《濕刻工藝培訓(xùn)》PPT課件

1、刻蝕培訓(xùn)刻蝕培訓(xùn) 硅硅PN結(jié)太陽電池基本結(jié)構(gòu)結(jié)太陽電池基本結(jié)構(gòu) 晶體硅太陽電池生產(chǎn)流程晶體硅太陽電池生產(chǎn)流程硅料的冶煉、提純、切片擴(kuò)散清洗干燥制絨刻蝕PECVD印刷燒結(jié)測試分檔去磷硅玻璃電池片主要內(nèi)容主要內(nèi)容v一：刻蝕的目的一：刻蝕的目的v二：刻二：刻蝕的原理蝕的原理v三：三：RENARENA刻蝕機(jī)結(jié)構(gòu)刻蝕機(jī)結(jié)構(gòu)v四四: : 合格品標(biāo)準(zhǔn)及操作規(guī)范合格品標(biāo)準(zhǔn)及操作規(guī)范v五：化學(xué)品安全與急救措施五：化學(xué)品安全與急救措施一：刻蝕的目的一：刻蝕的目的v刻蝕的目的：去除硅片邊緣（或邊緣加背面）的擴(kuò)散層，防止電池正面和背面短路。硅片- - - - - - - - + + + + + + + + +刻蝕前刻

2、蝕后硅片- - - - - - - - + + + + + + + + +v第一步，硅被硝酸氧化v1，慢反應(yīng)vSi+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2OvSi+2HNO3=SiO2+2NO+2H2O v2，快反應(yīng)v2NO2+H2O=HNO2+HNO3 vSi+4HNO2=SiO2+4NO+2H2Ov4HNO3+NO+H2O=6HNO2三：三：RENA刻蝕機(jī)結(jié)構(gòu)刻蝕機(jī)結(jié)構(gòu)v“一化一水”，硅片每經(jīng)過一次化學(xué)品，都會經(jīng)過一次水噴淋清洗。v除刻蝕槽和第一道水噴淋之間,其它的槽和槽之間都有吹液風(fēng)刀。v除刻蝕槽外，其它化學(xué)槽和水槽都是噴淋結(jié)構(gòu)，去PSG氫氟酸槽是噴淋結(jié)構(gòu)，而且片子進(jìn)入到溶液內(nèi)部。v最后

3、一道水噴淋（第三道水噴淋）由于要將所有化學(xué)品全部洗掉，所以水壓最大。相應(yīng)的，最后的吹干風(fēng)刀氣壓最大。上片刻蝕槽H2SO4/HNO3/HF水噴淋堿洗槽NaOH水噴淋去PSG槽HF水噴淋下片吹干風(fēng)刀RENA外觀圖外觀圖上料臺下料臺刻蝕槽的結(jié)構(gòu)：刻蝕液儲備槽冷卻塔1：刻蝕槽：刻蝕槽 2.堿槽堿槽/HF槽槽噴淋風(fēng)刀循環(huán)泵小儲備桶刻蝕槽儲備槽里的溶液在進(jìn)入刻蝕槽前先要經(jīng)過冷卻達(dá)到設(shè)定溫度，冷卻液是由外圍進(jìn)來的city-water進(jìn)入制冷機(jī)冷卻的。堿槽溫度是由外圍提供的cooling-water直接冷卻的?？涛g槽、堿槽溫度的控制刻蝕槽、堿槽溫度的控制3.1合格品標(biāo)準(zhǔn)合格品標(biāo)準(zhǔn) a.刻蝕深度：0.8-1.2

4、um b.邊緣電阻：千歐級 c.外觀無發(fā)黃，邊緣發(fā)黑等 d.沾液良好、無明顯爬液（3mm）通過過檢測量通過過檢測量通過生產(chǎn)、工藝人員觀察通過生產(chǎn)、工藝人員觀察四四.合格品標(biāo)準(zhǔn)及操作規(guī)范合格品標(biāo)準(zhǔn)及操作規(guī)范操作規(guī)范操作規(guī)范v要求：要求： 嚴(yán)格遵循生產(chǎn)作業(yè)指導(dǎo)書生產(chǎn)，未經(jīng)工藝允許不得私自更改任何工藝參數(shù)。v要點(diǎn)：要點(diǎn)：v 1. 生產(chǎn)過程中下料臺帶速刻蝕槽帶速上料臺帶速；v 2. 不生產(chǎn)時打回手動狀態(tài)，堿槽打起循環(huán)，所有滾輪開啟狀態(tài)，帶速調(diào)整為0.5-0.6m/s即可?？涛g槽碎片、疊片處理刻蝕槽碎片、疊片處理v刻蝕槽碎片：第一時間停止上料臺投料，及時通知設(shè)備組人員，當(dāng)碎片比較大時，一定要將碎片取出，

5、方可繼續(xù)投料。大片的碎片沉底，也需要及時清理和關(guān)注，否則沉底的碎片會因?yàn)榉磻?yīng)而重新浮起至液面，造成賭片、疊片；v刻蝕槽疊片：第一時間停止上料臺投料，及時通知設(shè)備組和工藝組人員，打回手動狀態(tài)把里面的片子盡量走出，同時將刻蝕槽液打回儲備槽，等設(shè)備人員將硅片全取出，確認(rèn)可繼續(xù)生產(chǎn)，方可生產(chǎn)；v因外圍排風(fēng)停止引起的刻蝕槽液自動打回儲備槽：此情況一般伴有大量黃煙從刻蝕槽涌出，第一處理為人員疏散，同時通知擴(kuò)散間的其他員工，待外圍排風(fēng)恢復(fù)之后，再在工藝安排下進(jìn)行事故處理。操作過程中的注意事項(xiàng)操作過程中的注意事項(xiàng)v生產(chǎn)過程中禁止往刻蝕槽中添加任何物質(zhì)?？涛g槽是整個RENA的心臟，刻蝕槽的溶液必須保持穩(wěn)定，在生

6、產(chǎn)操作過程中切不可往刻蝕槽中扔雜物，即使往刻蝕槽中加入很純凈的水，對刻蝕槽溶液也是致命的損害；v對硅片的刻蝕效果密切關(guān)注。我們生產(chǎn)員工是和RENA接觸最密切的人員，生產(chǎn)過程中除了關(guān)注碎片、產(chǎn)量之外，還需要關(guān)注硅片的不沾液、爬液、外觀、下料處是否帶水等等細(xì)節(jié)，若有異常，需及時向工藝人員反饋。RENA更換化學(xué)品注意事項(xiàng)：更換化學(xué)品注意事項(xiàng)：1. 在腐蝕性的化學(xué)制品工作中需要必備的防護(hù)用具，建議使用 抗腐蝕性的面罩、防酸堿服，防酸堿鞋，防酸堿手套和護(hù)目鏡。 此外，為應(yīng)付意外事故,確保配備緊急沖洗設(shè)備對受侵蝕身體部位進(jìn)行沖洗；沖洗時間必須超過15分鐘，后就醫(yī)。v2. 決不能單獨(dú)在機(jī)器內(nèi)工作；v3. 設(shè)

7、備在工作過程中，由于內(nèi)部蒸汽含有特別危險的堿和酸化學(xué)品，請不要打開/除去蓋板；v4. 更換化學(xué)供應(yīng)桶時必須穿戴規(guī)定的防護(hù)用具，包括頭罩，呼吸防護(hù)半面罩防護(hù)服，防酸堿鞋，防酸堿手套；操作人員更要熟悉各化學(xué)品的安全技術(shù)說明書（MSDS）。生產(chǎn)過程中注意的事項(xiàng)生產(chǎn)過程中注意的事項(xiàng)在RENA生產(chǎn)、換液過程中接觸到一些液體，如果在不清楚是否是酸的情況下，需要立即用大量水沖洗。有時在處理疊片、碎片后會因?yàn)闀r間比較匆忙，使得部分刻蝕槽液粘附在RENA槽蓋把手、觀察窗、甚至水槍上未能及時沖洗，這些液體由于其中有大量的酸，即使放置很長時間也不會揮發(fā)掉，故很可能被其他人所接觸，造成安全事故。所以，在RENA過程中

8、接觸到不明液體，請及時用水沖洗，以免造成不必要的安全事故。五：化學(xué)品安全與急救措施五：化學(xué)品安全與急救措施v1.硝酸（硝酸（HNO3）v含量: 工業(yè)級 一級98.2; 二級97.2。外觀與性狀：純品為無色透明發(fā)煙液體，有酸味。v危害性危害性:v1.健康危害：其蒸氣有刺激作用，引起眼和上呼吸道刺激癥狀，如流淚、咽喉刺激感、嗆咳，并伴有頭痛、頭暈、胸悶等?？诜鸶共縿⊥?，嚴(yán)重者可有胃穿孔、腹膜炎、喉痙攣、腎損害、休克以及窒息。皮膚接觸引起灼傷。慢性影響：長期接觸可引起牙齒酸蝕癥。 v2.環(huán)境危害：對環(huán)境有危害，對水體和土壤可造成污染。v消防措施消防措施 ：v危險特性：強(qiáng)氧化劑。能與多種物質(zhì)如金屬

9、粉末、電石、硫化氫、松節(jié)油等猛烈反應(yīng)，甚至發(fā)生爆炸。與還原劑、可燃物如糖、纖維素、木屑、棉花、稻草或廢紗頭等接觸，引起燃燒并散發(fā)出劇毒的棕色煙霧。具有強(qiáng)腐蝕性。滅火劑：霧狀水、二氧化碳、砂土。v2.硫酸硫酸(H2SO4 )v含量: 工業(yè)級 92.5或98。v外觀與性狀：純品為無色透明油狀液體，無臭。v健康危害健康危害：對皮膚、粘膜等組織有強(qiáng)烈的刺激和腐蝕作用。蒸氣或霧可引起結(jié)膜炎、結(jié)膜水腫、角膜混濁，以致失明；引起呼吸道刺激，重者發(fā)生呼吸困難和肺水腫；高濃度引起喉痙攣或聲門水腫而窒息死亡?？诜笠鹣罒齻灾聺冃纬?；嚴(yán)重者可能有胃穿孔、腹膜炎、腎損害、休克等。皮膚灼傷輕者出現(xiàn)紅斑、重者形

10、成潰瘍，愈后癍痕收縮影響功能。濺入眼內(nèi)可造成灼傷，甚至角膜穿孔、全眼炎以至失明。慢性影響：牙齒酸蝕癥、慢性支氣管炎、肺氣腫和肺硬化。 v環(huán)境危害環(huán)境危害：對環(huán)境有危害，對水體和土壤可造成污染。v3.氫氟酸氫氟酸 （HF)v含量: 高濃度 55.0; 低濃度 40。無色透明有刺激性臭味的液體。商品為40%的水溶液。主要用作分析試劑、高純氟化物的制備、玻璃蝕刻及電鍍表面處理等。禁配物：強(qiáng)堿、活性金屬粉末、玻璃制品。v危害性：危害性： 1.健康危害：對皮膚有強(qiáng)烈的腐蝕作用。本品灼傷疼痛劇烈。眼接觸高濃度本品可引起角膜穿孔。接觸其蒸氣，可發(fā)生支氣管炎、肺炎等。慢性影響：眼和上呼吸道刺激癥狀，或有鼻衄，

11、嗅覺減退?？捎醒例X酸蝕癥。骨骼線異常與工業(yè)性氟病少見。 2.燃爆危險：本品不燃，具強(qiáng)腐蝕性、強(qiáng)刺激性，可致人體灼傷。v消防措施消防措施 ：v本品不燃，但能與大多數(shù)金屬反應(yīng)，生成氫氣而引起爆炸。遇發(fā)泡劑立即燃燒。腐蝕性極強(qiáng)。有害燃燒產(chǎn)物為氟化氫。滅火劑：霧狀水、泡沫。v4. 氫氧化鈉（氫氧化鈉（NaOH）v含量: 工業(yè)品 一級99.5; 二級99.0。v外觀與性狀：白色不透明固體，易潮解。v危害性：危害性：v 本品有強(qiáng)烈刺激和腐蝕性，不會燃燒，遇水和水蒸氣大量放熱，形成腐蝕性溶液；與酸發(fā)生中和反應(yīng)并放熱；粉塵或煙霧刺激眼和呼吸道，腐蝕鼻中隔；皮膚和眼直接接觸可引起灼傷；誤服可造成消化道灼傷，粘膜糜爛、出血和休克。v 消防措施：消防措施：遠(yuǎn)離易燃、可燃物；避免產(chǎn)生粉塵，避免與酸類接觸；失火時，可用水、砂土和各種滅火器撲救，但滅火人員應(yīng)注意水中溶入堿后的腐蝕性。急救措施急救措施v硝酸（硝酸（HNO3）氫氟酸氫氟酸 （HF)硫酸硫酸(H2