M5111-4WP三閉管軟著陸擴散氧化系統(tǒng)(最新型)

1、M5111-4WP/UM型三管高溫擴散/氧化系統(tǒng)方案隨著晶體硅太陽能電池制造技術(shù)的日益發(fā)展與成熟，在保證現(xiàn)有電池產(chǎn)品光電轉(zhuǎn)換效率及質(zhì)量的基礎(chǔ)上如何有效降低制造成本、提高自身產(chǎn)品市場競爭力已成為光伏界各電池生產(chǎn)廠家決策者所普遍關(guān)注和急需解決的一個實際問題。目前，太陽能電池片尺寸主要以125mm×125mm、156mm×156mm方片為主。為了獲得更優(yōu)的擴散質(zhì)量、提高單批次電池片的產(chǎn)量、降低單體電池制造成本，采用厚度更簿、尺寸更大的電池片將是太陽能電池制造的一個發(fā)展方向。大口徑超長恒溫區(qū)軟著陸閉管擴散系統(tǒng)在這種大環(huán)境下順勢而生，它與常規(guī)擴散/氧化系統(tǒng)相比較，一方面延續(xù)了我所原有

2、擴散/氧化設(shè)備的所有成功技術(shù)，能給客戶帶來更高的單批次產(chǎn)量（單管批次產(chǎn)量為400片），并且更加有利于降低源耗，大幅度降低生產(chǎn)成本、提高生產(chǎn)效率；另一方面又給我們提出了更高的要求：1、超大口徑爐膛內(nèi)徑330mm、超長溫區(qū)1080mm爐體的設(shè)計制造與爐內(nèi)溫區(qū)全程自動校準(zhǔn)，快速回溫控制技術(shù)；2、爐內(nèi)氣氛壓力全程自動平衡技術(shù)；3、超長超大反應(yīng)管內(nèi)氣流均勻性、擴散均勻性的實現(xiàn)技術(shù)；4、大尺寸閉管爐門密封技術(shù)及工藝尾氣的定向有效收集與排放；5、推舟機構(gòu)升降運動及水平運動的高可靠性和高平穩(wěn)性等等。M5111-4WP/UM型高溫擴散/氧化系統(tǒng)為閉管擴散（潔凈擴散），工藝過程SiC槳退出石英管，反應(yīng)環(huán)境與外界環(huán)

3、境完全隔離。采用了擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的爐內(nèi)壓力自平衡系統(tǒng)，爐溫快速回溫系統(tǒng)以及獨有送氣方式，確保工藝過程不受外界環(huán)境變化的干擾，因此擴散質(zhì)量大大提高，單批次產(chǎn)量可達(dá)400片/批，而且特別節(jié)源、節(jié)能,有毒害工藝副產(chǎn)物生成量大大降低；采用尾氣定向收集排放的方式，使整個生產(chǎn)過程更加清潔、環(huán)保、衛(wèi)生。本設(shè)備主要由電控柜1個、凈化操作臺1個、加熱爐柜1個、功率變壓器柜1個及氣源柜1個五部分組成。1. 主要技術(shù)指標(biāo)1.1 爐膛有效內(nèi)徑： 350mm (適應(yīng)石英管內(nèi)徑330mm)1.2 溫度控制范圍： 4001100；有效裝片量： 400片/管1.3 恒溫區(qū)長度及精度： ±1/1080mm （801

4、1100）±1.5/1080mm （400800）1.4 單點溫度穩(wěn)定性： ±1 /4h （880時）；1.5 溫度斜變能力:升溫速率: 15/min最大降溫速率: 5/ min；1.6 具有自動斜率升降溫及恒溫功能；1.7 具有爐管快速回溫系統(tǒng)；可全程自動校準(zhǔn)恒溫區(qū)。具有爐內(nèi)壓力自平衡系統(tǒng)；1.8 尾氣收集方式：尾部集中收集，定向排放；1.9 具有超溫、斷偶、斷水、斷氣報警和保護(hù)功能；1.10 凈化工作臺凈化級別：1000級 （環(huán)境10000級）；1.11 送片方式：懸臂式SiC槳軟著陸送舟機構(gòu)。水平進(jìn)舟速率50mm/min800mm/min連續(xù)可調(diào)；定位精度： 

5、7;3mm 。垂直升降速率: 8mm/min12mm/min； 石英爐門自動密封，氣缸推動完成水平二級推動和旋轉(zhuǎn)運動。1.12 工藝過程由工控計算機全自動控制,直接在觸摸屏上操作。1.13 可存儲100條工藝曲線、每條曲線不少于30個拐點；1.14 源溫采用BV100恒溫槽控制。1.15 質(zhì)量流量計控制精度: ±1% FS；1.16 設(shè)備故障率: 5%；1.17 設(shè)備總功率:峰值150 KVA（3管），保溫功率約75KVA（3管）。1.18 爐管溫控系統(tǒng)采用五段控溫。2.使用環(huán)境要求：2.1 電源：3相5線供電，380VAC、50HZ ，電網(wǎng)電壓波動不超過額定值的±10%。

6、2.2 水、氣：供應(yīng)水壓要求0.10.2Mpa，設(shè)備預(yù)留4分水管內(nèi)絲接口，進(jìn)水口水溫20；供應(yīng)氣壓要求0.40.6Mpa，設(shè)備預(yù)留3/8進(jìn) 氣雙卡套不銹鋼管接口。2.3 排廢：氣源柜、爐體柜、廢氣室及凈化操作臺頂部均要求有密封負(fù)壓抽氣管與設(shè)備相連，總抽氣流量5000L/min；另尾氣排放管道單獨設(shè)立管徑70,排氣口壓力不小于-600Pa。2.4 使用環(huán)境溫度: 540。2.5 機房內(nèi)必須有良好的接地線，地線對地的電阻值3。3、設(shè)計方案：設(shè)備主要由電控柜1個、凈化操作臺1個、加熱爐柜1個、功率變壓器柜1個及氣源柜1個五部分組成, 詳細(xì)尺寸見所附外形圖。設(shè)備完成閉管擴散工藝。除進(jìn)退舟外，爐門一直處

7、于密封狀態(tài)，且自動完成開啟和關(guān)閉操作。工藝過程除裝卸片外由計算機自動控制完成。采用帶通訊的進(jìn)口高檔雙回路溫控儀輔以石英管內(nèi)內(nèi)置的快速回溫及溫度自動校準(zhǔn)系統(tǒng)分五段對爐絲進(jìn)行獨立控制,可精確高效的控制各段爐絲的溫度，控溫精度0.5，真正實現(xiàn)工藝全過程溫度恒定。溫控儀既可獨立于計算機之外，手動設(shè)置溫度，又可通過與計算機通訊，按需要設(shè)置斜率升降溫或恒溫，達(dá)到全自動控溫的目的。單管爐體的加熱電流在110A左右。由于加熱功率較大，為保障電網(wǎng)電壓的平衡及防止對電網(wǎng)的諧波干擾，功率變壓器的初級采用三相接法，可控硅采用周波過零觸發(fā)。同時，我們對軟件進(jìn)行了升級,可以對溫度進(jìn)行自動校正補償,不需要如以前那樣去手動拉

8、溫區(qū),同時可以在不同的溫度區(qū)間存儲相應(yīng)的溫度補償值,當(dāng)工藝運行不同區(qū)間溫度時,可直接對補償參數(shù)進(jìn)行調(diào)用.流量由進(jìn)口質(zhì)量流量計控制，流量的設(shè)定在計算機上進(jìn)行，其設(shè)定值和檢測值均可在顯示器上實時顯示；由計算機控制氣動閥來自動實現(xiàn)氣路的開啟和關(guān)閉。擴散源瓶的溫度由進(jìn)口恒溫冷阱控制，控溫精度±0.1。氣路控制部分增加爐內(nèi)壓力自平衡系統(tǒng)，通過石英管內(nèi)壓力檢測來調(diào)節(jié)尾 3部抽氣大小,從而實現(xiàn)石英管內(nèi)壓力自動平衡,工藝編輯中可以設(shè)定每個工藝爐管內(nèi)的相對壓力,提高工藝穩(wěn)定性和重復(fù)性（如下圖）。進(jìn)氣方式增加噴淋方式在原有的進(jìn)氣方式的基礎(chǔ)上，我們在石英管頂部增加了一根進(jìn)氣管道通小氮，對恒溫區(qū)間的反應(yīng)硅片

9、進(jìn)行噴射，使片間氣氛和邊緣的氣氛接近，從而改變方阻的均勻性（如下圖）。包括提供噴淋的進(jìn)氣方式在內(nèi)，我們同時提供三種進(jìn)氣模式供客戶選擇：1所有氣體均采取噴淋方式。2小氮及氧氣采取噴淋方式。3所有氣體仍通過石英管尾部進(jìn)入而不采取噴淋方式。推舟控制系統(tǒng)由高溫密封爐門、水平送舟機構(gòu)、垂直升降機構(gòu)、裝片石英 4舟、SiC槳夾持機構(gòu)四部分組成。高溫密封爐門采用石英管與石英法蘭磨砂面接觸密封方式，具有可靠的密封性能，減少偏磷酸的量，提高源的利用率，節(jié)約源耗。石英法蘭與隔熱包做成一個整體結(jié)構(gòu)，隔熱包內(nèi)部填充耐高溫石英纖維，石英法蘭與爐門夾持機構(gòu)之間裝夾耐高溫莫來石纖維，隔熱性能非常好，有效降低石英爐門夾持機構(gòu)

10、的溫度。通過三個氣缸完成爐門密封過程。旋轉(zhuǎn)推動氣缸完成爐門的旋轉(zhuǎn)運動，水平方向分別由一個高速氣缸和一個低速氣缸完成快進(jìn)/退和慢進(jìn)/退兩個過程，高速氣缸節(jié)約爐門運動時間，低速氣缸保證石英爐門密封的可靠性及安全性。水平送舟機構(gòu)由精密導(dǎo)軌導(dǎo)向、由步進(jìn)電機、蝸輪減速機、精密同步帶及同步輪組成傳動系統(tǒng)推動SiC懸臂槳和槳夾持機構(gòu)完成水平運動，從而實現(xiàn)取舟和送舟動作。由計算機相應(yīng)板卡給步進(jìn)電機驅(qū)動器發(fā)出脈沖信號，通過控制脈沖信號的個數(shù)精確控制步進(jìn)電機的轉(zhuǎn)速，可實現(xiàn)懸臂槳在水平方向上平穩(wěn)運行，運行速度可在50mm/min800mm/min內(nèi)實現(xiàn)無級變速，運行定位精度±3mm 。垂直升降機構(gòu)由精密導(dǎo)

11、軌導(dǎo)向、由步進(jìn)電機、蝸輪減速機、進(jìn)口高精密升降機組成傳動系統(tǒng)推動推舟底板及裝在推舟底板上的水平送舟機構(gòu)完成升降運動，從而實現(xiàn)取裝舟和卸舟的軟著陸運動。由計算機相應(yīng)板卡給步進(jìn)電機驅(qū)動器發(fā)出脈沖信號，通過控制脈沖信號的個數(shù)精確控制步進(jìn)電機的轉(zhuǎn)速，可實現(xiàn)推舟底板在垂直方向上平穩(wěn)運行，運行速度在8mm/min12mm/min。裝片石英舟兩種規(guī)格，長度分別為1040mm和540mm，可裝125方片（156方片）400片和200片。SiC槳夾持機構(gòu)對設(shè)計進(jìn)行了優(yōu)化，簡化了操作過程，便于維修，縮短了維護(hù)時間。懸臂槳進(jìn)出石英管時，密封石英爐門自動打開，同時自動啟動凈化風(fēng)機，從凈化臺頂部送風(fēng)，保證硅片處在潔凈環(huán)

12、境當(dāng)中。懸臂槳完全退出石英管后，石英爐門自動關(guān)閉，凈化風(fēng)機停止工作。懸臂槳共有前、后、上、下四個工位，可完成送舟、取舟、裝舟、卸舟、送槳、退槳六個動作。上后位上前位： 送舟上前位下前位： 卸舟下前位下后位： 退槳下后位下前位： 送槳下前位上前位： 裝舟上前位上后位： 取舟工藝過程SiC槳退出石英管，避免了工藝環(huán)境對SiC槳的污染，同時減少了高溫烘烤時間，大大地延長了槳的壽命和維護(hù)周期。3.6 加熱系統(tǒng)整個爐膛長度為2000mm，爐膛內(nèi)徑為350mm，外徑為500mm，爐膛內(nèi)石英管的內(nèi)徑為320mm，外徑為330mm，由于整個爐膛恒溫區(qū)要求為1080mm，且口徑較大因而設(shè)計時采用五段控溫，這樣可

13、確保恒溫區(qū)長度與精度。采用臺灣研華工控機實行單管單控。設(shè)置不同權(quán)限等級進(jìn)行操作與控制。可對每管擴散爐的開機時間、操作人員、工藝步驟、氣體流量、工藝時間、爐溫變化趨勢、推舟狀況等各項參數(shù)如實記錄，并圖文顯示；各項參數(shù)每隔10秒鐘就自動記錄一次，工藝完成后作為歷史記錄可隨時調(diào)出查看或通過外接打印機打印出來，便于工藝人員根據(jù)產(chǎn)品質(zhì)量情況進(jìn)行工藝分析；同時，還可存儲上百條工藝溫度曲線，對于各爐管，根據(jù)工藝需要，直接調(diào)入相應(yīng)的成熟工藝曲線號運行即可；而不必每次都對每管的溫度、流量等逐一進(jìn)行設(shè)置，操作十分簡便。工藝過程中如有新的變化和要求，還可對工藝參數(shù)的下一步進(jìn)行在線修改。工藝中遇到瞬間停電、跳閘等情況

14、時，計算機會自動存儲當(dāng)前狀況，重新起動后，工藝從斷點處繼續(xù)執(zhí)行。采用軍用液晶顯示器觸摸屏，操作過程無需鍵盤、鼠標(biāo)，直接在顯示器上點擊即可。3.8.1工藝管超溫（或熱電偶斷偶）保護(hù)溫控儀除了控制溫度外還具有超溫保護(hù)功能，根據(jù)需要手動設(shè)置溫度保護(hù)值適當(dāng)高于使用溫度值，其溫度保護(hù)動作精度可精確到1。為了確保爐溫不失控，在每管恒溫區(qū)內(nèi)還另外單獨設(shè)置3支監(jiān)測熱電偶及進(jìn)口溫控儀作溫度監(jiān)控及保護(hù)用，該溫度保護(hù)動作精度同樣可精確到1。當(dāng)反應(yīng)管內(nèi)溫度超出保護(hù)值時，系統(tǒng)會發(fā)出聲、光報警，并自動切斷爐絲加熱電流，同時在計算機和相應(yīng)超溫段的溫控儀上會有超溫提示，使用者便可立即知道是哪一段爐絲超溫。熱電偶或補償導(dǎo)線由于

15、某種原因出現(xiàn)短路時，溫控儀上的檢測到的溫度值 將變成室溫，爐體加熱系統(tǒng)會一直加熱下去，此時的超溫保護(hù)系統(tǒng)已失去作用， 如果沒有保護(hù)裝置，工藝片、反應(yīng)管以及爐體都有可能燒壞。采用計算機控制時，可以很方便地實現(xiàn)短路報警保護(hù)，系統(tǒng)在發(fā)出聲、光報警的同時會自動切斷爐體加熱電流。在導(dǎo)軌的前、后、上、下限位開關(guān)處加裝有極限保護(hù)開關(guān)，限位開關(guān)失控 6時，極限保護(hù)開關(guān)會自動切斷電機的供電，防止造成嚴(yán)重?fù)p失。在自動進(jìn)出舟過程中，出現(xiàn)緊急情況可手動按下急停鈕，舟的運行即刻停止，可避免損壞工藝管及工藝片。在爐體的頂部設(shè)有水冷散熱器，用以降低溫體高溫對恒溫凈化間的環(huán)境的影響；隨著爐管及功率的增大，爐體柜內(nèi)的發(fā)熱量也會

16、相應(yīng)增大很多。為了防止由于停水而影響工藝和損壞器件，在水路中接有水壓控制開關(guān)，一旦管路斷水，系統(tǒng)即會發(fā)出聲光報警。計算機的工藝運行窗口設(shè)有密碼，只有相應(yīng)等級的工藝人員或相關(guān)管理人員才能修改或調(diào)出工藝參數(shù),可防止工藝泄密及操作員工誤運行工藝。與800mm的恒溫區(qū)相比，1080mm的恒溫區(qū),載片數(shù)量增加,生產(chǎn)效率將相應(yīng)提高；但采用傳統(tǒng)的從反應(yīng)管尾部進(jìn)氣的方式可能會使得靠爐口處擴散源蒸汽的飽和濃度不足，造成片間均勻性不好，從而使合格率下降。采用閉管方式后可確保石英管內(nèi)擴散摻雜源的均勻一致性。并且尾氣也從尾部集中收集、液氣分離后分開排放。此種方式便于有毒有害氣體的收集和處理，同時也能有效地防止偏磷酸殘

17、液的滴漏。氣路元器件的擺設(shè)采用垂直式方式，使氣源柜可利用空間更大。M5111-4WP/UM型三管擴散/氧化系統(tǒng)主要配置清單（單臺）名稱 控制柜詳細(xì)配置與功能描述1控制柜體 2工控機及板卡3工業(yè)級顯示器帶觸摸屏 4帶通訊雙回路溫度控制器 5溫度保護(hù)器 6繼電器7. 帶燈按鈕開關(guān)及指示燈 8空氣開關(guān) 9熔斷器芯、座 10固態(tài)繼電器板 11接線端子生產(chǎn)廠家 48所 臺灣研華 臺灣 進(jìn)口 進(jìn)口 進(jìn)口 國產(chǎn) 合資 國產(chǎn) 48所 合資 國產(chǎn) 國產(chǎn) 國產(chǎn) 48所 進(jìn)口 臺灣 48所 進(jìn)口 國產(chǎn) 國產(chǎn) 進(jìn)口 進(jìn)口 國產(chǎn) 國產(chǎn) 國產(chǎn) 國產(chǎn) 48所 48所 48所 國產(chǎn) 臺灣 48所 國產(chǎn) 48所 國產(chǎn) 國產(chǎn) 國

18、產(chǎn) 進(jìn)口 國產(chǎn) 48所 進(jìn)口 國產(chǎn)數(shù)量 1個 3套 3套 15個 9個 9個 30個 3個 9套 1套 30節(jié) 30套 3個 3套 1套 1套 6套 3套 3套 6套 6套 6套 3套 1套 1套 30套 3套 1套 3套 3套 3臺 10個 1套 150m 30套 300m 3套 3套 3套 3套 1個 5個 1個12航空插頭、座 14腳輪15其它裝配材料（導(dǎo)線、報警器等）1操作臺柜 2全自動上下舟系統(tǒng) 2. 導(dǎo)軌、絲桿 3. 同步輪、同步帶 凈化操作臺 4SiC槳5. 升降機 6蝸輪減速機7. 步進(jìn)電機及驅(qū)動器11. 其它裝配材料（接觸器、照明燈、開關(guān)等）1機柜（含廢氣室、爐體支架、排氣管

19、等） 2爐體 3功率部件（可控硅、觸發(fā)器、接觸器等） 4功率變壓器 5軸流風(fēng)機 6水冷散熱器加熱爐柜 7耐熱功率線8熱電偶 S型 9補償導(dǎo)線 10. 剛玉哈呋片 11保溫棉圈17. 其它裝配材料（導(dǎo)線、接插件、熔斷器等）1機柜 2減壓閥(含減壓表) 3波紋管手動閥氣源柜4常閉電磁閥及匯流排 5. 常開電磁閥 6.手動截止閥 7浮子流量計 8流量計電源 9PFA單向閥 10過濾器11. 聚四氟管道、接頭 12恒溫槽13內(nèi)外拋光不銹鋼管道、接頭 14. 質(zhì)量流量控制器 15氣動閥16其它裝配材料（導(dǎo)線、接插件、開關(guān)等） 1. 質(zhì)量流量計 2. 氣動閥進(jìn)口 進(jìn)口 國產(chǎn) 國產(chǎn) 國產(chǎn) 進(jìn)口 國產(chǎn) 48所

20、 進(jìn)口 進(jìn)口 進(jìn)口 進(jìn)口 48所 進(jìn)口 進(jìn)口 進(jìn)口 進(jìn)口 進(jìn)口 進(jìn)口 48所 48所3套 3個 19個 3個 3個 12個 3個 3套 2臺 3套 9個 12個 3套 3套 3套 3套 3套 3套 1套 3套 1套爐內(nèi)壓力自平衡系統(tǒng)3. 壓力傳感器 4. 壓力控制器7其它裝配材料（導(dǎo)線、接插件、開關(guān)等） 全部機加工件機加工件 總計二、全部石英件均有甲方自行采購（乙方提供全套設(shè)計圖紙）。名稱1源瓶2尾氣收集瓶 3勻流板 4尾氣收集管 5尾氣冷凝管 6. 石英爐門7. 石英管（290mm） 8.石英舟（125方片）/(156方片)（各2個） 9.石英管（20mm）備注 國產(chǎn) 國產(chǎn) 國產(chǎn) 國產(chǎn) 國產(chǎn)

21、 國產(chǎn) 國產(chǎn) 國產(chǎn) 國產(chǎn)數(shù)量 8 6 8 4 6 3 3 4個 2備注 備2 備2隨設(shè)備提供的備件清單（單臺）1 2 3 4 5 6 7 8陽連接頭 陽連接頭 陽連接頭聚四氟四通進(jìn)氣接頭 聚四氟四通進(jìn)氣接頭 聚四氟球碗墊圈 聚四氟球碗墊圈 單向節(jié)流閥KQ2L04-01S KQ2H04-M5 KQ2H06-01S32-123/8"1/4 3/8"1/4"12 S35/25 S28/15 GRLA-1/8-B1 1 1 1 1 3 3 19 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 3

22、1 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 單向節(jié)流閥開口插銷 1mm 不銹鋼夾 不銹鋼夾 不銹鋼夾 剛玉磁管帶燈不自鎖按鈕開關(guān) 帶燈不自鎖按鈕開關(guān) 帶燈自鎖按鈕開關(guān) 指示燈 指示燈 指示燈 光電開關(guān) 行程開關(guān) 繼電器 繼電器固態(tài)繼電器 固態(tài)繼電器 雙向可控硅芯 熔斷器芯 熔斷器芯 熔斷器芯 磁性開關(guān) 聚四氟卡套 聚四氟卡套 聚四氟卡套 不銹鋼卡套 不銹鋼卡套哈呋片OR176X600XT10 前保溫棉一398X336X50 保溫棉圈二427X334X70 尾保溫棉 398X78 爐門保溫棉 346X80 GRLA-1/4-B 標(biāo)準(zhǔn)件 S35/25 S28/15S28/15-

23、35/25 爐體控溫?zé)崤加?LA42PD-10/AC220VG LA42PD-01/AC220VR LA42PSD-10/AC220VG AD17-22/AC220VR AD17-22/AC220VG AD17-22/AC220VY EE-SX670(24V) MJ2-1714MY4NJ-5A/220VAC MY2NJ-5A/220VAC G6B-1177P-ND-US G6B-2114P-US KS300A/600V RT18-3A RT18-10A NT00-125ASDBU-F-NR-1-ZU-K-2-N-LE32 3/8" 1/4" 3/8" 1/4&qu

24、ot; RK7.4-21 RK7.4-19 RK7.4-20 RK7.4-22 RK7.3.2.1-1B 1 6 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 10 10 2 1 3 3 3 3 3 3 2 2 1 1設(shè)備氣路系統(tǒng)圖：設(shè)備安裝調(diào)試進(jìn)度（分二次配管前就位和配管完成后調(diào)試兩部分）：1、 設(shè)備發(fā)運進(jìn)度（調(diào)試進(jìn)度的起始時間隨客戶計劃改變）：從2010年*月開始，設(shè)備發(fā)運時間安排如下： 序號1啟運時間 2010.* 臺數(shù)/屬性 全部定購設(shè)備 備注 全部定購設(shè)備運達(dá)工廠，備品備件到位2、設(shè)備就位計劃（每批設(shè)備兩臺按如下計劃執(zhí)行，人員數(shù)：4人，甲方配合人員：2人）： 序

25、號1 時間 第一天 就位步驟 爐體柜定位 就位內(nèi)容備注 1、開箱；（檢查設(shè)備有無損傷） 2、地腳安裝；（地腳安裝高度要一致）3、爐體柜定位；（在廠房預(yù)定位置提前做好爐體柜定位標(biāo)識，保持爐體柜水平）1、開箱；（檢查設(shè)備有無損傷）2、地腳安裝；（地腳安裝高度要一致）3、凈化臺定位；（與爐體柜靠緊成一直線，地腳高度與爐體柜一致，并保持凈化臺水平）1、開箱；（檢查設(shè)備有無損傷）2、地腳安裝；（地腳安裝高度要一致）3、氣源柜定位；（與爐體柜靠緊成一直線，地腳高度與爐體柜一致，并保持氣源柜水平）1、開箱；（檢查設(shè)備有無損傷）2、把控制柜移至凈化臺旁1、將凈化臺內(nèi)的凈化臺抽氣接口取出，連接至凈化臺頂抽氣口處

26、2、將氣源柜內(nèi)的聚四氟抽氣接口連接至抽氣管道頂部、底部。3、將氣源柜內(nèi)的排廢抽氣接口連接至氣源柜頂部。1開箱；（檢查爐體接線端子有無損壞）2按編號依次把爐體放爐體架上3調(diào)節(jié)爐體高度，裝好保溫棉圈，固定好爐體1、開箱；（按備件清單進(jìn)行清點）2、把推舟結(jié)構(gòu)部件放入凈化操作臺面上3、拆開工控機與顯示器箱并安裝至控制柜上，連接柜內(nèi)電氣線路4、將氣路原件放入紙箱并封存好5、連接爐體電纜線、熱電偶、熱電偶補償線6、整機連線、并檢查2 凈化臺定位 3 氣源柜定位 4 控制柜定位 5 排廢、排氣出口安裝6 第二天 爐體定位 7 備件箱拆封、電氣連線 第三天第二次配管 五天983、 設(shè)備調(diào)試（每批設(shè)備兩臺按以下

27、計劃執(zhí)行，人員數(shù)：4人，甲方配合人員：2人）： 序號1 時間 第六天 調(diào)試步驟 功能測試 就位內(nèi)容備注 1、電源總進(jìn)線連接 2、整機通電試運行3、各功能運行檢查4、氣源檢測1、氣源連接與氣源柜2、氣路指標(biāo)測試1、升溫；2、恒溫區(qū)測試3、降溫1、清洗石英管、槳2、安裝石英管3、連接石英管進(jìn)氣、排廢部分管路4、安裝槳、調(diào)試爐門密封裝置2 第六天第七天 第七天第八天 氣路檢漏及保壓測試 恒溫區(qū)等指標(biāo)測試 3 4 第九天第十一天 石英管、槳安裝5 第十二天第十四天 工藝調(diào)試、試生產(chǎn)（一個月以內(nèi)），設(shè)備驗收4、全部設(shè)備安裝調(diào)試工作于設(shè)備到廠后30日內(nèi)完成（在甲方外圍條件完全具備的情況下）。隨設(shè)備提供的技

28、術(shù)資料以及技術(shù)培訓(xùn)隨機交付的文件資料：1. 使用說明書 1份 2. 平面安裝圖 1份 3. 氣路系統(tǒng)圖 1份 4. 電氣原理圖 1份 5. 電氣接線圖 1份 6. 易損件零件加工圖 1份 7. 主要外購件說明書 1套 8. 備件清單 1份隨機提供的技術(shù)培訓(xùn)：序號內(nèi)容 設(shè)備原理1結(jié)構(gòu)培訓(xùn) 應(yīng)急處理2維修保養(yǎng) 設(shè)備原理3結(jié)構(gòu)培訓(xùn) 設(shè)備操作4應(yīng)急處理參與培訓(xùn)人員 負(fù)責(zé)設(shè)備的電氣及機械工程師 負(fù)責(zé)設(shè)備的電氣及機械工程師 設(shè)備使用人員開始時間 在用戶方安裝調(diào)試期間 在用戶方安裝調(diào)試期間 在用戶通電調(diào)試二周后 在用戶通電調(diào)試二周后時間 2天備注提供設(shè)備說明書及培訓(xùn)資料及相關(guān)錄像資料 提供設(shè)備說明書及培訓(xùn)資料及相關(guān)錄像資料 提供設(shè)備說明書及培訓(xùn)資料及相關(guān)錄像資料 提供設(shè)備說明書及培訓(xùn)資料及相關(guān)錄像資料3天2天設(shè)備使用人員 3天售后服務(wù)承諾及實施細(xì)則技術(shù)及售后服務(wù)依照國家三包政策和關(guān)于技術(shù)及售后服務(wù)相關(guān)法規(guī)執(zhí)行。除提交設(shè)備外，我所還將提供與之配套的設(shè)備技術(shù)服務(wù)。該服務(wù)包括早期服務(wù)、合同期服務(wù)和售后服務(wù)三個階段。1、早期服務(wù)是指合同簽定之前的服務(wù)主要是向用戶介紹有關(guān)設(shè)備的功能、性能，我所的質(zhì)量保證體系、產(chǎn)品的信