太陽能電池-擴散設(shè)備操作規(guī)程

1、- 1 -擴散工序操作規(guī)程090330版序言為更好地加強擴散設(shè)備生產(chǎn)與維修，保障設(shè)備開機效率以及設(shè)備完好狀態(tài)，結(jié)合擴散使用說明書及車間使用經(jīng)驗，特制訂編制本手冊，以達到操作標準化為目的，同時為設(shè)備隊伍的培訓(xùn)提供教材參考。凡操作人員必須經(jīng)過培訓(xùn)，且熟練掌握設(shè)備操作規(guī)程，方可對設(shè)備進行操作!- 2 -1、 目的2、 適用范圍3、 設(shè)備及工具4、 材料與工藝氣體5、 主要技術(shù)性能6、 結(jié)構(gòu)特征7、 使用前的準備8、 工序操作流程9、 更換POCL3安全操作規(guī)程10、 設(shè)備維護 目錄- 3 -11、 POCL3性質(zhì)和應(yīng)急處理12、 安全注意事項13、 附圖一、目的：在清洗后的p型硅片基體(硼摻雜)表面

2、擴散磷原子，形成結(jié)深為0.30.5m的pn結(jié)。工藝原理：三氯氧磷 (POCL3)在高溫下（860）與氧氣（O2）反應(yīng)生成五氧化二磷（P2O5），所產(chǎn)生的五氧化二磷（P2O5）進一步與硅 (Si)反應(yīng)生成二氧化硅（SiO2）和磷原子(P)。磷原子(P)在高溫下逐步向硅片內(nèi)部擴散，在硅片表層形成一定的濃度梯度，最終形成一定結(jié)深的P-N結(jié)。其反應(yīng)方程為：4POCL3 +3O2 =2 P2O5 +6 CL22P2O5+5Si= 5SiO2+4P二、適用范圍：電池三車間擴散工序三、設(shè)備及工具：TEPMPRESS擴散爐和CENTROTHERM擴散爐、四探針測試儀、石英舟、防熱手套、橡膠手套、口罩、隔熱頭罩

3、、取舟把手、小踏臺、裝卸臺、墊板。四、材料與工藝氣體：制絨后合格的多晶硅片，三氯氧磷，氮氣，氧氣，壓縮空氣，冷卻水，排風系統(tǒng)。五、主要技術(shù)性能：1、使用環(huán)境條件a) 環(huán)境溫度：0 40 b) 相對濕度：55%、無凝露c）周圍環(huán)境：在萬級以上潔凈室內(nèi)2、工作條件- 4 -三相五線制電源，有冷卻水、氮氣、氧氣、壓縮空氣源及帶負壓的排風系統(tǒng)。a）CENTROTHERM：冷卻水：入口15-25度，最少65升/分鐘，4-6bar，進出壓差4bar壓縮空氣：干燥，無油，5-7bar氧氣：1.2-2.5bar氮氣：2-3 bar電源：3/N380/220V 50HZ 160KW排風量：2000m3/hb）T

4、EMPRESS：冷卻水 15l/min，4kg/cm2壓縮空氣 干燥，無油，1l/min，7kg/cm2氮氣 100l/min，40psi氧氣 5l/min，40psi排氣環(huán)境 9m3/min 千級凈化電源：3/N380/220V 50HZ 160KW六、 結(jié)構(gòu)特征：擴散系統(tǒng)A氣源柜：工藝氣體控制系統(tǒng)。外接氮氣、氧氣、壓縮空氣，內(nèi)置磷源容器，為系統(tǒng)爐管提供工藝氣體，頂部設(shè)有排風。B爐體：由保溫材料巖棉爐腔，每個爐腔外圍是加熱絲，內(nèi)部放置石英爐管。四個爐腔的下面是爐溫控制系統(tǒng)。頂部是冷卻系統(tǒng)。CENTROTHERM擴散系統(tǒng)的總電源從爐體背面中下部接入，TEMPRESS擴散系統(tǒng)的總電源直接引入后邊

5、放置的配電柜中。C裝載/卸載：用于卸載、裝載硅片，各部分分別對應(yīng)相應(yīng)的爐管和爐腔。下側(cè)內(nèi)部是電路及控制部分。下方是各部分控制按鈕。控制屏用于對整個系統(tǒng)的控制及監(jiān)視。設(shè)備自帶有凈化系統(tǒng)。電阻率測試儀：由PC和四探針測試臺組成。七、使用前的準備：1.車間凈化系統(tǒng)是否正常運行。2.排風系統(tǒng)工作是否正常。3.爐管內(nèi)是否清潔。不夠清潔時應(yīng)該對其進行清洗。4.冷卻水壓力是否正常，是否可正常供應(yīng)。5.工藝氣體壓力和供應(yīng)是否正常。6.電阻率測試儀是否正常。八、工序操作流程1.交接班各班組必須提前半個小時到崗，列成一隊由上一班組長傳達車間指令、8S情況、工藝情況、設(shè)備運行情況及生產(chǎn)情況。2.班前會由當班班組長負

6、責。生產(chǎn)之前，當班組員列成一列，由班組長根據(jù)當班現(xiàn)有人數(shù)進行調(diào)配，提醒員工要有安全意識、紀律性，布置產(chǎn)量任務(wù)、質(zhì)量任務(wù)。3.硅片領(lǐng)用雙手持載片盒兩端，中指指尖鉤住中間圓孔，起到載片盒在手中的穩(wěn)固性。先觀測載片盒里洗后片有無缺片現(xiàn)象，再看它的上表面，看有無缺口、崩邊、裂紋及手印污染；然后把片盒向內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)到45度角，查看其上角和漏出的1厘米邊緣的完整性，再看同一面下角和漏出的2厘米邊緣的完整性；然后把片盒復(fù)位，同時向外側(cè)轉(zhuǎn)45度角，查看其上角和漏出的1厘米邊緣的完整性，再看同一面下角和漏出的2厘米邊緣的完整性；然后保持位置不變，觀察其整個底面的完整性，一切完好后，檢片結(jié)束。 注意：翻轉(zhuǎn)片盒的最大角度

7、不可超過60度。 確認完硅片質(zhì)量和數(shù)量后，每個不銹鋼小車最多裝1000片（10盒），且最上面一層最多放2個裝滿硅片的載片盒，要求豎向擺放，可以確保在推片途中不會滑落或掉落，下面兩層可以- 5 -橫向放4個載片盒，推車時要穩(wěn)要慢，以免將載片盒中的硅片顛碎顛裂，且必須采用推的形式（中途出現(xiàn)意外情況可及時發(fā)現(xiàn)）將承運片盒的小車推至擴散間內(nèi)各設(shè)備的指定位置。4.投入生產(chǎn)（一）CENTROTHERM操作1.將領(lǐng)入的合格的制絨后硅片手工插入到石英舟中，注意石英舟卡槽為傾斜面，插片時要將制絨面朝向傾斜方向，也就是沒有石英舟編號的一側(cè)，整個插片過程要輕拿輕放，避免用力過大對硅片造成損傷，石英舟兩端分別插入6片

8、擋風片。 6片 200片 6片2.插片結(jié)束并再次檢查所插入硅片完整性后操作人員要人工將石英舟放置到設(shè)備的Slider上（兩手分別端住石英舟兩端的圓柱），端舟時要小心謹慎，且之前要將可能會造成阻礙通道的物品轉(zhuǎn)移，石英舟放置到Slider的方向也是硅片制絨面朝向源區(qū)，安全放到Slider上后還要將石英舟移至Slider的正中位置，可以通過比對石英舟兩端與Slider石英柱的距離判定。3.進行軟件操作：選擇硅片類型：工藝片或?qū)嶒炂簏c擊下面對話框的OK填寫運行信息并點擊下面對話框的load done入舟工藝結(jié)束并卸載完畢后點擊下面對話框的unload done- 6 -再次裝載完畢后在LOT區(qū)域填寫

9、備注并查看選定的工藝是否正確，之后點擊下面對話框的load done開始再次運行工藝4.軟件操作結(jié)束后程序?qū)⒆詣舆\行：（1）Slider自動運行從Port區(qū)域到Lift區(qū)域；（二）TEMPRESS操作（含R2D）1.R2D操作：將領(lǐng)入的合格的制絨后硅片連同片盒放置到R2D的裝載位置，方向為制絨面朝向源區(qū)，正確放置后操作按鈕“Load”會閃爍，Conveyor模式切換成自動，此時按壓“Load”按鈕系統(tǒng)將自動傳輸，此時還需將界面上的工作模式轉(zhuǎn)換成“NORMAL MODE”模式，LIFT模式切換成自動，所有模式轉(zhuǎn)換完成后，系統(tǒng)將進行自動裝卸載動作（1）真空機頭抓取50片/次擴前片插入放置在shut

10、tle上的石英舟上，直至插滿；（2）Lift將插滿片的石英舟放置到相應(yīng)的工藝爐管的槳上；（3）工藝方案自動運行（4）工藝方案運行結(jié)束后Lift將石英舟移至Shelf上進行冷卻；（5）冷卻結(jié)束后Lift將石英舟移至shuttle進行卸載和裝載。2. 操作注意事項：（1）如到機械運轉(zhuǎn)區(qū)域進行手動作業(yè),必須先將自動模式停止,轉(zhuǎn)換成手動模式(如LIFT或傳輸單元),防止在操作過程中機械部位自動執(zhí)行動作造成人身傷害或設(shè)備部件的損壞。（2）Lift動作區(qū)域嚴禁放置雜物，如：梯子或工作臺等，包括人員通行都必須在設(shè)備周邊警戒線以外。（3）在設(shè)備有機械動作時（包括進出槳,爐門開關(guān)，Lift動作，真空機頭抓片等）

11、都必須有操作人員看守，出現(xiàn)問題立即手動停止，緊急情況可按急停按鈕，之后再進行問題處理。（三）TEMPRESS操作（無R2D）1.將領(lǐng)入的合格的制絨后硅片手工插入到小石英舟中，注意石英舟卡槽為傾斜面，插片時要將制絨面朝向傾斜方向，每管共11個小舟，兩側(cè)應(yīng)插入共25片擋風片，中間為250片工藝用硅片，整個插片過程要輕拿輕放，避免用力過大對硅片造成損傷。 13片2.插片結(jié)束并再次檢查所插入硅片完整性后操作人員要人工用專用舟把手將石英舟放置到相應(yīng)爐管，石英舟放置到槳上的方向是硅片制絨面朝向源區(qū)，端舟時要小心謹慎，且之前要將可能會造成阻礙通道的物品轉(zhuǎn)移，防止磕碰造成人體傷害或石英舟 硅片損壞。3.軟件操

12、作：（1）在主界面，進入tube control單元，選擇start/stop process control功能進入該界面，確認界面中所顯示的工藝方案是否正確，確認完成后點擊start鍵開始工藝循環(huán)；如工藝方案選用不正確，可到Main 250片 12片 （2）擴散爐自動運行l(wèi)ift將Slider上的硅片加載到程序指定爐管； （3）擴散爐按照設(shè)定工藝程序自動運行工藝，直至全過程結(jié)束； （4）擴散爐自動運行l(wèi)ift將漿上的石英舟放置到Slider上； （5）Slider自動運行從Lift區(qū)域到Port區(qū)域準備卸載。menu tube control select a process recipe

13、界面選擇正常生產(chǎn)所需的工藝方案。- 7 -（2）工藝結(jié)束后讓舟在槳上冷卻后用舟把手將石英舟放置到不銹鋼工作臺上進行卸載，端舟過程中防止高溫燙傷，必要時可佩戴隔熱手套和隔熱面罩。（四）附：TEMPRESS界面說明1.Main menu 主界面2.System control 在系統(tǒng)控制菜單中，需鍵入密碼才可進入3.Certifications 在此菜單中，可以設(shè)置DPC各系統(tǒng)參數(shù)，即各模擬數(shù)字輸入輸出通道，工藝中溫區(qū)溫度，非專業(yè)人士請勿擅自更改4.Process recipes 進行擴散工藝的編輯及修改5.Tube control 操作主要選項，進行工藝的選擇，及運行停止6.Monitor 純屬

14、監(jiān)控選項，此項為安全選項，在此項中只能進行各項參數(shù)的監(jiān)控，并不能進行修改2. certifications2.1process controller certifications DPC參數(shù)設(shè)置2.1.1 tube ID and tube name 爐管ID號和爐管名稱2.1.2 tube configuration 爐管配置2.1.3 analog outputs 模擬輸出 2.1.4 analog inputs 模擬輸入 2.1.5 digital outputs 數(shù)字輸出 2.1.6 digital inputs 數(shù)字輸入2.1.7 messages 信息2.1.8 graphic sy

15、stem logout 系統(tǒng)管路總覽2.1.9 servo driver parameters 伺服驅(qū)動參數(shù)2.2temperature controller certifications DTC參數(shù)設(shè)置4.process control menu 工藝爐管控制4.1 graphic process control圖示工藝的控制，可進行工藝控制。4.2start/stop process control 此項用于工藝的開始及結(jié)束，與上一選項有共同的作用，需注意的是，此項中的stop選項，不能直接終止工藝，只是使時間停止在這一時刻，在按下stop之后，在右下角會出現(xiàn)jump選項，直接跳到0步，就

16、等同于工藝結(jié)束，除非緊急情況此項不建議操作。另外，jump功能在第0步不能直接向下跳至第2步，只能跳到1，然后跳到2再跳到3，因為每步需加載不同的工藝參數(shù)。4.3 abort process recipe 在DPC中能存儲16條工藝方案，和8條中止方案，中止方案在正常的擴散工藝中夾雜，以備有緊急情況下使用，中止方案也是一個完整的工藝，只是只有你在按下此項后使用，不同的中止方案，對應(yīng)不同的工藝步驟時使用，此項為安全操作，在出現(xiàn)緊急事件不知如何操作時使用。4.4 clear alarm 清除報警4.5variable process command 此項是工藝更改的捷徑，是當前使用工藝的常用變量參

17、數(shù)的更改，此項可更該項目，在工藝編輯中進行編輯4.6 select a process recipe 此項用于選擇你需要的工藝方案4.7 assign control zones to paddle inputs 此項設(shè)定爐管中間熱電偶與爐壁熱電偶一一對應(yīng)4.8 edit lot Id5 Monitor menu 監(jiān)控界面5.1Main detail status 監(jiān)控當前工藝步驟5.2Alarm status 顯示報警原因5.3Digital output/input status 顯示數(shù)字輸入輸出狀態(tài)5.4Dpc lot ID status5.5Process recipe status

18、觀看工藝方案5.6Temperature status 觀看當前溫度設(shè)置5.7Graphic process status 圖示工藝狀態(tài)5.8Servo driver status 馬達驅(qū)動器狀態(tài)5.合格片轉(zhuǎn)下工藝結(jié)束后按工藝規(guī)定抽測方塊電阻和少子壽命，并檢測出物理狀況不合格和表面不合格的硅片，將合- 8 -格的硅片記清數(shù)量并準確填寫流程卡后轉(zhuǎn)入下工序。6.班后會本班任務(wù)完成后由班組長組織列隊召開本班班后會，總結(jié)本班整體和個人工作情況以及對工藝設(shè)備運轉(zhuǎn)不正常情況作分析，并傳達車間相關(guān)指令，交接班前將衛(wèi)生徹底清掃。九、更換POCL3安全操作規(guī)范：（一）源瓶的領(lǐng)用：源瓶的領(lǐng)用必須由兩人協(xié)同完成。在

19、操作前必須先戴好口罩和手套，然后再進行檢驗。操作過程：先把箱蓋打開，然后一手提著密封袋頂部，一手托源瓶底部，輕輕將源瓶取出；觀察密封袋里面是否有漏液，然后再看進氣管是否伸到液面以下。檢查完畢后，再將源瓶輕輕放回盒子中，蓋好盒蓋。注意：整個操作過程當中，旁邊必須有干沙。（二）TEMPRESS更換源瓶 源瓶的更換必須由兩人協(xié)同完成，一人操作，一人監(jiān)督。在操作前必須先戴好口罩和手套，然后再進行更換。操作過程：1、將新源瓶開箱，取出頂部的海綿墊和一個海綿圈疊放在一起。2、移出空瓶：先關(guān)進氣口閥門，再關(guān)出氣口閥門，關(guān)閉同時要一手扶著進氣或出氣口底部，將進出氣口氣管螺絲擰松，把氣管拔下。將源溫控制器蓋子取

20、下；最后將熱電偶取出；一手扶上，一手托底將源瓶取出，放置到以預(yù)備好的海綿圈中。3、安裝新瓶：拆開密封袋，一人提著進出氣口，將其取出，另一人雙手托底，輕輕放于源溫控制器里面，把源溫控制器蓋子蓋上。4、把新瓶進出氣口氣管螺絲擰松后再將進（出）氣口塞子拔掉，然后一手扶著出氣口，一手將出氣管插到底，將螺絲緊固；一手扶著進氣口，一手將進氣管插到底，將螺絲緊固；5、將熱偶油滴入熱電偶槽中三分之一處，使熱偶油浸沒于熱電偶的金屬探頭，插入熱電偶；一手扶著出氣口底部，一手完全打開出氣閥，再回旋半圈；之后一手扶著進氣口底部，一手完全打開進氣閥，再回旋半圈。（三）CENTROTHERM更換源瓶源瓶的更換必須由兩人協(xié)

21、同完成，一人操作，一人監(jiān)督輔助。在操作前必須先戴好口罩和手套，然后再進行更換。操作過程：1、將新源瓶開箱，取出頂部的海綿墊和一個海綿圈疊放在一起。2、移出空瓶：先關(guān)進氣口閥門，再關(guān)出氣口閥門，關(guān)閉同時要一手扶著進氣或出氣口底部，將進出氣口氣管螺絲擰松，把氣管拔下。將源溫控制器蓋子取下；最后將熱電偶取出；雙手緊抱源瓶兩側(cè)將源瓶取出，放置到以預(yù)備好的海綿圈中。3、安裝新瓶：拆開密封袋，雙手緊抱源瓶兩側(cè)，兩人配合將其取出輕輕放于源溫控制器里面；將熱偶油滴入熱電偶槽中三分之一處，使熱偶油浸沒于熱電偶的金屬探頭，插入熱電偶；將源溫控制器蓋子蓋上；4、將換下的空瓶裝箱封好；5、把新瓶進出氣口氣管螺絲擰松后

22、再將進（出）氣口塞子拔掉，然后一手扶著出氣口，一手將出氣管插到底，將螺絲緊固；一手扶著進氣口底部，一手將進氣管插到底，將螺絲緊固；然后一手扶著出氣口底部，一手完全打開出氣閥，再回旋半圈；之后一手扶著進氣口底部，一手完全打開進氣閥，再回旋半圈。（四）注意事項注意：三氯氧磷是高危險化學(xué)藥品，在操作過程中，要將操作區(qū)域內(nèi)的雜物清理干凈，防止更換時滑倒，或?qū)υ雌坑兴鶕p傷。更換后的空瓶請注明：更換時間，設(shè)備號，班組，空瓶，并退庫。 并詳細記錄在源瓶更換記錄中 。源瓶更換注意事項：1.由于設(shè)備液位報警時實際液位還較多，所以現(xiàn)要求TEMPRESS設(shè)備報警后的第10個班組更換；Centrotherm設(shè)備當設(shè)備

23、界面有報警時就應(yīng)立即更換。 2. 源瓶控制器報警后各班組生產(chǎn)時一定要多觀察相應(yīng)源瓶的液位和硅片方塊電阻情況，當液位低于0.5CM時或方塊電阻出現(xiàn)偏差時也要及時更換。3.各種項目都要完整詳細記錄。 4.更換源瓶時必須兩人同時進行，一人為主要操作者，另一人輔助并做好安全監(jiān)督。 5.源瓶更換記錄中的“預(yù)計更換日期班次”由報警班組填寫。- 9 -十、設(shè)備維護（一）準備工作擴散設(shè)備維護時主要是對尾氣部分和爐口石英門進行清理，以保證擴散爐管內(nèi)良好的氣流，保證工藝的正常運行。設(shè)備維護周期為每兩周一次，具體時間以車間安排為準。需要準備的工具：隔熱手套、隔熱面罩、PVC手套、無塵布、橡膠手套、泡沫墊、清理用的專

24、用工具。（二）TEMPRESS維護過程1. 首先保證需要維護的爐管當前沒有運行工藝，在STANDBY狀態(tài)或者載入TEXT方案。2. 正常維護時不需要對設(shè)備進行降溫操作。打開氣源柜，先松開三通接頭與儲液罐之間的夾子；再拆下儲液罐上的卡箍；將儲液罐上的蓋子和卡箍一起放到泡沫墊上。3. 將尾氣管與儲液罐之間的螺絲擰開，（注意：一手扶住一端，一手去擰另一端）用手穩(wěn)住儲液罐，讓儲液罐與尾氣管在同一水平線上，同時用手輕輕向外旋轉(zhuǎn)尾氣管5-8cm，O圈會隨尾氣管帶出。（如果用上種方法O圈不能出來，可以用手頂住尾氣管的頂端，讓儲液罐與尾氣管在同一水平線上，同時輕輕往外挪動儲液罐，如下圖：）將取出里面的O圈和儲

25、液罐一起放在泡沫墊上。再把尾氣軟管和三通接頭拆下放在泡沫墊上。- 10 -4. 用一手托住尾氣管，同時將耳勺按順時針方向旋轉(zhuǎn)著慢慢進入尾氣管到一定程度，再輕輕拉出耳勺，用無塵布擦拭掉上面的殘液。反復(fù)幾次，直到尾氣管通暢為止。5. 清理尾氣管的同時，另一人用清水反復(fù)沖被拆下來的部件，清洗到上面沒有油膩感為止。清洗完畢后，用盤紙將其吸干。6. 將儲液罐放置在托盤上之后，調(diào)整尾氣管與儲液罐的位置，使兩個對接口在同一水平線上（調(diào)整托盤高度）。調(diào)整完畢后，再將儲液罐抽出。然后把尾氣管與儲液罐之間的連接頭安上，將兩對接口對接。7. 將O圈套入尾氣管，把尾氣管向外拔出一截，再把O圈輕輕向里滾動到一定位置；然

26、后將尾氣管向里旋轉(zhuǎn)輕推，O圈會隨尾氣管進入到O圈槽中（如果O圈不能完全進入，可用小六角扳手將其輕推入槽中），尾氣管露出的長度應(yīng)在儲液罐的中間位置即可。再將儲液罐與尾氣管的連接螺絲擰緊。- 11 -8. 把儲液罐的蓋子蓋好，一人雙手穩(wěn)住儲液罐，另一人套上卡箍鎖緊。再把尾氣軟管和三通接口安裝入位擰緊，把三通接口與儲液罐蓋子的接口對接，用夾子夾好，并擰上夾子上的螺絲（螺絲不要過緊）。9. 清理設(shè)備碎片及衛(wèi)生。（三）CENTROTHERM維護過程尾氣部分總覽圖1. 打開爐管狀態(tài)欄，觀察需要維護的爐管是否在運行著工藝。如果正在運行著工藝，請工藝結(jié)束后再進行維護。如果沒有運行著工藝，請返回到JOB界面,將

27、爐管狀態(tài)改變成封鎖狀態(tài)。- 12 -2. 打開氣源柜，先將三個夾子同時拿下，而后將殘液罐、冷卻罐和尾氣管輕輕分開。3. 將分開的冷卻罐上的廢氣管擰開，注意不要丟失里面的黑色O圈。4. 將殘液罐、冷卻罐和尾氣管輕輕取下，注意一手扶住罐子，一手托底。將其放在早已準備好的泡沫墊上，把尾氣管稍微向外抽出點。5. 清洗殘液罐。戴上防酸手套，把殘液倒盡后，將殘液罐用清水反復(fù)沖洗干凈，包括罐口和皮墊也沖洗干凈。沖洗當中要拿穩(wěn)，不要讓殘液罐與其他物體發(fā)生碰撞。沖洗完畢后，將水倒干，然后將其放回泡沫墊上，擦拭干凈。（注意：白色皮墊不要丟失）6. 清洗冷卻罐。打開水管時，先不要開太大，當水進入冷卻罐后會產(chǎn)生大量濃

28、煙，這時應(yīng)先遠離濃煙。等煙霧消失后，將罐中水倒掉，注意輕拿輕放。如果戴防酸手套不方便，可以摘掉，再戴一副PVC手套。如果瓶內(nèi)還有白色物質(zhì)，再繼續(xù)沖洗，直到干凈為止。注意：瓶口和皮墊也要沖洗。在水槽中沖洗時一定要小心，避免石英器件與水槽發(fā)生碰撞。- 13 -7. 清洗尾氣管。在清洗過程當中，有的尾氣管可能已經(jīng)堵死，在沖洗過程當中，將水開小點。沖洗完畢后，注意廢氣管里面的O圈是否還在。8. 用無塵布擦拭尾氣管；擦拭各個部件，用干凈的無塵布，輕輕擦拭。9. 安裝時各管上的部件不可混裝。10. 在安裝時首先將廢氣管安好，再將尾氣管、殘液罐和冷卻罐連接在同一條直線上，以免緊固時損壞石英器件，而后將其用夾

29、子夾緊（夾子的松緊程度掌握好，當頂絲頂?shù)綂A子后再擰半圈即可）。- 14 -11. 尾氣管安裝完成后確保其密封性完好。12. 清理裝載區(qū)時在打開窗戶時必須小心謹慎，防止碰到舟和石英器件。13. 在身體進入裝載區(qū)清理碎片時禁止碰觸石英件和槳等易碎品。十一、POCL3性質(zhì)和應(yīng)急處理（一）三氯氧磷性質(zhì)1、中英文名稱：三氯氧磷，POCL3 相對分子量：153.33化學(xué)式：POCL3外觀與性狀：液態(tài) 主要成分：純品2、健康危害：最重要危害與效應(yīng)： 本品遇水蒸氣分解成磷酸與氯化氫，含磷可致磷中毒。 對皮膚、粘膜有刺激腐蝕作用。 毒性與光氣類似。 急性中毒：短期內(nèi)吸入大量蒸氣，可引起上呼吸道刺激癥狀、咽喉炎、

30、支氣管炎；嚴重者可發(fā)生喉頭水腫窒息、肺炎、肺水腫、心力衰竭。亦可發(fā)生貧血、肝臟損害、蛋白尿。 口服引起消化道灼傷。 長期低濃度接觸可引起口、眼及呼吸道刺激癥狀。健康危害效應(yīng)： 吸入：會有致命的危險，癥狀為：咳嗽、氣喘、頭疼、肺水腫，有可能較晚發(fā)作。 眼睛：1.具腐蝕性；2.煙霧會嚴重刺激，造成刺痛、流淚；3.直接接觸到液體可能造成灼傷。 皮膚：1.具腐蝕性；2.造成化學(xué)性灼傷。 食入：1.具腐蝕性；2.可能造成口、喉嚨等嚴重傷害，另引發(fā)惡心、嘔吐、頭疼，昏迷虛弱和腹部疼痛。3、急救措施： 吸入：1.迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。2.

31、立即就醫(yī)。 皮膚接觸：1.立即用大量清水沖洗患處，并脫掉受污染的衣物，包括被污染的鞋。2.立即就醫(yī)。 眼睛接觸：1. 立即提起眼瞼，用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘；2.隱形眼鏡必先除去或用水沖出來；3.立即就醫(yī)。 食入：1.用水漱口，無腐蝕癥狀者洗胃。忌服油類。2.立即就醫(yī)。 急救人員防護：橡膠耐酸堿手套、不宜用口對口人工呼吸。4、燃爆特性與消防 燃爆危險：不燃，無特殊燃爆特性。遇水激烈反應(yīng)，可引起燃燒或爆炸。 燃燒熱：無意義 閃點：無意義 爆炸上限：無意義 爆炸下限：無意義 危險特性：遇水猛烈分解，產(chǎn)生大量的熱和濃煙，甚至爆炸。對很多金屬尤其是潮濕空氣存在下有腐蝕性。 有害燃燒

32、產(chǎn)物：氯化氫、氧化磷、磷烷。適用滅火劑：干粉、干燥沙土。滅火注意事項及措施：- 15 - 消防人員必須穿全身耐酸堿消防服、佩戴空氣呼吸器滅火。 盡可能將容器從火場移至空曠處。 噴水保持火場容器冷卻，直至滅火結(jié)束。 禁止用水、泡沫和酸堿滅火機滅火。5、泄露應(yīng)急處理 根據(jù)液體流動和蒸汽擴散的影響區(qū)域劃定警戒區(qū)，無關(guān)人員從側(cè)風、上風向撤離至安全區(qū)。 建議應(yīng)急處理人員戴正壓自給式呼吸器，穿橡膠防酸堿服。 穿上適當?shù)姆雷o服前禁止接觸破裂的容器和泄露物。 盡可能切斷泄漏源，勿使泄露物與可燃物質(zhì)（如木材、紙、油等）接觸。 防止泄露物進入水體、下水道、地下室或密閉性空間。 小量泄漏：用沙土、蛭石或其他惰性材料

33、吸收。 大量泄漏：構(gòu)筑圍堤或挖坑收容，用農(nóng)用石灰（CaO）、碎石灰石（CaCO3）或碳酸氫鈉（NaHCO3）中和。6、儲運注意事項處置： 搬運時請穿著橡膠防酸堿服，不要用拖、拉、滾、踢的方式，瓶子在使用中必須固定。 嚴禁煙火。 不可對瓶身任何地方加熱，高溫可能會造成溢漏。 所有管道與設(shè)施需測定無誤后方可使用。 空氣呼吸器、緊急洗眼器及安全沖淋器需設(shè)置妥當。儲存： 存放于通風良好、安全且避免日光、雨的地方，包裝必須密封，切勿受潮。 應(yīng)與還原劑、活性金屬粉末、醇類等分開存放，切忌混儲。 使用時遵循“先進先出”原則，非使用時閥門須緊閉。 庫溫最好不超過30，相對濕度不超過75%。適宜存儲溫度：3到4

34、0范圍。 儲存應(yīng)備有泄露應(yīng)急處理設(shè)備和合適的收容材料。7、防護措施個人防護措施： 呼吸防護：可能接觸其蒸氣時，必須佩戴過濾式防毒面具（全面罩）或空氣呼吸器。緊急事態(tài)搶救或撤離時，建議佩戴空氣呼吸器。 手部防護：防化學(xué)品橡膠手套。 眼睛防護：安全眼鏡或面罩。 皮膚及身體防護：請著工作服，工作鞋或防護衣，以避免接觸。 其他防護：緊急沖淋器，緊急洗眼器。衛(wèi)生措施： 工作后應(yīng)迅速脫掉被污染之衣物，洗凈后才可再穿戴或丟棄，且須告知洗衣人員污染物之危害性。 工作場所嚴禁抽煙或飲食。 處理此物后，須徹底洗手。 維持作業(yè)場所清潔。 保持工作場所通風良好。8、物理及化學(xué)性質(zhì)物質(zhì)狀況：液體 熔點：13 顏色：澄清，無色 氣味：刺鼻腐臭味P H值：無資料 臨界壓力：無資料自然溫度：無意義 沸點：105蒸氣壓：25TORR（AT 20） 蒸氣密度（AIR=1 ）：5.3相對密度（H2O=1）：1.675 水中溶解度：劇烈反應(yīng)9、穩(wěn)定性和反應(yīng)活性- 16 -穩(wěn)定性：穩(wěn)定 聚合危害：不聚合應(yīng)避免狀況：高熱、蒸汽、潮濕空氣并避免物質(zhì)：強還原劑、活性金屬粉末、水、醇類。危害分解物：鹽酸、磷酸、磷氧化物。（二）POCL3泄露應(yīng)急處理預(yù)案物資準備：自給式正壓呼吸器（2套）、防護服（2套）、防酸手套（2副）、消防沙（一桶）、空塑料桶（一個）、塑料小鏟（一個）、盤紙、拉伸膜。應(yīng)急處理人員：兩人（要求為