管理制度ESD管理辦法

1、（管理制度）ESD管理辦法3.1.3 靜 電 產(chǎn)生 過(guò)程 :在 工業(yè) 生產(chǎn) 中常 見(jiàn)的 靜電 產(chǎn)生 物理 過(guò) 程包括:3.1.3.1 固 體靜電產(chǎn) 生包含 :接 觸帶 電.金性 屬與高分 固體的接 觸帶及 斷裂 .壓 電效 應(yīng).熱電效應(yīng) .剝 離.電解 等）。3.1.3.2 粉 體起 電。3.1.3.3 液 體起 電。3.1.4 靜 電 現(xiàn)象 :是 電荷 的產(chǎn) 生和 消失 的過(guò) 程中 產(chǎn)生 的靜 電 現(xiàn)象 的總稱。3.1.5 靜電之優(yōu)缺點(diǎn) :靜電具有雙重性,即能為人類造福.即為利 用靜電應(yīng)用技術(shù)制造出靜電復(fù)印.靜電涂敷.靜電除塵等, 但 是.在電 子工 業(yè)制 造中 也存 在 靜電危害 ,現(xiàn) 正

2、在 日益 表 露 出來(lái) 并逐 漸受 人們 所重 視 .其 在電子工 業(yè)領(lǐng)域的 靜電 危害形式如下:靜電吸附靜 電放 電引 起的 器件 擊穿 （硬 擊穿.軟 擊 穿） 靜電感應(yīng).靜電放電時(shí)產(chǎn)生的電磁脈沖3.2 敏感組件 :電子組件在電子產(chǎn)品制造業(yè)上最為普遍,最嚴(yán)重的 是靜 電危 害 .即電 子組 件在 預(yù) 處理.焊 接.清洗 .單板測(cè) 試.組裝 ,調(diào) 試.直到 包裝 ,貯 存,發(fā)送 等工序時(shí) ,由 于接觸 -分離- 摩擦- 感應(yīng)等作用,都會(huì)使操作人員.工具.工 作臺(tái) 面,電子 組件 ,電 子組件包 裝容器 等產(chǎn) 生靜 電,同時(shí) 會(huì)隨 時(shí)對(duì) 電子 組件 造成 靜 電損 害.因此 .此 類電 子組

3、件 為靜 電敏 感組 件（如 IC. 晶體 等）,總 稱"敏感組 件"。3.3 靜電釋放 :ESD（ELECTROSTATICDISCHARGE） 一種突然產(chǎn)生 的靜電重新分配,這對(duì)敏感組件或裝置會(huì)造成損 壞。3.4靜電（ESD）防護(hù)安全距離：為能使容易受靜電破壞之產(chǎn)品.敏感 組件得到有效安全的保護(hù).設(shè)立 1 米 （3 尺）保護(hù)范圍的安全距離。3.5ESD 稽核員：對(duì)靜電防護(hù)的產(chǎn)品.工作區(qū)域.敏感組件等進(jìn)行技術(shù)性之量測(cè)和處理之專業(yè)稽核檢查人員。3.6 特定工作人員：指正規(guī)受訓(xùn)過(guò)并考試合格之 ESD 稽核員和主管 級(jí)以上干部。3.7 自我 檢查 :表 示工 作區(qū) 域內(nèi) 之全

4、部人 員每日 上班前對(duì) 自己工作 區(qū)域內(nèi)靜電防護(hù)檢查。3.8 保護(hù) 接地 :將 電氣 設(shè)備 .裝 置不帶電 的金屬 部分 與接 地體 （地 壤 直接接觸 的導(dǎo)電金屬體）之間作良好的金屬連接。3.9 表面阻抗 :表示物體之表面部分與接地線之間的絕緣電阻阻抗 數(shù)值,通常用奧姆（Q ）表示。3.10 靜電電壓:表示物體表面過(guò)?；虿蛔愕撵o止電荷量.用電壓伏 （Voltage）表示。3.11 防靜電屏蔽袋:用防靜電材料之包裝袋進(jìn)行成品或半成品包裝（適用于客戶要求）。3.12 導(dǎo)體容器:用于存放防靜電成品,半成品之導(dǎo)電體容器。3.13 有線 靜電手環(huán) :為 防止 人體 接觸 敏感 組件 而造 成 靜電 破

5、壞 ,佩 帶于手（腳）上的防靜電物品,并用一根導(dǎo)線連接接到大。 .要求:手環(huán)上之電阻 在8.0 X1010 Q范圍內(nèi).佩帶手環(huán)之緊度要接觸皮膚為準(zhǔn).靜電手環(huán) 又俗稱“靜電手腕”。3.14 靜電手套:為防止人手觸摸敏感組件,使其上汗.油污并造成 靜電破壞和腐蝕,特佩帶防靜電的材料制作成的手套,并要求靜電阻抗為1010 Q ,范圍內(nèi),靜電電壓為100伏特以下。3.15 防靜電周轉(zhuǎn)箱:為使容易受靜電敏感之成品.半成品,存放于用 防 靜電 材料制作的容器內(nèi),進(jìn)行儲(chǔ)存或運(yùn)輸.并要求用防靜電材料制作之隔 板進(jìn)行隔離。3.16 檢定:即用標(biāo)準(zhǔn)器對(duì)被量測(cè)之儀器進(jìn)行比對(duì).檢定值是否超出 誤差范圍。3.17 內(nèi)校

6、:利用現(xiàn)有的可追溯到國(guó)家或國(guó)際之標(biāo)準(zhǔn)器,校正檢定公司內(nèi) 之儀器。3.18校正失效：用標(biāo)準(zhǔn)器對(duì)廠內(nèi)儀器進(jìn)行量測(cè)比對(duì),被量測(cè)之儀器 示值超出最大允許誤差范圍，則判定為校正不合格.即為校正失效。3.19校驗(yàn)周期:儀器設(shè)備視其使用頻繁程度,規(guī)定其每年進(jìn)行校驗(yàn) 檢定次數(shù)。即為校驗(yàn)周期。4.0權(quán)責(zé)：4.1儀校中心負(fù)責(zé)靜電（ESD）控制技術(shù)指標(biāo).制訂靜電防護(hù)辦法,以 及工作之倡導(dǎo)。4.2品保單位.制造單位.SMT單位.實(shí)施靜電防護(hù)工作.并每日進(jìn)行 自我檢查,提報(bào)不良狀況。4.3資材部實(shí)施靜電保護(hù)工作.并對(duì)敏感之組件和成品.半成品妥 善之保存和防護(hù)。4.4生技課ESD工程師負(fù)責(zé)對(duì)全廠內(nèi)靜電防護(hù)單位和個(gè)人進(jìn)行

7、ESD技術(shù)性之控制.量測(cè).稽核和處理改善。5.0程序內(nèi)容：5.1靜電（ESD）防護(hù)流程圖5.2作業(yè)說(shuō)明：5.2.1訓(xùn)練：521.1對(duì)新進(jìn)員工,必須進(jìn)行靜電防護(hù)（ESD）之教育訓(xùn)練.受 訓(xùn)時(shí)間不低于4小時(shí)。5.2.1.2 無(wú)受過(guò)靜電防護(hù)（ESD）訓(xùn)練培訓(xùn)者，不可上線靜電防 護(hù)區(qū)域或接觸敏感組件。5.2.1.3特定人員.靜電防護(hù)組織成員，稽核小組必須定期受 訓(xùn)。5.2.1.4稽核小組組長(zhǎng)擬訂教育訓(xùn)練計(jì)劃表（附件一）并根 據(jù)計(jì)劃 表對(duì)全廠員工受訓(xùn),受訓(xùn)時(shí)必須作出教育訓(xùn)練記錄。5.2.1.5受訓(xùn)過(guò)靜電防護(hù)的人員，必須有靜電防護(hù)識(shí)別標(biāo)示（如下圖一所示）,分期對(duì)人員進(jìn)行受訓(xùn)。目如（附件件三）所示521.7

8、受訓(xùn)課程必須包含以下內(nèi)容:受訓(xùn)內(nèi)容受訓(xùn)時(shí)間受訓(xùn)人數(shù)（不得超過(guò)）靜電之概念產(chǎn)生物理過(guò)程1H30靜電之來(lái)源.對(duì)半導(dǎo)體組件的不良影響.0.5H30靜電防護(hù)區(qū)域之化分及防護(hù)措施0.5H30保護(hù)靜電之包裝.運(yùn)輸.儲(chǔ)存0.5H30靜電防護(hù)的識(shí)別標(biāo)示.0.5H30ESD管理小組及工作職掌0.5H30自我檢查的流程內(nèi)容及實(shí)施0.5H30522靜電控制區(qū)域：凡對(duì)敏感組件會(huì)造成傷害之區(qū)域必須用班瑪帶標(biāo)貼"靜電（ESD防護(hù)安全距離"如下圖（二）所示。只能在其范圍內(nèi)組裝和裝 置。有效距離為1米（3尺）內(nèi)。5.2.3靜電防護(hù)在其控制作業(yè)中，每周指派專人進(jìn)行技術(shù)量測(cè)和 稽核，并記錄于【ESD稽核檢查記

9、錄周報(bào)表】 （PHG-Q4-PE39） 內(nèi)。5.2.4每年必須對(duì)外包廠進(jìn)行之評(píng)鑒一次以上，記錄于【外包廠ESD評(píng)監(jiān)報(bào)告】（PHG-Q4-PE42） 內(nèi)，對(duì)不良狀況提出改 善意見(jiàn)和對(duì)策，并定期進(jìn)行追蹤處理結(jié)果，記錄于【ESD 異常處理對(duì)策單】（PHG-Q4-PE43） 內(nèi)。5.2.5矯正措施：當(dāng)靜電電壓超過(guò)100V時(shí)，并對(duì)其進(jìn)行隔離,分析不良原因,加 以改善,必須有ESD稽核員。ESD工程師和ESD主任3人以上人員進(jìn) 行確認(rèn)并記錄于【ESD異常處理對(duì)策單】?jī)?nèi)。5.2.6緊急事故處理：當(dāng)在靜電防護(hù)區(qū)域作業(yè)時(shí),發(fā)生意外事故時(shí),應(yīng)先考慮是否對(duì) 人身安全有危害,并立即采取措施解決.爾后,再考慮解決是否對(duì)

10、靜電防護(hù)有破壞，并加以改善。5.2.7對(duì)外包廠商靜電防護(hù)要求：外包廠商與公司有直接的業(yè)務(wù)來(lái)往,為了質(zhì)量的提升,為降低不良的發(fā) 生,對(duì)其也要作靜電防護(hù)的要求：生產(chǎn)工藝：在生產(chǎn)制程過(guò)程中,須作靜電防護(hù)。包裝:對(duì)靜電有敏感之組件（如：IC.晶體等）必須防靜電 膠帶包裝。運(yùn)輸:必須把完成品存放于防靜電屏蔽袋內(nèi)而運(yùn)輸，并 標(biāo)明靜電防護(hù)標(biāo)示。如下（圖三）所示。管理組職:（附件三）.稽核組織成員：527.1527.2527.35.2.8ESD5.2.8.1必須受過(guò)ESD正規(guī)的教育訓(xùn)練， 靜電防護(hù)進(jìn)行技術(shù)的量測(cè)。檢驗(yàn)和管理，并 稽核組織成員工作職掌如（附件5.2.8.2 靜電防護(hù)成員：必須受過(guò)靜電防護(hù)（ESD

11、）正規(guī)訓(xùn)練,獲得ESD資格,對(duì)全廠內(nèi)靜電防護(hù) 進(jìn)行管理和推動(dòng)實(shí)施。靜電防護(hù)之成員必須是生產(chǎn)線班組長(zhǎng)以訂受訓(xùn)計(jì)劃和進(jìn)行倡導(dǎo),上干部。工作職掌如（附件四）所示。5.3靜電（ESD）檢查：5.3.1靜電ESD每日自我檢查：各靜電防護(hù)（ESD）單位之員工每日上班前進(jìn)行靜電防護(hù)自我檢查。5.3.1.1使用之有線靜電環(huán)是否測(cè)試過(guò)。如有測(cè)試,是否記錄 于【靜電環(huán)檢查記錄表】（PHG-Q4-PE45） 內(nèi)。5.3.1.2在其工作區(qū)域內(nèi)之靜電臺(tái)墊是否接地,臺(tái)面是否清潔, 干凈。5.3.1.3在其工作之工作臺(tái)面上是否有產(chǎn)生靜電物（如:塑料帶 （袋等）o5.3.1.4儀器.治具是否完全接地。5.3.1.5員工本人使

12、用之烙鐵是否3Pin之插頭.若為2Pin應(yīng) 立即通知所在單位的負(fù)責(zé)人聯(lián)絡(luò)ESD工程師加以改善。5.3.1.6檢查自己是否有靜電防護(hù)訓(xùn)練合格后,所佩帶的ESD認(rèn)別標(biāo)示牌 .如 上 圖 （一 ）所 示 。5.3.1.7 每 個(gè)員工進(jìn) 行自我 檢查 后,并記 錄于 【ESD 每 日自我 檢查記錄表】（PHG-Q4-PE46） 內(nèi).經(jīng)所在單位負(fù)責(zé)人確認(rèn)后 方能上線工作。5.3.2 稽 核 檢查 : 為使靜電防護(hù)得到徹底的推動(dòng)執(zhí)行和質(zhì)量提升。能及時(shí)發(fā)現(xiàn)不良 現(xiàn) 象 , 并 得 到 有 效 之 改 善 。 特 ESD 稽 核 小 組 每 月 內(nèi) 派 專 人 負(fù) 責(zé) 稽 核 檢 查,每周依據(jù)稽核檢查程序進(jìn)行

13、稽核檢查一次。5.3.2.1 檢 查所有員 工是否 依據(jù) 自我 檢查 程序 進(jìn)行 自我 檢查 , 并有完整記錄。5.3.2.2 量 測(cè)工作臺(tái) 墊靜電電 壓和阻 抗的 實(shí)際 示值 ,靜 電電 壓和 阻抗 是 否分別為100伏特以下或1。10 Q之間。5.3.2.3 量測(cè)靜電防護(hù)區(qū)內(nèi)靜電電壓是否超過(guò) 100 伏特。5.3.2.4 有線靜電手環(huán)是否有不良現(xiàn)象,如不良現(xiàn)象,有無(wú)改善措施和對(duì)策。5.3.2.5 靜電安全區(qū)之儀器.設(shè)備.工具是否安全接地。5.3.2.6 每日上班前所有員工是否進(jìn)行靜電手環(huán)測(cè)試并記錄于 靜 電環(huán) 檢查 記錄 表不 允 許沒(méi)有帶 靜電腕環(huán) （或 接 地 線 ）的 人 靠 近 你

14、 的 靜 電 安 全 區(qū) 1 米 （3 尺 ）之 內(nèi) , 告訴他們?cè)谀愕膮^(qū)域要靠近和觸摸,任何對(duì)象之前 的人,要帶靜電腕環(huán)（或接線）才可進(jìn)入,而觸摸元?dú)?件必須佩帶靜電手套。5.3.2.7 靜電防護(hù)控制區(qū)域是否有狀態(tài)標(biāo)示（如上圖二所示）.是否劃線列出管制。5.3.2.8 儀器.治具是否超出 100 伏特。5.3.2.9 靜電安全區(qū)域所有物品均是否低于 100 伏特。5.3.2.10IC 房.濕度是否控制在 55%±10%。5.3.2.11 檢查靜電防護(hù)工作區(qū)的接地線是否漏接,損壞或開(kāi)路, 斷線現(xiàn)象。5.3.2.12 檢查工作區(qū)是否會(huì)產(chǎn)生靜電物.如未處理塑料袋.箱 子.保力龍,膠帶或個(gè)

15、人用品,最少離 ESD 敏感組件 1 米（3 尺）之距離。5.3.2.13 檢查所有的 ESD 敏感組件,半成品.成品是否完全的 放在導(dǎo)體容器（導(dǎo)靜電籃子）內(nèi)。5.3.2.14 確 認(rèn)裝 ESD 敏 感組 件的 導(dǎo)體 容器 （導(dǎo) 靜 電籃 子）內(nèi)沒(méi) 有會(huì)產(chǎn)生靜電物。5.3.2.15 確 認(rèn)所 有保 護(hù)容 器在 外邊 均有一 承認(rèn)的靜 電注意標(biāo) 志。如上（圖三 ）所 示 。5.3.2.16 如 任一 檢測(cè) 項(xiàng)目 失敗 的話 ,則未 受到 保護(hù) ,ESD 敏 感 組 件不 許搬 動(dòng),直到 改善 為 止,如執(zhí) 行者 不能 改善 這 些 錯(cuò)誤 ,則 ESD 主 任須 負(fù)責(zé)改 善。5.3.2.17 各

16、部門 有責(zé) 任將 其自 我檢 查及執(zhí) 行情形接 受班組長(zhǎng) 之 確認(rèn) ,并 將其 結(jié)果 完整 記 錄送交稽 核小組內(nèi) 存盤 管制。5.3.2.18ESD 工程師經(jīng)常執(zhí)行ESD稽核使ESD控制的標(biāo)準(zhǔn)化 能落實(shí)。從他們對(duì)部門程序的了解,ESD稽核員應(yīng)每 月一次執(zhí)行稽核。5.3.2.19 執(zhí)行每月ESD自我稽核時(shí)，需確認(rèn)其程序書(shū)仍是可 用的,及能使用正確的儀器、設(shè)備,并須定期受校正檢定。5.3.2.20 當(dāng)發(fā)現(xiàn)不符規(guī)定的事項(xiàng)能迅速的采取改善措施。5.3.2.21 年度稽核在 11-12 月中進(jìn)行。5.3.2.22 稽核檢查結(jié)果應(yīng)記錄于 ESD 稽核檢查記錄表內(nèi)。另:稽核檢查表及未列入表內(nèi)以外的上述內(nèi)容

17、,如有不 良現(xiàn)象發(fā)生,應(yīng)出具【ESD異常處理對(duì)策單】，送出 靜電防護(hù)管理組織相關(guān)人員進(jìn)行對(duì)策和加以改善。5.3.2.23 量規(guī)儀器靜電區(qū)域之管制: 靜電防護(hù)區(qū)域內(nèi)之儀器.設(shè)備必須安全接地,其靜電電壓值不得超過(guò) 100Voltage, 如果超出儀器設(shè)備必須進(jìn)行隔離直至處理改 善后方能再投入使用,并記錄【ESD異常處理對(duì)策單】 內(nèi)。5.3.2.24 每三個(gè)月 儀校中心進(jìn)行靜電保護(hù)接地是否良好檢查,并記錄于 ESD 季度接地檢查記錄表】 （PHG-Q4-PE41） 如內(nèi)。接地電阻不得超過(guò)3 Q。5.4 防靜電用品.裝備之質(zhì)量檢驗(yàn)。5.4.1 防靜電工作服和帽 :541.1外觀質(zhì)量：防靜電工作服.帽外

18、觀要求無(wú)破損.斑點(diǎn).污物以 及影響衣、帽上之性能缺陷.結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要滿足穿著輕 便,舒適便于解脫.服裝上一般不得使用金屬或橡膠 佩件.如金屬或橡膠帶靜電之銘牌或商標(biāo)等。541.2靜電量檢驗(yàn):對(duì)防靜電工作服和帽進(jìn)行靜電量測(cè)時(shí).先 進(jìn)行洗滌（不包含新購(gòu)入未使用服裝和帽）,其洗滌 條件應(yīng)符合（表一），并洗滌脫水自然晾干后方可量 測(cè).靜電電壓不得超過(guò)50伏特。洗滌條件項(xiàng)目條件項(xiàng)目條件洗滌方式普洗洗滌液濃度2g/升水溫40+3 C溶比1:30水溶量30升以上（表一）（注:洗滌劑呈中性或微堿性PH=7-8）。5.4.2防靜電鞋：5.4.2.1外觀質(zhì)量:鞋底應(yīng)無(wú)絕緣物,無(wú)裂紋.無(wú)開(kāi)膠.無(wú)孔洞.鞋 面不得帶有金屬

19、或其它帶靜電橡膠銘牌等。5.4.2.2 質(zhì)量檢驗(yàn):鞋底電阻阻抗值應(yīng)為0.5 X1010 Q范圍內(nèi), 鞋面電壓值不得超過(guò)100伏特。5.4.3防靜電工作臺(tái)墊:表面阻抗應(yīng)為1010 Q范圍內(nèi)，鞋面靜 電值不得超過(guò)100伏特。5.4.4防靜電零件盒,周轉(zhuǎn)箱.膠帶。5.4.4.1外觀質(zhì)量:應(yīng)無(wú)裂紋,破損.不得有明顯變形.并要求盒箱表面光滑，且膠帶必須柔軟、光滑。5.4.4.2質(zhì)量檢驗(yàn):靜電量不得超過(guò)100伏特。5.4.5防靜電手環(huán)：5.4.5.1 外觀質(zhì)量:手環(huán)帶應(yīng)無(wú)毛刺.裂跡和孔洞。5.4.5.2 質(zhì)量檢驗(yàn):用靜電手環(huán)測(cè)試器測(cè)試是否為"GOOD"?；蛴肍LUKE5500A 檢定電

20、阻值在8.0 X10-10 Q范圍內(nèi),并且手環(huán)帶引 出線必須串接一只10 Q電阻。注明:以上防靜電用品測(cè)試不合格為A類不合格.不可使用.另外觀不合 格為B類不合格.視其情形酌情考慮是否可使用之。5.6防靜電測(cè)試器之檢驗(yàn)：防靜電測(cè)試用之儀器:靜電手環(huán)測(cè)試器.表面阻抗測(cè)試器.靜電電壓測(cè)試 儀.接地阻抗測(cè)試器，依據(jù)【儀器設(shè)備管制計(jì)劃表】(PHG-Q4-CC02) 之"校驗(yàn)周期"."計(jì)劃校驗(yàn)日期"進(jìn)行送出中國(guó)電子工業(yè)部第五研究所601計(jì)量站國(guó)家級(jí)計(jì)量單 位檢定,或依據(jù)廠內(nèi)自身校正能力進(jìn)行內(nèi)校.檢定失效或不 合格則進(jìn)行改善對(duì)策，并記錄于【標(biāo)準(zhǔn)器.量規(guī).儀器校正失 效記錄表】(PHG-Q4-CC07) 內(nèi)。6.0附件：6.1新進(jìn)人員靜電防護(hù)考試題(附件一)6.2新進(jìn)人員靜電防護(hù)考試題(附件二)6.3ESD管理組職圖(附件三)6.4ESD管理組職工作職掌(附件四)6.5ESD 稽核檢查記錄 周報(bào)表(PHG-Q4-PE39)6.6外包廠.協(xié)