生產(chǎn)事故案例分析(新版)

1、寧夏隆基技術(shù)工藝部培訓(xùn)材料系列（一）歡迎各位同事參加本次培訓(xùn)分享 交流 總結(jié) 提高第一部分：概述第一部分：概述1.1 案例來(lái)源案例來(lái)源 本次培訓(xùn)材料案例來(lái)源于2008.052009.07由技術(shù)工藝部整理分析的生產(chǎn)事故報(bào)告。 【說(shuō)明】生產(chǎn)事故的及時(shí)分析和整理是技術(shù)工藝部的日常工作之一，因此編寫這個(gè)材料的目的也是分享我們前期在生產(chǎn)事故分析方面的經(jīng)驗(yàn)，以盡快促進(jìn)我們技術(shù)員技術(shù)的積累和業(yè)務(wù)水平的提高。1.2 數(shù)據(jù)分類數(shù)據(jù)分類1.2.1 本材料涉及整理生產(chǎn)事故報(bào)告98起。 1.2.2 生產(chǎn)事故分類 表1-1事故分類事故分類發(fā)生次數(shù)發(fā)生次數(shù)百分比百分比掉棒（掉棒+漏硅）4849%墩?qǐng)澹ǘ請(qǐng)?漏硅）2324

2、%漏硅1010%重錘及鋼絲繩88%其他99%49%24%10%8%9%事故分類事故分類掉棒（掉棒+漏硅）墩?qǐng)澹ǘ請(qǐng)?漏硅）漏硅重錘及鋼絲繩其他1.3 生產(chǎn)事故損失簡(jiǎn)介生產(chǎn)事故損失簡(jiǎn)介 由于單晶硅材料制造成本的高昂，因此每一次生產(chǎn)事故均會(huì)造成巨大的損失，因此盡量減少避免生產(chǎn)事故的發(fā)生，是我們降低成本的有效途徑之一。 生產(chǎn)事故損失成本構(gòu)成簡(jiǎn)介： 1）材料加工成本，目前我公司材料加工成本為130140元/Kg； 2）石墨件及熱場(chǎng)碳?xì)謸p耗（見(jiàn)表1-2）； 3）原料損耗，包括原料重新清洗損耗及費(fèi)用，污染原料報(bào)廢等； 4）設(shè)備受損，包括重錘報(bào)廢，波紋管報(bào)廢，爐體受損等。表1-2 20吋熱場(chǎng)主要石墨件采購(gòu)價(jià)

3、格 謹(jǐn)記：態(tài)度決定一切！ 如履薄冰，如臨深淵！名稱名稱價(jià)格（元）價(jià)格（元）石墨加熱器37000五瓣堝幫24500主保溫筒39500副保溫筒12500下保溫筒9500熱屏21500石墨碳?xì)?00/kg 典型案例：表1-3 61#爐漏硅事故損失列表?yè)p壞的石墨件損壞的石墨件(20吋吋)價(jià)值（元）價(jià)值（元）三瓣堝一套31000細(xì)石墨加熱器一只47000堝托一只9500隔熱體680護(hù)底盤3500護(hù)底壓板1800石墨電極2只320電極護(hù)套2只160石英護(hù)套2只160石墨螺絲+石墨蓋 各2只60共計(jì)94180原料損失約（按3000元/kg）算約180000下軸波紋管一只10000總計(jì)總計(jì)282180第二部分

4、：生產(chǎn)事故分析第二部分：生產(chǎn)事故分析2.1 概述概述2.1.1 材料組織原則：按照事故分類介紹。 1）事故定義 2）發(fā)生原因分析 3）事故現(xiàn)象描述 4）處理措施（現(xiàn)場(chǎng)解決方法） 5）糾正預(yù)防措施（長(zhǎng)期解決方法）2.1.2 目的 1）借鑒警示 2）明確原因 3）提供方法2.2 掉棒（掉棒掉棒（掉棒+漏硅）漏硅）2.2.1 定義 在等徑或拆爐過(guò)程中，籽晶部位（老籽晶）或細(xì)頸部位斷裂，造成晶棒墜落的生產(chǎn)事故稱為掉棒。如果在晶體墜落后同時(shí)造成石英坩堝損壞而發(fā)生漏硅的生產(chǎn)事故稱為掉棒+漏硅。由于這類事故均為掉棒引發(fā)，因此歸為一類。 【說(shuō)明】新籽晶使用后需要與熔硅熔接，長(zhǎng)出細(xì)頸才能夠進(jìn)行放肩等徑等操作，那

5、么使用后的籽晶熔接面以上的部分就稱為老籽晶。掉棒中常說(shuō)的老籽晶斷裂主要指老籽晶上的鉬銷槽部分的斷裂。 從前面統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)可以看出掉棒在目前我們生產(chǎn)事故總數(shù)中所占比例最大，因此是我們最迫切需要解決的問(wèn)題！2.2.2 掉棒原因 統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)：人為原因27%籽晶問(wèn)題38%原料問(wèn)題6%重錘問(wèn)題23%原因不明6%掉棒原因掉棒原因1）籽晶問(wèn)題 通常為老籽晶斷裂，在檢查爐臺(tái)過(guò)程中無(wú)其他明顯的異常。無(wú)違規(guī)操作，拉速平穩(wěn)，無(wú)結(jié)晶現(xiàn)象，檢查鉬夾頭內(nèi)壁無(wú)凸起等缺陷。籽晶質(zhì)量問(wèn)題包括兩個(gè)方面：a）籽晶尺寸不合乎要求，我們目前籽晶尺寸為12.50.1mm，超過(guò)此尺寸的可視為不合格；b）籽晶在加工過(guò)程中受內(nèi)傷，造成強(qiáng)度下降，在晶

6、棒達(dá)到一定重量后，造成掉棒。籽晶受到內(nèi)傷的情況，以目前我們的檢驗(yàn)條件是無(wú)法判定的，但是從發(fā)生事故的頻次及供應(yīng)商的考察來(lái)分析可以推斷籽晶本身質(zhì)量存在嚴(yán)重的缺陷。 注：本年度發(fā)生掉棒事件的頻度遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于去年，在同樣的生產(chǎn)條件下出現(xiàn)這樣有差異的結(jié)果，可以推斷我們籽晶加工供應(yīng)商的產(chǎn)品質(zhì)量確實(shí)出現(xiàn)了嚴(yán)重問(wèn)題。因此目前技術(shù)工藝部已經(jīng)開(kāi)始著手開(kāi)發(fā)新的籽晶供應(yīng)商。 圖2-2-1 圖2-2-2 分析過(guò)程：從拉晶曲線可以觀察到在掉棒前晶體拉速運(yùn)行平穩(wěn)，無(wú)明顯擺動(dòng)現(xiàn)象，從拆爐后凝固的熔硅表面看無(wú)明顯的結(jié)晶塊。 圖2-2-3 圖2-2-4 老籽晶在拉晶過(guò)程中承受晶體的重量，主要受力點(diǎn)即為鉬銷與籽晶插槽的接觸面，一旦老籽

7、晶內(nèi)部存在缺陷，將直接導(dǎo)致老籽晶從插槽的接觸面斷裂。 晶體編號(hào)：0906077-10測(cè)量籽晶直徑12.0812.12mm籽晶直徑明顯偏細(xì)。因此我們要求在籽晶使用前，特別是圓形籽晶使用前，需要測(cè)量籽晶直徑，在直徑滿足要求的情況下才能交付爐臺(tái)使用。 圖2-2-5 圓籽晶在鉬夾頭內(nèi)的鏈接方式，可見(jiàn)接觸點(diǎn)為線接觸，如果籽晶直徑偏細(xì)，則會(huì)減小線接觸的長(zhǎng)度，使受力更為集中；如果籽晶本身有內(nèi)傷，則容易從最薄弱，受力最集中的部位斷裂，因此我們可以發(fā)現(xiàn)籽晶的斷裂均位于鉬銷與老籽晶斜面連接處。而且籽晶在加工過(guò)程中，鉬銷連接斜面的加工也是容易產(chǎn)生內(nèi)傷的部位。 圖2-2-62）人為原因 主要包括以下幾個(gè)方面： a）等

8、經(jīng)過(guò)程中結(jié)晶掉棒； 等經(jīng)過(guò)程中結(jié)晶，是造成掉棒的主要原因之一。由于操作工在巡視爐臺(tái)的過(guò)程中未仔細(xì)觀察爐內(nèi)狀況，在發(fā)生結(jié)晶后未作相應(yīng)的處理，致使結(jié)晶塊粘連在晶棒上，最終導(dǎo)致掉棒。 等經(jīng)過(guò)程中發(fā)生結(jié)晶有多種原因： 等經(jīng)后期溫補(bǔ)不夠，爐內(nèi)溫度過(guò)低； 原料臟，爬硅結(jié)晶； 誤操作，如誤升坩堝，導(dǎo)致坩堝伸入導(dǎo)流筒中導(dǎo)致結(jié)晶掉棒。 典型案例 21#掉棒事故 圖2-2-7 圖2-2-8 事故原因：堝跟過(guò)快、熱場(chǎng)裝配未對(duì)中致使液面與導(dǎo)流筒粘連結(jié)晶至晶棒，扭斷籽晶，晶棒掉入堝內(nèi)。 圖2-2-9注：結(jié)晶掉棒幾個(gè)關(guān)鍵的特點(diǎn)： 晶棒一般從細(xì)頸處擰斷； 導(dǎo)流筒內(nèi)壁濺硅較少； 拆爐后查看凝固的熔硅中有塊狀的結(jié)晶層； 等經(jīng)后

9、期溫度升幅較小，拉速波動(dòng)較大，晶體直徑有長(zhǎng)大的趨勢(shì)。典型案例： 0910245-12TC掉棒+漏硅事故 本次事故即為典型了結(jié)晶掉棒，掉棒后由于晶體的沖擊及熔硅結(jié)晶向下的擠壓，導(dǎo)致漏硅。其主要現(xiàn)象完全吻合上述特點(diǎn)。 b）引細(xì)頸過(guò)細(xì)，導(dǎo)致強(qiáng)度不夠掉棒； 典型案例：71#掉棒事故 本爐為提純，掉棒后測(cè)量籽晶斷裂處細(xì)頸直徑3.2mm。 注：工藝要求提純爐臺(tái)細(xì)頸直徑為58mm。 c）細(xì)頸上有雜質(zhì)導(dǎo)致細(xì)頸強(qiáng)度不夠掉棒； 典型案例：66#掉棒事故 杜絕人為原因?qū)е碌舭舻拇胧罕仨毤訌?qiáng)爐臺(tái)巡視，特別是在拉提純時(shí)，必須隨時(shí)觀察爐內(nèi)是否有結(jié)晶現(xiàn)象；查看溫度曲線，及時(shí)發(fā)現(xiàn)升溫幅度慢的問(wèn)題，必要時(shí)進(jìn)行手動(dòng)補(bǔ)溫；引晶時(shí)

10、嚴(yán)格按照作業(yè)指導(dǎo)書(shū)要求的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行操作，避免引晶過(guò)細(xì)及在細(xì)頸上粘連雜質(zhì)。 圖2-2-10 從圖片上可見(jiàn)細(xì)頸處有明顯的雜質(zhì)，導(dǎo)致細(xì)頸強(qiáng)度降低。3）重錘問(wèn)題 重錘鉬夾頭內(nèi)壁有燒結(jié)物突起或缺陷（凹坑，夾頭與重錘連接松動(dòng)，鉬夾頭內(nèi)同心度不好）等，導(dǎo)致等徑過(guò)程中籽晶受損而掉棒。 說(shuō)明：出現(xiàn)過(guò)同一爐臺(tái)連續(xù)掉棒的現(xiàn)象，檢查重錘鉬夾頭發(fā)現(xiàn)有缺陷（夾頭松動(dòng)，鉬夾頭內(nèi)壁有燒結(jié)物），在更換后正常。如一車間67#爐，在兩周內(nèi)掉了三支晶棒，在更換重錘后正常。 圖2-2-11 圖2-2-12 重錘內(nèi)壁有燒結(jié)物及鉬夾頭松動(dòng)導(dǎo)致掉棒事故典型圖片。杜絕此類事故發(fā)生的辦法主要為在合爐前對(duì)重錘內(nèi)壁及鉬夾頭進(jìn)行仔細(xì)檢查。對(duì)出現(xiàn)有上述異

11、常的重錘需進(jìn)行更換或?qū)Y(jié)物徹底打磨，使內(nèi)壁盡量保持光滑。4）原料問(wèn)題 對(duì)于提純料在使用過(guò)程中容易出現(xiàn)結(jié)晶，并且在拉晶過(guò)程中常出現(xiàn)不熔物，不熔物與晶棒粘連或磕碰會(huì)造成晶體在爐內(nèi)擺動(dòng)，導(dǎo)致掉棒。這也是我們拉提純料時(shí)出現(xiàn)掉棒頻率比拉單晶時(shí)高的原因。 典型案例：N0907025-4TC 掉棒事故，從拆爐后晶體表面看有大量不溶物粘結(jié)在晶棒表面。 圖2-2-13 注：如果掉棒后，發(fā)生將石英坩堝砸壞的情況則會(huì)造成漏硅。同樣如果掉棒后采取不適當(dāng)?shù)牟僮饕矔?huì)造成漏硅，如不適當(dāng)?shù)纳祱逦唬厝鄣取?典型案例：N0903030-12TC掉棒漏硅事故 本次事故為爐內(nèi)結(jié)晶導(dǎo)致掉棒，掉棒之前主操即發(fā)現(xiàn)爐內(nèi)不熔物較多，已經(jīng)

12、導(dǎo)致晶體擺動(dòng)。在掉棒后主操采取了回熔的措施，在回熔40分鐘時(shí)漏硅。 在掉棒后，如果等經(jīng)長(zhǎng)度較短，通常在100mm內(nèi)，爐內(nèi)剩料較多的情況下可以采取回熔措施，但必須確保掉棒時(shí)石英坩堝未受損傷，如果等經(jīng)長(zhǎng)度超過(guò)100mm，則一般不允許回熔。另外掉棒后，必須立即關(guān)閉堝升、堝轉(zhuǎn)，一般不再進(jìn)行升降堝位操作。2.2.3 掉棒解決方案 技術(shù)工藝部提出的解決方法： 1）下達(dá)關(guān)于保護(hù)籽晶及鋼絲繩的通知，并檢查執(zhí)行情況； 具體要求參考工藝通知拉晶時(shí)上軸管理規(guī)定及提純時(shí)引晶要求。 2）建議更換重錘； 3）檢查籽晶直徑，與鉬夾頭的配合是否合適； 3）更換籽晶供應(yīng)商； 4）設(shè)計(jì)錐形籽晶（最終解決方案）。 我部門新設(shè)計(jì)的錐

13、形籽晶及石墨夾頭草圖，解決了籽晶受力集中的問(wèn)題，能夠大大提高籽晶的承重能力。目前正在盡快推進(jìn)重錘的技術(shù)改造，和錐形籽晶的使用。 圖2-2-142.3 墩?qǐng)澹ǘ請(qǐng)宥請(qǐng)澹ǘ請(qǐng)?漏硅）漏硅）2.3.1 定義 由于異常情況導(dǎo)致拉晶不能繼續(xù)進(jìn)行，在原料剩余較多的情況下被迫停爐的生產(chǎn)事故稱為墩?qǐng)濉?如果剩余原料較多，在停爐過(guò)程中冷卻過(guò)程不當(dāng)會(huì)進(jìn)一步造成漏硅。2.3.2 墩?qǐng)逶?61%18%13%4% 4%墩?qǐng)逶蚨請(qǐng)逶蛟蠁?wèn)題人為事故三瓣堝裂坩堝問(wèn)題原因不明1）原料問(wèn)題 原料臟，特別是提純料，在熔料過(guò)程中會(huì)嚴(yán)重腐蝕坩堝，造成滲硅，引起電阻過(guò)低報(bào)警，被迫停爐。在這種情況下如果繼續(xù)加熱，石英坩堝將被腐蝕穿

14、，導(dǎo)致漏硅，造成更大的損失。（補(bǔ)充粉末料在熔料過(guò)程中造成墩?qǐng)宓那闆r） 典型案例： N0903045-7墩?qǐng)迨鹿?本次事故判斷為原料清洗出現(xiàn)問(wèn)題，導(dǎo)致坩堝析晶腐蝕，由于考慮到繼續(xù)拉晶的危險(xiǎn)系數(shù)過(guò)大，因此采取停爐措施。 圖2-3-1 典型案例：0812027-1TC墩?qǐng)迨鹿省?812034-1TC墩?qǐng)迨鹿蔬@兩起事故原料均為N/A多晶粉沫（顆粒狀）料。高溫后電阻過(guò)低報(bào)警停爐。拆爐時(shí)發(fā)現(xiàn)熱場(chǎng)損壞嚴(yán)重，原因?yàn)檑釄甯g嚴(yán)重，有漏硅現(xiàn)象。 圖2-3-2 圖2-3-3 2）人為事故 a）裝料不當(dāng)，造成掛邊，導(dǎo)致坩堝嚴(yán)重變形，被迫墩?qǐng)澹?坩堝在變形嚴(yán)重的情況下，堝位不能升高，降低液面溫度梯度，導(dǎo)致引晶困難，容易

15、結(jié)晶。另外為防止坩堝進(jìn)一步損壞而造成漏硅，權(quán)衡損失，選擇墩?qǐng)濉?b）堝升設(shè)定錯(cuò)誤導(dǎo)致導(dǎo)流筒浸入熔硅中結(jié)晶墩?qǐng)澹?典型案例：N0902048-1墩?qǐng)迨鹿?事故原因分析：操作工改動(dòng)后坩堝升速給了兩次，第一次為0，第二次為3，根據(jù)操作工口述過(guò)程，給晶升慢速升晶體，但實(shí)際并沒(méi)有給晶升，卻給了堝升慢速3mm/min。到發(fā)現(xiàn)時(shí)間有27分鐘，堝升了81mm,導(dǎo)流筒浸硅并結(jié)晶，被迫墩?qǐng)濉?圖2-3-4 從生長(zhǎng)記錄上可以看出主操在給晶升慢速時(shí)錯(cuò)給成堝升慢速。3）三瓣堝幫破裂導(dǎo)致墩?qǐng)?在拉晶過(guò)程中三瓣堝幫發(fā)生破裂，導(dǎo)致墩?qǐng)濉Ｈ陥鍘推屏褧?huì)造成等經(jīng)過(guò)程中液面嚴(yán)重晃動(dòng)，無(wú)法拉晶。 鑒別方法：如發(fā)現(xiàn)液面異?；蝿?dòng)，則可停

16、堝轉(zhuǎn)檢查，如在停堝轉(zhuǎn)的情況下液面晃動(dòng)停止則基本可以判斷三瓣堝幫已損壞。補(bǔ)救措施：在無(wú)堝轉(zhuǎn)的情況下如果剩料較多可嘗試引晶拉多晶，盡量將原料提出，如果剩料較少則不容易引晶，則可直接停爐。另外在無(wú)堝轉(zhuǎn)的情況下拉晶時(shí)間不能過(guò)長(zhǎng)，否則容易造成漏硅。 典型案例：SG0905128-5墩?qǐng)迨鹿?本次事故具體現(xiàn)象： 1）拉晶過(guò)程中無(wú)異常,第一段斷線提出后,第二段引晶放肩時(shí)出現(xiàn)電極故障報(bào)警。 2）電極故障報(bào)警后,發(fā)現(xiàn)液面抖動(dòng),懷疑三瓣堝裂開(kāi)。 3）為防止漏硅,經(jīng)同意停爐。 4）拆爐后,三瓣堝明顯裂開(kāi)一塊，取出石英坩堝后，另外兩塊也破裂。 5）加熱器一處有明顯的朝外張開(kāi)，是造成電極故障報(bào)警的主要原因。 圖2-3-

17、5 圖2-3-64）坩堝問(wèn)題 因坩堝質(zhì)量問(wèn)題，出現(xiàn)嚴(yán)重變形，造成墩?qǐng)迨鹿省４祟愂鹿室话愠霈F(xiàn)于實(shí)驗(yàn)坩堝，由于目前提純爐臺(tái)降低成本的需要，對(duì)石英坩堝的質(zhì)量有所放寬，在這樣的情況下有可能出現(xiàn)因石英坩堝質(zhì)量問(wèn)題而導(dǎo)致墩?qǐng)迨鹿省?圖2-3-75）設(shè)備問(wèn)題 在拉晶過(guò)程中出現(xiàn)設(shè)備異常，如加熱器跳閘、電控柜燒壞等導(dǎo)致墩?qǐng)濉?典型案例：N0910243-11TC（C15）墩?qǐng)迨鹿?事故原因：電控柜后有兩根線接觸短路，造成電控柜斷電。同時(shí)設(shè)備部未能及時(shí)排除故障，給爐臺(tái)送上電，造成墩?qǐng)寮s33.5kg。 注意：在原料臟的情況下墩?qǐng)?，很容易造成漏硅，另外如果墩?qǐng)搴髨逦惶幚聿划?dāng)也容易造成漏硅。 圖2-3-82.3.3 墩

18、堝解決方案 1）加強(qiáng)原料管理，盡量避免使用特別臟的原料。過(guò)臟的原料同樣容易引起掉棒和漏硅； 2）如果使用粉末料在裝料和抽空時(shí)必需按照要求進(jìn)行，技術(shù)工藝部關(guān)于粉末料關(guān)于裝料和抽空的通知沫子料提純要求。 3）保證石墨堝幫和石英坩堝質(zhì)量，防止拉晶過(guò)程中出現(xiàn)異常； 4）杜絕人為操作失誤造成墩?qǐng)澹?5）運(yùn)行過(guò)程中設(shè)備異常處理辦法：及時(shí)通知設(shè)備部維修人員進(jìn)行搶修，如果為加熱器或電源柜出現(xiàn)故障，在無(wú)加熱情況下，可降低堝位，盡量讓熔硅處于高溫區(qū)，等待檢修結(jié)果。在液面未完全結(jié)晶的情況下維修成功可再進(jìn)行加熱，如液面已完全結(jié)晶為安全起見(jiàn)可選擇墩?qǐng)?，并將堝位升高，防止發(fā)生漏硅。 2.4 漏硅漏硅2.4.1 定義 由于

19、坩堝破裂造成熔化的原料從坩堝中流出的生產(chǎn)事故稱為漏硅，漏硅是單晶生產(chǎn)中最為嚴(yán)重的事故之一！嚴(yán)重的漏硅會(huì)造成整個(gè)熱場(chǎng)的損壞，原料的損失，甚至造成爐體的損壞。另外在其他單晶公司還發(fā)生過(guò)因漏硅造成爐體爆炸傷人事故。 注：滲硅是指在停爐后由于堝位的不當(dāng)，熔硅先從液面開(kāi)始結(jié)晶，液面完全結(jié)晶后，擠占了下部熔硅結(jié)晶的空間，在下部熔硅結(jié)晶過(guò)程中必會(huì)對(duì)坩堝施加壓力，從而從坩堝的缺陷處滲出的現(xiàn)象。通常滲硅會(huì)造成三瓣堝與堝托粘連，但造成的損害要比漏硅小。由于兩者有相同的產(chǎn)生原因，因此可以說(shuō)滲硅是漏硅的一種。2.4.2 漏硅原因 數(shù)據(jù)分析： 60%40%漏硅原因漏硅原因原料問(wèn)題人為事故 根據(jù)公司發(fā)生的多起漏硅事故總結(jié)

20、出的相關(guān)漏硅原因有： 1）拉晶時(shí)多次斷線回熔，特別是在石墨堝幫破裂或石英坩堝嚴(yán)重變形而無(wú)堝轉(zhuǎn)的情況下拉晶時(shí)間太長(zhǎng)，造成漏硅； 2）熔硅由上至下結(jié)晶，下部熔硅由于體積膨脹撐壞石英坩堝后熔硅漏出； 3）石墨堝幫沒(méi)有處理干凈或料太臟，造成石英坩堝析晶破損漏硅； 4）人為的誤操作，如回熔時(shí)將晶體一次性下降太多，戳壞石英坩堝 5）石英坩堝本身質(zhì)量問(wèn)題； 6）原料為沫子料，塌料時(shí)原料在石英坩堝R處形成二次結(jié)晶，導(dǎo)致?lián)瘟眼釄?，或沫子料被泵抽至石墨堝幫與石英坩堝縫隙間造成石英坩堝析晶漏硅； 7）石墨堝幫之間配合不良，有較大縫隙，造成熔料后石英坩堝變形導(dǎo)致漏硅； 8）沒(méi)有認(rèn)真執(zhí)行工藝要求，如裝料時(shí)硬擠硬塞造成坩

21、堝受損，塌料后沒(méi)有及時(shí)升起堝位等等。1）原料問(wèn)題 a）原料臟，造成坩堝嚴(yán)重腐蝕，直接導(dǎo)致坩堝破裂而漏硅。 典型案例：N0905042-5滲硅事故 石英坩堝嚴(yán)重析晶導(dǎo)致漏硅。 圖2-4-1 典型案例： FB0907058-3漏硅事故 原料異常導(dǎo)致坩堝底部嚴(yán)重析晶漏硅。 圖2-4-2 b）原料為粉末料，在熔化過(guò)程中凝結(jié)成一塊，在塌料時(shí)倒向一側(cè)造成坩堝損壞而漏硅，此種原料本來(lái)較臟，坩堝已被腐蝕，強(qiáng)度不夠，再加之這樣的撞擊，漏硅的幾率大大增加。 典型案例：N0903077-4漏硅事故 本爐手動(dòng)加熱化料，中間過(guò)程沒(méi)異常，高溫3.5小時(shí)后塌料，發(fā)現(xiàn)坩堝有一條裂縫，從裂縫形狀來(lái)看如同拿玻璃刀劃過(guò)裂開(kāi)，加熱器

22、內(nèi)壁無(wú)劃痕、打火現(xiàn)象。 圖2-4-3 2）人為事故 由于操作失誤造成的漏硅事故。 典型案例：0807061-4漏硅事故 事故漏料原因： 在拉晶中發(fā)現(xiàn)液面抖動(dòng)后，將堝轉(zhuǎn)停掉，并持續(xù)了有12個(gè)小時(shí)，造成了石英坩堝長(zhǎng)時(shí)間受熱不均，尤其在石墨三瓣堝的接縫處，直接受熱輻射，高溫時(shí)間長(zhǎng)。 典型案例：N0902052-3TC(REC-8)漏硅事故 事故原因： （1）設(shè)備部檢修爐臺(tái)時(shí)未將副室波紋管密封圈固定，導(dǎo)致在后續(xù)的操作中密封圈滑落至料中，被迫在高溫1.5小時(shí)后停爐。 （2）生產(chǎn)部操作人員在停爐9小時(shí)取出密封圈后，第二次加熱前未將原料取出，沒(méi)有確認(rèn)石英坩堝是否完好可用的情況下繼續(xù)加熱，造成石英坩堝在加熱過(guò)

23、程中破損漏硅而墩?qǐng)澹⒃斐扇陥搴筒糠质p耗。 圖2-4-4 判斷漏硅方法： 在滲漏較快的情況下的判斷方法 1）發(fā)生過(guò)流，電壓電流異常波動(dòng)； 2）加熱器電阻過(guò)低報(bào)警； 3）電極故障報(bào)警； 4）爐壓升高； 5）熔硅明顯變少； 6）波紋管溫度升高。 在緩慢滲硅情況下的判斷方法 由于目前采用熱場(chǎng)的保溫性較好，底氈較厚的情況下，熔硅滲漏可能會(huì)以一種較緩慢的情況出現(xiàn)，從石墨器件內(nèi)部滲透至碳?xì)种小３霈F(xiàn)這種情況在前期最主要的異常為電極故障報(bào)警（通常情況下電極故障并不影響拉晶），如果在設(shè)備部檢查電極輸出電壓明顯無(wú)異常時(shí)，仍然需要長(zhǎng)時(shí)間觀察爐內(nèi)液位變化，如發(fā)現(xiàn)液位異常應(yīng)立即上報(bào)，尋求解決處理。 在此我們將引

24、晶堝位作為我們判斷液位是否正常的重要依據(jù)： 1）查閱前次等徑末段堝位，對(duì)比目前引晶堝位是否有明顯差距，如差距在10mm以上即可懷疑發(fā)生漏硅（使用大肚導(dǎo)流筒判斷引晶堝位需要10mm以上才有明顯的差距）。 2）查看顯示剩料重量，估算正常引晶堝位，如發(fā)現(xiàn)估算堝位與實(shí)際引晶堝位相差過(guò)大即可懷疑發(fā)生漏硅。具體估算過(guò)程可使用技術(shù)工藝部編寫軟件堝位判斷軟件。 3）將液面放置于與導(dǎo)流筒下沿剛好相切的位置，待5分鐘后觀察是否液面下降。在此位置液面有微小變化一般都能較為明顯的觀察到。2.4.3 解決途徑 1）現(xiàn)場(chǎng)處理：停加熱，如果爐壓不斷上升，可以判斷下軸波紋管燒破，漏氣，可關(guān)閉氬氣，調(diào)整節(jié)流閥開(kāi)度為100%，加

25、大抽氣效果。讓爐體自然冷卻。 2）針對(duì)粉末原料防止漏硅技術(shù)部下發(fā)的操作通知； 前面在墩?qǐng)瀛h(huán)節(jié)已經(jīng)講到關(guān)于粉末料的提純要求。 3）杜絕人為操作失誤造成漏硅。 a）禁止掉棒回熔； b）禁止原料二次加熱； c）在無(wú)堝轉(zhuǎn)或三瓣堝破裂的情況下長(zhǎng)時(shí)間拉晶。 2.5 重錘及鋼絲繩2.5.1 定義 鋼絲繩因?yàn)楫惓Ｔ驍?，?dǎo)致重錘掉入熔硅中造成的生產(chǎn)事故。2.5.2 事故原因 38%25%12%12%13%人為事故設(shè)備設(shè)計(jì)缺陷鋼絲繩連接設(shè)計(jì)缺陷鋼絲繩質(zhì)量問(wèn)題原因不明1）人為事故 升降重錘過(guò)程中未關(guān)閉插板閥，導(dǎo)致重錘卡在插板閥上將鋼絲繩拉斷。 典型案例：0906044-12TC重錘掉入堝內(nèi)事故 事故原因：當(dāng)事人事

26、故描述，穩(wěn)重錘后引晶溫度過(guò)高升重錘，重錘掉入堝內(nèi)。檢查爐臺(tái)發(fā)現(xiàn)插板閥未合嚴(yán)，拆爐后鋼絲繩斷頭比較毛，降下鋼絲繩斷頭距副室底距離為485推算出重錘位置在插板閥位置，插板閥與重錘上有卡痕。結(jié)合當(dāng)事人事故描述及工作站記錄確認(rèn)本次事故原因?yàn)椋悍€(wěn)重錘后未將插板閥打開(kāi)，升重錘時(shí)重錘卡在主插板閥邊緣拉斷鋼絲繩，重錘掉入堝內(nèi)。2）設(shè)備設(shè)計(jì)缺陷 a）卷絲輪設(shè)計(jì)缺陷，導(dǎo)致鋼絲繩在纏繞過(guò)程中跳槽，將鋼絲繩卡斷。 典型案例：N0902062-2鋼絲繩扯斷事故 從右圖可見(jiàn)，卷絲輪上無(wú)卡槽，此結(jié)構(gòu)容易造成鋼絲繩跳槽。 圖2-5-1 b）寧晉爐臺(tái)上軸限位不起作用，導(dǎo)致鋼絲繩運(yùn)行到副室頂部被卡斷。 3）鋼絲繩連接設(shè)計(jì)缺陷 典型案例：N0903016-13（M