隨著我國(guó)半導(dǎo)體器件制造技術(shù)日趨成熟

1、 發(fā)布中華人民共和國(guó)國(guó)家技術(shù)監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局國(guó) 家 標(biāo) 準(zhǔn) 化 管 理 委 員 會(huì)××××-××-××實(shí)施××××-××-××發(fā)布金 靶 材Gold Target（送審稿）GB/T ××××××××中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)ICS 77.120.99H 68前 言隨著我國(guó)半導(dǎo)體器件制造技術(shù)日趨成熟，生產(chǎn)工藝的日新月異，濺射工藝不斷改進(jìn)，為使產(chǎn)品更好的滿足使用要求

2、，特制定本標(biāo)準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)由有研億金新材料股份有限公司負(fù)責(zé)起草。本標(biāo)準(zhǔn)由北京達(dá)博有色金屬焊料有限責(zé)任公司參與起草。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：閆琳 熊曉東 尚再艷 楊永剛。本標(biāo)準(zhǔn)參與起草人：楊順興 杜連民。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋。本標(biāo)準(zhǔn)首次發(fā)布。金靶材1 范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了金靶材要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及合同或訂貨單。本標(biāo)準(zhǔn)適用于制造半導(dǎo)體電子器件用的各類(lèi)金濺射靶材（以下簡(jiǎn)稱金靶材）。2 規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

3、的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB/T 4134 金錠GB/T 11066 金化學(xué)分析方法 發(fā)射光譜法測(cè)定銀、銅、鐵、鉛、銻和鉍含量GB/T 15077 貴金屬及其合金材料幾何尺寸測(cè)量方法3 要求3.1 產(chǎn)品分類(lèi)金靶材的類(lèi)型按金的純度分為IC-Au99.99、IC-Au99.999二種。金靶材的形狀主要為圓形，尺寸主要有100mm、125 mm、150 mm、200 mm、250 mm，厚度通常為3 mm6mm。經(jīng)雙方協(xié)商,可提供其它規(guī)格及允許偏差的的金靶

4、材。3.2 化學(xué)成份金靶材IC-Au99.99的化學(xué)成份應(yīng)符合GB/T 4134的規(guī)定。金靶材IC-Au99.999的化學(xué)成份應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1單位為質(zhì)量百分?jǐn)?shù)元素AgCuFePbBiSbSiPdMgAs質(zhì)量分?jǐn)?shù)/不大于0.00010.00010.00010.00010.00010.00010.00010.00010.00010.0001元素SnCrNiMn雜質(zhì)總量質(zhì)量分?jǐn)?shù)/不大于0.00010.00010.00010.00010.001注：顧客對(duì)某種特定雜質(zhì)元素含量有要求的，按顧客要求。3.3 供貨狀態(tài)金靶材以加工態(tài)供貨。3.4 幾何尺寸金靶材的幾何尺寸及其允許偏差應(yīng)符合表2的規(guī)定。經(jīng)雙

5、方協(xié)商,可提供其它規(guī)格及允許偏差的金靶材。表2直 徑厚 度表面粗糙度Rz值不大于m尺 寸 mm允許偏差 mm尺寸 mm允許偏差 mm100±0.136±0.11.6125±0.1150±0.1200±0.15250±0.153.5 表面狀況金靶材表面粗糙度Rz值應(yīng)不大于1.6mm 。3.6 外觀質(zhì)量金靶材表面應(yīng)清潔光滑，無(wú)指痕，無(wú)油污和銹蝕。金靶材表面應(yīng)無(wú)拉伸潤(rùn)滑痕跡，顆粒附加物和其它沾污。金靶材表面應(yīng)無(wú)凹坑、劃傷、裂紋、凸起等缺陷。3.7 內(nèi)部質(zhì)量金靶材的內(nèi)部質(zhì)量由供方的生產(chǎn)工藝保證，內(nèi)部不應(yīng)有分層、疏松、夾雜和氣孔等缺陷。4 檢驗(yàn)

6、方法4.1 金靶材IC-Au99.99的化學(xué)成份按GB/T11066標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，金靶材IC-Au99.999的化學(xué)成份按供需雙方協(xié)商決定。4.2 金靶材幾何尺寸的測(cè)量按GB/T15077規(guī)定進(jìn)行?？蛻籼貏e要求，可按技術(shù)協(xié)議或按需方圖紙、來(lái)樣檢查。4.3 表面狀況采用目視法進(jìn)行，必要時(shí)可采用18-25倍雙目顯微鏡檢查。4.4 外觀質(zhì)量用目視檢查。5 檢驗(yàn)規(guī)則5.1 檢驗(yàn)和驗(yàn)收5.1.1 產(chǎn)品應(yīng)由供方檢驗(yàn)部門(mén)進(jìn)行檢驗(yàn)，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本標(biāo)準(zhǔn)（或訂貨合同）的規(guī)定，并填寫(xiě)質(zhì)量證明書(shū)。5.1.2 需方應(yīng)對(duì)收到的產(chǎn)品按本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定進(jìn)行復(fù)驗(yàn)。如復(fù)驗(yàn)結(jié)果與本標(biāo)準(zhǔn)（或訂貨合同）的規(guī)定不符時(shí)，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起三個(gè)

7、月內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁，仲裁取樣應(yīng)由供需雙方共同進(jìn)行。5.2 組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收。每批應(yīng)由同一爐號(hào)、狀態(tài)和規(guī)格的產(chǎn)品組成。5.3 檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣檢驗(yàn)項(xiàng)目、取樣位置及數(shù)量應(yīng)符合表4的規(guī)定表3檢驗(yàn)項(xiàng)目取樣位置取樣數(shù)量要求的章條號(hào)檢驗(yàn)的章條號(hào)化學(xué)成份距鑄錠縮孔1/3處每批一個(gè)4.25.1尺寸偏差任意部位每批一個(gè)4.45.2表面粗糙度任意部位每批一個(gè)4.55.3外觀質(zhì)量任意部位每批一個(gè)4.65.45.4 檢驗(yàn)結(jié)果的判定5.4.1 化學(xué)成份不合格時(shí)，判該批產(chǎn)品不合格。5.4.2 尺寸偏差不合格時(shí)，判該批產(chǎn)品不合格。5.4.3 表面粗糙度和外觀質(zhì)量不合格時(shí)，允許從該批產(chǎn)品中再取雙

8、倍數(shù)量試樣進(jìn)行重復(fù)試驗(yàn)。若重復(fù)驗(yàn)結(jié)果全部合格，則判該批產(chǎn)品合格。若重復(fù)試驗(yàn)結(jié)果仍有試樣不合格，則判該批產(chǎn)品不合格。6 標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存6.1 標(biāo)志在已檢驗(yàn)合格的每批產(chǎn)品上應(yīng)附有如下標(biāo)記：a) 產(chǎn)品名稱；b) 靶材純度；c) 靶材類(lèi)型、規(guī)格；d) 靶材數(shù)量；e) 靶材凈重；f) 批號(hào)；g) 生產(chǎn)日期；h) 供方名稱；i) 生產(chǎn)廠家地址電話。6.2 包裝、運(yùn)輸和貯存 6.2.1 產(chǎn)品應(yīng)放在防靜電塑料袋里，并放在防止碰撞的包裝盒內(nèi)。6.2.2 每批產(chǎn)品應(yīng)附標(biāo)簽，注明：產(chǎn)品名稱、靶材純度、批號(hào)、規(guī)格、狀態(tài)、凈重、生產(chǎn)日期。6.2.3 產(chǎn)品可以用鐵路、公路、水運(yùn)、航空等方式運(yùn)輸。6.2.4 產(chǎn)品運(yùn)輸過(guò)程中應(yīng)防止碰傷、擦傷，不得損壞和沾污產(chǎn)品，并保證運(yùn)輸過(guò)程中靶材完整。6.2.5 產(chǎn)品應(yīng)保存于清潔的環(huán)境中。6.3 質(zhì)量證明書(shū)每批產(chǎn)品應(yīng)附有質(zhì)量證明書(shū)，注明：a) 客戶名稱；b) 供方名稱；c) 產(chǎn)品名稱；d) 靶材純度；e) 靶材類(lèi)型、規(guī)格；f) 靶材數(shù)量；g) 靶材凈