超出管控、規(guī)范記錄、參數(shù)管控

1、超出管控、規(guī)范記錄、工超出管控、規(guī)范記錄、工藝管控藝管控技術(shù)一部技術(shù)一部三、設(shè)備三、設(shè)備三、三、輔料輔料30規(guī)范記錄v操作記錄的標(biāo)準(zhǔn)v異常記錄v記錄單模板31操作記錄的標(biāo)準(zhǔn)v按真實(shí)情況記錄v按規(guī)定的時(shí)記錄v不漏記、忘記，記錄要完整v不再操作記錄單上亂涂、亂畫(huà)v記錄字跡要清晰32異常記錄v出現(xiàn)異常及時(shí)記錄v異常記錄要有發(fā)生時(shí)間、異?，F(xiàn)象、記錄人v現(xiàn)象要求描繪清楚v異常情況一欄中寫(xiě)不全的可在拉晶或拆爐異常簡(jiǎn)述中填寫(xiě)33記錄單模板記錄單模板正面上部目標(biāo)電阻率目標(biāo)直徑使用爐次 晶體項(xiàng)目2153-15733型號(hào)電阻率重量kg使用爐次 試驗(yàn)項(xiàng)目高阻5020使用爐次 清理爐次P1-3552坩堝凈重 泵油爐次

2、P1-32011.73極限真空 漏氣速率3Pa0.2Pa/min預(yù)摻雜量裝料人員投料量120g鄭志化75kg型號(hào)電阻率重量kg加料時(shí)間摻雜電阻率摻雜量加料人員升溫時(shí)間 坩堝位置 歐陸讀數(shù)電壓讀數(shù)電流讀數(shù)氬氣流量爐內(nèi)壓力坩堝轉(zhuǎn)速 異常記錄1:0087503514005500049kw1:3087704216505500069.3kw2:0087905018005500090kw5:309280471700201300179.9kw6:009280471700201300679.9kw原料名稱(chēng)塊狀多晶硅：ZC10101020浙江昱輝陽(yáng)光能源有限公司JRDL-800/TDR-70型單晶爐操作記錄晶體

3、編號(hào)石墨加熱器廠(chǎng)家/編號(hào)石墨堝身廠(chǎng)家/編號(hào)外導(dǎo)流筒廠(chǎng)家/編號(hào)遠(yuǎn)東/YD201001283729功率關(guān)閉日期時(shí)間2101.10.26 1：002101.10.28 23：006：30-7：00新興/興-15-13-125摻雜劑型號(hào)電阻率抽空時(shí)間/檢漏時(shí)間功率開(kāi)啟日期時(shí)間S0邊皮：ZCYL10100034石英坩堝編號(hào)SP10102810昱輝/YH-G458-97E2-11寶斯達(dá)/B610081930S2多晶頭位：ZCYL1010012020.018原料名稱(chēng)34記錄單模板續(xù)上記錄單模板續(xù)上正面下部吊渣時(shí)間 吊渣量g 吊渣人員補(bǔ)摻時(shí)間摻前電阻率 摻后電阻率 摻雜電阻率 摻雜量g補(bǔ)摻人員晶體編號(hào)取晶棒時(shí)

4、間等徑長(zhǎng)度收尾長(zhǎng)度棱線(xiàn)長(zhǎng)度重量kgSP10102810-117:10574mm50mm560mm31.02kgSP10102810-216:50850mm150mm850mm41.30kg抽空時(shí)間 檢漏時(shí)間 極限真空漏氣速率加熱器損傷 堝身開(kāi)裂數(shù) 導(dǎo)流筒粘硅 堝干斷裂 堝底毛重14:4015:002.0PA0.2Pa/min無(wú)無(wú)無(wú)無(wú)4.5kg晶體顏色 籽晶積渣 爐頸積渣堝口積渣坩堝口變形堝底滲硅排氣管阻塞 電極打火 拆爐人員正常無(wú)無(wú)無(wú)無(wú)無(wú)無(wú)無(wú)王亞楠拉晶或拆爐異常簡(jiǎn)述（簽名）：籽晶：4爐 鋼絲繩：13爐 重錘：50爐22：00等徑480mm時(shí)直徑變大，直徑失控。操作：李小鵬19：00等徑800m

5、m時(shí)液面晃動(dòng)，直到收尾結(jié)束。操作人:鄭志化35記錄單模板續(xù)上記錄單模板續(xù)上反面上部時(shí)間項(xiàng)目 晶位堝位直徑 歐陸 電壓 電流 晶轉(zhuǎn) 堝轉(zhuǎn) Ar量 爐壓 SP值 OP值異常情況操作人SL10:00 引晶097.5326803713008620130001200王亞楠011:00 放肩15097.5326803713008620130001200王亞楠014:00 轉(zhuǎn)肩097.51572630361250862013001.21200王亞楠015:00 等徑6098.1157263036125086201300 1.17 1100王亞楠1.216:00 等徑12098.715726303612508

6、6201300 1.15 1050王亞楠1.1517:00 等徑18099.3157263036125086201300 1.13900王亞楠1.1718:00 等徑24099.9157263036125086201300 1.11800王亞楠1.0119:00 等徑300100.5157263036125086201300 1.09850王亞楠0.9520:00 等徑360101.1157263036125086201300 1.07870李小鵬0.8921:00 等徑420101.7157263036125086201300 1.05909李小鵬0.9922:00 等徑480102.315

7、7263036125086201300 1.03960直徑失控李小鵬0.8523:00 等徑540102.9157263036125086201300 1.01 1050李小鵬0.7923:30 等徑574李小鵬00:20收尾624李小鵬03:50冷卻李小鵬03:50取棒李小鵬04:00引晶0102.9329803713008620130001200李小鵬0浙江昱輝陽(yáng)光能源有限公司JRDL-800/TDR-70型單晶爐操作記錄附頁(yè)斷棱收尾提斷升至副室36記錄單模板續(xù)上記錄單模板續(xù)上反面下部5:00放肩150102.9329803713008620130001200李小鵬06:00轉(zhuǎn)肩0102.

8、91572930361250862013001.11200李小鵬1.157:00等徑60103.5157293036125086201300 1.07 1100李小鵬1.028:00等徑120104.1157293036125086201300 1.05 1050鄭志化1.029:00等徑190104.8157293036125086201300 1.03980鄭志化1.0510:00 等徑260105.5157293036125086201300 1.01900鄭志化0.9511:00 等徑320106.2157293036125086201300 0.99800鄭志化0.8512:00 等

9、徑380106.9157293036125086201300 0.97850鄭志化0.7813:00 等徑440107.6157293036125086201300 0.95890鄭志化0.814:00 等徑500108.3157293036125086201300 0.93950鄭志化0.8515:00 等徑560109157293036125086201300 0.91 1080鄭志化0.7316:00 等徑620109.7157293036125086201300 0.89 1150鄭志化0.7117:00 等徑680110.4157293036125086201300 0.87 1300鄭志化0.718:00 等徑740111.1157293036125086201300 0.85 1420鄭志化0.6819:00 等徑800111.8157293036125086201300 0.831520 液面晃動(dòng)鄭志化0.6920:00 等徑850收尾王亞楠22:30 收尾結(jié)束王亞楠23:00 停爐王亞楠尾長(zhǎng)150降功率37參數(shù)的管控n管控的原因n參數(shù)的制定n參數(shù)的分類(lèi)n工藝參數(shù)的修改38參數(shù)管控的原因n有助于品質(zhì)的控制n爐臺(tái)異?？梢苑奖悴檎襫有助于爐臺(tái)性能和操作技能的對(duì)比n可實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化39參數(shù)的制定n試驗(yàn)對(duì)比得出結(jié)果n公司、領(lǐng)