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第7章 光柵傳感器 1 2 6 3 4 5 x 圖7.10 反射直讀式光路 第7章 光柵傳感器 7.4.3 反射積分式光路 反射積分式光路如圖7.11所示。只用一只閃耀光柵作 主光柵,沒有指示光柵。光源1發(fā)出的光經(jīng)準(zhǔn)直透鏡2變成平 行光束垂直入射到分光鏡3上,經(jīng)過半透分光面時被分成 CD、CE兩束光并垂直射到具有等腰三角形柵線的閃耀光 柵4上A、B兩點的線槽面時,最大強度的衍射光將沿原路反 射回分光鏡3,在分光面處相遇產(chǎn)生干涉現(xiàn)象,其干涉條紋經(jīng) 透鏡5由光電元件6接收并轉(zhuǎn)換成電信號。這種光學(xué)系統(tǒng)具 有光學(xué)四細分的作用,分辨力較高。例如，柵線密度為600 線mm時，干涉條紋變化一個周期就相當(dāng)于光柵移動量 為w=14×1600=0.42m。 這種光路只用于細柵距 的反射式閃耀光柵傳感器中。 第7章 光柵傳感器 4 B Dw B B1 3 2 5 E C D j A x 1 6 圖7.11 反射積分式光路 第7章 光柵傳感器 思考題與習(xí)題 1. 透射式光柵傳感器的莫爾條紋是怎樣產(chǎn)生的？ 條紋間距、柵距和夾角的關(guān)系是什么？一個200線 mm的透射式光柵的莫爾條紋放大倍數(shù)是多少？ 2. 怎樣理解光柵的誤差平均特性？ 3. 如何判別光柵傳感器的運動方向？ 4. 如何實現(xiàn)提高光電式編碼器的分辨率？
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