面板1-30 ZSX Primus 維護(hù)手冊第1章儀器概況1.3.4熱交換器熱交換器安裝在光譜儀的右前底部，外觀如下:名稱與功能X光管冷卻水的高壓 限開關(guān)外部冷卻水入口外部冷卻水過濾網(wǎng)X光管冷卻水壓力表復(fù)位開關(guān)光管冷卻水過濾器光射線管冷卻水出 口光射線管冷卻水 回水口X射線管冷卻水 水位計外部冷卻水出口熱交換器前視圖接觸開關(guān)熱繼電器水泵熱交換器左視圖后板光管冷卻水流量調(diào)節(jié)閥ZSX Primus II 維護(hù)手冊1-31第1章儀器概況 外部冷卻水入口外部冷卻水從此入口流入。使用外徑為 26mm、內(nèi)徑19mm的軟管。 外部冷卻水出口外部冷卻水從此出口流出。使用外徑為 26mm、內(nèi)徑19mm的軟管。 過濾網(wǎng)用于除去外部冷卻水中的雜質(zhì)。濾網(wǎng)為 30目。. X射線管冷卻水出口去離子水經(jīng)此出口流入X射線管。 X射線管冷卻水返回口X射線管冷卻水的返回口。 X射線管冷卻