真空設(shè)備操作維護(hù)保養(yǎng)規(guī)程

1、1.目的：按規(guī)定進(jìn)行設(shè)備的管理，指導(dǎo)正確操作、使用、維護(hù)和保養(yǎng)設(shè)備，保證生產(chǎn),提高產(chǎn)品質(zhì)量，改進(jìn)環(huán)境績效，預(yù)防和減少事故發(fā)生。2.范圍：本規(guī)程適用于真空泵及真空系統(tǒng)的使用和維護(hù)保養(yǎng)3操作規(guī)程3.1旋片泵操作規(guī)程3.1.1性能規(guī)范 型號：2X70幾何抽速：70L/S;極限壓力：1帕；泵轉(zhuǎn)速：450轉(zhuǎn)/分；電機(jī)：Y132L-4功率：5.5KW電機(jī)轉(zhuǎn)速：1440轉(zhuǎn)/分； 配用三角帶；B/1600:4根； 冷卻水消耗量：480L/H;潤滑油：1#真空機(jī)械泵油（KK-1）儲存量8Kg；口徑：進(jìn)氣90mm排氣60mm3.1.2操作規(guī)范起動前的準(zhǔn)備（1）檢查皮帶的松緊程度，起動前可以松一些，起動后調(diào)節(jié)底座上

2、的螺栓，慢慢拉緊，以減 少起動力矩。檢查各部分有無松動現(xiàn)象，電機(jī)轉(zhuǎn)向是否同泵的要求符合。對于長期未工作的泵，起動前應(yīng)間斷起動電機(jī)，檢查是否靈活。檢查冷卻水是否正常（管路上水壓表水壓W0.20.3MPa）、潤滑油是否正常。起動合上電源的開關(guān)，起動電機(jī)。泵啟動后，再緩慢打開進(jìn)氣閥，以免泵的負(fù)荷急劇增加。停車(3)檢查油箱內(nèi)的油位是否在視鏡的兩條油標(biāo)線之間。(4)(5)(1)打開冷卻水閥。停泵時(shí)應(yīng)先關(guān)斷進(jìn)氣口閥門，打開放棄閥法對泵放氣。3.1.3注意事項(xiàng)應(yīng)經(jīng)常注意油位及油的清潔，新泵工作150小時(shí)后換油一次，以后每2-3個(gè)月?lián)Q油一次，如使用條件不好，真空度下降，可以縮短換油時(shí)間。應(yīng)經(jīng)常保持泵及泵房的

3、干燥清潔。注意泵溫及冷卻水和油的溫度，水溫在20-40 C之間，不應(yīng)超過40r，即泵溫不超過環(huán)境溫度加上40C。潤滑油應(yīng)符合要求，否則達(dá)不到所要求的真空度。入停車后泵溫要下降至5C以下時(shí)，泵內(nèi)冷卻水必須除凈。3.2羅茨真空泵操作規(guī)程3.2.1性能規(guī)范 型號：RT0,300S;抽氣速率：300L/S;極限壓力：0.6帕；進(jìn)排氣口徑：160mm/100mm配用電機(jī)：3KW3.2.2操作規(guī)范起動前準(zhǔn)備(1)檢查冷卻水管是否暢通無阻(管路上水壓表水壓W(2)檢查兩端蓋內(nèi)的潤滑是否足夠，齒輪箱側(cè)油位應(yīng)以寢沒34個(gè)齒高度為宜。電機(jī)側(cè)油位應(yīng)以寢沒1/31/2油窗高度為宜。潤滑油封的油杯油位應(yīng)在油杯高度的1/

4、31/2之間。(3)如果吸入氣體中有粉塵或其它金屬粉末，應(yīng)在進(jìn)氣口前加裝防塵或過濾裝置，如果吸入氣體有腐蝕性，必須采取中和措施。檢查各部分有無松動現(xiàn)象，較長時(shí)間不用后，應(yīng)拆下旁通溢流閥，檢查有無銹死。起動起動前級泵。0.2 MPa)。(5)檢查電機(jī)轉(zhuǎn)向是否同泵體上的箭頭一致。(2)打開本泵的進(jìn)氣閥門。打開冷卻水閥門，當(dāng)容器壓力達(dá)到工藝規(guī)定壓力時(shí)，起動本泵。泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中如局部升溫過大，電流計(jì)讀數(shù)突然發(fā)生變化，產(chǎn)生不規(guī)則的噪聲或 其它異常現(xiàn)象，應(yīng)立即停泵檢查。停泵(1)停泵時(shí)，應(yīng)先停羅茨泵，再停前及泵，否則會導(dǎo)致羅茨泵出口壓力升高，負(fù)荷增大 而可能燒壞羅茨泵電機(jī)或損壞羅茨泵。或會導(dǎo)致前級泵倒轉(zhuǎn)，

5、前級泵泵油倒灌入管道或羅茨泵，導(dǎo)致前級泵缺油，并有可能污染被抽環(huán)境。停止前級泵。323注意事項(xiàng)應(yīng)經(jīng)常保持使用環(huán)境清潔干凈。應(yīng)經(jīng)常注意各部件的潤滑情況，如發(fā)現(xiàn)潤滑油不足時(shí)，應(yīng)及時(shí)補(bǔ)充，如發(fā)現(xiàn)潤滑油 不清潔時(shí)，應(yīng)及時(shí)更換。潤滑油應(yīng)符合要求，否則達(dá)不到所要求的真空度。3.3擴(kuò)散泵操作規(guī)程3.3.1性能規(guī)范型號：KT600600表示吸氣口徑;抽氣速率：16000L/S;極限真空：6.5X10-5Pa；加熱功率：9KW/裝油量：6-7L(ks-3); 耗水量：W 1000L/H;進(jìn)口/出口：600/150。3.3.2操作規(guī)范起動前準(zhǔn)備(1)檢查冷卻水管是否暢通無阻(管路上水壓表水壓W0.20.3MPa)

6、；(2)起動前，高真空閥門應(yīng)處于關(guān)閉位置。(4)泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)應(yīng)平穩(wěn)，轉(zhuǎn)子不得有沖擊聲。(5)泵的軸封處不得有漏油現(xiàn)象。(6)(2)停止本泵并關(guān)閉排氣閥門。(4)關(guān)閉冷卻水進(jìn)水閥。接通冷卻水(注意：急冷水套在擴(kuò)散泵停機(jī)時(shí)才能通水)。接通擴(kuò)散泵加熱電源，對擴(kuò)散泵加熱60min后，當(dāng)容器壓力達(dá)到工藝規(guī)定壓力時(shí),打開高真空閥門，擴(kuò)散泵可以進(jìn)入正常工作狀態(tài)。停機(jī)關(guān)閉高真空閥門;當(dāng)泵底溫度W 60r關(guān)閉管道閥門。關(guān)閉前級泵， 并向前級泵充氣，以防返油。333注意事項(xiàng)擴(kuò)散泵出水溫度應(yīng)W 40r，否則應(yīng)立即檢查處理。如果擴(kuò)散泵在正常運(yùn)行中突然停電停水，應(yīng)按照以下步驟處理:(1)立即關(guān)閉高真空閥和前級閥;(2)迅速

7、抽出加熱器;(3)馬上接通急冷水路，并向擴(kuò)散泵底部淋水;泵正常工作時(shí)，如性能突然變壞，應(yīng)檢查加熱器是否損壞。泵在長期工作后，性能如果下降，應(yīng)拆泵檢查油量及泵油氧化情況，酌情加油或換油(擴(kuò)散泵專用油)，在換油時(shí)泵體及泵芯要使用無水酒精或丙酮清洗，然后在80i00r溫度范圍內(nèi)烘干。并每次在裝配時(shí)注意檢察泵的出口管道內(nèi)擋油板的緊固螺栓，確保其無 松動安全可靠。一般情況下，泵體應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免大氣進(jìn)入泵內(nèi)造成擴(kuò)散泵油的氧化。3.4分子泵操作規(guī)程3.4.1性能規(guī)范型號：TYFB-1600起動(1)起動前級泵，抽出擴(kuò)散泵內(nèi)的氣體。(2)(2)切斷擴(kuò)散泵加熱其電源，停止加熱。(5)停止對擴(kuò)散泵供水。抽氣

8、速率：1600（L/S）87極限真空：V 8X 10-/5X 10-電機(jī)轉(zhuǎn)數(shù)：24000（rpm） 冷卻水流量：1（L/mi n） 3.5真空鍍膜機(jī)操作規(guī)程3.5.1開停機(jī)順序:3.5.1.1開機(jī)前，檢查水，電，氣是否符合要求，（水壓表水壓W 0.20.3MPa），（氣壓表氣壓W 0.40.6MPa）。3.5.1.2開機(jī):打開真空機(jī)和流量控制器電源開關(guān)，依次按下“維持泵”按鈕。大約30分鐘后，擴(kuò)散泵正常工作。（當(dāng)分子泵電源頻率達(dá)到225Hz時(shí)分子泵方能正常工作）。3.5.1.3在擴(kuò)散加熱同時(shí)打開爐門檢查爐內(nèi)絕緣情況，清理爐內(nèi)衛(wèi)生。裝工件檢查爐門密封圈，關(guān)爐門。至真空度到400 Pa時(shí)（此時(shí)羅茨

9、泵轉(zhuǎn)子為靜止?fàn)顟B(tài)）。至真空度到6.7 Pa時(shí)，關(guān)預(yù)抽閥、開前級閥、關(guān)羅茨泵，開精抽閥。開流量計(jì)按工藝要求充入氣體、對工件進(jìn)行離子清洗（清洗時(shí)間有不同工藝而定）。3.5.1.12關(guān)閉離子清洗真空度恢復(fù)至本底真空（7.5 X 10-3Pa）。3.5.1.13調(diào)整氣體開始鍍膜，（按工藝要求鍍膜）。3.5.1.14關(guān)機(jī)、“維持閥”、“擴(kuò)散泵”3.5.1.4開主抽泵、開粗抽閥門。3.5.1.53.5.1.6開前級閥。3.5.1.7啟動羅茨泵,3.5.1.83.5.1.9至真空度到7.5 X 10-3Pa時(shí)開始鍍膜。3.5.1.10運(yùn)行工藝流程3.5.1.11鍍膜:關(guān)閉真空計(jì)、關(guān)閉精抽閥。打開放氣閥。3.

10、5.1.17放氣結(jié)束。3.5.1.18打開箱體大門。3.5.1.19取出工件3.5.1.20裝入工件。3.5.1.21關(guān)閉放氣閥。3.5.1.22重復(fù)上述過程。3.5.2設(shè)備維護(hù)3.5.2 .1日常保養(yǎng)(1)開機(jī)前，檢查水、電、氣是否符合要求。(開啟磁控靶前，檢查靶水開關(guān)，每次開爐門后，用酒精摖拭門膠條，并用吸塵器清理真空室內(nèi)部。)(2)檢查循環(huán)水路各接口，保證無滲漏。(3)檢查循環(huán)水路進(jìn)水溫度是否在5-250C。回水溫度是否低于350C。進(jìn)水壓力為2.5kg/cm33.0kg/cm3檢查水流量開關(guān)是否正常工作。設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)檢查機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵有無過熱和異響。(8)在設(shè)備升溫、鍍膜過程中：

11、檢查設(shè)備閥門，側(cè)壁，后壁，高閥等有無局部發(fā)熱現(xiàn)象。(9)檢查門密封條有無傷痕。檢查羅茨泵油杯油量，保證油杯量在1/2-1/3油杯高度即可。(5) 檢查壓縮機(jī)管路各接口，保證無壓縮空氣外漏。(6) 檢查氣泵和儲氣罐、放掉內(nèi)部的冷凝水。(7)(10)用吸塵器仔細(xì)清潔爐體內(nèi)部。(11)視污染情況更換觀察窗保護(hù)片。(12)檢查機(jī)械泵油位是否正常。(13)(14)檢查分子泵油池油量，保證油池油量處于油標(biāo)上下限之間。(15)檢查濺射靶與罐體之間的絕緣度，絕緣電阻大于200MQ為合格。(16)檢查轉(zhuǎn)架絕緣度；絕緣電阻大于200MQ為合格。(17)注意記錄隔日真空，養(yǎng)成良好的習(xí)慣，便于及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備的問題。3.

12、5.2 .2定期維護(hù)F面的工作應(yīng)每周進(jìn)行一次:檢查水路系統(tǒng)內(nèi)各水表，閥門等出接口有無滲漏。檢查壓縮空氣管路及氣三聯(lián)件，查看油杯中油量是否合適。及時(shí)放掉杯中殘余水分。使用壓縮空氣清潔機(jī)械泵外部，防止灰塵過厚影響散熱。以壓縮空氣和吸塵器清潔爐體內(nèi)部。檢查循環(huán)水各閥門接口有無滲漏3.5.2.3下面的工作應(yīng)每月一次:檢查羅茨泵泵油狀況，如發(fā)現(xiàn)油質(zhì)變色，変烯，乳化等情況，應(yīng)立即換油。清理機(jī)械泵口過濾網(wǎng)。檢查各靶材消耗狀況。每更換一次靶材，用特斯拉計(jì)測量靶磁場強(qiáng)度。(當(dāng)心強(qiáng)磁場、!帶有心臟起搏器的人員請遠(yuǎn)離！ ！)。F面工作應(yīng)三個(gè)月進(jìn)行一次更換機(jī)械泵油(或者考慮使用1000小時(shí))。請打開各電源柜及控制柜外

13、罩，以壓縮空氣清潔內(nèi)部，檢查緊固螺釘是否松動，機(jī)殼接地是否良好，各元器件有無異常。F面的工作應(yīng)六月一次:(1)將全部屏蔽板拆出清洗，徹底清洗爐體內(nèi)部，個(gè)別膜層較厚部分，可用拋光布輪或(3)(5)清潔觀察窗玻璃。(6)檢察各電源線是否有松動、發(fā)熱現(xiàn)象。(1)以壓縮空氣和吸塵器較為徹底的清潔爐體內(nèi)部，內(nèi)襯。(4)手機(jī)、手表等精密儀器及電氣請遠(yuǎn)離!(1)以壓縮空氣清潔循環(huán)水路、設(shè)備冷卻水套。(3)更換機(jī)械泵油過濾器。(4)砂輪拋光清理。清洗充氣閥過濾器。更換爐體加熱器密封圈F面的工作應(yīng)一年進(jìn)行一次:更換機(jī)械泵排氣過濾網(wǎng)。(2)將高閥打開，檢查清洗閥板下面。(3)清洗抽氣主管道。(5)更換轉(zhuǎn)動軸封。(

14、6)更換前門密封圈。(8)檢查機(jī)械泵皮帶松緊是否適當(dāng)，每半年調(diào)整一次。(2)檢查PLC電池電量。更換分子泵潤滑油（或者每4000小時(shí)）。檢查設(shè)備動力線是否有老化現(xiàn)象，及時(shí)更換。大修:視設(shè)備工作情況，每兩至三年大修一次，徹底清理爐體，更換全部真空系統(tǒng)密封圈,檢修全套設(shè)備大修完成后的設(shè)備性能應(yīng)該接近全新設(shè)備。4.維護(hù)保養(yǎng)4.1真空系統(tǒng)較長時(shí)間以后，極限真空度下降，應(yīng)進(jìn)行對滑閥泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵進(jìn)行檢修。 必要時(shí)也應(yīng)對系統(tǒng)、管道、閥門和電動機(jī)等加以清理洗、檢修。4.2泵不用時(shí)，應(yīng)用橡皮塞把進(jìn)氣口塞好，以免贓物和硬質(zhì)東西洛入泵內(nèi)。4.3冷卻水水壓應(yīng)保持0.1 MP0.2 MPa之間，出水溫度W 45C

15、。4.4壓縮空氣壓力在0.4Mpa0.5 Mpa之間。4.5每次開機(jī)前，要檢查保護(hù)氣的氣瓶容量，以免氣體充不足，更換氣瓶。4.6經(jīng)常檢查設(shè)備各種儀表，保證完好；按照規(guī)定對儀表進(jìn)行校驗(yàn)。4.7設(shè)備停止使用時(shí)，應(yīng)將爐內(nèi)氣體抽空，長時(shí)間不用，要充入保護(hù)性氣體，并把水冷套內(nèi)的循環(huán)水放掉。設(shè)備工作時(shí)，注意觀察儀表的顯示情況及各泵的聲音，以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常找出問題。設(shè)備的使用環(huán)境，在相對濕度85%以下，溫度在10C40C。在拆修設(shè)備時(shí)各部分不許 用重錘敲擊，密封面、密封槽不許劃傷。4.19設(shè)備在工作時(shí)，操作人員不得長時(shí)間離崗。4.20運(yùn)行中的問題與對策5.抽氣管路底部密封件腐蝕或損壞1. 缺油2. 抽氣口與

16、排氣口錯(cuò)誤連接3. 供油管線堵塞4. 油泵出現(xiàn)問題5. 油泵中外來物堵塞6. 環(huán)境溫度達(dá)到或超過油蒸汽壓7. 油蒸汽壓低于指標(biāo)4. 修理或更換油泵5. 清理油泵6. 降低環(huán)境溫度并注意空氣流通4.8充入的保護(hù)性氣體，純度不應(yīng)小于99.99%。4.9機(jī)械泵、羅茨泵應(yīng)定期換油加油，羅茨泵的油杯中要保持一直有油。換油時(shí)一定要把油 放干凈。4.10擴(kuò)散泵換油時(shí)，內(nèi)部如有氧化，把擴(kuò)散泵內(nèi)部的氧化層處理干凈，然后再換上新油。4.11本設(shè)備不允許使用易燃易爆和具有腐蝕性氣體作為保護(hù)氣體。設(shè)備表面及儀表表面要保持清潔，擦拭爐體內(nèi)壁不允許有帶有水份及沾有非真空類用油 的抹布擦拭。4.124.13氣動系統(tǒng)的氣動三

17、連件的油水分離器要經(jīng)常放水，油霧器內(nèi)應(yīng)注入真空擴(kuò)散泵油。4.14設(shè)備的整機(jī)電壓要保證在350V420 V范圍內(nèi)，三相要平衡。4.15規(guī)管、電接點(diǎn)壓力表、熱偶等處要經(jīng)常涂上擴(kuò)散泵油，使之與座之間形成一層油膜防止漏氣。以上各部分及法蘭連接處不允許長期使用真空封泥密封。4.16各部分的螺栓定期檢查，如發(fā)現(xiàn)松動，及時(shí)擰緊。4.174.18問題原因解決方法真空管路或系統(tǒng)內(nèi)返油1.油蒸汽返流至真空管路或系統(tǒng)中2.油蒸汽壓不對1.清洗泵后換符合要求的油2. 清洗泵后換符合要求的油3.停泵時(shí)，油返流3. 檢查并更換截流閥4. 更換截流閥板4.截流閥板上的密封件損壞5.更換抽氣管路，修理密封件系統(tǒng)工作時(shí)溫度過高

18、1.加油2. 抽氣管線與抽氣口連接3. 斷開泵連接，清洗并更換符合要求的油極限真空度2.抽氣管太細(xì)2.更換合適直徑的抽氣管8.工作氣體溫度過高7. 更換符合要求的泵油8. 更改工藝或加冷卻系統(tǒng)廢氣在泵附近泄漏煙塵或油霧過重油顏色變深或渾濁停泵時(shí)系統(tǒng)中出現(xiàn)空氣異常噪音問題泵油消耗過多泵不能啟動泵達(dá)不到1.排氣口 0 型密封圈損壞2.油箱表面密封墊損壞3.泵體表面密封墊損壞1.油量過多2.氣鎮(zhèn)閥開啟3.濾油網(wǎng)損壞1.油在骯臟工藝過程中受到污染2.油不合適3.油不足4.真空漏率過大5.惰性保護(hù)氣體不足1.系統(tǒng)泄漏2.密封閥損壞1.連接件損壞2.缺油3.油泵磨損或損壞4.葉片損壞5.排氣閥板上無濾網(wǎng)6

19、. 電機(jī)軸承出現(xiàn)問題原因1.出油口密封圈磨損2.油封損壞或安裝錯(cuò)誤3.油套損壞或腐蝕4.進(jìn)油口或出油口泄漏5.泵體與油封間墊片泄漏1.泵粘死2.泵油粘度過高3.油泵磨損或外來物集聚4.電機(jī)電壓不符5.連線錯(cuò)誤6.電機(jī)出錯(cuò)1.氣鎮(zhèn)閥開啟1.更換新型密封圈2. 更換油箱表面密封墊3. 更換泵體表面密封墊1.減少油量2.關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥3.更換濾油網(wǎng)1.更換泵油或清洗2.清洗后用規(guī)定的泵油3. 加注足量泵油4. 修理泄漏處，或更換泵油5.工藝過程中含有腐蝕性、危險(xiǎn)性或放射性氣體時(shí)必須加足量保護(hù)氣體1.修理部件2.修理密封閥1.更換連接件2. 加油3. 修理或更換油泵4.拆下油泵，更換葉片5. 加濾網(wǎng)6. 修理電機(jī)解決方法1.更換密封圈2.更換新油封，檢查進(jìn)油管線3.更換油套4.更換新 0 型圈5.更換墊片1.拆泵修理2.保持室溫高于 12C或換油3. 更換損壞件或清理4. 更換電機(jī)5.檢查并修理線路6.更換電機(jī)1.關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥緊急情況處理5.安全規(guī)范5.1操作人員要熟悉各種儀表、泵，設(shè)備的各部分。閱讀并理解各種說明書。操作人員在設(shè)備的使用中，要嚴(yán)格執(zhí)行設(shè)備的操作規(guī)程，杜絕違規(guī)操作。5.2在設(shè)備的使用中，要嚴(yán)格遵守電氣設(shè)施的使用管理制度，如有問題必須與電工或電氣工程師取得聯(lián)系。5.3在運(yùn)行中，如